JP2015203003A - カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照すると、本発明は、カーボンナノチューブアレイ10の転移方法を提供する。該カーボンナノチューブアレイ10の転移方法は、下記のステップを含む。
図8を参照すると、本発明は、カーボンナノチューブアレイ10の転移方法を提供する。該カーボンナノチューブアレイ10の転移方法は、下記のステップを含む。
本発明は、カーボンナノチューブアレイ10の転移方法を提供する。該カーボンナノチューブアレイ10の転移方法は、実施形態2のカーボンナノチューブアレイ10の転移方法と基本的に同じであり、共に間隔装置60を有するが、異なる点は、代替基板30の表面に微構造体304が形成されている点である。また、実施形態3の代替基板30の構造は、実施形態1における代替基板30の構造と同じである。つまり、代替基板30の表面302には複数の微構造体304が形成されている。
20 成長基板
30 代替基板
40 カーボンナノチューブ構造体
50 引き出し道具
60 間隔装置
102 第一表面
104 第二表面
202、302 表面
304 微構造体
Claims (4)
- 代替基板、成長基板及び間隔装置を提供し、前記成長基板の表面にカーボンナノチューブアレイを形成する第一ステップであって、前記カーボンナノチューブアレイの形態がカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証でき、前記カーボンナノチューブ構造体は、端と端とが接続された複数のカーボンナノチューブを含む第一ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から前記代替基板に転移させる第二ステップであって、前記代替基板に転移された前記カーボンナノチューブアレイの形態は、前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できる第二ステップと、を含むカーボンナノチューブアレイの転移方法であって、
前記第二ステップは、前記代替基板の表面を前記カーボンナノチューブアレイの前記成長基板から離れる表面に接触させ、前記間隔装置によって、前記代替基板と前記成長基板との間隔をあけるステップと、前記代替基板及び前記成長基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記代替基板と前記成長基板とを離し、カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から脱離させ、前記代替基板に転移させるステップと、を含むことを特徴とするカーボンナノチューブアレイの転移方法。 - 前記間隔装置が前記代替基板と前記成長基板との間に位置する際の高さは、前記カーボンナノチューブアレイの高さと同じであるか、又は前記カーボンナノチューブアレイの高さより低く、前記カーボンナノチューブアレイが、前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できない形態まで押される距離より高いことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブアレイの転移方法。
- 前記代替基板の表面に複数の微構造体が形成され、前記代替基板の微構造体を有する表面を、前記カーボンナノチューブアレイの成長基板から離れる表面に接触させることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブアレイの転移方法。
- 代替基板、成長基板及び間隔装置を提供し、前記成長基板の表面にカーボンナノチューブアレイを形成する第一ステップであって、前記カーボンナノチューブアレイの形態は、カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証でき、前記カーボンナノチューブ構造体は端と端とが接続された複数のカーボンナノチューブを含む第一ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から前記代替基板に転移させる第二ステップであって、前記代替基板に転移されたカーボンナノチューブアレイの形態は、前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できる第二ステップと、
前記代替基板における前記カーボンナノチューブアレイから前記カーボンナノチューブ構造体を引き出す第三ステップと、を含み、
前記第二ステップは、前記代替基板の表面を前記カーボンナノチューブアレイの前記成長基板から離れる表面に接触させ、前記間隔装置によって、前記代替基板と前記成長基板との間隔をあけるステップと、前記代替基板及び前記成長基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記代替基板と前記成長基板とを離し、前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から脱離させ、前記代替基板に転移させるステップと、を含むことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の製造方法。
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