JP2008282017A - マスクの設計方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクの設計方法は、チップ領域を定義するステップと、前記チップ領域を縮小して母ダミーパターンを形成するステップと、メッシュ(Mesh)ダミーパターンを形成するステップと、前記母ダミーパターンと前記マッシュダミーパターンとの重なる部分を除去して子ダミーパターン150,230を形成するステップと、を含む。
【選択図】図3B
Description
図1A乃至図1Eは、第1の実施の形態によるマスクの設計方法を説明するための概念図である。
図2A乃至図2Gは、第2の実施の形態によるマスクの設計方法の概念図である。
図3Aは、第3の実施の形態による半導体素子の平面図であって、図3Bは、第3の実施の形態による半導体素子のI−I′線の断面図である。
Claims (14)
- チップ領域を定義するステップと、
前記チップ領域を縮小して母ダミーパターンを形成するステップと、
メッシュダミーパターンを形成するステップと、
前記母ダミーパターンと前記メッシュダミーパターンとの重なる部分を除去して子ダミーパターンを形成するステップと、を含むことを特徴とするマスクの設計方法。 - 前記メッシュダミーパターンを形成するステップは、
前記母ダミーパターン上に、第1幅を有する第1ラインと第2幅を有する第2ラインとを互いに平行になるように交互に形成するステップと、
前記母ダミーパターン上に、前記第1ラインと垂直に、第3幅を有する第3ラインと第4幅を有する第4ラインとを互いに平行になるように交互に形成するステップと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のマスクの設計方法。 - 前記第1幅は、前記第2幅と異なることを特徴とする請求項2に記載のマスクの設計方法。
- 前記第3幅は前記第1幅と同一であって、前記第4幅は前記第2幅と同一であることを特徴とする請求項3に記載のマスクの設計方法。
- 前記母ダミーパターンを形成するステップの後、
前記チップ領域内にメインパターンを形成するステップと、
前記メインパターンを基準にダミーパターン禁止領域を形成するステップと、
前記ダミーパターン禁止領域と接する子ダミーパターンを除去するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のマスクの設計方法。 - 前記子ダミーパターンは、アクティブダミーパターンであることを特徴とする請求項1に記載のマスクの設計方法。
- 前記子ダミーパターンは、正方形のパターンであることを特徴とする請求項2に記載のマスクの設計方法。
- 前記子ダミーパターンは、
互いに前記第1幅の距離だけ離れて形成された複数の第1子ダミーパターンを含む第1郡の子ダミーパターンと、
前記第1郡の子ダミーパターンから前記第2幅の距離だけ離れて形成された複数の第2子ダミーパターンを含む第2郡の子ダミーパターンと、を含むことを特徴とする請求項7に記載のマスクの設計方法。 - チップ領域を定義するステップと、
前記チップ領域を縮小して母ダミーパターンを形成するステップと、
前記母ダミーパターン上に、第1幅を有する第1ラインと第2幅を有する第2ラインとを互いに平行になるように交互に形成するステップと、
前記母ダミーパターン上に、前記第1ラインと垂直に、第3幅を有する第3ラインと第4幅を有する第4ラインとを互いに平行になるように交互に形成するステップと、
前記第2ラインと前記第4ラインとの排他的論理和を求めて第5パターンを形成するステップと、
前記第2ラインと前記第4ラインを幅方向に収縮して第6ラインと第7ラインをそれぞれ形成して第8パターンを形成するステップと、
前記第5パターンと前記第8パターンとの論理積を求めて子ダミーパターンを形成するステップと、を含むことを特徴とするマスクの設計方法。 - 前記第1幅は、前記第2幅と異なることを特徴とする請求項9に記載のマスクの設計方法。
- 前記第3幅は前記第1幅と同一であって、前記第4幅は前記第2幅と同一であることを特徴とする請求項10に記載のマスクの設計方法。
- 前記母ダミーパターンを形成するステップの後、
前記チップ領域内にメインパターンを形成するステップと、
前記メインパターンを基準にダミーパターン禁止領域を形成するステップと、
前記ダミーパターン禁止領域と接する子ダミーパターンを除去するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載のマスクの設計方法。 - 前記ダミーパターン禁止領域と接する子ダミーパターンを除去するステップの後、
最小サイズ未満の子ダミーパターンを除去するステップをさらに含むことを特徴とする請求項12に記載のマスクの設計方法。 - 前記子ダミーパターンは、ポリダミーパターンであることを特徴とする請求項9に記載のマスクの設計方法。
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