JPH05198026A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05198026A JPH05198026A JP24415292A JP24415292A JPH05198026A JP H05198026 A JPH05198026 A JP H05198026A JP 24415292 A JP24415292 A JP 24415292A JP 24415292 A JP24415292 A JP 24415292A JP H05198026 A JPH05198026 A JP H05198026A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は記録感度の高い光磁気記録媒体の
提供を目的とするものである。 【構成】 本発明の光磁気記録媒体は、基板の上に少
なくとも記録膜と反射膜とを有する光磁気記録媒体にお
いて、反射膜が少なくとも希土類元素を含んだAl合金で
あることを特徴とするものである。
提供を目的とするものである。 【構成】 本発明の光磁気記録媒体は、基板の上に少
なくとも記録膜と反射膜とを有する光磁気記録媒体にお
いて、反射膜が少なくとも希土類元素を含んだAl合金で
あることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気記録媒体、特には
反射膜を希土類元素含有Al合金として記録感度を高めた
光磁気記録媒体に関するものである。
反射膜を希土類元素含有Al合金として記録感度を高めた
光磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報化社会の進展に伴って、高密
度、大容量の記録媒体が要求されているが、なかでも光
磁気デイスクは情報の書き換えができ、かつ、媒体を交
換することができるために注目され、研究開発が続けら
れている。しかして、現在実用化されている記録媒体に
は記録膜にTbFeCoなどの希土類−遷移金属膜等が用いら
れているが、この記録膜自身はカ−回転角が小さく、再
生時のＣＮ比がカ−回転角と反射率の平方根の積に比例
するため、ＣＮ比の小さいものになってしまう。そこで
カ−回転角を大きくする目的で干渉膜を設けるものや反
射膜を設ける膜構造が広く用いられるようになり、中で
も最もよく用いられる膜構成は図１に示したように、透
明基板の上に第１の誘電体膜、記録膜、第２の誘電体
膜、反射膜の順に成膜した４層膜構造のものとされてい
る。
度、大容量の記録媒体が要求されているが、なかでも光
磁気デイスクは情報の書き換えができ、かつ、媒体を交
換することができるために注目され、研究開発が続けら
れている。しかして、現在実用化されている記録媒体に
は記録膜にTbFeCoなどの希土類−遷移金属膜等が用いら
れているが、この記録膜自身はカ−回転角が小さく、再
生時のＣＮ比がカ−回転角と反射率の平方根の積に比例
するため、ＣＮ比の小さいものになってしまう。そこで
カ−回転角を大きくする目的で干渉膜を設けるものや反
射膜を設ける膜構造が広く用いられるようになり、中で
も最もよく用いられる膜構成は図１に示したように、透
明基板の上に第１の誘電体膜、記録膜、第２の誘電体
膜、反射膜の順に成膜した４層膜構造のものとされてい
る。
【０００３】このような反射膜を有する膜構造において
は、反射膜の性質は光磁気記録媒体の性能と深くかかわ
りがある。例えば、この図１に示した四層膜構造体にお
いて第二の誘電体膜の欠如した構造においてドライブの
ヘッドから光磁気記録媒体に入射された光は記録膜を透
過し反射膜で反射されもう一度記録膜を透過し、この記
録膜を透過するときのファラデ−回転を利用して旋光角
を大きくしている。また、第二の誘電体膜を有する構造
おいては、この膜が欠如している構造に加えて、記録膜
と反射膜の間の第二の誘電体膜での多重反射を利用して
読み出し時の旋光角をさらに大きなものにし、読み出し
時のＣＮ比を大きくしている。しかして反射膜の反射率
は大きいほどよいし、光磁気記録媒体は入射された光が
記録膜に吸収されて温度が上昇しキュリ−温度もしくは
補償温度近傍まであげることにより記録を行なうもので
あるため記録膜に蓄熱されやすいほうが小さなパワ−で
記録することができるので、この放熱量を減らすには反
