JP4504446B2 - カーボンナノチューブフィルムの製造装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000002238 carbon nanotube film Substances 0.000 title claims description 135
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 39
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 76
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 73
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 102000029749 Microtubule Human genes 0.000 description 1
- 108091022875 Microtubule Proteins 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- -1 ethylene Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 210000004688 microtubule Anatomy 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
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Description
S.Iijima、"Helical microtubules of graphitic carbon"、Nature、1991年、第354巻、p.56 Y.Kim、"Homogeneous and structurally controlled thin films of single−wall carbon nanotubes by the Langmuir−Blodgett technique"、Synthetic metals、2003年、第135巻、p.747 Kaili Jiang、Qunqing Li、Shoushan Fan、"Spinning continuous carbon nanotube yarns"、Nature、2002年、第419巻、p.801
図1を参照すると、本実施形態はカーボンナノチューブフィルムの製造装置100を提供する。前記製造装置100は、試料台110、棒部材供給ユニット120、積載ユニット130、引き伸ばしユニット140を含む。前記棒部材供給ユニット120と前記試料台110が隣接し、前記積載ユニット130が前記棒部材供給ユニット120及び前記引き伸ばしユニット140の間に配置される。前記棒部材供給ユニット120、前記積載ユニット130、前記引き伸ばしユニット140が順番に前記試料台110の同じ側に配置される。
図2を参照すると、本実施形態は、前記カーボンナノチューブフィルムの製造装置100を利用して、カーボンナノチューブフィルムを製造する方法を提供する。該製造方法は、下記のようなステップを含む。
110 試料台
112 平面
114 基板
116 カーボンナノチューブアレイ
118 カーボンナノチューブフィルム
120 棒部材供給ユニット
122 供給基台
124 第一棒部材
126 第二棒部材
130 積載ユニット
132 積載基台
134 支持体
140 引き伸ばしユニット
142 挟みヘッド
Claims (7)
- カーボンナノチューブアレイを成長させた基板から、所定の引き出し方向にカーボンナノチューブを引き出してカーボンナノチューブフィルム構造体を製造するための装置であって、
前記基板を固定するための試料台と、
該試料台の前記引き出し方向下流に設けられ、前記カーボンナノチューブアレイから引き出された初期カーボンナノチューブフィルムを接着させるための第一棒部材を載置するための供給基台と、
該供給基台の前記引き出し方向下流に設けられ、前記初期カーボンナノチューブフィルムが接着された前記第一棒部材を把持すると共に前記供給基台の前記引き出し方向下流に進退自在とされた把持部を含む、前記初期カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばすための引き伸ばしユニットと、
前記第一棒部材が前記把持部に把持されると前記供給基台に第二棒部材を供給すると共に、前記供給基台と一体的に前記初期カーボンナノチューブフィルムの一方の表面から他方の表面へ向かう垂直方向に進退自在とされた棒部材供給ユニットと、
前記第一棒部材と前記第二棒部材との間で、引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムから、前記カーボンナノチューブフィルム構造体を切り出すための切断手段と、
を含むことを特徴とする製造装置。 - 前記棒部材供給ユニットと前記引き伸ばしユニットとの間に設けられ、前記初期カーボンナノチューブフィルムに接着される支持体を載置するための積載基台を更に含み、
該積載基台は、前記垂直方向に進退自在とされており、
前記切断手段が、前記第一棒部材と前記支持体との間、及び前記第二棒部材と前記支持体との間で、引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムから、前記カーボンナノチューブフィルム構造体を切り出す、
ことを特徴とする、請求項1に記載の製造装置。 - 前記積載基台が更に、前記垂直方向の軸回りに回転可能とされている、
ことを特徴とする、請求項2に記載の製造装置。 - 前記把持部が更に、前記垂直方向に進退自在とされている、
ことを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の製造装置。 - カーボンナノチューブアレイを成長させた基板から、所定の引き出し方向にカーボンナノチューブを引き出してカーボンナノチューブフィルム構造体を製造するための方法であって、
前記基板を試料台に固定する第一ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイから初期カーボンナノチューブフィルムを引き出し、該初期カーボンナノチューブフィルムを棒部材供給ユニットから提供された第一棒部材に接着する第二ステップと、
前記第一棒部材を引き伸ばしユニットに把持させ、前記引き伸ばしユニットを前記引き出し方向に移動させて前記第一棒部材を引き、前記初期カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす第三ステップと、
引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムの一部を、前記棒部材供給ユニットから提供された第二棒部材に接着する第四ステップと、
