JP2009091240A - カーボンナノチューブフィルムの製造装置及びその製造方法 - Google Patents
カーボンナノチューブフィルムの製造装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009091240A JP2009091240A JP2008262226A JP2008262226A JP2009091240A JP 2009091240 A JP2009091240 A JP 2009091240A JP 2008262226 A JP2008262226 A JP 2008262226A JP 2008262226 A JP2008262226 A JP 2008262226A JP 2009091240 A JP2009091240 A JP 2009091240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon nanotube
- nanotube film
- unit
- rod member
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002238 carbon nanotube film Substances 0.000 title claims abstract description 134
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 71
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 68
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 16
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 102000029749 Microtubule Human genes 0.000 description 1
- 108091022875 Microtubule Proteins 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- -1 ethylene Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 210000004688 microtubule Anatomy 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/168—After-treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブフィルムの製造装置は、順番に配列された試料台、棒部材供給ユニット、積載ユニット及び引き伸ばしユニットを含み、前記棒部材供給ユニットと前記試料台が隣接し、前記積載ユニットが前記棒部材供給ユニット及び前記引き伸ばしユニットの間に配置される。さらに、本発明は、カーボンナノチューブフィルムの製造方法も提供する。
【選択図】図1
Description
S.Iijima、"Helical microtubules of graphitic carbon"、Nature、1991年、第354巻、p.56 Y.Kim、"Homogeneous and structurally controlled thin films of single−wall carbon nanotubes by the Langmuir−Blodgett technique"、Synthetic metals、2003年、第135巻、p.747 Kaili Jiang、Qunqing Li、Shoushan Fan、"Spinning continuous carbon nanotube yarns"、Nature、2002年、第419巻、p.801
図1を参照すると、本実施形態はカーボンナノチューブフィルムの製造装置100を提供する。前記製造装置100は、試料台110、棒部材供給ユニット120、積載ユニット130、引き伸ばしユニット140を含む。前記棒部材供給ユニット120と前記試料台110が隣接し、前記積載ユニット130が前記棒部材供給ユニット120及び前記引き伸ばしユニット140の間に配置される。前記棒部材供給ユニット120、前記積載ユニット130、前記引き伸ばしユニット140が順番に前記試料台110の同じ側に配置される。
図2を参照すると、本実施形態は、前記カーボンナノチューブフィルムの製造装置100を利用して、カーボンナノチューブフィルムを製造する方法を提供する。該製造方法は、下記のようなステップを含む。
110 試料台
112 平面
114 基板
116 カーボンナノチューブアレイ
118 カーボンナノチューブフィルム
120 棒部材供給ユニット
122 供給基台
124 第一棒部材
126 第二棒部材
130 積載ユニット
132 積載基台
134 支持体
140 引き伸ばしユニット
142 挟みヘッド
Claims (8)
- 順番に配列された試料台、棒部材供給ユニット、積載ユニット及び引き伸ばしユニットを含み、
前記棒部材供給ユニットと前記試料台が隣接し、前記積載ユニットが前記棒部材供給ユニット及び前記引き伸ばしユニットの間に配置されていることを特徴とするカーボンナノチューブフィルムの製造装置。 - 前記棒部材供給ユニット、前記積載ユニット及び前記引き伸ばしユニットは前記試料台の同じ側に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造装置。
- 前記棒部材供給ユニットが、水平面に垂直な方向に沿って昇降して移動することを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造装置。
- 前記積載ユニットが積載基台を含み、
前記積載基台が、水平面に垂直な方向に沿って、昇降して移動し、
該積載基台は水平面に垂直な軸まわりを回転することを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造装置。 - 前記引き伸ばしユニットが挟みヘッドを含み、
該挟みヘッドが水平面、又は水平面に垂直な方向に沿って、移動することを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造装置。 - カーボンナノチューブアレイが成長された基板を提供し、該基板を前記試料台に固定する第一ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイから初期カーボンナノチューブフィルムを引き出し、該初期カーボンナノチューブフィルムを前記棒部材供給ユニットから提供された第一棒部材に接着する第二ステップと、
前記第一棒部材を前記引き伸ばしユニットに固定し、前記引き伸ばしユニットを移動させて前記第一棒部材を引き、前記初期カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばして連続的なカーボンナノチューブフィルムを形成する第三ステップと、
前記連続的なカーボンナノチューブフィルムの一部を前記棒部材供給ユニットから提供された第二棒部材に接着する第四ステップと、
支持体を提供し、該支持体を前記積載ユニットに置き、前記連続的なカーボンナノチューブフィルムを前記支持体に接着する第五ステップと、
前記第一棒部材と前記支持体の間、及び前記第二棒部材と前記支持体の間でそれぞれ前記連続的なカーボンナノチューブフィルムを切って、カーボンナノチューブフィルムを形成する第六ステップと、
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブフィルムの製造方法。 - 前記第二棒部材を前記引き伸ばしユニットに固定し、該第二棒部材に接着された前記連続的なカーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす第七ステップと、