射膜の熱伝導度は小さいほうがよい。
は、反射膜の性質は光磁気記録媒体の性能と深くかかわ
りがある。例えば、この図１に示した四層膜構造体にお
いて第二の誘電体膜の欠如した構造においてドライブの
ヘッドから光磁気記録媒体に入射された光は記録膜を透
過し反射膜で反射されもう一度記録膜を透過し、この記
録膜を透過するときのファラデ−回転を利用して旋光角
を大きくしている。また、第二の誘電体膜を有する構造
おいては、この膜が欠如している構造に加えて、記録膜
と反射膜の間の第二の誘電体膜での多重反射を利用して
読み出し時の旋光角をさらに大きなものにし、読み出し
時のＣＮ比を大きくしている。しかして反射膜の反射率
は大きいほどよいし、光磁気記録媒体は入射された光が
記録膜に吸収されて温度が上昇しキュリ−温度もしくは
補償温度近傍まであげることにより記録を行なうもので
あるため記録膜に蓄熱されやすいほうが小さなパワ−で
記録することができるので、この放熱量を減らすには反
射膜の熱伝導度は小さいほうがよい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この反射膜と
しては従来からAlが用いられているものの純Alでは反射
率が現在の光磁気デイスクドライブで用いられている半
導体レ−ザ−の波長 800nm前後で約86％と大きいけれど
も、熱伝導度も 150W/mK以上と大きいために、これには
記録感度が充分でないという不利があるし、しかもこの
ものはアクセス速度を速くするためにドライブの回転数
を上げ、線速度を大きくすると、これに伴なって光磁気
記録媒体の単位面積あたりのレ−ザ−照射量が小さくな
り、充分な記録感度が得られなくなるという欠点もあ
る。そのため、この反射膜については熱伝導率の小さい
PdやPtを用いることが提案されている（特開平1-264649
号公報参照）が、このような金属は反射率が60〜70％と
低く、読み出し時のＣＮ比の減少を伴なうので、この反
射膜については反射率が高く、熱伝導率の低いものが求
められている。
しては従来からAlが用いられているものの純Alでは反射
率が現在の光磁気デイスクドライブで用いられている半
導体レ−ザ−の波長 800nm前後で約86％と大きいけれど
も、熱伝導度も 150W/mK以上と大きいために、これには
記録感度が充分でないという不利があるし、しかもこの
ものはアクセス速度を速くするためにドライブの回転数
を上げ、線速度を大きくすると、これに伴なって光磁気
記録媒体の単位面積あたりのレ−ザ−照射量が小さくな
り、充分な記録感度が得られなくなるという欠点もあ
る。そのため、この反射膜については熱伝導率の小さい
PdやPtを用いることが提案されている（特開平1-264649
号公報参照）が、このような金属は反射率が60〜70％と
低く、読み出し時のＣＮ比の減少を伴なうので、この反
射膜については反射率が高く、熱伝導率の低いものが求
められている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決した光磁気記録媒体に関するものであり、これは
基板の上に少なくとも記録膜と反射膜とを有する光磁気
記録媒体において、反射膜が少なくとも希土類元素を含
んだAl合金であることを特徴とするものである。
を解決した光磁気記録媒体に関するものであり、これは
基板の上に少なくとも記録膜と反射膜とを有する光磁気
記録媒体において、反射膜が少なくとも希土類元素を含
んだAl合金であることを特徴とするものである。
【０００６】すわわち、本発明者らは光磁気記録媒体に
おける反射膜の材質についで種々検討した結果、この反
射膜を希土類を含んだAl合金としたところ、この種のAl
合金で作った反射膜は反射率が高く、熱伝導率の低いも
のとなることを見出し、これを使用すれば記録感度が高
く、しかもこれを調節できることを確認して本発明を完
成させた。以下にこれをさらに詳述する。
おける反射膜の材質についで種々検討した結果、この反
射膜を希土類を含んだAl合金としたところ、この種のAl
合金で作った反射膜は反射率が高く、熱伝導率の低いも
のとなることを見出し、これを使用すれば記録感度が高
く、しかもこれを調節できることを確認して本発明を完
成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００７】
