JP2008121071A5 - - Google Patents
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Description
その発明の要旨とするところは、
（１）ＦｅＣｏ系合金において、Ｆｅ：Ｃｏのａｔ比が１０：９０〜７０：３０とすることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
（２）前記（１）において、ＡｌまたはＣｒの１種または２種を０．２〜５．０ａｔ％含有させてなることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
（３）前記（１）または（２）において、Ｂ，Ｎｂ、Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｔｉ，Ｖのいずれか１種または２種以上を３０ａｔ％以下含有させてなることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材にある。
（１）ＦｅＣｏ系合金において、Ｆｅ：Ｃｏのａｔ比が１０：９０〜７０：３０とすることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
（２）前記（１）において、ＡｌまたはＣｒの１種または２種を０．２〜５．０ａｔ％含有させてなることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
（３）前記（１）または（２）において、Ｂ，Ｎｂ、Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｔｉ，Ｖのいずれか１種または２種以上を３０ａｔ％以下含有させてなることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材にある。
Claims (3)
- ＦｅＣｏ系合金において、Ｆｅ：Ｃｏのａｔ比が１０：９０〜７０：３０とすることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
- 請求項１において、ＡｌまたはＣｒの１種または２種を０．２〜５．０ａｔ％含有させてなることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
- 請求項１または請求項２において、Ｂ，Ｎｂ、Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｔｉ，Ｖのいずれか１種または２種以上を３０ａｔ％以下含有させてなることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。
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