JP2011021275A - Al合金反射膜、反射膜積層体、及び、自動車用灯具、照明具、ならびに、Al合金スパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1) Sc、Y、La、Gd、Tb、Luの1種以上の元素を合計で0.4〜2.5at%含有し、残部がAlおよび不可避的不純物からなり、原子間力顕微鏡で測定した膜表面の粗さが4nm以下であることを特徴とするAl合金反射膜、(2) この反射膜を有している自動車用灯具、照明具、 (3) この反射膜を形成するためのAl合金スパッタリングターゲット等。
【選択図】 図3
Description
DCマグネトロンスパッタリング装置を用いて、表1に示す組成のAl合金膜をガラス基板(コーニング#1737)上にそれぞれ成膜した。この成膜の方法の詳細を以下説明する。
Al合金膜の組成は、ICP(Inductively Coupled Plasma:誘導結合プラズマ)発光分析法によって調べた。即ち、Al合金膜を溶解できる酸を用いて試験体を溶解し、得られた溶解液中のAlと添加元素の量をICP発光分析法により測定し、それを100%に規格化してAl合金膜の組成とした(単位はat%とした)。
ガラス基板に成膜した試験体に対して、波長が250nm〜800nmの範囲の反射率を測定し、JIS 3106に従って可視光反射率を算出した。
ガラス基板に成膜した試験体を用いて粗さ測定を行なった。粗さは、原子間力顕微鏡を用いて試験体表面の粗さ形状を観察し、その平均粗さRaとして算出した。
ガラス基板上の成膜した試験体を55℃・95RH%に保持した炉内に240時間保持した後、炉内から取り出した。その後、蛍光灯下における室内照度320ルックスの環境にて反射膜積層体の反射膜を蛍光灯側に向けるようにかざし、光の透過の有無を目視にて観察する光透過試験を行なった。耐湿性試験後に光の透過が認められなかったものを「○」、光の透過が認められたものを「×」とし、「○」を合格と判断した。
ガラス基板上の成膜した試験体を1wt%KOH水溶液中に10分間浸漬させ、その後、水洗し、乾燥させた後、蛍光灯下における室内照度320ルックスの環境にて反射膜積層体の反射膜を蛍光灯側に向けるようにかざし、光の透過の有無を目視にて観察した。また、前記条件下で、膜の変色の有無を目視にて観察した。耐アルカリ性試験−1後に光の透過が認められなかったものを「○」、一部で光の透過が認められたものを「△」、ほぼ全面が透明化したものを「×」とした。また、膜の変色が認められなかったものを「○」、変色が認められたものを「×」とした。光の透過および膜の変色のいずれもが「○」を合格と判断した。
実施例1と同様の各種Al合金膜を形成した試験体を作製し、これらを用いて反射膜積層体を作製した。この作製の方法の詳細を以下説明する。前記成膜で得られた試験体を図3に示すようなプラズマCVD 装置のチャンバー内に設置し、チャンバー内を1.3×10−3Pa以下となるように真空に引いた。その後、前記装置中のバブラーとチャンバー間のニードルバルブを開いてバブラー内の有機シリコンの蒸気をチャンバー内に導入し、ニードルバルブの開閉度を調整することにより、チャンバー内圧力を1.3Paとした。その後、チャンバー内の上部電極にRFを印加し、200 Wのパワーでプラズマを発生させ、試験体上に厚さ40nmのプラズマ重合膜を形成して反射膜積層体を得た。なお、上記有機シリコンとしては、ヘキサメチルジシロキサンを用いた。
反射膜積層体を1wt%KOH水溶液中に60分間浸漬させ、その後、水洗し、乾燥させた後、蛍光灯下における室内照度320ルックスの環境にて反射膜積層体の反射膜を蛍光灯側に向けるようにかざし、光の透過の有無を目視にて観察した。また、前記条件下で、膜の変色の有無を目視にて観察した。耐アルカリ性試験−2後に光の透過が認められなかったものを「○」、光の透過が認められたものを「×」とした。また、膜の変色が認められなかったものを「○」、変色が認められたものを「×」とした。光の透過および膜の変色のいずれもが「○」を合格と判断した。
反射膜積層体を1wt%H2SO4 水溶液中に30分間浸積し、その後、水洗、乾燥させた後、蛍光灯下における室内照度320ルックスの環境にて反射膜積層体の反射膜を蛍光灯側に向けるようにかざし、光の透過の有無を目視にて観察した。また、前記条件下で、膜の変色の有無を目視にて観察した。耐酸性試験後に光の透過が認められなかったもの「○」、光の透過が認められたものを「×」とし、「○」を合格と判断した。
Al合金膜形成用のスパッタリングターゲットの実施例を以下説明する。
Claims (6)
- Sc、Y、La、Gd、Tb、Luの1種以上の元素を合計で0.4〜2.5at%含有し、残部がAlおよび不可避的不純物からなり、原子間力顕微鏡で測定した膜表面の平均粗さRaが4nm以下であることを特徴とするAl合金反射膜。
- 反射膜として請求項1記載のAl合金反射膜を有していることを特徴とする自動車用灯具、照明具。
- 請求項1記載のAl合金反射膜の上にプラズマ重合膜が形成された反射膜積層体。
- 反射膜積層体として請求項3に記載の反射膜積層体を有していることを特徴とする自動車用灯具、照明具。
- 請求項1記載のAl合金反射膜を形成するためのAl合金スパッタリングターゲットであって、Sc、Y、La、Gd、Tb、Luの1種以上の元素を合計で0.4〜4.5at%含有し、残部がAlおよび不可避的不純物からなることを特徴とするAl合金スパッタリングターゲット。
- スプレイフォーミング法により製造された請求項5記載のAl合金スパッタリングターゲット。
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