JP2010010708A - インプリント・リソグラフィ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インプリント方法が開示されており、一例では、基板上のインプリント可能媒体から成る離隔した第一および第二ターゲット領域を、第一および第二テンプレートにそれぞれ接触させて、インプリント可能媒体に第一および第二インプリントをそれぞれ形成し、かつ、第一および第二テンプレートをインプリント済み媒体から分離する。
【選択図】図4
Description
基板の離隔した第一および第二ターゲット領域にインプリント可能媒体を投与する段階と、
前記離隔した第一および第二ターゲット領域を第一および第二テンプレートにそれぞれ接触させて、前記インプリント可能媒体に第一および第二インプリントをそれぞれ形成する段階と、
前記第一および第二テンプレートをインプリントされた前記インプリント可能媒体から分離する段階と、
基板の離隔した第三および第四ターゲット領域にインプリント可能媒体を投与する段階と、
前記インプリント可能媒体の第一領域から第三領域に、第一方向で前記第一テンプレートを動かし、また、前記インプリント可能媒体の第二領域から第四領域に、第二方向で前記第二テンプレートを動かす段階と、
前記第三および第四ターゲット領域を前記第一および第二テンプレートにそれぞれ接触させて、前記インプリント可能媒体に第三および第四インプリントをそれぞれ形成する段階とを含むインプリント方法。
一例によれば、インプリント可能媒体の離隔したターゲット領域を形成するために、別々の第一、第二、第三および第四分量のインプリント可能媒体を基板上に投与することができる。
基板を保持するようになされた基板テーブルと、
第一および第二テンプレートを支持するようになされたテンプレート支持体であり、前記第一および第二テンプレートを基板上のインプリント可能媒体の離隔した第一および第二ターゲット領域にそれぞれ接触させて、前記インプリント可能媒体に第一および第二インプリントをそれぞれ形成するように構成され、かつ、前記第一および第二テンプレートをインプリントされた前記インプリント可能媒体から分離するように構成された前記テンプレート支持体と、
離隔した前記第一および第二ターゲット領域を形成するために、第一分量の前記インプリント可能媒体を投与するように構成された第一投与器と、
第二分量の前記インプリント可能媒体を投与するように構成された第二投与器とを含むインプリント装置。
Claims (18)
- 基板の離隔した第一および第二ターゲット領域にインプリント可能媒体を投与する段階と、
前記離隔した第一および第二ターゲット領域を第一および第二テンプレートにそれぞれ接触させて、前記インプリント可能媒体に第一および第二インプリントをそれぞれ形成する段階と、
前記第一および第二テンプレートをインプリントされた前記インプリント可能媒体から分離する段階と、
基板の離隔した第三および第四ターゲット領域にインプリント可能媒体を投与する段階と、
前記インプリント可能媒体の第一領域から第三領域に、第一方向で前記第一テンプレートを動かし、また、前記インプリント可能媒体の第二領域から第四領域に、第二方向で前記第二テンプレートを動かす段階と、
前記第三および第四ターゲット領域を前記第一および第二テンプレートにそれぞれ接触させて、前記インプリント可能媒体に第三および第四インプリントをそれぞれ形成する段階とを含むインプリント方法。 - 前記インプリント可能媒体の前記離隔したターゲット領域を形成するために、分離した第一、第二、第三および第四分量の前記インプリント可能媒体を前記基板に投与することを含む請求項1に記載されたインプリント方法。
- 前記第一方向が前記第二方向と実質的に平行である請求項1に記載されたインプリント方法。
- 前記第一および第二テンプレートが前記インプリント可能媒体に同時に接触する請求項1に記載されたインプリント方法。
- 前記第一および第二テンプレートが、前記インプリント可能媒体と順番に接触する請求項1に記載されたインプリント方法。
- 基板を保持するようになされた基板テーブルと、
第一および第二テンプレートを支持するようになされたテンプレート支持体であり、前記第一および第二テンプレートを基板上のインプリント可能媒体の離隔した第一および第二ターゲット領域にそれぞれ接触させて、前記インプリント可能媒体に第一および第二インプリントをそれぞれ形成するように構成され、かつ、前記第一および第二テンプレートをインプリントされた前記インプリント可能媒体から分離するように構成された前記テンプレート支持体と、
離隔した前記第一および第二ターゲット領域を形成するために、第一分量の前記インプリント可能媒体を投与するように構成された第一投与器と、
第二分量の前記インプリント可能媒体を投与するように構成された第二投与器とを含むインプリント装置。 - 前記第一および第二投与器が前記第一および第二テンプレートとそれぞれ組合わされている請求項6に記載されたインプリント装置。
- 前記第一および第二投与器が前記第一および第二テンプレートに対して固定関係にある請求項7に記載されたインプリント装置。
- 前記第一および第二投与器が複数の開口を有する請求項7に記載されたインプリント装置。
- 前記複数の開口が二次元配列された開口を含む請求項9に記載されたインプリント装置。
- 前記複数の開口が単一列の開口を含む請求項9に記載されたインプリント装置。
- 離隔した第三および第四ターゲット領域を形成するために、前記投与器が別々の第三および第四分量の前記インプリント可能媒体を前記基板に投与するように構成されている請求項6に記載されたインプリント装置。
- 前記第一および第二テンプレートを前記インプリント可能媒体の前記第一および第二領域から分離した後、第一方向で前記第一テンプレートが前記インプリント可能媒体の前記第一領域から前記第三領域に動かされ、かつ、第二方向で前記第二テンプレートが前記インプリント可能媒体の前記第二領域から前記第四領域に動かされるように前記テンプレート支持体を動かすことができ、また、前記第三および第四ターゲット領域を前記第一および第二テンプレートにそれぞれ接触させて前記インプリント可能媒体に第三および第四インプリントをそれぞれ形成するように前記テンプレート支持体を動かすことができる請求項12に記載されたインプリント装置。
- 前記第一方向が前記第二方向と実質的に平行である請求項13に記載されたインプリント装置。
- 前記第一および第二テンプレートが、前記インプリント可能媒体の前記第一および第二領域と、同時に接触するように、前記テンプレート支持体を動かすことができる請求項6に記載されたインプリント装置。
- 前記第一および第二テンプレートが、前記インプリント可能媒体の前記第一および第二領域と、順番に接触するように前記テンプレート支持体を動かすことができる請求項6に記載されたインプリント装置。
- 前記第一テンプレートが前記第二テンプレートに対して固定関係にあるように前記テンプレート支持体が構成されている請求項6に記載されたインプリント装置。
- 前記第一テンプレートが前記第二テンプレートに対して可動であるように前記テンプレート支持体が構成されている請求項6に記載されたインプリント装置。
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