【作用】本発明は記録感度の高い光磁気記録媒体に関す
るものであり、これは基板上に少なくとも記録膜と反射
膜を有する光磁気記録媒体において、この反射膜を少な
くとも希土類元素の１種以上を含有するAl合金で作った
ものとすることを要旨とするものである。
るものであり、これは基板上に少なくとも記録膜と反射
膜を有する光磁気記録媒体において、この反射膜を少な
くとも希土類元素の１種以上を含有するAl合金で作った
ものとすることを要旨とするものである。
【０００８】本発明の光磁気記録媒体は基板上に少なく
とも記録膜と反射膜とを設けたものとされ、例えば、図
１に示したように透明基板に第１の誘電体膜、記録膜、
第２の誘電体膜、反射膜を順次成膜した４層構造や、こ
の４層構造から第１の誘電体膜を取り除いた膜構造や、
第２の誘電体膜を取り除いた膜構造のものも含まれ、こ
の記録膜は交換結合多層膜、Pt-Co などの薄膜多層膜で
あってもよいが、この反射膜は希土類元素を含むAl合金
製のものとする。
とも記録膜と反射膜とを設けたものとされ、例えば、図
１に示したように透明基板に第１の誘電体膜、記録膜、
第２の誘電体膜、反射膜を順次成膜した４層構造や、こ
の４層構造から第１の誘電体膜を取り除いた膜構造や、
第２の誘電体膜を取り除いた膜構造のものも含まれ、こ
の記録膜は交換結合多層膜、Pt-Co などの薄膜多層膜で
あってもよいが、この反射膜は希土類元素を含むAl合金
製のものとする。
【０００９】この反射膜を構成する希土類元素含有Al合
金はY、ランタノイド元素のうち１種以上を添加したAl合
金とすればよいが、このAl合金における希土類元素の添
加量は実施例１に示したように0.05原子％以上、10原子
％以下とすればよい。光磁気記録媒体における反射膜を
このようなAl合金で作ると、この反射膜は高い反射率を
保ったままで、反射膜の熱伝導率を小さくするので、こ
の光磁気記録媒体は記録感度の高いものとなるし、この
Al合金における希土類元素の添加量を調節することによ
りこの記録感度を調節することができるという有利性が
与えられる。
金はY、ランタノイド元素のうち１種以上を添加したAl合
金とすればよいが、このAl合金における希土類元素の添
加量は実施例１に示したように0.05原子％以上、10原子
％以下とすればよい。光磁気記録媒体における反射膜を
このようなAl合金で作ると、この反射膜は高い反射率を
保ったままで、反射膜の熱伝導率を小さくするので、こ
の光磁気記録媒体は記録感度の高いものとなるし、この
Al合金における希土類元素の添加量を調節することによ
りこの記録感度を調節することができるという有利性が
与えられる。
【００１０】なお、本発明における光磁気記録媒体は上
記したように、この反射膜を希土類を含有したAl合金で
作られたものとするものであるが、この反射膜は線速度
が大きくなって記録感度が悪くなる外周部で希土類の添
加を内周部より増加して熱伝導度を小さくしてもよい
し、内周から外周にむけて希土類元素の濃度勾配をつけ
たものとしてもよく、さらにはこの反射膜の膜厚を内周
よりも外周の方が薄くなるようにしたものとしてもよ
い。
記したように、この反射膜を希土類を含有したAl合金で
作られたものとするものであるが、この反射膜は線速度
が大きくなって記録感度が悪くなる外周部で希土類の添
加を内周部より増加して熱伝導度を小さくしてもよい
し、内周から外周にむけて希土類元素の濃度勾配をつけ
たものとしてもよく、さらにはこの反射膜の膜厚を内周
よりも外周の方が薄くなるようにしたものとしてもよ
い。
【００１１】
【実施例】つぎに本発明の１例としてY、 Nd、 Gd を添加
した実施例をあげる。例中における熱伝導率、反射率は
以下の方法により測定値を示したものである。 （熱伝導率）室温でシ−ト抵抗を測定し、Wiedemann-Fr
antzの法則で求める。 （反射率）波長 780nmで測定。
した実施例をあげる。例中における熱伝導率、反射率は
以下の方法により測定値を示したものである。 （熱伝導率）室温でシ−ト抵抗を測定し、Wiedemann-Fr
antzの法則で求める。 （反射率）波長 780nmで測定。
【００１２】実施例１ ガラス基板に第１の誘電体膜としてのSiN 膜、記録膜と
してのTbFeCo膜、第２の誘電膜としてのSiN 膜および反