支持体を提供し、該支持体を積載基台に載置し、引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムを前記支持体に接着する第五ステップと、
前記第一棒部材と前記支持体との間、及び前記第二棒部材と前記支持体との間で前記初期カーボンナノチューブフィルムを切断して、前記カーボンナノチューブフィルム構造体を形成する第六ステップと、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 前記第二棒部材を前記引き伸ばしユニットに把持させ、前記第二棒部材に接着された前記初期カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす第七ステップと、
引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムの一部を、前記棒部材供給ユニットから提供された第三棒部材に接着する第八ステップと、
前記支持体の前記カーボンナノチューブフィルム構造体の一方の表面から他方の表面へ向かう垂直方向における位置を調節し、前記第二棒部材と第三棒部材との間で、引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムを、前記支持体に接着する第九ステップと、
前記第二棒部材と前記支持体との間、及び前記第三棒部材と前記支持体との間で、引き伸ばされた前記初期カーボンナノチューブフィルムを切断する第十ステップと、を含み、
前記第七ステップ〜第十ステップを繰り返し、複数の前記カーボンナノチューブフィルム構造体を積層させ、多層のカーボンナノチューブフィルム構造体を形成するようになる
ことを特徴とする、請求項5に記載の製造方法。 - 前記引き伸ばしユニットで前記初期カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす方向と、前記カーボンナノチューブアレイの成長方向との為す角度が、30度〜90度である、
ことを特徴とする、請求項5または6に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007101238163A CN101407312B (zh) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | 碳纳米管薄膜的制备装置及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009091240A JP2009091240A (ja) | 2009-04-30 |
JP4504446B2 true JP4504446B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=40570559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008262226A Active JP4504446B2 (ja) | 2007-10-10 | 2008-10-08 | カーボンナノチューブフィルムの製造装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7992616B2 (ja) |
JP (1) | JP4504446B2 (ja) |
CN (1) | CN101407312B (ja) |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1814713A4 (en) | 2004-11-09 | 2017-07-26 | Board of Regents, The University of Texas System | The fabrication and application of nanofiber ribbons and sheets and twisted and non-twisted nanofiber yarns |
CN101239712B (zh) * | 2007-02-09 | 2010-05-26 | 清华大学 | 碳纳米管薄膜结构及其制备方法 |
CN101315974B (zh) * | 2007-06-01 | 2010-05-26 | 清华大学 | 锂离子电池负极及其制备方法 |
CN101636006B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-09-19 | 清华大学 | 面热源 |
CN101636004B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-06-13 | 清华大学 | 面热源 |
CN101636007B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-11-21 | 清华大学 | 面热源 |
CN101636008B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-08-29 | 清华大学 | 面热源 |
CN101636005B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-07-18 | 清华大学 | 面热源 |
CN101407312B (zh) * | 2007-10-10 | 2011-01-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管薄膜的制备装置及其制备方法 |
CN101636009B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-08-29 | 清华大学 | 空心热源的制备方法 |
CN101616512B (zh) * | 2008-06-27 | 2015-09-30 | 清华大学 | 线热源 |
CN101616513B (zh) * | 2008-06-27 | 2011-07-27 | 清华大学 | 线热源 |
CN101636011B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-07-18 | 清华大学 | 空心热源 |
CN101626640B (zh) * | 2008-07-11 | 2011-12-14 | 清华大学 | 线热源的制备方法 |
CN101626641B (zh) * | 2008-07-11 | 2015-04-01 | 清华大学 | 空心热源 |
CN101626642B (zh) * | 2008-07-11 | 2011-06-22 | 清华大学 | 空心热源 |
CN101636010A (zh) * | 2008-07-25 | 2010-01-27 | 清华大学 | 空心热源 |
CN101605409B (zh) * | 2008-06-13 | 2012-11-21 | 清华大学 | 面热源 |
CN101610613B (zh) * | 2008-06-18 | 2011-09-28 | 清华大学 | 线热源 |
CN101616516B (zh) * | 2008-06-27 | 2013-04-24 | 清华大学 | 线热源 |
CN101636002B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-03-14 | 清华大学 | 立体热源 |
CN101636001B (zh) * | 2008-07-25 | 2016-01-20 | 清华大学 | 立体热源 |
CN101734644B (zh) * | 2008-11-14 | 2012-01-25 | 清华大学 | 碳纳米管膜的拉伸方法 |
CN101905877B (zh) * | 2009-06-02 | 2013-01-09 | 清华大学 | 碳纳米管膜的制备方法 |
CN102092703B (zh) * | 2009-12-11 | 2020-11-06 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管结构的制备方法 |
CN102092701B (zh) | 2009-12-11 | 2013-01-30 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜的制备方法 |
CN102107865A (zh) | 2009-12-28 | 2011-06-29 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜的制备方法 |
CN102115071B (zh) | 2009-12-31 | 2013-01-09 | 清华大学 | 铺膜系统及使用该铺膜系统的铺膜方法 |
CN101880035A (zh) | 2010-06-29 | 2010-11-10 | 清华大学 | 碳纳米管结构 |
CN102452647B (zh) * | 2010-10-27 | 2013-06-19 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜承载结构及其使用方法 |
CN102074429B (zh) * | 2010-12-27 | 2013-11-06 | 清华大学 | 场发射阴极结构及其制备方法 |
CN102092670B (zh) | 2010-12-27 | 2013-04-17 | 清华大学 | 碳纳米管复合结构及其制备方法 |
CN103086351B (zh) * | 2010-12-27 | 2015-03-11 | 清华大学 | 碳纳米管复合结构 |
TWI458677B (zh) * | 2010-12-29 | 2014-11-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 奈米碳管複合結構及其製備方法 |
CN103515170B (zh) * | 2012-06-28 | 2016-04-27 | 清华大学 | 碳纳米管场发射体的制备方法 |
CN105003405B (zh) | 2012-08-01 | 2019-07-23 | 德克萨斯州大学系统董事会 | 卷曲和非卷曲加捻纳米纤维纱线及聚合物纤维扭转和拉伸驱动器 |
CN103896241B (zh) * | 2012-12-27 | 2016-03-09 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管线铺设设备 |
JP6097783B2 (ja) * | 2014-04-14 | 2017-03-15 | ツィンファ ユニバーシティ | カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 |
CN105712314B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-12-01 | 清华大学 | 碳纳米管阵列的制备方法和碳纳米管膜的制备方法 |
US10315923B2 (en) | 2015-02-05 | 2019-06-11 | Lintec Of America Inc. | Sheet manufacturing device and sheet manufacturing method |
EP3307678A4 (en) * | 2015-06-12 | 2019-03-06 | LINTEC Corporation | CARBON NANOTUBE FOREST TYPE LAMINATED BODY AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
JP6604759B2 (ja) | 2015-07-10 | 2019-11-13 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの製造方法、カーボンナノチューブ集合体の製造方法およびカーボンナノチューブウェブの製造装置 |
JP6754573B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2020-09-16 | リンテック株式会社 | 引出装置 |
JP6586367B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2019-10-02 | リンテック株式会社 | 引出装置および引出方法 |
CN109153572B (zh) * | 2016-05-18 | 2022-06-03 | 日立造船株式会社 | 碳纳米管网的拉出方法、碳纳米管丝的制造方法、碳纳米管片的制造方法及碳纳米管网的拉出装置 |
WO2017214474A1 (en) | 2016-06-10 | 2017-12-14 | Lintec Of America, Inc. | Nanofiber sheet |
JP6829609B2 (ja) * | 2017-01-16 | 2021-02-10 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの引出方法 |
CN110065937B (zh) * | 2018-01-23 | 2021-12-21 | 清华大学 | 氧化多壁碳纳米管的方法 |
CN110065936B (zh) * | 2018-01-24 | 2024-04-02 | 清华大学 | 胶带装置 |
CN110065935B (zh) * | 2018-01-24 | 2024-04-02 | 清华大学 | 胶带装置 |
JP2022505372A (ja) * | 2018-10-19 | 2022-01-14 | リンテック オブ アメリカ インク | ナノファイバーシートの透明度を高めること |
CN112429716B (zh) * | 2019-08-26 | 2023-11-17 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管膜的铺膜系统 |
