JP5661584B2 - 基板処理システム、基板搬送方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
前記処理ステーションには、前記処理順に配置された処理ユニット群が、少なくとも上下方向に2段設けられていてもよい。
2 カセットステーション
3 処理ステーション
4 露光ユニット
5 インターフェイスステーション
6 制御装置
10 カセット搬入出部
11 ウェハ搬送部
12 カセット載置台
13 カセット載置板
20 搬送路
21 ウェハ搬送機構
22 受け渡しブロック
30〜35 受け渡しユニット
40 下部反射防止膜形成ユニット
41 レジスト塗布ユニット
42 上部反射防止膜形成ユニット
43 現像処理ユニット
50〜52 熱処理ユニット
53 アドヒージョンユニット
54 周辺露光ユニット
60〜65 受け渡しユニット
70〜72 ウェハ搬送機構
90 ウェハ搬送機構
100 第1の搬送アーム
101 第2の搬送アーム
102 保持部
110 アーム駆動部
111 基台
112 回転駆動部
113 シャフト
120 筐体
140〜146 プレート
150 貫通孔
151 昇降ピン
160 基板搬送装置
170 直動レール
171、172 昇降基台
173、174 昇降機構
175 モータ
176 プーリ
W ウェハ
F カップ
D ウェハ搬送領域
C カセット
Claims (15)
- 基板を処理する複数の処理ユニットが上下方向に多段に設けられた処理ステーションと、複数枚の基板を収容するカセットを載置するカセット載置部と、前記処理ステーションと前記カセット載置部との間に配置された複数の基板搬送機構と、を備えた基板処理システムにおいて、
前記処理ステーションと前記基板搬送機構との間には、前記カセット載置部と前記処理ステーションとの間で搬送される基板、及び前記処理ユニットの各段の間で搬送される基板を一時的に収容する複数の受け渡しユニットが多段に設けられた受け渡しブロックを備え、
前記複数の基板搬送機構は、前記受け渡しブロックの両側近傍に配置され、
各基板搬送機構は、鉛直方向に移動可能な昇降基台上に支持された回転駆動部に支持され、
前記複数の基板搬送機構は、各々前記カセット載置部と前記各受け渡しユニットとの間で基板を搬送する第1の搬送アームと、前記各受け渡しユニットの各段の間で基板を搬送する第2の搬送アームとを備え、
前記カセット載置部上のカセットは、前記回転駆動部によって回動する基板搬送機構の回動中心方向に向けて配置されていることを特徴とする、基板処理システム。 - 前記複数の処理ユニットは、当該処理ユニットで処理される基板の搬送経路が最短となるように上下方向に基板の処理順に並べて配置され、
前記処理ステーションには、前記処理順に配置された処理ユニット群が、上下方向に少なくとも2段設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記複数の基板搬送機構の動作を制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記第1の搬送アームによる基板搬送のタイミングと、前記第2の搬送アームによる基板搬送のタイミングが重複した場合には、基板が待機状態となる時間が最小限となるように、いずれか一方の搬送アームにより優先して基板を搬送する制御を行うことを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記複数の基板搬送機構の動作を制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記第1の搬送アームによる基板搬送のタイミングと、前記第2の搬送アームによる基板搬送のタイミングが重複した場合には、前記第1の搬送アームによる前記カセット載置部と前記各受け渡しユニットとの間の基板搬送を優先するように制御し、基板を搬送していない他の基板搬送機構により、前記各受け渡しユニットの各段の間で搬送を行うように制御することを特徴とする、1または2のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記受け渡しユニットは、基板を載置するプレートを複数有し、前記各プレートは基板を冷却する冷却板又は基板の温度調整を行う温度調整板であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 前記搬送機構は、前記第1の搬送アーム及び前記第2の搬送アームを水平方向及び上下方向に移動させるアーム駆動部を有することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 前記受け渡しユニットにおける各段の間で基板を搬送する基板搬送装置が、前記受け渡しブロックと前記カセット載置部との間で且つ前記複数の基板搬送機構の間に配置されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 基板を処理する複数の処理ユニットが上下方向に多段に設けられた処理ステーションと、複数枚の基板を収容するカセットを載置するカセット載置部と、前記処理ステーションと前記カセット載置部との間に配置された複数の基板搬送機構と、を備えた基板処理システムにおける基板の搬送方法であって、
前記処理ステーションと前記基板搬送機構との間には、前記カセット載置部と前記処理ステーションとの間で搬送される基板、及び前記処理ユニットの各段の間で搬送される基板を一時的に収容する複数の受け渡しユニットが多段に設けられた受け渡しブロックを備え、
前記複数の基板搬送機構は、前記受け渡しブロックの両側近傍に配置され、
各基板搬送機構は、鉛直方向に移動可能な昇降基台上に支持された回転駆動部に支持され、
前記複数の基板搬送機構は、各々前記カセット載置部と前記各受け渡しユニットとの間で基板を搬送する第1の搬送アームと、前記各受け渡しユニットの各段の間で基板を搬送する第2の搬送アームとを備え、
前記カセット載置部上のカセットは、前記回転駆動部によって回動する基板搬送機構の回動中心方向に向けて配置され、
前記カセット載置部と前記各受け渡しユニットとの間の基板搬送は、前記基板搬送機構の第1の搬送アームにより行われ、前記各受け渡しユニットの各段の間での基板搬送は、前記基板搬送機構の第2の搬送アームにより行われることを特徴とする、基板搬送方法。 - 前記第1の搬送アームによる基板搬送のタイミングと、前記第2の搬送アームによる基板搬送のタイミングが重複した場合には、基板が待機状態となる時間が最小限となるように、いずれか一方の搬送アームにより優先して基板を搬送することを特徴とする、請求項8に記載の基板搬送方法。
- 前記複数の処理ユニットは、当該処理ユニットで処理される基板の搬送経路が最短となるように上下方向に基板の処理順に並べて配置され、
前記処理ステーションには、前記処理順に配置された処理ユニット群が、少なくとも上下方向に2段設けられていることを特徴とする、請求項8または9のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記第1の搬送アームによる基板搬送のタイミングと、前記第2の搬送アームによる基板搬送のタイミングが重複した場合には、前記第1の搬送アームによる前記カセット載置部と前記各受け渡しユニットとの間の基板搬送を優先して行い、
基板を搬送していない他の基板搬送機構により、前記各受け渡しユニットの各段の間における搬送を行うことを特徴とする、請求項8〜10のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記受け渡しユニットにおける各段の間の搬送は、前記受け渡しブロックと前記カセット載置部との間で且つ前記複数の基板搬送機構の間に設けられた、前記受け渡しユニットにおける各段の間の基板搬送を行う基板搬送装置により行われることを特徴とする、請求項8〜11のいずれか一項に記載の基板搬送方法。
- 前記受け渡しユニットは、基板を載置するプレートを複数有し、前記各プレートは基板を冷却する冷却板又は基板の温度調整を行う温度調整板であることを特徴とする、請求項8〜12のいずれか一項に記載の基板搬送方法。
- 請求項8〜13のいずれか一項に記載の基板搬送方法を基板処理システムによって実行させるように、当該基板処理システムを制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項14に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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