JP2007531247A - 側壁用絶縁体を有する金属バンプ及びこのような金属バンプを有するチップを製造する方法 - Google Patents
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- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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Abstract
プラズマ励起ガス内で堆積された対向側壁用絶縁層を有する少なくとも2つの金属バンプ(6a、6b)を有するチップ。絶縁層(7)の所定部分が反応性イオン・エッチングによって除去される。金属バンプは貴金属から、そして絶縁層はSiO2、Si3N4などの誘電材料から形成されてよい。
Description
本発明は、側壁用絶縁体を有する、IC上の金属バンプに関する。本発明は特に、ガラス・パネルに取り付けられた液晶表示(LCD)モジュールの駆動ICに関する。本発明は、このようなバンプを備えるチップを製造する方法にも関する。本発明はさらに、チップ基板並びにガラス・パネル又はフォイル用のコネクタに関する。
異方性コンタクトフィルム(ACF)は、チップをガラス・パネルに付着させるための一般的な材料である。ACFは、直径3〜15μmの分散された微細な導電的粒子と、厚さ15〜35μmの接着材からなる接着皮膜である。ACF組立て技術の限界は、隣り合うバンプ間の間隙を狭くすることによって、隣り合うバンプ間の短絡の可能性が急激に増大するという事実に起因する。隣り合う2つのバンプの側壁に接触する導電性ボールの鎖の形成では、側壁同士を短絡させることがある。ACF組立て技術は特に、チップ・オン・ガラス(COG)及びチップ・オン・フォイル(COF)による最新の実装への応用に使用される。
米国特許出願公開第2002/0048924号は、第1の所定領域を含む第1の側壁を有する少なくとも1つの第1の金属バンプと、第1の所定領域に隣接する第2の所定領域を備える第2の側壁を有する少なくとも1つの第2の金属バンプとを備え、少なくとも第1の所定領域が絶縁層で覆われた金属バンプを開示している。この絶縁層は、第1及び第2の金属バンプ両方の側壁全体を覆うことができる。第1の金属バンプの所定部分は、絶縁層で覆われてもよい。これにより、導電性粒子によって引き起こされる短絡を防止できる。米国特許出願公開第2002/0048924号では、側壁上の絶縁層用材料として酸化ケイ素(SiO2)又は窒化ケイ素(Si3N4)を使用することが開示されている。
米国特許第6232563号は、複数の導電要素を含む接着材を使用して半導体装置を外部端子に接続するためのコネクタ構造に関する。このコネクタ構造は、装置基板を覆うパッドと、複数の導電要素を備えた導電性接着材を使用して外部端子のパッドに接続されたパッドを覆う導電性バンプと、導電性バンプ側面上にあり、側面を介しての短絡を防止するために導電性バンプの側面全体を実質的に覆う絶縁層とを含む。開示されたこのようなコネクタ構造の製造方法は、
i. 駆動装置がその上に形成される基板上にアルミニウムなどの導電材料のパッドを形成することと、
ii. パッドを含む基板の表面全体上に、酸化ケイ素層又は窒化ケイ素層などのパッシベーション層を形成することと、
iii. パッシベーション層の一部がパッドの縁端部を覆うようにしてパッドの一部を露出させるために、パッシベーション層を選択的にエッチングすることと、
iv. パッドの露出された部分及びパッシベーション層の上に、バリア層(例えば、TiW/Au、Ti/PtAu)を堆積させることと、
v. パッド上のバリア金属の一部を露出させるために、バリア金属上にフォト・レジスト・パターンを選択的に形成することと、
vi. フォト・レジスト・パターンを使用して電気めっきによって、バリア金属上に金(Au)のバンプを形成することと、
vii. フォト・レジスト・パターンを除去することと、
viii.拡散止め部を形成するために、バリア金属を選択的にエッチングすることと、
ix. 熱処理を行うことと、
x. 例えば、化学気相成長法(CVD)、物理気相成長法(PVD)、又は、被覆法により、バンプ、パッシベーション層及び拡散止め部の露出部分の上に、高分子層、感光性高分子層、又は、窒化ケイ素層などの絶縁層を形成することと、
xi. 絶縁層上にフォト・レジストを被覆することと、
xii. バンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するために、フォト・レジストを選択的に除去することと、
xiii.フォト・レジスト・パターンをマスクとして使用して、又は、(感光性材料の場合)光学的処理によって絶縁層をエッチングすることと、
xiv. バンプ電極を完成させるために、フォト・レジスト・パターンを除去することとを含む。
i. 駆動装置がその上に形成される基板上にアルミニウムなどの導電材料のパッドを形成することと、
ii. パッドを含む基板の表面全体上に、酸化ケイ素層又は窒化ケイ素層などのパッシベーション層を形成することと、
