JP2015190017A - 軟磁性薄膜形成用スパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
Description
(1)本発明の軟磁性薄膜形成用スパッタリングターゲットはCoFe合金相と、Al、Hf、Mg、Ti及びSiのいずれか1種以上からなる酸化物相とを含む組織を有する焼結体であることを特徴とする。
(2)前記(1)の軟磁性薄膜形成用スパッタリングターゲットにおいて、前記CoFe合金相における比Co/(Co+Fe)が、0.47〜0.7であり、前記CoFe合金相の面積率が、50.0〜90.0%であり、且つ、前記CoFe合金相の分割幅が、1.0〜5.0μmであることを特徴とする。
先ず、平均粒径:0.8〜4.5μm、純度3NのCo粉末と、平均粒径:50〜200μm、純度3NのFe粉末と、平均粒径:0.5〜3.0μmの酸化物(Al2O3、HfO2、MgO、TiO2、SiO2)粉末を用意し、これらの粉末を表1に示された配合比率になるように秤量した。秤量された各粉末と5mmφジルコニアボールとをボールミル装置に投入し、Arガス雰囲気中で、2〜16時間混合し、実施例1〜14の混合粉を得た。これらの混合粉を、真空雰囲気中で、保持温度:950〜1150℃、保持時間:3〜6時間、圧力:350kgf/cm2の条件で加圧焼結して、実施例1〜14の焼結体を得た。これらの焼結体を、直径125mm×厚さ5mmに機械加工し、バッキングプレートを貼り付けて、実施例1〜14のターゲットを作製した。なお、加圧焼結をホットプレス(HP)によって行ったが、他の方法として、HIP法(熱間等方加圧式焼結法)等を採用しても構わない。
比較例では、実施例との比較のため、上記のCo粉末、Fe粉末を表1に示された配合比率になるように秤量し、実施例と同様の手順に従って、比較例1、2の混合粉を得た後、これらの混合粉を加圧焼結して焼結体を作製した。これらの焼結体を、機械加工し、バッキングプレートを貼り付けて、比較例1、2のターゲットを作製した。
表2のターゲット組成に基づいて、実施例1〜14及び比較例1、2のターゲット中のCoとFeとの割合(Co比)を、Co/(Co+Fe)の式を用いて算出した。ここで、「Co」は、Coの原子%値であり、「Fe」は、Feの原子%値である。
その結果を、表3の「Co比」欄に示した。
例示として、図1には、実施例2のターゲットについて、EPMAにより取得した組成像(COMPO像)が示されており、この像中で、白い領域は、CoFe合金相を示し、黒い領域は、Hf酸化物相を示している。同様に、図2は、実施例4のターゲットに係るCOMPO像であり、白い領域は、CoFe合金相を示し、黒い領域は、Ti酸化物相を示し、そして、図3は、実施例5のターゲットに係るCOMPO像であり、白い領域は、CoFe合金相を示し、黒い領域は、Si酸化物相を示している。
ここで、CoFe合金相の面積率の測定にあたっては、各実施例及び各比較例のターゲットについて取得したCOMPO像を利用し、各ターゲット上の異なる5箇所で、一辺30μmの正方形内における白い領域が占める割合を読み取った。それらの割合の平均値をCoFe合金相の面積率とした。その測定結果を、表3の「CoFe相面積率(%)」欄に示した。なお、各ターゲットにおける酸化物相の面積率は、100%から前記CoFe合金相の面積率を引いた値である。
上述した各実施例及び各比較例のターゲットについて取得したCOMPO像を利用し、図4に示されるように、ターゲット上の異なる5箇所におけるCOMPO像の一辺を11等分する10本の直線(図4では、白線で示した)を描き、この10本の直線が通過するCoFe合金相(白い領域)の数をカウントした。ターゲット組織の微細化の程度を表す指標として、次式により求めた値をCoFe合金相の分割幅として定義した。各実施例及び各比較例のターゲットについて測定した結果を、表3の「CoFe相分割幅(μm)」欄に示した。なお、図4では、Hf酸化物を添加した場合のCOMPO像を例にして示されている。
(CoFe合金相の分割幅)=(画像上の10本の線分の長さを実際の長さに補正した値)/(10本の線分が通過する白い領域の数)
PTFの測定は、ASTMF2086−01の規定に基づいて実施した。測定結果を、表3の「PTF(%)」欄に示した。
相対密度は、各実施例及び比較例の焼結体を所定寸法に機械加工した後、重量を測定し嵩密度を求めた後、これを理論密度ρCalで割ることで、算出した。相対密度の測定結果を、表3の「相対密度(%)」欄に示した。
なお、理論密度ρCalは、原料Co及びFeの重量に基づいて、下記の式により求めた。式中のρCalは、i種の酸化物が添加された場合を示しており、ρoxi及びCoxiに関して、例えば、添加された酸化物が1種類の場合には、ρox1項及びCox1項で計算し、2種類の場合には、ρox1項及びCox1項と、ρox2項及びCox2項とで計算される。
Claims (2)
- CoFe合金相と、Al、Hf、Mg、Ti及びSiのいずれか1種以上からなる酸化物相とを含む組織を有する焼結体であることを特徴とする軟磁性薄膜形成用スパッタリングターゲット。
- 前記CoFe合金相における比Co/(Co+Fe)が、0.47〜0.7であり、
前記CoFe合金相の面積率が、50.0〜90.0%であり、且つ、前記CoFe合金相の分割幅が、1.0〜5.0μmであることを特徴とする請求項1に記載の軟磁性薄膜形成用スパッタリングターゲット。
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