JP2009231661A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバー6のチャンバー側部61には円環状の反射リング68,69が着脱自在に装着される。反射リング68の下端面と、反射リング69の上端面とで挟まれた円環状の凹部62が形成され、その凹部62が半導体ウェハーWを保持する保持部7を囲繞する。搬送開口部66は凹部62の外周面に連通接続されている。凹部62が形成されることによって、ハロゲンランプHLおよびフラッシュランプFLから出射された光が保持部7の周囲において不均一に反射されて半導体ウェハーWに入射することが防止され、熱処理時における半導体ウェハーWの面内温度分布の均一性を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
2 シャッター機構
3 制御部
4 ハロゲン加熱部
5 フラッシュ加熱部
6 チャンバー
7 保持部
10 移載機構
11 移載アーム
13 水平移動機構
14 昇降機構
21 シャッター板
22 スライド駆動機構
49,78,79 プローブ
61 チャンバー側部
62 凹部
63 上側チャンバー窓
64 下側チャンバー窓
65 熱処理空間
66 搬送開口部
68,69 反射リング
70 サセプタ
75 均熱リング
81,86 スリット
82,87 緩衝空間
83,88 ガス配管
91,93 排気管
84,89,92,94 バルブ
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
Claims (6)
- 基板に対して光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
上下が開口された筒状の内壁面を有するチャンバーと、
前記チャンバー内にて基板を水平姿勢に保持する保持手段と、
前記チャンバーの上側に設けられ、前記保持手段に保持された基板に光を照射する第1光照射手段と、
前記チャンバーの下側に設けられ、前記保持手段に保持された基板に光を照射する第2光照射手段と、
前記チャンバーの上側開口を閉塞し、前記第1光照射手段から照射された光をチャンバー内に透過する第1チャンバー窓と、
前記チャンバーの下側開口を閉塞し、前記第2光照射手段から照射された光をチャンバー内に透過する第2チャンバー窓と、
前記チャンバーの側壁に形成され、前記チャンバーに対して基板の搬入出を行う搬送開口部と、
を備え、
前記チャンバーの内壁面に前記保持手段の側方を囲繞する環状の凹部が水平方向に沿って形成され、前記凹部の鉛直方向幅は前記搬送開口部の鉛直方向幅よりも大きく、前記搬送開口部は前記凹部の外周面に連通接続されることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記チャンバーの側壁内側に、内周面が鏡面とされた環状の反射壁板を前記凹部を挟んで上下のそれぞれに着脱自在に装着することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記凹部の上下に装着された前記反射壁板のうち少なくとも一方の内周面に前記保持手段の側に向けて拡がるテーパ面を形成することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の熱処理装置において、
支持ピンを立設した一対の移載アーム、前記一対の移載アームを前記保持手段に対して基板の移載を行う移載動作位置と前記保持手段に保持された基板と平面視で重ならない退避位置との間で水平移動させる水平移動手段、および、前記一対の移載アームを前記移載動作位置にて鉛直方向に沿って昇降させて前記保持手段に対する基板の移載を行う昇降手段を有する移載手段をさらに備え、
前記退避位置は前記凹部の内側に設けられていることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記保持手段に保持された基板の温度を測定する温度測定手段を前記凹部の内側に設けることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記第1光照射手段はフラッシュランプを備え、
前記第2光照射手段はハロゲンランプを備えることを特徴とする熱処理装置。
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