CN113199155B (zh) * | 2020-01-16 | 2022-04-22 | 清华大学 | 精密扭秤及其制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004102217A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 偏光素子及びその製造方法 |
JP2004107196A (ja) * | 2002-09-16 | 2004-04-08 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 炭素ナノチューブロープ及びその製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5301863A (en) * | 1992-11-04 | 1994-04-12 | Prinz Fritz B | Automated system for forming objects by incremental buildup of layers |
US6232706B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-05-15 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Self-oriented bundles of carbon nanotubes and method of making same |
JP4907017B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2012-03-28 | 財団法人ファインセラミックスセンター | カーボンナノチューブ膜体の製造方法 |
JP2004002182A (ja) * | 2002-03-25 | 2004-01-08 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 配向性カーボンナノチューブ膜およびその製造方法 |
ES2338326T3 (es) * | 2004-03-26 | 2010-05-06 | Martin Vestergaard | Aparato para cargar y descargar. |
US7198452B2 (en) * | 2004-04-08 | 2007-04-03 | Ocenco, Inc. | Bar stock loading table and apparatus |
EP1814713A4 (en) * | 2004-11-09 | 2017-07-26 | Board of Regents, The University of Texas System | The fabrication and application of nanofiber ribbons and sheets and twisted and non-twisted nanofiber yarns |
US7744793B2 (en) * | 2005-09-06 | 2010-06-29 | Lemaire Alexander B | Apparatus and method for growing fullerene nanotube forests, and forming nanotube films, threads and composite structures therefrom |
JP4202376B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2008-12-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
CN100450922C (zh) * | 2006-11-10 | 2009-01-14 | 清华大学 | 一种超长定向的碳纳米管丝/薄膜及其制备方法 |
CN100420626C (zh) * | 2006-11-27 | 2008-09-24 | 西南交通大学 | 纯碳纳米管薄膜的制备方法 |
CN101407312B (zh) * | 2007-10-10 | 2011-01-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管薄膜的制备装置及其制备方法 |
-
2007
- 2007-10-10 CN CN2007101238163A patent/CN101407312B/zh active Active
- 2007-12-29 US US11/967,114 patent/US7992616B2/en active Active
-
2008
- 2008-10-08 JP JP2008262226A patent/JP4504446B2/ja active Active
-
2010
- 2010-12-16 US US12/969,597 patent/US8343297B2/en active Active
-
2011
- 2011-07-24 US US13/189,532 patent/US8794289B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004102217A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 偏光素子及びその製造方法 |
JP2004107196A (ja) * | 2002-09-16 | 2004-04-08 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 炭素ナノチューブロープ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8794289B2 (en) | 2014-08-05 |
CN101407312B (zh) | 2011-01-26 |
US20110120633A1 (en) | 2011-05-26 |
CN101407312A (zh) | 2009-04-15 |
US7992616B2 (en) | 2011-08-09 |
US8343297B2 (en) | 2013-01-01 |
US20110278758A1 (en) | 2011-11-17 |
JP2009091240A (ja) | 2009-04-30 |
US20100282403A1 (en) | 2010-11-11 |
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Legal Events
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A975 | Report on accelerated examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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