JP2009064514A - ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク - Google Patents
ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009064514A JP2009064514A JP2007231506A JP2007231506A JP2009064514A JP 2009064514 A JP2009064514 A JP 2009064514A JP 2007231506 A JP2007231506 A JP 2007231506A JP 2007231506 A JP2007231506 A JP 2007231506A JP 2009064514 A JP2009064514 A JP 2009064514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- peripheral surface
- glass
- substrate according
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】ドーナツ形状のガラス基板において、内周面の面取部および側面部の算術平均粗さRaが0.05〜1μm、かつ、それらの最大高さRyが0.5〜15μmあり、さらに、それらの展開長さ比Lrが1.006以上である。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の、ドーナツ形状のガラス基板10を示す斜視図である。ガラス基板10の材料としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラス、結晶化ガラスを用いることができる。特に、高記憶密度記録が可能な垂直磁気ディスクに適用するガラス基板には、表面の高平坦性の観点から、アモルファス系のガラスを用いることが好ましい。
(ガラス材料の形成)
ドーナツ形状のガラス材料を製造する。まず、プレス成形法、または板状ガラスからの切り出し法等により、所定形状のガラス材料を得る。
次に、ガラス材料の、内周面および外周面のうち、少なくとも内周面に面取り加工を施し、面取部と、非面取部(側面部)とを得る。面取り加工は、内外径それぞれの断面形状に合わせた総型のダイヤモンド電着砥石を装着した、内外径を同時加工する2軸型の研削盤を用いて、ダイヤモンド砥粒メッシュを#240〜#3000、相対速度を5〜100m/secとした条件下に行なうことができる。
続いて、上記面取り加工が完了したガラス材料に対し、必要に応じて、その内周面および外周面のうち、少なくとも上記面取り加工が施された面を研磨する。以下に、内周面への研磨処理について説明するが、この処理は外周面へも適用できる。
また、後工程で粗面化エッチング処理を行なう方法では、その前処理として研磨処理によってRa≦0.01μm以下に鏡面化を行なう。
遊離砥石と軟質ブラシを用いた砥石処理により、Ra≦0.01μm以下に鏡面化することもできる。その場合は、砥粒には酸化セリウムやコロイダルシリカ、軟質ブラシとしては、ナイロン製を用いるのが好ましく、処理条件としては、相対速度0.1m/sec〜10m/secが適当である。
最後に、上記研磨処理が完了したガラス材料に対し、その内周面および外周面のうち、少なくとも内周面の、面取部および側面部にエッチング処理を施す。以下に、内周面へのエッチング処理について説明するが、この処理は外周面へも適用できる。
最後に、主表面の処理を任意選択的に行う。例えば、所定の材料を含有したパッドを貼った両面研磨盤を用い、水に所定の研磨剤を縣濁させたスラリーを滴下して、ガラス材料の主表面の鏡面研磨加工を行う。
上記ガラス基板を用いた磁気ディスクについて説明する。なお、以下に示す磁気ディスク体は、垂直磁気記録媒体であるが、本発明のディスクはこのような例には限れず、上記ガラス基板を用いることができれば、いかなるタイプのディスクも含むものである。
図4は、上記ガラス基板を用いた磁気ディスクの構造の一例を示す断面模式図である。同図によれば、磁気ディスク40は、ガラス基板42と、ガラス基板42上に形成された軟磁性裏打ち層44と、軟磁性裏打ち層44上に形成された非磁性結晶配向制御層46と、非磁性結晶配向制御層46上に形成された下地層48と、下地層48上に形成された磁性層50と、磁性層50上に形成された保護層52と、保護層52上に形成された潤滑層54とから構成されている。
次に、上述した図4に示す本発明の磁気ディスクの製造方法の一例について説明する。なお、以下に示す例は、本願発明における任意選択的要素である軟磁性裏打ち層および非磁性結晶配向制御層を含む例である。
ガラス基板42を洗浄する。当該洗浄としては、自然酸化膜を取り除く方法として効果の高い所定の薬品、例えば、酸、もしくはアルカリによる溶液洗浄の他、各種プラズマまたはイオンを用いたドライ洗浄を使用することができる。特に、設計寸法の高精度化、使用薬品から生じる廃液処理、洗浄の自動化等の観点からは、上記ドライ洗浄を用いることが好ましい。
洗浄したガラス基板42をスパッタ装置に導入する。軟磁性裏打ち層44を所定のターゲットを用いて、各種スパッタ法により形成する。例えば、DCマグネトロンスパッタ法を用いることができる。ここで、スパッタ装置内の雰囲気はアルゴン雰囲気とし、装置内圧力は0.7〜1.5Paとし、装置内温度は加熱なしとし、成膜レートは2〜10nm/秒とし、ターゲットと基板との距離は5〜15nmとすることが好ましい。
軟磁性裏打ち層44上に、非磁性結晶配向制御層46を所定のターゲットを用いて、各種スパッタ法により形成する。例えば、DCマグネトロンスパッタ法を用いることができる。ここで、スパッタ装置内の雰囲気はアルゴン雰囲気とし、装置内圧力は0.7〜2Paとし、装置内温度は加熱なしとし、成膜レートは2〜10nm/秒とし、ターゲットと基板との距離は5〜15nmとすることが好ましい。
非磁性結晶配向制御層46上に下地層48を形成する。この際、下地層48の形成方法としては、下地層48に芳香族化合物を用いる場合には、その分子構造を破壊しない、蒸着法を用いることが好ましい。
下地層48上に、磁性層50を所定のターゲットを用いて、各種スパッタ法により形成する。例えば、DCマグネトロンスパッタ法を用いることができる。ここで、スパッタ装置内の雰囲気はアルゴン雰囲気とし、装置内圧力は0.7〜4Paとし、装置内温度は加熱なしとし、成膜レートは2〜10nm/秒とし、ターゲットと基板との距離は5〜15nmとすることが好ましい。
ガラス基板42上に、軟磁性裏打ち層44、非磁性結晶配向制御層46、下地層48および磁性層50が順に形成された積層体をスパッタ装置から真空装置に移し、磁性層50上に、保護層52を、CVD法により形成することができる。なお、保護層52の他の形成方法としては、カーボンターゲットを用いたスパッタ法、およびイオンビーム法等が挙げられ、これらの方法は公知の態様を採用することができる。特に、CVD法またはイオンビーム法を用いた場合には、保護層52を薄くすることができる。
最後に、保護層52が形成された積層体を、真空装置から取り出し、保護層52上に、潤滑層54を、ディップ法により形成し、本発明の垂直磁気記録媒体を得る。
<ガラス基板の形成>
(実施例1)