前記連続的なカーボンナノチューブフィルムの一部を前記棒部材供給ユニットから提供された第三棒部材に接着する第八ステップと、
前記連続的なカーボンナノチューブフィルムが接着された支持体を調節し、前記第二棒部材と第三棒部材の間に位置された前記連続的なカーボンナノチューブフィルムを前記カーボンナノチューブフィルムが接着された支持体に接着する第九ステップと、
前記第二棒部材と前記支持体の間、及び前記第三棒部材と前記支持体の間でそれぞれ前記連続的なカーボンナノチューブフィルムを切る第十ステップと、を含み、
前記第七ステップ〜第十ステップを繰り返し、多層のカーボンナノチューブフィルムを形成することを特徴とする、請求項6に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。 - 前記引き伸ばしユニットで前記カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす方向と、カーボンナノチューブアレイの成長方向との成す角度が、30度〜90度であることを特徴とする、請求項6に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007101238163A CN101407312B (zh) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | 碳纳米管薄膜的制备装置及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009091240A true JP2009091240A (ja) | 2009-04-30 |
JP4504446B2 JP4504446B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=40570559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008262226A Active JP4504446B2 (ja) | 2007-10-10 | 2008-10-08 | カーボンナノチューブフィルムの製造装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7992616B2 (ja) |
JP (1) | JP4504446B2 (ja) |
CN (1) | CN101407312B (ja) |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302057A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Qinghua Univ | 面熱源及びその製造方法 |
JP2010003693A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010010137A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010010136A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010010133A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010021147A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010021148A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010021146A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Qinghua Univ | 線熱源の製造方法 |
JP2010034056A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034055A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034062A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034058A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034061A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034063A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034064A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源の製造方法 |
JP2010034047A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034059A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034054A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010280559A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Qinghua Univ | カーボンナノチューブフィルムの製造方法 |
JP2015203003A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | ツィンファ ユニバーシティ | カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 |
WO2017200045A1 (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブのウェブの引出方法、カーボンナノチューブ糸の製造方法、カーボンナノチューブシートの製造方法、およびカーボンナノチューブのウェブの引出装置 |
KR20180028448A (ko) | 2015-07-10 | 2018-03-16 | 히다치 조센 가부시키가이샤 | 카본나노튜브 웹의 제조방법, 카본나노튜브 집합체의 제조방법 및 카본나노튜브 웹의 제조장치 |
WO2018131386A1 (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-19 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの引出方法 |
JP2018524255A (ja) * | 2015-06-12 | 2018-08-30 | リンテック株式会社 | カーボンナノチューブフォレスト積層体及びカーボンナノチューブフォレスト積層体の製造方法 |
US10315923B2 (en) | 2015-02-05 | 2019-06-11 | Lintec Of America Inc. | Sheet manufacturing device and sheet manufacturing method |
JP2019127396A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | ツィンファ ユニバーシティ | テープ装置 |
JP2019127397A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | ツィンファ ユニバーシティ | テープ装置 |