射膜としてのY、 Nd、 Gd を添加したAl合金膜をスパッリ
ング法で順次成膜して光磁気記録媒体を作り、その熱伝
導率と反射率を測定したところ、反射膜としたAl合金に
おけるY、 Nd、 Gd の添加量（原子％）と熱伝導率との関
係については図２、 図３、図４に示したとおりの結果
が、また反射膜としたAl合金におけるY, Nd, Gd の添加
量（原子％）と反射率（％）との関係については図５、
図６、 図７に示したとおりの結果が得られ、この反射率
と熱伝導率との相関関係については図８、 図９、 図１０
に示したとおりの結果が得られた。
してのTbFeCo膜、第２の誘電膜としてのSiN 膜および反
射膜としてのY、 Nd、 Gd を添加したAl合金膜をスパッリ
ング法で順次成膜して光磁気記録媒体を作り、その熱伝
導率と反射率を測定したところ、反射膜としたAl合金に
おけるY、 Nd、 Gd の添加量（原子％）と熱伝導率との関
係については図２、 図３、図４に示したとおりの結果
が、また反射膜としたAl合金におけるY, Nd, Gd の添加
量（原子％）と反射率（％）との関係については図５、
図６、 図７に示したとおりの結果が得られ、この反射率
と熱伝導率との相関関係については図８、 図９、 図１０
に示したとおりの結果が得られた。
【００１３】すなわち、図２、図３、 図４からAl合金か
らなる希土類の添加量についてはそれが0.05原子％以上
であれば熱伝導率が100w/mK 以下となり、 希土類元素を
添加しないものに比べて充分熱伝導率が低くなること、
また図５、 図６、 図７から反射率は希土類の添加量を10
原子％以上にしても減少しつづけるが図２、 図３、 図４
から熱伝導率はあまり変らなくなること、さらに図８、
図９、 図１０から反射率は殆んど変化しないけれども熱
伝導率だけが大きく変化する組成領域のあることが確認
された。
らなる希土類の添加量についてはそれが0.05原子％以上
であれば熱伝導率が100w/mK 以下となり、 希土類元素を
添加しないものに比べて充分熱伝導率が低くなること、
また図５、 図６、 図７から反射率は希土類の添加量を10
原子％以上にしても減少しつづけるが図２、 図３、 図４
から熱伝導率はあまり変らなくなること、さらに図８、
図９、 図１０から反射率は殆んど変化しないけれども熱
伝導率だけが大きく変化する組成領域のあることが確認
された。
【００１４】実施例２、比較例１ 厚さ1.2mm 、直径86mmのトラッキング用ガイドグル−ブ
を形成したポリカ−ボネ−ト樹脂板に第一の誘電体膜と
しての膜厚30nmのSiN 膜、記録膜としての膜厚16nmのTb
FeCo膜、第２の誘電体膜としての膜厚30nmのSiN 膜およ
び反射膜としての膜厚40nmの Y、 Ndまたは Gd を１原子
％添加したAl合金膜をスパッタリング法で順次成膜して
光磁気記録体を作り、中心より39.9mmのところで回転数
2,400 rpm、duty45.6％、周波数3.9MHz、読み出しパワ−
1.5mW という測定条件で記録感度を測定したところ、図
１１、 図１２、 図１３に示したとおりの結果が得られた
が、比較のためにこの反射膜を従来公知のAlからなるも
のとしたところ、図１１、図１２、 図１３に併記したと
おりの結果が得られた。
を形成したポリカ−ボネ−ト樹脂板に第一の誘電体膜と
しての膜厚30nmのSiN 膜、記録膜としての膜厚16nmのTb
FeCo膜、第２の誘電体膜としての膜厚30nmのSiN 膜およ
び反射膜としての膜厚40nmの Y、 Ndまたは Gd を１原子
％添加したAl合金膜をスパッタリング法で順次成膜して
光磁気記録体を作り、中心より39.9mmのところで回転数
2,400 rpm、duty45.6％、周波数3.9MHz、読み出しパワ−
1.5mW という測定条件で記録感度を測定したところ、図
１１、 図１２、 図１３に示したとおりの結果が得られた
が、比較のためにこの反射膜を従来公知のAlからなるも
のとしたところ、図１１、図１２、 図１３に併記したと
おりの結果が得られた。
【００１５】
【発明の効果】本発明は光磁気記録媒体に関するもので
あり、これは前記したように基板の上に少なくとも記録
膜と反射膜を有する光磁気記録媒体において、反射膜が
少なくとも希土類元素を含んだAl合金であることを特徴