iii. パッシベーション層の一部がパッドの縁端部を覆うようにしてパッドの一部を露出させるために、パッシベーション層を選択的にエッチングすることと、
iv. パッドの露出された部分及びパッシベーション層の上に、バリア層(例えば、TiW/Au、Ti/PtAu)を堆積させることと、
v. パッド上のバリア金属の一部を露出させるために、バリア金属上にフォト・レジスト・パターンを選択的に形成することと、
vi. フォト・レジスト・パターンを使用して電気めっきによって、バリア金属上に金(Au)のバンプを形成することと、
vii. フォト・レジスト・パターンを除去することと、
viii.拡散止め部を形成するために、バリア金属を選択的にエッチングすることと、
ix. 熱処理を行うことと、
x. 例えば、化学気相成長法(CVD)、物理気相成長法(PVD)、又は、被覆法により、バンプ、パッシベーション層及び拡散止め部の露出部分の上に、高分子層、感光性高分子層、又は、窒化ケイ素層などの絶縁層を形成することと、
xi. 絶縁層上にフォト・レジストを被覆することと、
xii. バンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するために、フォト・レジストを選択的に除去することと、
xiii.フォト・レジスト・パターンをマスクとして使用して、又は、(感光性材料の場合)光学的処理によって絶縁層をエッチングすることと、
xiv. バンプ電極を完成させるために、フォト・レジスト・パターンを除去することとを含む。
米国特許第6232563号内に提案された方法は、絶縁層が部分的にエッチングされたバンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するために、フォト・レジストが絶縁層上に被覆され、選択的に除去されるマスク工程を請求している。フォト・レジスト・パターンは、次いで除去される。
本発明の目的は、一般的には、バンプの製造法をさらに発展させることである。本発明の別の目的は、改善された方法で製造されるコネクタを提供することである。本発明のさらなる目的は、容易に作成することのできる金属バンプを提供することである。
方法について、その目的は請求項1に記載された方法によって解決される。チップのパッシベーション層及び金属パッドを覆う堆積された金属層は、絶縁層のプラズマエッチング中、エッチ・ストップとして働く。絶縁層は、分子がイオン及び電子に分裂されて反応を促進させ堆積速度を上げる、低圧のプラズマ励起ガス内で堆積される。続いて、絶縁層の所定(IC表面の水平領域)部分を除去するためのRIB(反応性イオン・エッチング)に基づく特別な方法の使用は、チップ製造のための方法を簡易化し、(xi.)絶縁層上にフォト・レジストを被覆する工程と、(xii.)バンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するためにフォト・レジストを選択的に除去する工程と、(xiv.)バンプ電極を完成させるために、フォト・レジスト・パターンを除去する工程とを備えたマスク工程が削減されるので、コスト及び処理時間を低減するのに役立つ。
コネクタについて、その目的は、独立請求項2に記載されたコネクタによって解決される。低圧化学気相成長法(LPCVD)は、反応速度が動力学的に制御されるプロセスであり、それは反応速度が温度に依存することを意味する。このプロセスは、IC表面トポグラフィの水平領域及び垂直壁上に均一な層厚を有する層の形成を可能にする。この絶縁層は、シラン(SiH4)又は二塩化シラン(SiH2Cl2)がNO又はN2O4などの酸化剤と反応することによって形成される二酸化ケイ素(SiO2)から形成されてよい。この反応は、約1ミリバールの気圧で430℃と633℃との間の温度範囲で起こる。N2O4との反応の活性化エネルギーは、0.91eV/分子であり、これは87.4kJ/モルに相当する。この温度範囲は、この方法を、ガラス、アルミニウム及び種々の金属ケイ化物上にSiO2層を施すのに適したものにしている。
金属バンプについて、その目的は、2つの金属バンプのうち少なくとも2つの互いに対向する側壁の絶縁層が、大気圧より低い気圧でのLPCVDプロセスによって設けられるという点で解決される。減圧は、不要な気相反応を低減し、ウェハ全体にわたる膜均一性を改善する傾向がある。
一実施形態によれば、絶縁層は、プラズマ堆積によって形成され、そして、異方性プラズマ・エッチャー内で部分的にエッチ・バックされた誘電体層である。異方性プラズマ・エッチャーはマスク工程を行わずにすぐに使用されてよい。
一実施形態によれば、絶縁層を形成する誘電材料は、SiO2又はSi3N4を含む群のうちの一部である。これらの誘電材料はLPCVDプロセスに関し実証済みである。
別の実施形態によれば、金属バンプは、金(Au)又はプラチナ群の金属などの貴金属又は耐酸化材料から形成される。貴金属をバンプに使用すると、低電気抵抗を有するACF高分子内の導電要素(又は粒子)に接触するための表面がえられる。
本発明のバンプは特に、チップ・オン・ガラス又はチップ・オン・フォイルによる実装への応用に使用されてよい。