US10747028B2 (en) | 2016-06-10 | 2020-08-18 | Lintec Of America, Inc. | Nanofiber sheet |
JP2022505372A (ja) * | 2018-10-19 | 2022-01-14 | リンテック オブ アメリカ インク | ナノファイバーシートの透明度を高めること |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101458846B1 (ko) | 2004-11-09 | 2014-11-07 | 더 보드 오브 리전츠 오브 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템 | 나노섬유 리본과 시트 및 트위스팅 및 논-트위스팅 나노섬유 방적사의 제조 및 애플리케이션 |
CN101239712B (zh) * | 2007-02-09 | 2010-05-26 | 清华大学 | 碳纳米管薄膜结构及其制备方法 |
CN101315974B (zh) * | 2007-06-01 | 2010-05-26 | 清华大学 | 锂离子电池负极及其制备方法 |
CN101407312B (zh) * | 2007-10-10 | 2011-01-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管薄膜的制备装置及其制备方法 |
CN101734644B (zh) * | 2008-11-14 | 2012-01-25 | 清华大学 | 碳纳米管膜的拉伸方法 |
CN102092701B (zh) * | 2009-12-11 | 2013-01-30 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜的制备方法 |
CN102092703B (zh) | 2009-12-11 | 2020-11-06 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管结构的制备方法 |
CN102107865A (zh) | 2009-12-28 | 2011-06-29 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜的制备方法 |
CN102115071B (zh) * | 2009-12-31 | 2013-01-09 | 清华大学 | 铺膜系统及使用该铺膜系统的铺膜方法 |
CN101880035A (zh) | 2010-06-29 | 2010-11-10 | 清华大学 | 碳纳米管结构 |
CN102452647B (zh) * | 2010-10-27 | 2013-06-19 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜承载结构及其使用方法 |
CN102074429B (zh) * | 2010-12-27 | 2013-11-06 | 清华大学 | 场发射阴极结构及其制备方法 |
CN102092670B (zh) * | 2010-12-27 | 2013-04-17 | 清华大学 | 碳纳米管复合结构及其制备方法 |
CN103086351B (zh) * | 2010-12-27 | 2015-03-11 | 清华大学 | 碳纳米管复合结构 |
TWI458677B (zh) * | 2010-12-29 | 2014-11-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 奈米碳管複合結構及其製備方法 |
CN103515170B (zh) * | 2012-06-28 | 2016-04-27 | 清华大学 | 碳纳米管场发射体的制备方法 |
CN104769834B (zh) | 2012-08-01 | 2020-02-07 | 德克萨斯州大学系统董事会 | 卷曲和非卷曲加捻纳米纤维纱线及聚合物纤维扭转和拉伸驱动器 |
CN103896241B (zh) * | 2012-12-27 | 2016-03-09 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管线铺设设备 |
CN105712314B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-12-01 | 清华大学 | 碳纳米管阵列的制备方法和碳纳米管膜的制备方法 |
JP6586367B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2019-10-02 | リンテック株式会社 | 引出装置および引出方法 |
JP6754573B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2020-09-16 | リンテック株式会社 | 引出装置 |
CN110065937B (zh) * | 2018-01-23 | 2021-12-21 | 清华大学 | 氧化多壁碳纳米管的方法 |
CN112429716B (zh) * | 2019-08-26 | 2023-11-17 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管膜的铺膜系统 |
CN113199155B (zh) * | 2020-01-16 | 2022-04-22 | 清华大学 | 精密扭秤及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004102217A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 偏光素子及びその製造方法 |
JP2004107196A (ja) * | 2002-09-16 | 2004-04-08 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 炭素ナノチューブロープ及びその製造方法 |
WO2007015710A2 (en) * | 2004-11-09 | 2007-02-08 | Board Of Regents, The University Of Texas System | The fabrication and application of nanofiber ribbons and sheets and twisted and non-twisted nanofiber yarns |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5301863A (en) * | 1992-11-04 | 1994-04-12 | Prinz Fritz B | Automated system for forming objects by incremental buildup of layers |
US6232706B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-05-15 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Self-oriented bundles of carbon nanotubes and method of making same |
JP4907017B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2012-03-28 | 財団法人ファインセラミックスセンター | カーボンナノチューブ膜体の製造方法 |
JP2004002182A (ja) * | 2002-03-25 | 2004-01-08 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 配向性カーボンナノチューブ膜およびその製造方法 |