とするものであるが、この反射膜を希土類元素を含んだ
Al合金とすると反射膜の反射率が大きいままで熱伝導率
を小さくすることができるので、ＣＮ比を低下させずに
記録感度を高くすることができるという有利性が与えら
れる。
あり、これは前記したように基板の上に少なくとも記録
膜と反射膜を有する光磁気記録媒体において、反射膜が
少なくとも希土類元素を含んだAl合金であることを特徴
とするものであるが、この反射膜を希土類元素を含んだ
Al合金とすると反射膜の反射率が大きいままで熱伝導率
を小さくすることができるので、ＣＮ比を低下させずに
記録感度を高くすることができるという有利性が与えら
れる。
【図１】光磁気記録媒体の膜構成図を示したものであ
る。
る。
【図２】実施例１の光磁気記録媒体における反射膜とし
てのAl合金のY 添加量（原子％）と熱伝導率との関係図
を示したものである。
てのAl合金のY 添加量（原子％）と熱伝導率との関係図
を示したものである。
【図３】実施例１の光磁気記録媒体における反射膜とし
てのAl合金のNd添加量（原子％）と熱伝導率との関係図
を示したものである。
てのAl合金のNd添加量（原子％）と熱伝導率との関係図
を示したものである。
【図４】実施例１の光磁気記録媒体における反射膜とし
てのAl合金のGd添加量（原子％）と熱伝導率との関係図
を示したものである。
てのAl合金のGd添加量（原子％）と熱伝導率との関係図
を示したものである。
【図５】実施例１の光磁気記録媒体における反射膜とし
てのAl合金のY 添加量（原子％）と反射率との関係図を
示したものである。
てのAl合金のY 添加量（原子％）と反射率との関係図を
示したものである。
【図６】実施例１の光磁気記録媒体における反射膜とし
てのAl合金のNd添加量（原子％）と反射率との関係図を
示したものである。
てのAl合金のNd添加量（原子％）と反射率との関係図を
示したものである。
【図７】実施例１の光磁気記録媒体における反射膜とし
てのAl合金のGd添加量（原子％）と反射率との関係図を
示したものである。
てのAl合金のGd添加量（原子％）と反射率との関係図を
示したものである。
【図８】実施例１の光磁気記録媒体においてY を添加し
たときの反射率と熱伝導率との相関関係図を示したもの
である。
たときの反射率と熱伝導率との相関関係図を示したもの
である。
【図９】実施例１の光磁気記録媒体においてNdを添加し
たときの反射率と熱伝導率との相関関係図を示したもの
である。
たときの反射率と熱伝導率との相関関係図を示したもの
である。
【図１０】実施例１の光磁気記録媒体においてGdを添加
したときの反射率と熱伝導率との相関関係図を示したも
のである。
したときの反射率と熱伝導率との相関関係図を示したも
のである。
【図１１】実施例２においてAl-Y反射膜を用いたものの
光磁気記録媒体の記録パワ−とＣＮとの関係図を示した
ものである。
光磁気記録媒体の記録パワ−とＣＮとの関係図を示した
ものである。
【図１２】実施例２においてAl-Nd 反射膜を用いたもの
の光磁気記録媒体の記録パワ−とＣＮ比との関係図を示
したものである。
の光磁気記録媒体の記録パワ−とＣＮ比との関係図を示
したものである。
【図１３】実施例２においてAl-Gd 反射膜を用いたもの
の光磁気記録媒体の記録パワ−とＣＮ比との関係図を示
したものである。
の光磁気記録媒体の記録パワ−とＣＮ比との関係図を示
したものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 英雄 神奈川県川崎市高津区坂戸100−１ 信越 化学工業株式会社コーポレートリサーチセ ンター内 (72)発明者 清水 佳昌 神奈川県川崎市高津区坂戸100−１ 信越 化学工業株式会社コーポレートリサーチセ ンター内
Claims (2)
- 【請求項１】基板の上に少なくとも記録膜と反射膜とを
有する光磁気記録媒体において、反射膜が少なくとも希
土類元素を含んだAl合金であることを特徴とする光磁気
記録媒体。 - 【請求項２】前記希土類の含有量が0.05原子％以上10原