厚さ1.5mm、幅1000mm、および長さ1000mmであって、SiO2:65mol%、Al2O3:12mol%、Li:7mol%、Na2O:10mol%、ZnO2:2mol%、および残部からなる、アルミノシリケイト製シートガラスを用意した。このシートガラスから、研削砥石を用いて、外径66mm、内径19mmのドーナツ形状のガラス材料の250枚を、切り出し加工により得た。これらのガラス材料を、鋳鉄定盤を装着した両面ラップ盤に装着し、水に研磨材(WA♯1200)を縣濁させたスラリーを滴下して、両面同時ラップ加工を行い、厚さ0.68mmに形成した。
以上のようにして、実施例1のガラス基板を得た。
実施例1と同様にして、切り出し加工、ラップ加工、内外径加工、および面取り加工を施したガラス基板を用意した。内周面の面取部および側面部の性状は、Ra=0.50μm、Ry=7.1μm、Ir=1.007であった。
以上のようにして、実施例2のガラス基板を得た。
実施例1と同様にして、切り出し加工、ラップ加工、内外径加工、および面取り加工を施したガラス基板を用意した。このガラス基板に対して、酸化セリウム研磨剤とナイロンブラシを用いてガラス基板表面を研磨し、鏡面とした。内周面の面取部および側面部の算術平均粗さ等は、Ra=0.003μm、Ry=0.044μm、Ir=1.002であった。
以上のようにして、実施例3のガラス基板を得た。
実施例1と同様にして、切り出し加工、ラップ加工、内外径加工、および面取り加工を施したガラス基板を用意した。内周面および外周面のそれぞれの面取部および側面部を、ガラス基板を回転させながら、酸化セリウム研磨剤とナイロンブラシを用いて研磨し、鏡面とした。内周面の面取部および側面部の算術平均粗さ等は、Ra=0.003μm、Ry=0.038μm、Ir=1.002であった。また、反射率測定器(オリンパスUSPM−RUIII)によって反射率を測定したところ、10.7%であった。
以上のようにして、比較例1のガラス基板を得た。
実施例1と同様にして、切り出し加工、ラップ加工、内外径加工、および面取り加工を施したガラス基板を用意した。内周面および外周面のそれぞれの面取部および側面部を、ガラス基板を回転させながら、酸化セリウム研磨剤とナイロンブラシを用いて研磨し、鏡面とした。内周面の面取部および側面部の算術平均粗さ等は、Ra=0.003μm、Ry=0.035μm、Ir=1.002であった。また、反射率測定器(オリンパスUSPM−RUIII)によって反射率を測定したところ、11.0%であった。
以上のようにして、比較例2のガラス基板を得た。
実施例1と同様にして、切り出し加工、ラップ加工、内外径加工、および面取り加工を施したガラス基板を用意した。このガラス基板に対して、酸化セリウム研磨剤とナイロンブラシを用いてガラス基板表面を研磨し、鏡面とした。内周面の面取部および側面部の算術平均粗さ等は、Ra=0.003μm、Ry=0.042μm、Ir=1.003であった。
以上のようにして、比較例3のガラス基板を得た。
上述のように作製された各実施例1〜3および各比較例1〜3のガラス基板の各100枚を、材料強度試験装置(島津製作所:AG−1S)を用いて、外径40mm、先端半径2mmの円環冶具42およびR=14.1mmの半球状冶具44と、ガラス基板46とを所定位置にセットし、半球状治具44の上部から試験速度0.5mm/secで抗折力を徐々に負荷して円環抗折強度を行なった。図6は、実際に行なった円環抗折強度の測定に使用した器具の概略図である。同図によれば、円環治具62および半球状治具64と、ガラス基板66とがセット状態となっており、半球状治具64には、その上方に接触配置している負荷器具68により負荷Fがかかっている。また、図7は、図6の丸囲み部分C、即ち、半球状治具64と、ガラス基板の面取部66aおよび側面部66bとの部分拡大断面図である。同図によれば、半球状治具64はガラス基板66の側面部66bと接触しており、実質的には側面部66bに上記負荷Fがかかっている。
ガラス基板に対する円環抗折強度の測定に関する結果(各100枚における最小値、最大値、および平均値)を以下に示す。
上記の円環抗折強度の測定に用いた実施例1〜3および比較例1〜3の各ガラス基板の他に、さらに各例において100枚のガラス基板を同様に用意した。これらのガラス基板を、スパッタリング装置内に導入して、CoZrNbアモルファス軟磁性層100nm、Tiシード層10nm、CoCrPt合金からなる磁気記録層30nm、カーボン保護層8nmを順次成膜後、真空装置から取り出した。これらのスパッタリング成膜はすべてArガス圧5mTorr下でDCマグネトロンスパッタリング法により行なった。その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑材層2nmをディップ法により形成し、実施例1〜3および比較例1〜3の各垂直磁気ディスクとした。
これらの垂直磁気ディスクの各例につき100枚を、上記したガラス基板の場合と同様に、材料強度試験装置にて円環抗折強度を測定した。磁気ディスクに対する円環抗折強度の測定に関する結果(各100枚における最小値、最大値、および平均値)を以下に示す。
12,26,36 主表面
14 内周面
16 外周面
22,32,66a 面取部
24,34,66b 側面部
40 磁気ディスク
44 軟磁性裏打ち層
46 非磁性結晶配向制御層
48 下地層
50 磁性層
52 保護層
54 潤滑層
62 円環治具
64 半球状治具
68 負荷器具
Claims (15)
- 主表面と、前記主表面の内側に延在する内周面と、前記主表面の外側に延在する外周面とを具えるドーナツ形状のガラス基板において、前記内周面の面取部および側面部の算術平均粗さRaが0.05〜1μmであって、それらの最大高さRyが0.5〜15μmであり、さらに、それらの展開長さ比Lrが1.006以上であることを特徴とするガラス基板。
- 前記外周面の面取部および側面部の算術平均粗さRaが0.05〜1μmであって、それらの最大高さRyが0.5〜15μmであり、さらに、それらの展開長さ比Lrが1.006以上であることを特徴とする、請求項1に記載のガラス基板。
- 前記主表面の算術平均粗さRaが0.5nm以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載のガラス基板。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のドーナツ形状のガラス基板の製造方法であって、
ガラス材料を、主表面と、前記主表面の内側に延在する内周面と、前記主表面の外側に延在する外周面とを具えるドーナツ形状とする工程、
前記内周面に研磨処理を施して、面取部および側面部を形成する工程、および
前記面取部および側面部にエッチング処理を施す工程
を含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記エッチング処理を、厚さ5〜50μmで行なうことを特徴とする、請求項4に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記外周面に研磨処理を施して、面取部および側面部を形成する工程、および前記面取部および側面部にエッチング処理を施す工程を含むことを特徴とする、請求項4または5に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記エッチング処理を、厚さ5〜50μmで行なうことを特徴とする、請求項6に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記研磨処理が、砥石による処理およびサンドブラストによる処理のうちの少なくとも一方であることを特徴とする、請求項4〜7のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
