JP4654790B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記半導体基板上に形成された樹脂突起と、
前記樹脂突起の基端部を覆うように、かつ、前記樹脂突起の上端部を露出させるように形成された無機絶縁部材と、
前記電極と電気的に接続されてなり、前記無機絶縁部材上を通り、前記樹脂突起の前記上端部に至るように形成された配線と、
を含む。本発明によると、配線が無機絶縁材料と接触している領域を大きくすることができる。配線は、樹脂に較べて、無機絶縁材料との密着性が高いため、本発明によると、配線の剥離が生じにくい、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
(2)この半導体装置において、
前記半導体基板はパッシベーション膜を有し、
前記樹脂突起及び前記無機絶縁部材は、前記パッシベーション膜上に形成されていてもよい。
(3)本発明に係る半導体装置の製造方法は、電極を有する半導体基板を用意する工程と、
前記半導体基板上に、樹脂突起を形成する工程と、
前記樹脂突起の基端部を覆う無機絶縁部材を、前記樹脂突起の上端部が露出するように形成する工程と、
前記電極と電気的に接続された配線を、前記無機絶縁部材上を通り、前記樹脂突起の前記上端部に至るように形成する工程と、
を含む。本発明によると、配線の剥離が起こりにくい、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。
(4)この半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板はパッシベーション膜を有し、
前記樹脂突起及び前記無機絶縁部材を、前記パッシベーション膜上に形成してもよい。
(5)この半導体装置の製造方法において、
前記パッシベーション膜は、前記電極とオーバーラップする開口を有し、
前記電極における前記開口とオーバーラップする領域には酸化膜が形成されてなり、
前記無機絶縁部材を、前記酸化膜が露出するように形成し、
前記配線を形成する工程の前に、Arガスを利用して、前記酸化膜の少なくとも一部を除去して前記電極を露出させる工程と、
前記配線を、前記酸化膜を除去する工程で前記樹脂突起に形成された炭化層もしくはプラズマ重合層上を通るように形成した後に、前記炭化層もしくはプラズマ重合層における前記配線からの露出部を除去する工程と、
をさらに含んでもよい。
(6)この半導体装置の製造方法において、
前記無機絶縁部材を形成する工程は、
前記酸化膜、樹脂突起及びパッシベーション膜を覆うように無機絶縁層を形成する工程と、
前記無機絶縁層を部分的に除去して、前記酸化膜及び前記樹脂突起の前記上端部を露出させる工程と、
を含んでもよい。
図1(A)〜図2は、本発明を適用した実施の形態に係る半導体装置について説明するための図である。なお、図1(A)は、本発明を適用した実施の形態に係る半導体装置1の概略図であり、図1(B)は、図1(A)のIB−IB線断面の一部拡大図である。また、図2は、半導体装置1が実装された電子モジュールを示す図である。
図3(A)〜図7(B)は、本発明を適用した実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明するための図である。
Claims (6)
- 電極を有する半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された樹脂突起と、
前記樹脂突起の基端部を覆うように、かつ、前記樹脂突起の上端部を露出させるように形成された無機絶縁部材と、
前記電極と電気的に接続されてなり、前記無機絶縁部材上を通り、前記樹脂突起の前記上端部に至るように形成された配線と、
を含む半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体基板はパッシベーション膜を有し、
前記樹脂突起及び前記無機絶縁部材は、前記パッシベーション膜上に形成されてなる半導体装置。 - 電極を有する半導体基板を用意する工程と、
前記半導体基板上に、樹脂突起を形成する工程と、
前記樹脂突起の基端部を覆う無機絶縁部材を、前記樹脂突起の上端部が露出するように形成する工程と、
前記電極と電気的に接続された配線を、前記無機絶縁部材上を通り、前記樹脂突起の前記上端部に至るように形成する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板はパッシベーション膜を有し、
前記樹脂突起及び前記無機絶縁部材を、前記パッシベーション膜上に形成する半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記パッシベーション膜は、前記電極とオーバーラップする開口を有し、
前記電極における前記開口とオーバーラップする領域には酸化膜が形成されてなり、
前記無機絶縁部材を、前記酸化膜が露出するように形成し、
前記配線を形成する工程の前に、Arガスを利用して、前記酸化膜の少なくとも一部を除去して前記電極を露出させる工程と、
前記配線を、前記酸化膜を除去する工程で前記樹脂突起に形成された炭化層もしくはプラズマ重合層上を通るように形成した後に、前記炭化層もしくはプラズマ重合層における前記配線からの露出部を除去する工程と、
をさらに含む半導体装置の製造方法。 - 請求項4又は請求項5記載の半導体装置の製造方法において、
前記無機絶縁部材を形成する工程は、
前記酸化膜、樹脂突起及びパッシベーション膜を覆うように無機絶縁層を形成する工程と、
前記無機絶縁層を部分的に除去して、前記酸化膜及び前記樹脂突起の前記上端部を露出させる工程と、
を含む半導体装置の製造方法。
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JP2005101527A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 電子部品の実装構造、電気光学装置、電子機器及び電子部品の実装方法 |
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