JP2009175719A - 反射電極、表示デバイス、および表示デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に形成される反射電極2は0.1〜2原子%のNi及び/又はCo、並びに0.1〜2原子%のLaなどのXを含有する第1のAl−(Ni/Co)−X合金層2aと、AlとO(酸素)を含有する第2のAl酸化物層2bとを有している。Al酸化物層は透明画素電極3と直接接続しており、Al酸化物層中のO原子数とAl原子数との比である[O]/[Al]が、0.30以下であり、Al酸化物層の最も薄い部分の厚みが10nm以下である。反射電極は、Al酸化物層と前記透明画素電極とが直接接続する領域において、透明画素電極と前記基板との間に形成されている。
【選択図】図3
Description
透過モードでは、TFT基板21の下部に配置されたバックライト41の光Fを光源として使用する。バックライト41から出射した光は、透明電極19aおよび透過領域Aを介して液晶層23に入射し、透明電極19aと共通電極13との間に形成される電界によって液晶層23における液晶分子の配列方向が制御され、液晶層23を通過するバックライト41からの入射光Fが変調される。これにより、対向基板15を透過する光の透過量が制御されて画像が表示される。
本発明の第1の製造方法は、
基板上に、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層を形成する工程(工程I)と、
形成したAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層を、真空または不活性ガス雰囲気下で200℃以上の温度で熱処理する工程(工程A)と、
スパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する工程(工程II)と、
を順次、包含している。
まず、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層(第1の層)を形成する。スパッタ蒸着による成膜方法は特に限定されず、Al合金膜などの成膜に通常用いられる方法であれば特に限定されないが、例えば、真空雰囲気や不活性雰囲気下にて、圧力をおおむね、2mmTorr程度、基板温度を室温〜約250℃の範囲内に制御することが好ましい。Al合金膜の厚さは、おおむね、50〜300nmの程度にすることが好ましい。
次に、上記の工程Iによって形成したAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層(第1の層)を、真空または不活性ガス雰囲気下で200℃以上の温度で熱処理する。この熱処理は、本発明の第1の製造方法を特徴付ける工程であり、これにより、所望とする第2のAl酸化物層(酸素が少なく、最薄部の厚みが薄いAl酸化物層)が得られる。後記する実施例で実証したように、熱処理を省略したり熱処理温度が外れると、所望とする第2の層が得られず、接触抵抗が低下する。
最後に、スパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する。スパッタ蒸着の条件は使用する透明画素電極の種類に応じ、公知の適切な方法を採用すれば良い。例えばITOを成膜する場合は、真空雰囲気やArなどの不活性雰囲気下にて、圧力をおおむね、1mmTorr程度、基板温度をおおむね室温〜250℃に制御し、おおむね、50〜300nm程度のITO膜を成膜することが好ましい。
本発明の第2の製造方法は、
基板上に、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層を形成する工程(工程I)と、
形成したAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層上にスパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する工程であって、前記スパッタ蒸着の初期段階において、窒素成分を含有する蒸着雰囲気中でスパッタ蒸着を行う工程(工程IIa)と、
を順次、包含している。
次に、工程Iによって形成したAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層上にスパッタ蒸着によって透明画素電極を形成するが、ここでは、スパッタ蒸着の初期段階において、窒素成分(好ましくはN2ガス)を含有する蒸着雰囲気中でスパッタ蒸着を行う。第2の製造方法では、スパッタ蒸着による透明画素電極の形成工程を、蒸着雰囲気を適切に制御して実施したところに特徴があり、上記蒸着雰囲気以外の条件は、通常用いられるスパッタ蒸着条件を採用すれば良い。
本発明の第3の製造方法は、
基板上に、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層を形成する工程(工程I)と、