子％以下である請求項１に記載された光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24415292A JPH05198026A (ja) | 1991-09-09 | 1992-08-20 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-256964 | 1991-09-09 | ||
| JP25696491 | 1991-09-09 | ||
| JP24415292A JPH05198026A (ja) | 1991-09-09 | 1992-08-20 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05198026A true JPH05198026A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=26536600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24415292A Pending JPH05198026A (ja) | 1991-09-09 | 1992-08-20 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05198026A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100020668A1 (en) * | 2006-08-01 | 2010-01-28 | Ricoh Company Ltd | Recordable optical recording medium and recording method thereof |
| WO2010027026A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 光情報記録媒体用反射膜および光情報記録媒体反射膜形成用スパッタリングターゲット |
| JP2011021275A (ja) * | 2009-06-15 | 2011-02-03 | Kobe Steel Ltd | Ａｌ合金反射膜、反射膜積層体、及び、自動車用灯具、照明具、ならびに、Ａｌ合金スパッタリングターゲット |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5938781A (ja) * | 1982-08-27 | 1984-03-02 | Sharp Corp | 磁気光学記憶素子 |
| JPH038151A (ja) * | 1989-06-05 | 1991-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体の作製方法 |
| JPH0438737A (ja) * | 1990-06-04 | 1992-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気ディスク |
-
1992
- 1992-08-20 JP JP24415292A patent/JPH05198026A/ja active Pending
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| JP2010061770A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Kobe Steel Ltd | 光情報記録媒体用反射膜および光情報記録媒体反射膜形成用スパッタリングターゲット |
| TWI404061B (zh) * | 2008-09-05 | 2013-08-01 | Kobe Steel Ltd | Optical information recording medium Reflective film and optical information recording medium Reflective film forming sputtering target |
| JP2011021275A (ja) * | 2009-06-15 | 2011-02-03 | Kobe Steel Ltd | Ａｌ合金反射膜、反射膜積層体、及び、自動車用灯具、照明具、ならびに、Ａｌ合金スパッタリングターゲット |
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