JP4331182B2 - 軟磁性ターゲット材 - Google Patents
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Description
(1)厚さ5mm以上とするスパッタ性に優れたFe−Co系合金において、Fe:Coのat比が30:70〜20:80とし、B,Nb,Zr,Ta,Hf,Tiのいずれか1種または2種以上を30at%以下、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなることを特徴とする軟磁性ターゲット材にある。
Fe:Coのat比が30:70〜20:80
Fe−Co系合金は、飽和磁束密度の大きい合金系として、垂直磁気記録膜として使用される。さらに、Fe:Coのat比が30:70〜20:80としたのは、Feに対して、Coが80%を超えると磁気特性が劣化するためである。なお、FeおよびCoの含有量は、100at%から後述するAl、CrやB等の含有量を差し引いた値である。
AlまたはCrの1種または2種が、0.2at%未満では耐候性の改善に効果が不十分であり、また、5at%を超えると磁気特性の劣化が大きくなり好ましくない。従って、その範囲を0.2〜5at%とした。好ましくは0.5〜3at%とする。
B,Nb,Zr,Ta,Hf,Tiは、薄膜のアモルファス化を促進するためであり、これらの添加元素のトータルで30at%を超えると磁気特性が劣化することから、その上限を30at%とした。好ましくは5〜20at%とする。
表1に示すように、Fe−Co系合金をガスアトマイズ法、ないし鋳造法によって作製した。ガスアトマイズ法の場合は、ガス種類がアルゴンガス、ノズル径が6mm、ガス圧が5MPaの条件で行い、また、鋳造法の場合は、セラミックルツボ(φ200×30L)により溶解し、その後粉砕して粉末とする。作製した粉末を500mm以下にて分級し、それぞれの粉末をV型混合機により1時間攪拌した。
(1)耐候性試験(加速試験)
ターゲット材を用いた塩水噴霧試験としては、JIS Z 2371に基づき、NaCl:5質量%溶液を24時間噴霧した後のターゲット材外観を目視により発銹の有無を確認した。その評価基準として下記で評価した。
○:発銹なし
△:ターゲット材の一部に発銹
×:ターゲット材の全面に発銹
(2)磁気特性(飽和磁束密度)
リング試験片作製:外径15mm、内径10mm、高さ5mm
装置:BHトレーサー
印加磁場:8kA/m
表1に示すように、No.1〜10は本発明例であり、No.11〜18は比較例である。比較例No.11は、Feの含有量が低く、Coの含有量が高いために、磁気特性である飽和磁束密度が低い。比較例No.12は、Feの含有量が高く、Coの含有量が低く、かつTaの含有量が高いために、飽和磁束密度が低い。比較例No.13は、NbとZrのトータル量が高いために、飽和磁束密度が低い。比較例No.14は、Feの含有量が高く、Coの含有量が低く、かつNbとZrのトータル量が高いために、飽和磁束密度が低い。
Claims (1)
- 厚さ5mm以上とするスパッタ性に優れたFe−Co系合金において、Fe:Coのat比が30:70〜20:80とし、B,Nb,Zr,Ta,Hf,Tiのいずれか1種または2種以上を30at%以下、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなることを特徴とする軟磁性ターゲット材。
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