US7641043B2 (en) * | 2004-03-26 | 2010-01-05 | Martin Vestergaard | Loading and unloading apparatus |
US7198452B2 (en) * | 2004-04-08 | 2007-04-03 | Ocenco, Inc. | Bar stock loading table and apparatus |
US7744793B2 (en) * | 2005-09-06 | 2010-06-29 | Lemaire Alexander B | Apparatus and method for growing fullerene nanotube forests, and forming nanotube films, threads and composite structures therefrom |
JP4202376B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2008-12-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
CN100450922C (zh) * | 2006-11-10 | 2009-01-14 | 清华大学 | 一种超长定向的碳纳米管丝/薄膜及其制备方法 |
CN100420626C (zh) * | 2006-11-27 | 2008-09-24 | 西南交通大学 | 纯碳纳米管薄膜的制备方法 |
CN101407312B (zh) * | 2007-10-10 | 2011-01-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管薄膜的制备装置及其制备方法 |
-
2007
- 2007-10-10 CN CN2007101238163A patent/CN101407312B/zh active Active
- 2007-12-29 US US11/967,114 patent/US7992616B2/en active Active
-
2008
- 2008-10-08 JP JP2008262226A patent/JP4504446B2/ja active Active
-
2010
- 2010-12-16 US US12/969,597 patent/US8343297B2/en active Active
-
2011
- 2011-07-24 US US13/189,532 patent/US8794289B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004102217A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 偏光素子及びその製造方法 |
JP2004107196A (ja) * | 2002-09-16 | 2004-04-08 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 炭素ナノチューブロープ及びその製造方法 |
WO2007015710A2 (en) * | 2004-11-09 | 2007-02-08 | Board Of Regents, The University Of Texas System | The fabrication and application of nanofiber ribbons and sheets and twisted and non-twisted nanofiber yarns |
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302057A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Qinghua Univ | 面熱源及びその製造方法 |
JP2010003693A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010010137A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010010136A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010010133A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Qinghua Univ | 線熱源 |
JP2010021147A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010021148A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010021146A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Qinghua Univ | 線熱源の製造方法 |
JP2010034059A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034055A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034062A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034058A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034061A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034063A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034064A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源の製造方法 |
JP2010034047A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 中空熱源 |
JP2010034056A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP2010034054A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Qinghua Univ | 面熱源 |
JP4669059B2 (ja) * | 2008-07-25 | 2011-04-13 | ツィンファ ユニバーシティ | 中空熱源 |
JP4669060B2 (ja) * | 2008-07-25 | 2011-04-13 | ツィンファ ユニバーシティ | 面熱源 |
JP2010280559A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Qinghua Univ | カーボンナノチューブフィルムの製造方法 |
JP2015203003A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | ツィンファ ユニバーシティ | カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 |
US10315923B2 (en) | 2015-02-05 | 2019-06-11 | Lintec Of America Inc. | Sheet manufacturing device and sheet manufacturing method |