本発明の例示的実施形態は、添付の図面を参照して詳細に説明される。
図1a〜図1eは、各処理工程を断面図で示す。図1aは、チップ基板2に加えられた金属パッド1a、1bを示す。金属パッド1a、1bのいずれにも覆われていないチップ基板2の各部分上にパッシベーション層3が堆積され、金属パッド1a、1bの縁端部を覆っている。アンダー・バンプ金属層4は、パッシベーション層3、並びに、金属パッド1a、1bのうちパッシベーション層3によって覆われていない各部分を覆っている。
図1bは、フォト・レジストがバリア金属4上に被覆され、かつパッド1a、1bを覆う金属バリア4の一部を露出させるなどのためにフォト・レジスト・パターン5を形成するように選択的に除去された、次の工程を示す。
図1cは、フォト・レジスト・パターン5を使用して堆積され、バリア金属4の各露出部分上に形成されたバンプ6a、6bを示す。
図1dでは、フォト・レジスト・パターンが除去され、絶縁層7がバンプ6a、6bの上部及び側面上並びにアンダー・バンプ金属層4上に堆積されている。絶縁層7は、分子がイオン及び電子に分裂された、凝集されたプラズマ状態内で堆積される。
図1eは、反応性プラズマ・エッチングを行った後の状態を示す。側壁間に露出された金属層4の各部分は、次いで除去される。RIEプロセスの異方特性ゆえに、バンプ6a、6bの垂直壁を覆う絶縁層は残っている。金属層4の残りの各部分は、図2に示されるように、拡散止めバリア4’を形成する。
図2は、本発明によるコネクタ10の断面を概略的に示す。コネクタ10は、チップ基板2を、ガラス・パネル又はフォイルなど対向基板9に接続する。チップ基板2上の金属パッド1a、1b、拡散止めバリア4’、バンプ6a、6b、導電性粒子11及び電極パッド8a、8bを介して電気的接続が起こる。2つのバンプ6a、6bの間には間隙がある。間隙が十分小さい場合、導電性粒子11の連鎖が、バンプ6a、6bのどちらにも接触することがある。それにもかかわらず、バンプ6a、6bの側壁が絶縁層7で覆われているので、電気回路は短絡が防止される。
Claims (7)
- 非導電性チップ基板と、
前記非導電性チップ基板上に堆積された複数金属パッドと、
前記非導電性チップ基板及び前記複数金属パッドの縁端部を覆うパッシベーション層と、
前記チップパッシベーション層の一部及び前記複数金属パッドを覆う拡散止め金属バリアと、
前記パッド上の金属層の複数部分を露出させ、使用後は除去される、前記金属層上のフォト・レジスト・パターンと、
前記パッドの露出部分及び前記金属層の縁端部上の少なくとも1つのバンプとを備えたチップを金属バンプ側壁用絶縁層を用いて製造する方法において、
前記チップパッシベーション層及び前記金属パッドを覆って前記金属層を堆積させる工程と、
プラズマ励起反応器内で絶縁層を堆積させる工程と、
反応性イオン・エッチングによって前記絶縁層の所定複数部分を除去する工程と、
残りの金属材料が前記バンプ拡散止めバリアを形成するように、前記金属層を部分的に除去する工程とを特徴とする方法。 - チップ基板及び対向基板のためのコネクタであって、
前記対向基板上の複数の電極パッドと、
前記対向基板上の前記複数の電極パッドのそれぞれに、それぞれが電気的に接続された、前記チップ基板上の複数の導電性バンプと、
前記導電性バンプの各上部表面上にあり、各導電性バンプを前記複数の電極パッドに電気的に接続する複数の導電性粒子と、
前記複数の導電性バンプそれぞれの側壁の表面上にあり、2つのバンプ間の電気的短絡を防止するための、硝酸塩又は酸化物から形成された絶縁層とを備えたコネクタにおいて、
前記絶縁層がLPCVDプロセスによって提供されることを特徴とするコネクタ。 - 互いに対向する少なくとも2つの対向側壁上で絶縁層で覆われた側壁を備えた金属バンプにおいて、前記絶縁層が、プラズマ堆積によって形成され、そして、異方性プラズマ・エッチャー内で部分的にエッチ・バックされた誘電体層であることを特徴とする金属バンプ。
- 前記誘電材料がSiO2とSi3N4とからなる群から選択されることを特徴とする、請求項3に記載の金属バンプ。
- 前記金属バンプが金などの貴金属又は耐酸化材料から形成されることを特徴とする、請求項3又は4に記載の金属バンプ。
- チップ・オン・ガラス又はチップ・オン・フォイルによる実装への応用のために、LPCVDプロセスによって堆積された絶縁層で部分的に覆われた金属バンプの使用。
- チップ基板と対向基板とを有する構成であって、
前記対向基板上の複数の電極パッドと、
前記対向基板上の前記複数の電極パッドのそれぞれに、それぞれが電気的に接続された、前記チップ基板上の複数の導電性バンプと、
前記導電性バンプの各上部表面上にあり、各導電性バンプを前記複数の電極パッドに電気的に接続する複数の導電性粒子と、
前記複数の導電性バンプそれぞれの側壁の表面上にあり、2つのバンプ間の電気的短絡を防止するための、硝酸塩又は酸化物から形成された絶縁層とを備えた構成において、
前記絶縁層がLPCVDプロセスによって提供されることを特徴とする構成。
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