JP4699194B2 - FeCoB系スパッタリングターゲット材の製造方法 - Google Patents
FeCoB系スパッタリングターゲット材の製造方法 Download PDFInfo
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Description
(1)FeCoB系スパッタリングターゲット材において、原料粉末として、質量%で、Fe−22〜26%Co、Fe−15〜100%B、Co−0〜10%Fe(0%を含む)からなる3種類の粉末を用い、at%で、FeとCo合計量:85〜92%、B:8〜15%、かつFeとCoのat比がFe:Co=7:3〜2:8になるように前記粉末を所定量混合し、これを熱間にて成形することを特徴とするFeCoB系スパッタリングターゲット材の製造方法。
(2)FeCoB系スパッタリングターゲット材において、Fe、Co、B以外の他の添加元素をトータルで5at%以下含有することを特徴とする前記(1)記載のFeCoB系スパッタリングターゲット材の製造方法にある。
図1は、Fe−Coの含有量と透磁率との関係を示す図である。横軸はFe中へのCo含有%を示し、縦軸は初期透磁率(μ0 )を示す。この図に示すように、Fe−50%Co近傍で最大透磁率を示している。また、Fe−22〜26%CoおよびCo−0〜10%Feにおいては透磁率が比較的低い領域を示している。
表1に示すように、ガスアトマイズ法によって、質量%で、Fe−24%Co,Fe−28%B,Co粉末、Fe−24%Co,Fe−25%B,Co粉末、Fe−24%Co,100%B,Co粉末、Fe−24%Co,Fe−25%B,Co粉末、Fe−24%Co,Fe−28%B,Fe−90Co粉末、Fe−22%Co,Fe−28%B,Fe−90Co粉末、Fe−26%Co,Fe−28%B,Fe−100Co粉末の7種の粉末を作製した。そのときのガスアトマイズはガス種類がアルゴンガス、ノズル径が6mm、ガス圧が5MPaの条件で行った。
2 ホール素子
3 磁石
特許出願人 山陽特殊製鋼株式会社
代理人 弁理士 椎 名 彊
Claims (2)
- FeCoB系スパッタリングターゲット材において、原料粉末として、質量%で、
Fe−22〜26%Co、
Fe−15〜100%B、
Co−0〜10%Fe(0%を含む)
からなる3種類の粉末を用い、at%で、FeとCo合計量:85〜92%、B:8〜15%、かつFeとCoのat比がFe:Co=7:3〜2:8になるように前記粉末を所定量混合し、これを熱間にて成形することを特徴とするFeCoB系スパッタリングターゲット材の製造方法。 - FeCoB系スパッタリングターゲット材において、Fe、Co、B以外の他の添加元素をトータルで5at%以下含有することを特徴とする請求項1記載のFeCoB系スパッタリングターゲット材の製造方法。
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