形成したAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層を逆スパッタする工程(工程B)と、
スパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する工程(工程II)と、
を順次、包含している。
ここでは、工程Iによって得られたAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層(第1の層)を逆スパッタする。本発明において逆スパッタとは、通常のスパッタ蒸着におけるターゲット側電極および基板側電極に印加する電圧を逆にして、イオン化された不活性ガス(例えばArイオン)を、ターゲットに衝突させるのではなく、基板上のAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層に衝突させることを意味する。このような逆スパッタによってAl−(Ni/Co)−X−(Z)合金層上に形成されたAl酸化物層が除去され、清浄なAl−Ni−La合金層が形成される。そして清浄なAl−Ni−La合金層上に透明画素電極をスパッタ蒸着によって成膜することによって、Al酸化物層(第2の層)中の酸素量を低下させることができる。これにより、界面でのAlとO(酸素)の相互拡散を防止できるほか、合金層表面のコンタミも除去することができる。
本実施例では、前述した第1の製造方法について検討した。
上記のようにして形成した反射電極の試料に、フォトリソグラフィーおよびエッチングによって、接触抵抗測定パターン(接触エリア:20、40、80μm□)を形成した後、窒素雰囲気で177℃(450K)×1時間の熱処理を行った後、接触抵抗値を四端子ケルビン法で測定した。結果を表1に示す。
(1)表1の試料No.2(熱処理無し)およびNo.27(N2雰囲気下200℃で
熱処理)の第1の層(Al−2.0原子%Ni−0.35原子%La合金層)とITO膜との界面を、透過型電子顕微鏡(日立製作所製、型名:HF2000)で観察して、Al酸化物層の最薄部の厚みを求めた(観察領域:約10μm、観察倍率:15万倍)。さらにこれら試料のAl酸化物層の組成を、電子励起型特性X線分析によって測定した。これらの結果を、表1、並びに図4および5に示す。
(2)残りの試料(表1の試料No.2および27以外のもの)のAl酸化物層の組成([O]/[Al]比)および最薄部の厚みを、X線光電子分光法(XPS)によって測定した。結果を表1に示す。
本実施例では、前述した第2の製造方法について検討した。
本実施例では、前述した第3の製造方法について検討した。
であった。これに対して逆スパッタを行わなかった比較例の試料では、酸化物層(第2の層)の最薄部の厚みは18nmであり、[O]/[Al]比は0.55であり、接触抵抗値は2000〜2800μΩ/cm2であった。
本実施例では、Ni量のみが異なる表1の下記試料を用いた。これらは全て、本発明の第1の製造方法で製造した本発明例である。
・Al−0.5%Ni−0.10%Laの例として、No.22(熱処理温度150℃)、No.25(熱処理温度200℃)、No.28(熱処理温度250℃)
・Al−1.0%Ni−0.35%Laの例として、No.23(熱処理温度150℃)、No.26(熱処理温度200℃)、No.29(熱処理温度250℃)
・Al−2.0%Ni−0.35%Laの例として、No.24(熱処理温度150℃)、No.27(熱処理温度200℃)、No.30(熱処理温度250℃)
本実施例は、上記実施例1の改変例であり、Al合金層として、Al−Ni−La−Cu合金層を用いた例である。詳細には、上記実施例1における表1に示す組成のAl−Ni−La合金層を用いる代わりに、表2に示す組成のAl−Ni−La−Cu合金層を用い、表2に示す熱処理を行なったこと以外は、実施例1と同様にして反射電極の各試料を作製した。次いで、上記実施例1と同様にして、接触抵抗値、Al酸化物層の最薄部の厚み、および酸素とAlの比([O]/[Al]比)を求めた。これらの結果を表2にまとめて示す。
本実施例は、上記実施例1の更なる改変例であり、Al合金層として、Al−(Ni/Co)−La−Ge合金層(Geは0原子%を含む)を用いた例である。本実施例では、特にGeの添加効果を示すためにAl合金の組成を設定しており、(Ni/Co)の含有量が0.2原子%と、本発明の範囲内(0.1〜2原子%)ではあるが低めに設定した場合における、Geの添加効果(具体的には、接触抵抗値の更なる低減作用)を調べた。
2a 第1の層(Al−Ni−La合金層)
2b 第2の層(Al酸化物層:AlOx、x≦0.30)
2 反射電極
3 透明画素電極(ITOなど)
5 ゲート配線
7 データ配線
8 ゲート電極
9 ソース電極
10 ドレイン電極
11 半透過型液晶表示装置
13 共通電極
15 対向基板
16 ブラックマトリックス
17 カラーフィルター
19 画素電極
19a 透明電極(画素電極)
19b 反射電極
21 TFT基板
23 液晶層
24 ソース領域
25 ドレイン領域
26 チャネル層
27 ゲート絶縁膜
51 バリアメタル層
T スイッチング素子(TFT)
Claims (12)
- 基板上に形成される表示デバイス用の反射電極であって、
前記反射電極は、
0.1〜2原子%のNi及び/又はCo、並びに
0.1〜2原子%のX(Xは、La,Mg,Cr,Mn,Ru,Rh,Pt,Pd,Ir,Ce,Pr,Gd,Tb,Dy,Nd,Ti,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W,Y,Fe,Sm,Eu,Ho,Er,Tm,Yb,およびLuよりなる群から選択される少なくとも一種の元素である。)
を含有する第1のAl−(Ni/Co)−X合金層と;
AlとO(酸素)を含有する第2のAl酸化物層と、を有し、
前記第2のAl酸化物層が、透明画素電極と直接接続しており、
前記第2のAl酸化物層中のO原子数とAl原子数との比である[O]/[Al]が、0.30以下であり、
前記第2のAl酸化物層の最も薄い部分の厚みが、10nm以下であり、
前記反射電極が、前記第2のAl酸化物層と前記透明画素電極とが直接接続する領域において、前記透明画素電極と前記基板との間に形成されていることを特徴とする反射電極。 - 前記第1のAl−(Ni/Co)−X合金層は、0.1〜2原子%のNiを含有する請求項1に記載の反射電極。
- 前記第1のAl−(Ni/Co)−X合金層は、0.1〜2原子%のNi及び/又はCoと、0.1〜2原子%のLa及び/又はNdと、を含有するものである請求項1に記載の反射電極。
- 前記第1のAl−(Ni/Co)−X合金層は、0.1〜2原子%のNiと、0.1〜2原子%のLaと、を含有するものである請求項3に記載の反射電極。
- 前記第1のAl−(Ni/Co)−X合金層は、更に0.1〜2原子%のZ(Zは、Ge、Cu、およびSiよりなる群から選択される少なくとも一種の元素である。)を含有するものである請求項1〜4のいずれかに記載の反射電極。
- 前記第1のAl−(Ni/Co)−X合金層は、0.1〜2原子%のNi及び/又はCoと、0.1〜2原子%のLa及び/又はNdと、0.1〜2原子%のGe及び/又はCuと、を含有するものである請求項5に記載の反射電極。
- 前記透明画素電極が、酸化インジウム錫(ITO)および/または酸化インジウム亜鉛(IZO)である請求項1〜6のいずれかに記載の反射電極。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の反射電極を備えた表示デバイス。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の反射電極を備えた表示デバイスを製造する方法であって、
基板上に、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X合金層を形成する工程と、
形成したAl−(Ni/Co)−X合金層を、真空または不活性ガス雰囲気下で200℃以上の温度で熱処理する工程と、
スパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する工程と、
を順次、包含することを特徴とする表示デバイスの製造方法。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の反射電極を備えた表示デバイスを製造する方法であって、
基板上に、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X合金層を形成する工程と、
形成したAl−(Ni/Co)−X合金層の上にスパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する工程であって、前記スパッタ蒸着の少なくとも初期段階において、窒素成分を含有する蒸着雰囲気中でスパッタ蒸着を行う工程と、
を順次、包含することを特徴とする表示デバイスの製造方法。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の反射電極を備えた表示デバイスを製造する方法であって、
基板上に、スパッタ蒸着によってAl−(Ni/Co)−X合金層を形成する工程と、
形成したAl−(Ni/Co)−X合金層を逆スパッタする工程と、
スパッタ蒸着によって透明画素電極を形成する工程と、
を順次、包含することを特徴とする表示デバイスの製造方法。 - 前記Al−(Ni/Co)−X合金層は、更に0.1〜2原子%のZ(Zは、Ge、Cu、およびSiよりなる群から選択される少なくとも一種の元素である。)を含有するものである請求項9〜11のいずれかに記載の製造方法。
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