JP6113817B2 - 垂直磁気記録媒体における軟磁性薄膜層用合金およびスパッタリングターゲット材並びに軟磁性薄膜層を有する垂直磁気記録媒体。 - Google Patents
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at%で、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Ni,Cu,Al,B,C,Si,P,Zn,Ga,Ge,Snを1種または2種以上、残部Co、Feおよび不可避的不純物からなり、下記の式(1)〜(4)を全て満たすことを特徴とした垂直磁気記録媒体における軟磁性薄膜層に用いる合金。
(1)0.30≦Fe%/(Fe%+Co%)≦0.5
(2)5≦Ti%+Zr%+Hf%+V%+Nb%+Ta%+B%/2
(3)0.3≦0.813×Fe%/(Fe%+Co%)−0.062×TNM+1.751≦1.04
(4)Ni:1%以下、B:2%以下
ただし、Fe%/(Fe%+Co%)とは、Feの含有量とFeとCoを合計した含有量の比のことである。また、TNMは、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,
W,Mn,Ni,Cu,Al,B,C,Si,P,Zn,Ga,Ge,Snの添加量の合計%、なお、Bのみ1/2倍の値を用いる。
(3)前記(2)に記載の軟磁性薄膜層を有する垂直磁気記録媒体。
(4)前記(1)に記載の合金からなるスパッタリングターゲット材にある。
まず、スパッタ膜は薄膜であることから、Hkには反磁場の影響が大きく、すなわち反磁界係数と磁化の強さの効果が高いことが予想される。ここで反磁界係数は薄膜の形状で決定される外的因子であり、磁化の強さは軟磁性膜のBsに相当する。したがって、上述のようにHkと軟磁性膜のBsは相関を持つ。しかしながら、この考え方では高いHkのために高いBsが必要となり従来の高いBs軟磁性合金の必要性と同じになってしまう。
0.30≦Fe%/(Fe%+Co%)≦0.5
本合金において、FeおよびCoは、記録膜の磁化を安定させるために最低限必要な磁化を持たせるための元素であり、BsとFe%/(Fe%+Co%)の挙動はいわゆるスレーターポーリング曲線などに示される。本発明において最も重要な知見は、上述のように高いBs比とすることで、室温で比較的低いBsの軟磁性膜でも高いHkが得られることを見出し、さらにFe%/(Fe%+Co%)を低くすることにより、このBs比を高く保てることを見出した点である。
本合金において、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Bは非晶質性を高めるための元素であり、これらの合計が5未満では十分な非晶質性が得られない。なお、結晶質の合金を用いると、磁気記録メディアからノイズが発生する原因となってしまう。ただし、Bは特に非晶質促進効果が高い元素であり、他の元素の半分の添加量で同等近い効果が得られるため、合計の式において、Bのみ1/2の値を用いている。十分な非晶質性を得るために、好ましくは9%以上、より好ましくは13%以上である。
本合金において、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Ni,Cu,Al,B,C,Si,P,Zn,Ga,Ge,Snは、いずれもBsを低減させる元素である。本合金系のBsは概ね「0.813×Fe%/(Fe%+Co%)−0.062×TNM+1.751」で近似される。なお、この式は後述の実施例において、0.1≦Fe%/(Fe%+Co%)≦0.50の範囲で得られたBsを、Fe%/(Fe%+Co%)とTNMで重回帰分析した結果、高い相関係数で得られた式であり、この式の値を0.3〜1.04の範囲とすることで、0.3〜1.2Tと従来の軟磁性膜よりも比較的低いBsを有する軟磁性合金が得られる。ただし、0.3未満では十分なHkが得られず、1.2を超えると従来のBsが高い軟磁性膜と同様に「書き滲み」が大きくなる。また、BによるBsの低減効果は、他の元素の約半分であることから、TNMの算出にはBのみ1/2の値を用いている。なお、好ましくは0.4〜1.04、より好ましくは0.5〜1.0である。
Niは、Bsを低減させる元素であるが、特にNiは、1%を超えるとその効果が十分に得られないことから1%以下とした。また、Bは、Niと同様に、Bsを低減させる元素であるが、特にBは、2%を超えるとその効果が十分得られないことから10%以下とした。
表1に示す組成でガスアトマイズ法により合金粉末を作製した。溶解母材は25kgで減圧したAr雰囲気中にて誘導溶解し、直径8mmのノズルから合金溶湯を出湯し、直後に高圧のArガスを噴霧しアトマイズした。この粉末を500μm以下に分級し、HIP成形(熱間等方圧プレス)の原料粉末として用いた。HIP成形用ビレットは、直径200mm、長さ100mmの炭素鋼製の缶に原料粉末を充填したのち、真空脱気、封入し作製した。この粉末を充填したビレットを、成形温度が1000℃で、圧力が120MPa、保持時間が2時間の条件でHIP成形した。その後、成形体から直径95mm、厚さ2mmのスパッタリングターゲット材を作製した。このスパッタリングターゲット材を用い薄膜を作製した。
Claims (4)
- at%で、
Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Ni,Cu,Al,B,C,Si,P,Zn,Ga,Ge,Snを1種または2種以上、残部Co、Feおよび不可避的不純物からなり、下記の式(1)〜(4)を全て満たすことを特徴とした垂直磁気記録媒体内の軟磁性薄膜層に用いる合金。
(1)0.30≦Fe%/(Fe%+Co%)≦0.5
(2)5≦Ti%+Zr%+Hf%+V%+Nb%+Ta%+B%/2
(3)0.3≦0.813×Fe%/(Fe%+Co%)−0.062×TNM+1.751≦1.04
(4)Ni:1%以下、B:2%以下
ただし、Fe%/(Fe%+Co%)とは、Feの含有量とFeとCoを合計した含有量の比のことである。また、TNMは、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Ni,Cu,Al,B,C,Si,P,Zn,Ga,Ge,Snの添加量の合計%、なお、Bのみ1/2倍の値を用いる。 - 請求項1に記載の合金からなり、アモルファス構造を有する軟磁性薄膜層。
- 請求項2に記載の軟磁性薄膜層を有する垂直磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の合金からなるスパッタリングターゲット材。
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