JP2010182919A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布現像処理システム1には、ウェハ搬送装置40の周囲に、第1〜第4のバッファ装置41〜44と第1〜第4の処理装置群G1〜G4が配置されている。第1〜第4のバッファ装置41〜44は、複数のウェハを鉛直方向に多段に保管するバッファ部を有している。第1〜第4のバッファ装置41〜44は、バッファ部搬送機構によってレール45上を第1〜第4の処理装置群G1〜G4に対向する位置に移動可能になっている。第1〜第4の処理装置群G1〜G4の各処理装置には、当該処理装置と第1〜第4のバッファ装置41〜44との間でウェハを搬送するウェハ搬送機構が設けられている。
【選択図】図1
Description
10 カセットステーション
11 処理ステーション
13 インターフェイスステーション
20 カセット載置台
31 ウェハ搬送装置
40 ウェハ搬送装置
41 第1のバッファ装置
42 第2のバッファ装置
43 第3のバッファ装置
44 第4のバッファ装置
45 レール
50、51 アドヒージョン装置
53〜55 下部反射防止膜形成装置
56〜58、66〜68、74〜78、85〜88 熱処理装置
60〜65 レジスト塗布装置
70〜73 上部反射防止膜形成装置
80〜84 現像処理装置
120 バッファ部
121 フレーム
122 保持部材
123 バッファ部搬送機構
150 ウェハ搬送機構
151 搬送アーム
152 アーム部
154 吸着パッド
155 アーム移動機構
190 ウェハ搬送機構
191 搬送アーム
192 アーム部
194 保持部
195 アーム移動機構
C カセット
G1〜G4 第1〜第4の処理装置群
W ウェハ
Claims (22)
- 基板の処理システムであって、
複数の基板を鉛直方向に多段に留置し、基板搬送装置を中心とする円周上を移動する複数のバッファ部と、
基板に所定の処理を行う処理装置を鉛直方向に多段に備え、前記円周の外側に配置された複数の処理装置群と、を有し、
前記基板搬送装置は、前記バッファ部間で基板を搬送し、
前記処理装置は、当該処理装置と前記バッファ部との間で基板を搬送する基板搬送機構を有することを特徴とする、基板処理システム。 - 前記バッファ部は、前記円周上で移動させるバッファ部搬送機構を有することを特徴とする、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記複数のバッファ部は、回転テーブル上の前記円周上に配置され、
前記回転テーブルは、前記基板搬送装置を中心に回転可能であることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記バッファ部は、鉛直方向に移動させるバッファ部移動機構を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記バッファ部移動機構は、前記バッファ部の鉛直方向の中心軸周りに当該バッファ部を回転させることを特徴とする、請求項4に記載の基板処理システム。
- 前記基板搬送装置は、複数の基板を保持可能であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の基板処理システム。
- 複数の基板を収容するカセットを基板処理システムの外部との間で搬入出する際に載置するカセット載置部と、
前記カセット載置部とカセット載置部側の前記バッファ部との間で基板を搬送する他の基板搬送装置と、を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の基板処理システム。 - 前記他の基板搬送装置は、複数の基板を保持可能であることを特徴とする、請求項7に記載の基板処理システム。
- 前記複数の処理装置群は、基板に所定の液体を供給して処理を行う液処理装置が鉛直方向に多段に配置された液処理装置群と、基板に所定の温度で熱処理を行う熱処理装置が鉛直方向に多段に配置された熱処理装置群と、を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記複数の処理装置群は、基板に所定の液体を供給して処理を行う液処理装置と、基板に所定の温度で熱処理を行う熱処理装置とが鉛直方向に多段に配置された処理装置群を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の基板処理システム。
- 一の前記処理装置群には、前記液処理装置と前記熱処理装置とを備えた処理装置層が鉛直方向に多段に配置されていることを特徴とする、請求項10に記載の基板処理システム。
- 前記バッファ部は、内部に基板を保管するフレームと、前記フレームにおいて鉛直方向に所定の間隔で複数設けられ、基板を保持する保持部材と、を有することを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記バッファ部は、内部に基板を保管するフレームと、前記フレームにおいて鉛直方向に所定の間隔で複数設けられ、当該フレームの内部を複数に区画する平板状部材と、前記平板状部材の上面に設けられ、基板を保持する保持部材と、を有することを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記フレームは、側面が開口した円筒形状を有することを特徴とする、請求項12又は13に記載の基板処理システム。
- 前記フレームは、側面が開口した直方体形状を有することを特徴とする、請求項12又は13に記載の基板処理システム。
- 前記バッファ部は、鉛直方向に延伸する支持部材と、前記支持部材において鉛直方向に所定の間隔で設けられ、基板を保持する保持部材と、を有することを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記基板搬送機構は、一対のアーム部と、前記アーム部に設けられ、基板を保持する保持部とを備えた搬送アームと、前記一対のアーム部の間隔を調整すると共に、前記搬送アームを水平方向に移動させるアーム移動機構と、を有することを特徴とする、請求項1〜16のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記基板搬送機構は、基板の外周に適合する形状を有するアーム部と、前記アーム部に設けられ、基板を保持する保持部と、を備えた搬送アームと、前記搬送アームを水平方向に移動させるアーム移動機構と、を有することを特徴とする、請求項1〜16のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記アーム移動機構は、前記搬送アームを鉛直方向に移動させることを特徴とする、請求項17又は18に記載の基板処理システム。
- 前記基板搬送機構は、基板を保持して搬送する搬送アームを有し、前記搬送アームは、屈曲自在に連結された複数のアーム部と、先端の前記アーム部に設けられ、基板を保持する保持部と、を有することを特徴とする、請求項1〜16のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記基板搬送機構は、前記搬送アームを鉛直方向に移動させるアーム移動機構を有することを特徴とする、請求項20に記載の基板処理システム。
- 前記基板搬送機構は、前記搬送アームを複数有することを特徴とする、請求項17〜21のいずれかに記載の基板処理システム。
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