JP2009161416A5 - - Google Patents
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このとき、前記冷却補助筒の材質は、黒鉛材、炭素複合材（ＣＣ材）、ステンレス、モリブデン、タングステンのいずれかであることが好ましい（請求項２）。
このように、前記冷却補助筒の材質が、黒鉛材、炭素複合材（ＣＣ材）等の炭素材、およびステンレス、モリブデン、タングステン等の金属材のいずれかであれば、単結晶からの熱をより効率良く吸収することができる。また、その熱を冷却筒により効率良く伝達することができる。また、耐熱性も高いものとすることができる。
このように、前記冷却補助筒の材質が、黒鉛材、炭素複合材（ＣＣ材）等の炭素材、およびステンレス、モリブデン、タングステン等の金属材のいずれかであれば、単結晶からの熱をより効率良く吸収することができる。また、その熱を冷却筒により効率良く伝達することができる。また、耐熱性も高いものとすることができる。
図２に本発明で使用することができる冷却補助筒の一例を示す。
図２に示すように、冷却補助筒は軸方向に貫く切れ目２０を有している。
冷却筒１２の内側に冷却補助筒１９を嵌合させるために、単に冷却筒１２の内径と冷却補助筒１９の外径を概略同じにしただけでは、冷却補助筒１９を装着および脱着するのが困難であるが、冷却補助筒１９は軸方向に貫く切れ目２０を有すことで、冷却補助筒１９を容易に装脱着することができる。また、単結晶４の育成中に冷却筒１２と冷却補助筒１９の熱膨張差により冷却補助筒１９が割れてしまうことを防ぐことができる。すなわち、冷却筒は冷却媒体で強制冷却されているので、結晶育成時に熱がかかってもそれほど膨張しないが冷却補助筒は膨張する。さらに、冷却補助筒１９が熱膨張することによって、冷却補助筒１９は冷却筒１２にかたく嵌合し、双方の表面の接触面積が増え、十分に密着するので、冷却補助筒１９から冷却筒１２へ熱を効率よく伝達することができる。
図２に示すように、冷却補助筒は軸方向に貫く切れ目２０を有している。
冷却筒１２の内側に冷却補助筒１９を嵌合させるために、単に冷却筒１２の内径と冷却補助筒１９の外径を概略同じにしただけでは、冷却補助筒１９を装着および脱着するのが困難であるが、冷却補助筒１９は軸方向に貫く切れ目２０を有すことで、冷却補助筒１９を容易に装脱着することができる。また、単結晶４の育成中に冷却筒１２と冷却補助筒１９の熱膨張差により冷却補助筒１９が割れてしまうことを防ぐことができる。すなわち、冷却筒は冷却媒体で強制冷却されているので、結晶育成時に熱がかかってもそれほど膨張しないが冷却補助筒は膨張する。さらに、冷却補助筒１９が熱膨張することによって、冷却補助筒１９は冷却筒１２にかたく嵌合し、双方の表面の接触面積が増え、十分に密着するので、冷却補助筒１９から冷却筒１２へ熱を効率よく伝達することができる。
またこのとき、前記冷却筒１２の下方に延伸する整流筒１４が設けられていることが好ましい。
このように、前記冷却筒１２の下方に延伸する整流筒１４が設けられていれば、ヒータ８および原料融液５からの輻射熱を遮って単結晶４を冷却することができる。また、冷却筒１２が融液面の直上まで近づくことが防がれ安全性が確保される。また、単結晶の引上げ中に発生する酸化性ガスによる汚れ防止のための不活性ガスが融液上方から結晶近傍を下流するように整流する効果を発揮することができ、また、不活性ガスによる単結晶４の冷却効果も期待できる。これによって、育成中の単結晶４をより効率良く冷却することができ、単結晶４の成長速度の高速化の効果を高めることができる。
また、冷却筒１２を非常に高温の融液面と十分離すことができ、原料融解時などに飛散する原料融液５が冷却筒１２に付着し、冷却筒１２が破損、溶損等が生じることもなく、極めて安全に単結晶４の育成を行うことができる。
このように、前記冷却筒１２の下方に延伸する整流筒１４が設けられていれば、ヒータ８および原料融液５からの輻射熱を遮って単結晶４を冷却することができる。また、冷却筒１２が融液面の直上まで近づくことが防がれ安全性が確保される。また、単結晶の引上げ中に発生する酸化性ガスによる汚れ防止のための不活性ガスが融液上方から結晶近傍を下流するように整流する効果を発揮することができ、また、不活性ガスによる単結晶４の冷却効果も期待できる。これによって、育成中の単結晶４をより効率良く冷却することができ、単結晶４の成長速度の高速化の効果を高めることができる。
また、冷却筒１２を非常に高温の融液面と十分離すことができ、原料融解時などに飛散する原料融液５が冷却筒１２に付着し、冷却筒１２が破損、溶損等が生じることもなく、極めて安全に単結晶４の育成を行うことができる。
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