JP2018524255A (ja) * | 2015-06-12 | 2018-08-30 | リンテック株式会社 | カーボンナノチューブフォレスト積層体及びカーボンナノチューブフォレスト積層体の製造方法 |
KR20180028448A (ko) | 2015-07-10 | 2018-03-16 | 히다치 조센 가부시키가이샤 | 카본나노튜브 웹의 제조방법, 카본나노튜브 집합체의 제조방법 및 카본나노튜브 웹의 제조장치 |
US10899619B2 (en) | 2015-07-10 | 2021-01-26 | Hitachi Zosen Corporation | Method for producing carbon nanotube web, method for producing carbon nanotube collected product, and apparatus for producing carbon nanotube web |
WO2017200045A1 (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブのウェブの引出方法、カーボンナノチューブ糸の製造方法、カーボンナノチューブシートの製造方法、およびカーボンナノチューブのウェブの引出装置 |
US10981789B2 (en) | 2016-05-18 | 2021-04-20 | Hitachi Zosen Corporation | Method for drawing carbon nanotube web, method for manufacturing carbon nanotube yarn, method for manufacturing carbon nanotube sheet, and device for drawing carbon nanotube web |
JPWO2017200045A1 (ja) * | 2016-05-18 | 2019-03-14 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブのウェブの引出方法、カーボンナノチューブ糸の製造方法、カーボンナノチューブシートの製造方法、およびカーボンナノチューブのウェブの引出装置 |
US10747028B2 (en) | 2016-06-10 | 2020-08-18 | Lintec Of America, Inc. | Nanofiber sheet |
JP2018115083A (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-26 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの引出方法 |
WO2018131386A1 (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-19 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの引出方法 |
JP2019127397A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | ツィンファ ユニバーシティ | テープ装置 |
JP2019127396A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | ツィンファ ユニバーシティ | テープ装置 |
JP2022505372A (ja) * | 2018-10-19 | 2022-01-14 | リンテック オブ アメリカ インク | ナノファイバーシートの透明度を高めること |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7992616B2 (en) | 2011-08-09 |
US20110120633A1 (en) | 2011-05-26 |
US8343297B2 (en) | 2013-01-01 |
US20110278758A1 (en) | 2011-11-17 |
CN101407312A (zh) | 2009-04-15 |
JP4504446B2 (ja) | 2010-07-14 |
CN101407312B (zh) | 2011-01-26 |
US20100282403A1 (en) | 2010-11-11 |
US8794289B2 (en) | 2014-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4504446B2 (ja) | カーボンナノチューブフィルムの製造装置及びその製造方法 | |
JP5054068B2 (ja) | カーボンナノチューブフィルムの製造方法 | |
JP4589438B2 (ja) | カーボンナノチューブ複合物 | |
JP5255021B2 (ja) | 保護構造体を有するカーボンナノチューブ構造体及びその製造方法 | |
JP4589439B2 (ja) | カーボンナノチューブ複合物の製造方法 | |
JP5059833B2 (ja) | カーボンナノチューブ構造体 | |
JP5363260B2 (ja) | カーボンナノチューブ複合材料及びその製造方法 | |
JP5059834B2 (ja) | カーボンナノチューブ構造体 | |
JP5118117B2 (ja) | カーボンナノチューブ構造体の引伸し方法 | |
JP5243481B2 (ja) | カーボンナノチューブフィルムの製造方法 | |
JP5243478B2 (ja) | ナノ材料薄膜 | |
US8318295B2 (en) | Carbon nanotube composite structure | |
US8343451B2 (en) | Device and method for making carbon nanotube film | |
US9997323B2 (en) | Composite carbon nanotube structure | |
TW200920689A (en) | Apparatus and method for synthesizing films of carbon nanotubes | |
JP5878249B1 (ja) | 接合したカーボンナノチューブアレイの製造方法及びカーボンナノチューブフィルムの製造方法 | |
CN101676452B (zh) | 碳纳米管纱的制备方法 | |
JP5903465B2 (ja) | カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 | |
TWI395708B (zh) | 奈米碳管膜的拉伸方法 | |
TW201020209A (en) | Carbon nanotube film | |
TWI338160B (en) | Polarizer and method for making same | |
TW201127749A (en) | Method for making carbon nanotube film | |
TWI494267B (zh) | 奈米碳管膜之製備方法 | |
CN109971373B (zh) | 一种粘结方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20090918 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20091022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100323 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4504446 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |