JP5037036B2 - FeCo系ターゲット材 - Google Patents
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Description
(1)FeCo系合金において、原料粉末のFeとCoの質量比がFe:Co=8:2〜7:3である原料粉末Aと、同じく質量比がFe:Co=2:8〜0:10なる原料粉末Bとを用いて、質量比がFe:Co=8:2〜2:8となるように原料粉末Aおよび原料粉末Bを混合し、かつ原料粉末Aと原料粉末Bの一方または両方に、Nb,Zr,TaおよびHfの1種または2種以上を原料粉末Aと原料粉末Bの混合状態で合計3〜15at%となるように添加したことを特徴とするFeCo系ターゲット材。
(2)前記(1)記載のターゲット材であって、添加元素は原料粉末Aおよび原料粉末Bの少なくとも一方に添加量の合計で1at%以上添加されており、かつ両方の混合粉末には添加量の合計が3〜15at%添加されていることを特徴とするFeCo系ターゲット材。
(3)FeCo系合金の製造方法において、原料粉末のFeとCoの質量比がFe:Co=8:2〜7:3である原料粉末Aと、同じく質量比がFe:Co=2:8〜0:10なる原料粉末Bとを用いて、質量比がFe:Co=8:2〜2:8となるように原料粉末Aおよび原料粉末Bを混合し、かつ原料粉末Aと原料粉末Bの一方または両方に、Nb,Zr,TaおよびHfの1種または2種以上を原料粉末Aと原料粉末Bの混合状態で合計3〜15at%となるように添加した混合粉末を1073〜1473Kの温度、100〜500MPaの圧力により成形したことを特徴とするFeCo系合金の製造方法。
(4)前記(3)記載のFeCo系合金の製造方法において、添加元素は原料粉末Aおよび原料粉末Bの少なくとも一方に添加量の合計で1at%以上添加されており、かつ両方の混合粉末には添加量の合計が3〜15at%添加されている混合粉末を1073〜1473Kの温度、100〜500MPaの圧力により成形したことを特徴とするFeCo系合金の製造方法にある。
表1に示すように、Fe−Co系合金をガスアトマイズ法、ないし鋳造法によって作製した。ガスアトマイズ法の場合は、ガス種類がアルゴンガス、ノズル径が6mm、ガス圧が5MPaの条件で行い、また、鋳造法の場合は、セラミックルツボ(直径200mm、長さ30mm)により溶解し、その後粉砕して粉末とする。作製した粉末を500μm以下にて分級し、それぞれの粉末をV型混合機により1時間攪拌した。
(1)透磁率測定
リング試験片作製:外径15mm、内径10mm、高さ5mm
装置:BHトレーサー
印加磁場:8kA/m
測定項目:最大透磁率(μm)
(2)密度
密度の測定方法はアルキメデス法で、また、相対密度(計算密度に対する実測密度の割合)を算出して評価した。
これに対し、本発明例No.1〜10のいずれも本発明の条件を満たしていることから、磁気特性である透磁率に優れていることが分かる。
特許出願人 山陽特殊製鋼株式会社
代理人 弁理士 椎 名 彊
Claims (4)
- FeCo系合金において、原料粉末のFeとCoの質量比がFe:Co=8:2〜7:3である原料粉末Aと、同じく質量比がFe:Co=2:8〜0:10なる原料粉末Bとを用いて、質量比がFe:Co=8:2〜2:8となるように原料粉末Aおよび原料粉末Bを混合し、かつ原料粉末Aと原料粉末Bの一方または両方に、Nb,Zr,TaおよびHfの1種または2種以上を原料粉末Aと原料粉末Bの混合状態で合計3〜15at%となるように添加したことを特徴とするFeCo系ターゲット材。
- 請求項1記載のターゲット材であって、添加元素は原料粉末Aおよび原料粉末Bの少なくとも一方に添加量の合計で1at%以上添加されており、かつ両方の混合粉末には添加量の合計が3〜15at%添加されていることを特徴とするFeCo系ターゲット材。
- FeCo系合金の製造方法において、原料粉末のFeとCoの質量比がFe:Co=8:2〜7:3である原料粉末Aと、同じく質量比がFe:Co=2:8〜0:10なる原料粉末Bとを用いて、質量比がFe:Co=8:2〜2:8となるように原料粉末Aおよび原料粉末Bを混合し、かつ原料粉末Aと原料粉末Bの一方または両方に、Nb,Zr,TaおよびHfの1種または2種以上を原料粉末Aと原料粉末Bの混合状態で合計3〜15at%となるように添加した混合粉末を1073〜1473Kの温度、100〜500MPaの圧力により成形したことを特徴とするFeCo系合金の製造方法。
- 請求項3記載のFeCo系合金の製造方法において、添加元素は原料粉末Aおよび原料粉末Bの少なくとも一方に添加量の合計で1at%以上添加されており、かつ両方の混合粉末には添加量の合計が3〜15at%添加されている混合粉末を1073〜1473Kの温度、100〜500MPaの圧力により成形したことを特徴とするFeCo系合金の製造方法。
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