- 前記砥石による処理が、遊離砥粒と軟質ブラシとを用いて行なう処理であることを特徴とする、請求項8に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記遊離砥粒が、酸化セリウムおよびコロイダルシリカのうちの少なくとも一方であることを特徴とする、請求項9に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記軟質ブラシがナイロン製であることを特徴とする、請求項9または10に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記エッチング処理が、フッ酸、フッ化アンモニウム水溶液、および有機酸を含む混合溶液に、ガラス材料を浸漬する処理であることを特徴とする、請求項4〜11のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
- 前記エッチング処理が、フッ酸と燐酸水素二アンモンとを含む混合溶液に、ガラス材料を浸漬する処理であることを特徴とする、請求項4〜11のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
- 前記エッチング処理が、フッ化アンモニウムとアルコール類とを含む混合溶液に、ガラス材料を浸漬して行なうことを特徴とする、請求項4〜11のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のガラス基板を用いた磁気ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007231506A JP5029952B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007231506A JP5029952B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009064514A true JP2009064514A (ja) | 2009-03-26 |
JP5029952B2 JP5029952B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=40558965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007231506A Expired - Fee Related JP5029952B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5029952B2 (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010238272A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2011207739A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-10-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板 |
JP2011230276A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法及びこの製造方法で製造されたガラス基板及びこのワークホルダを用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2012003824A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ、及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法、及びこの製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板 |
WO2012090364A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | コニカミノルタオプト株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012142084A (ja) * | 2009-11-26 | 2012-07-26 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2012234608A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 磁気ディスク用ガラス基板の抗折強度試験方法および抗折強度試験装置 |
US20130059500A1 (en) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | Fuji Manufacturing Co., Ltd. | Plate-end processing method and blasting device |
JP2013080532A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法及びガラス基板 |
WO2014050496A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2014050495A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2014050507A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
CN104169233A (zh) * | 2012-03-13 | 2014-11-26 | Hoya株式会社 | 电子设备用玻璃盖片的玻璃基板及其制造方法 |
JP2017040900A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用の基板の製造方法、マスクブランク用の基板、マスクブランク、およびフォトマスク |
WO2017111078A1 (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | パナソニック株式会社 | ガラス用研磨液および研磨方法 |
CN107256712A (zh) * | 2012-09-28 | 2017-10-17 | Hoya株式会社 | 磁盘用玻璃基板及其制造方法、磁盘、圆环状的玻璃基板 |
JP2019053813A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-04-04 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク |
JP2019522614A (ja) * | 2016-06-07 | 2019-08-15 | コーニング インコーポレイテッド | 積層ガラス物品を製造する方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004174695A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Hoya Corp | 研磨方法及び研磨装置並びに磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2005272932A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Kyocera Corp | 基体およびその製造方法 |
JP2006196144A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-07-27 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法 |
JP2007102843A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Hoya Corp | 磁気記録媒体用ガラス基板および磁気ディスク |
JP2007197235A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板、及び磁気ディスクの製造方法。 |
-
2007
- 2007-09-06 JP JP2007231506A patent/JP5029952B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004174695A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Hoya Corp | 研磨方法及び研磨装置並びに磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2005272932A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Kyocera Corp | 基体およびその製造方法 |
JP2006196144A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-07-27 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法 |
JP2007102843A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Hoya Corp | 磁気記録媒体用ガラス基板および磁気ディスク |
JP2007197235A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板、及び磁気ディスクの製造方法。 |
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010238272A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2012142084A (ja) * | 2009-11-26 | 2012-07-26 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2011207739A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-10-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板 |
JP2011230276A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法及びこの製造方法で製造されたガラス基板及びこのワークホルダを用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2012003824A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ、及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法、及びこの製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板 |
WO2012090364A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | コニカミノルタオプト株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP5024496B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-09-12 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
US9202505B2 (en) | 2010-12-28 | 2015-12-01 | Konica Minolta, Inc. | Method for manufacturing glass substrate for magnetic recording medium |
JP2012234608A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 磁気ディスク用ガラス基板の抗折強度試験方法および抗折強度試験装置 |
US20130059500A1 (en) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | Fuji Manufacturing Co., Ltd. | Plate-end processing method and blasting device |
US9302368B2 (en) * | 2011-09-01 | 2016-04-05 | Fuji Manufacturing Co., Ltd. | Plate-end processing method and blasting device |
JP2013080532A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法及びガラス基板 |
JPWO2013137329A1 (ja) * | 2012-03-13 | 2015-08-03 | Hoya株式会社 | 電子機器用カバーガラスのガラス基板、及びその製造方法 |
JP2017142510A (ja) * | 2012-03-13 | 2017-08-17 | Hoya株式会社 | カバーガラス、ガラス基板 |
CN104169233A (zh) * | 2012-03-13 | 2014-11-26 | Hoya株式会社 | 电子设备用玻璃盖片的玻璃基板及其制造方法 |
WO2014050507A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2014050495A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2014050496A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JPWO2014050507A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2016-08-22 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
CN107256712A (zh) * | 2012-09-28 | 2017-10-17 | Hoya株式会社 | 磁盘用玻璃基板及其制造方法、磁盘、圆环状的玻璃基板 |
US10580448B2 (en) | 2012-09-28 | 2020-03-03 | Hoya Corporation | Magnetic-disk glass substrate, magnetic disk and method for manufacturing magnetic-disk glass substrate |
JP2017040900A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用の基板の製造方法、マスクブランク用の基板、マスクブランク、およびフォトマスク |
WO2017111078A1 (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | パナソニック株式会社 | ガラス用研磨液および研磨方法 |
JP2019522614A (ja) * | 2016-06-07 | 2019-08-15 | コーニング インコーポレイテッド | 積層ガラス物品を製造する方法 |
JP7221056B2 (ja) | 2016-06-07 | 2023-02-13 | コーニング インコーポレイテッド | 積層ガラス物品を製造する方法 |
JP2019053813A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-04-04 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク |
JP7092689B2 (ja) | 2017-06-30 | 2022-06-28 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク |
JP2022120158A (ja) * | 2017-06-30 | 2022-08-17 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク |
US11694718B2 (en) | 2017-06-30 | 2023-07-04 | Hoya Corporation | Substrate for magnetic disk, magnetic disk, and hard disk drive apparatus |
JP7326542B2 (ja) | 2017-06-30 | 2023-08-15 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5029952B2 (ja) | 2012-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5029952B2 (ja) | ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク | |
JP5356606B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
WO2012093516A1 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法および磁気記録媒体 | |
JP3512702B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、及び情報記録媒体の製造方法 | |
WO2011125894A1 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5235118B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP5536481B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及び情報記録媒体の製造方法 | |
JP5319095B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2013084335A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP2007102843A (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板および磁気ディスク | |
JP2003173518A (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5235916B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク | |
JP2009064524A (ja) | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク | |
JPH1125454A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、及び情報記録媒体の製造方法 | |
JP5492276B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板及び磁気ディスク | |
JP4698546B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法 | |
JP5859757B2 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 | |
JP5111818B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP2012216251A (ja) | 磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5386037B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2005285276A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク | |
JP2010073289A (ja) | 磁気ディスク用基板および磁気ディスク | |
WO2012042735A1 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JPH10194786A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、及び情報記録媒体の製造方法 | |
JP6088534B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体の製造方法、および、円盤状のガラス基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20100415 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110617 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5029952 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |