JP5060904B2 - 反射電極および表示デバイス - Google Patents
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Description
透過モードでは、TFT基板21の下部に配置されたバックライト41の光Fを光源として使用する。バックライト41から出射した光は、透明電極19aおよび透過領域Aを介して液晶層23に入射し、透明電極19aと共通電極13との間に形成される電界によって液晶層23における液晶分子の配列方向が制御され、液晶層23を通過するバックライト41からの入射光Fが変調される。これにより、対向基板15を透過する光の透過量が制御されて画像が表示される。
本実施例では、Al−1.0原子%Ni合金薄膜(本実施例では、Al−Ni合金と呼ぶ。)について、以下に示すように、反射率、接触抵抗、Al−Ni合金薄膜自体の電気抵抗率、および耐熱性を測定した。なお、Al中のNi含有量は、ICP発光分析(誘導結合プラズマ発光分析)法によって求めた。
雰囲気ガス=アルゴン、圧力=3mTorr
反射率は、日本分光株式会社製の可視・紫外分光光度計「V−570」を用い、測定波長:1000〜250nmの範囲における分光反射率を測定した。具体的には、基準ミラーの反射光強度に対して、試料の反射光高度を測定した値を「分光反射率」とした。
ここでは、透明電極(画素電極)を構成する酸化物導電膜として、酸化インジウムに10質量%の酸化スズを加えた酸化インジウムスズ(ITO)を用い、以下のようにして接触抵抗を調べた。
Al合金薄膜自体の電気抵抗率を、ケルビンパターンを用いて4端子法で測定し、電気抵抗率が7μΩ・cm以下のものを良好、7μΩ・cm超のものを不良と評価した。
ガラス基板上に、スパッタリング法によって厚さ約150nmのAl−Ni合金薄膜を形成した。スパッタリング条件は以下のとおりである。
雰囲気ガス=アルゴン、圧力=3mTorr
反射率 :加熱処理前(88%)→加熱処理後(90%超)
接触抵抗 :加熱処理前(250〜3000Ω)→加熱処理後(10〜800Ω)
電気抵抗率 :3.8μΩ・cm
ヒロック密度:8×108個/m2
本実施例では、Al−2.0原子%Ni−0.3原子%La合金(本実施例では、Al−Ni−La合金と略記する。)を用いたこと以外は、前述した実施例1と同様にして前記(1)〜(4)の特性を調べた。
反射率 :加熱処理前(88%)→加熱処理後(90%超)
接触抵抗 :加熱処理前(200〜2000Ω)→加熱処理後(10〜800Ω)
電気抵抗率 :3.5μΩ・cm
ヒロック密度:1×109個/m2
本実施例では、Al−Ni−La合金薄膜について、Niの含有量を0.2〜2.0原子%の範囲で種々変化させたときの反射率および接触抵抗を測定した。
雰囲気ガス=アルゴン、圧力=0.2〜0.5Pa
2 Al−Ni系合金薄膜
5 ゲート配線
7 データ配線
11 半透過型液晶表示装置
13 共通電極
15 対向基板
16 ブラックマトリックス
17 カラーフィルター
19 画素電極
19a 透明電極(画素電極)
19b 反射電極
21 TFT基板21
23 液晶層
41 バックライト
51 バリアメタル層
T スイッチング素子(TFT)
P 画素領域
A 透過領域
B 周囲光(人工光源)
C 反射領域
F バックライトからの光
1a ガラス基板
25 走査線
26 ゲート電極
27 ゲート絶縁膜(シリコン窒化膜)
28 ソース電極
29 ドレイン電極
30 保護膜(シリコン窒化膜)
33 アモルファスシリコンチャネル膜(活性半導体膜)
51、52、54 バリアメタル層
55 ノンドーピング水素化アモルファスシリコン膜(a−Si−H)
56 n+型水素化アモルファスシリコン膜(n+a−Si−H)
Claims (3)
- Niを0.1〜2原子%含有するAl−Ni合金の薄膜からなり、
前記Al−Ni合金の薄膜は、酸化物導電膜と直接接続すると共に、
前記Al−Ni合金の薄膜と前記酸化物導電膜との接触界面に、Ni含有析出物またはNi濃化層が形成されており、前記Ni濃化層中のNiの平均濃度は、前記Al−Ni合金中のNi含有量以上で、(Ni含有量+8原子%以下)の範囲内であることを特徴とする表示デバイス用の反射電極。 - 前記Al−Ni合金は、更に、La,Mg,Cr,Mn,Ru,Rh,Pt,Pd,Ir,Ce,Pr,Gd,Tb,Dy,Nd,Ti,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W,Y,Fe,Co,Sm,Eu,Ho,Er,Tm,Yb,およびLuよりなる群から選択される少なくとも一種の元素を0.1〜2原子%含有する請求項1に記載の反射電極。
- 請求項1または2に記載の反射電極を備えた表示デバイス。
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