JP2008091896A - インバータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、プラスチック基板に有機半導体を用いてインバータ回路を作製する際、しきい電圧を位置別に制御するため、エンハンスメントタイプ特性を示すボトムゲート有機半導体トランジスタをドライバトランジスタに使用し、空乏タイプ特性を示すトップゲート有機半導体トランジスタを負荷トランジスタに使用する構造及び製造方法を提案する。
【選択図】図1
Description
22、22' ドライバトランジスタゲート電極
30、30' 第1の絶縁体層
42、42' ドライバトランジスタソース電極
44、44' 単一層
46、46' 負荷トランジスタドレイン電極
50、50' 第2の絶縁体層
62、62' 負荷トランジスタトップゲート電極
72、72'、74、74' 有機半導体層
Claims (18)
- ボトムゲートトランジスタ構造を有するドライバトランジスタと、
トップゲートトランジスタ構造を有する負荷トランジスタと
を備えることを特徴とするインバータ。 - 前記ドライバトランジスタのドレイン電極と前記負荷トランジスタのソース電極とが同じ層で具現されていることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタのドレイン電極層と前記負荷トランジスタのゲート電極層とが導電的に直接連結されていることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタ及び前記負荷トランジスタは、有機半導体トランジスタであることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタは、ソースが接地電圧に連結され、ゲートに入力信号が印加され、ドレインが前記負荷トランジスタのソースに連結され、
前記負荷トランジスタは、ゲートとソースとが連結され、ドレインには、電源電圧段が連結されていることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。 - 前記ドライバトランジスタ及び前記負荷トランジスタのW/Lが同一であることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記負荷トランジスタは、ボトムゲート及びトップゲートによる二重チャンネル構造を有することを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタのドレイン電極層と前記負荷トランジスタのボトムゲート電極層とが導電的に直接連結され、
前記ドライバトランジスタのドレイン電極層と前記負荷トランジスタのトップゲート電極層とが導電的に直接連結されていることを特徴とする請求項7に記載のインバータ。 - 前記ドライバトランジスタのドレイン電極と前記負荷トランジスタのソース電極とが同じ層で具現されていることを特徴とする請求項8に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタのドレイン電極層と、前記負荷トランジスタのボトムゲート電極層及びトップゲート電極層とは、コンタクトホールを介して導電的に連結されていることを特徴とする請求項7に記載のインバータ。
- 前記負荷トランジスタのトップゲート電極は、Ti、Cu、Cr、Al、Au、Mo、Wのうち少なくとも1つ以上の金属物質、ITO(酸化インジウムスズ) 、IZO(酸化インジウム亜鉛)またはPEDOT(ポリエチレンジオキシチオフェン)で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタ及び前記負荷トランジスタのソース及びドレイン電極は、Au、Pt、Ni、Pdのうち少なくとも1つ以上の金属物質、 ITO(酸化インジウムスズ) 、IZO(酸化インジウム亜鉛)またはPEDOT(ポリエチレンジオキシチオフェン)で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタのボトムゲート上部チャンネルを形成する絶縁体層は、OTS(オクタデシルトリクロロシラン)、HMDS(ヘキサメチルジシラザン)などの疎水性表面処理が施されており、
前記負荷トランジスタのトップゲート下部チャンネルを形成する絶縁体層は、表面処理が施されていないことを特徴とする請求項1に記載のインバータ。 - 基板上に形成されたドライバトランジスタゲート電極と、
前記ドライバトランジスタゲート電極を覆う第1の絶縁体層と、
前記第1の絶縁体層上に形成された、ドライバトランジスタソース電極、ドライバトランジスタドレイン電極および負荷トランジスタソース電極を形成する単一層、および負荷トランジスタドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に露出された前記第1の絶縁層上に形成された有機半導体層と、
前記ソース電極およびドレイン電極ならびに前記有機半導体層を覆う第2の絶縁体層と、
前記第2の絶縁体上に形成された負荷トランジスタトップゲート電極と
を備えることを特徴とするインバータ。 - 前記第2の絶縁体層には、前記負荷トランジスタトップゲート電極と前記単一層とを導電的に連結させるためのコンタクトホールが形成されていることを特徴とする請求項14に記載のインバータ。
- 前記ドライバトランジスタゲート電極と同じ層で形成されている負荷トランジスタボトムゲート電極をさらに備えることを特徴とする請求項14に記載のインバータ。
- 前記第1の絶縁体層には、前記負荷トランジスタボトムゲート電極と前記単一層とを導電的に連結させるためのコンタクトホールが形成されていることを特徴とする請求項16に記載のインバータ。
- 前記基板は、プラスチック基板であることを特徴とする請求項14に記載のインバータ。
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