JP2007281393A - 電子部品及びこれを用いた半導体装置並びに半導体装置の製造方法 - Google Patents
電子部品及びこれを用いた半導体装置並びに半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007281393A JP2007281393A JP2006109455A JP2006109455A JP2007281393A JP 2007281393 A JP2007281393 A JP 2007281393A JP 2006109455 A JP2006109455 A JP 2006109455A JP 2006109455 A JP2006109455 A JP 2006109455A JP 2007281393 A JP2007281393 A JP 2007281393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- electronic component
- protrusion
- bonding
- melting point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L24/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
- H01L2224/1401—Structure
- H01L2224/1403—Bump connectors having different sizes, e.g. different diameters, heights or widths
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
- H01L2224/1405—Shape
- H01L2224/14051—Bump connectors having different shapes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
- H01L2224/141—Disposition
- H01L2224/1412—Layout
- H01L2224/1413—Square or rectangular array
- H01L2224/14134—Square or rectangular array covering only portions of the surface to be connected
- H01L2224/14136—Covering only the central area of the surface to be connected, i.e. central arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
- H01L2224/141—Disposition
- H01L2224/1412—Layout
- H01L2224/14179—Corner adaptations, i.e. disposition of the bump connectors at the corners of the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/17—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8112—Aligning
- H01L2224/81136—Aligning involving guiding structures, e.g. spacers or supporting members
- H01L2224/81138—Aligning involving guiding structures, e.g. spacers or supporting members the guiding structures being at least partially left in the finished device
- H01L2224/81141—Guiding structures both on and outside the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8119—Arrangement of the bump connectors prior to mounting
- H01L2224/81193—Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed on both the semiconductor or solid-state body and another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Abstract
【解決手段】電子部品は、導電性材料からなる突起電極5と、前記突起電極5よりも大きな高さをもつダミーの突起部6とを基板2上に有する。突起部6は突起電極5が形成された領域の外側に略同じ高さで複数個形成される。突起部6の融点は突起電極5の融点以下の温度範囲にある。突起電極5を外部接続する際に、電子部品の位置情報を突起部6によって検出することができる。
【選択図】図1
Description
が残り、フィレット部が形成されない状態となってしまう。このような気泡57、未充填部59が形成された状態は、外部環境の影響を受けやすく、信頼性を低下させる大きな原因となる。
図1は、本発明の第1の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ(以下、単に上部チップという。)1及び下部半導体チップ(以下、単に下部チップという。)2の構成例を説明する図であり、図1(A)は平面図、図1(B)はZ−Z部における断面図である。
所定の温度に予熱された下部ホルダ21に下部チップ2をその接合面が水平となるように搭載し固定する。下部チップ2の接合面のz方向における位置は既知であることはいうまでもない。
下部チップ2の接合面にアンダーフィル材8(樹脂)を塗布する。アンダーフィル材8の塗布高さは、半田バンプ5の高さを超えてもよいが、下部突起部6の高さを超えないものとする。
所定の温度に予熱された上部ホルダ22に上部チップ1をその接合面が水平となるように搭載し固定する。
ボンディングヘッド駆動部26の駆動によって、上部チップ1の位置をz方向の所定の位置まで下降させて、半田バンプ4と半田バンプ5、及び、上部突起部7と下部突起部6とがそれぞれの中心軸の位置で対向するように、主制御部30はモニタ部31の検出結果に基づいて装置の各部の制御を行い、上部チップ1と下部チップ2のx及びy方向での位置合わせを行う。なお、上部チップ1の接合面のz方向における位置は、上部チップ1の移動に同期して検知されていることはいうまでもない。
上突起部7及び下部突起部6の温度が、180℃以上で半田バンプ4、5の融点以下の所定の温度範囲となるように、上部ホルダ22及び部ホルダ21を加熱して上部チップ1及び下部チップ2の温度を上昇させる。この温度範囲に、上突起部7及び下部突起部6は融点をもつので溶融状態となる。この加熱による温度上昇は、アンダーフィル材8完全硬化する前に行う。
下部チップ2の接合面のz方向における位置を検知しながら、ボンディングヘッド23の下降を開始する。
ボンディングヘッド23の下降中に、上部チップ1と下部チップ2が接近して生じる上突起部7と下部突起部6との接触を検出し、この接触時点におけるz方向における位置(接触位置)を主制御部31に記憶する。この接触の検出は、単数又は複数(3以上とする。)の圧力検出器24を用いて行う。異なる場所に配置された複数の圧力検出器を用いる場合には、各圧力検出器によって検出された接触時点でのz方向における接触位置を主制御部31に記憶する。
S7において、単数の圧力検出器24を用いた場合には、このS8の工程を省略する。或いは、上部チップ1及び下部チップ2のそれぞれの接合面の間の距離を3以上の複数箇所でモニタ部31等によって光学的に検出する。複数箇所で検出された接合面の間の距離のデータから、上部チップ1の接合面の水平面に対する傾斜の角度を最小二乗法を用いて求めることができる。
アンダーフィル材8の熱硬化が完了した後、上部チップ1及び下部チップ2を冷却する。以上の工程によって、上部チップ1と下部チップ2は半田バンプ。4、5によって電気的に接合され、接合部はアンダーフィル材8によって保護された接合品を得ることができる。
上部チップ1と下部チップ2との接合品を装置から搬出し収納部(図4に図示せず。)へ収納し、次の部品の接合作業に移行する。
図6は、本発明の第2の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例及び接合の過程を説明する図であり、図6(A)は接合前の状態を示す平面図、図6(B)は接合前の状態を示すZ−Z部における断面図、図6(C)は接合後の状態を示すZ−Z部における断面図である。
図8は、本発明の第3の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例及び接合の過程を説明する図であり、図8(A)は接合前の状態を示す平面図、図8(B)は接合前の状態を示すZ−Z部における断面図、図8(C)は下部突起部6と上部半導体チップ1の接触時の状態を示すZ−Z部における断面図、図8(D)は接合後の状態を示すZ−Z部における断面図である。
図9は、本発明の第4の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例を説明する、Z−Z部(図8を参照。)における断面図である。
図10は、本発明の第5の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例を説明する、Z−Z部(図8を参照。)における断面図である。
図11は、本発明の第6の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例及び接合の過程を説明する図であり、図11(A)は接合前の状態を示す平面図、図11(B)は接合前の状態を示すZ−Z部における断面図、図11(C)は接合後の状態を示すZ−Z部における断面図である。
図12は、本発明の第7の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例及び接合の過程を説明する図であり、図12(A)は接合前の状態を示す平面図、図12(B)は接合前の状態を示すZ−Z部における断面図、図12(C)は接合後の状態を示すZ−Z部における断面図である。
図13は、本発明の第8の実施の形態において、フリップチップボンディングによって接合される上部半導体チップ1及び下部半導体チップ2の構成例及び接合の過程を説明する図であり、図13(A)は接合前の状態を示す平面図、図13(B)は接合前の状態を示すZ−Z部における断面図、図13(C)は接合後の状態を示すZ−Z部における断面図である。
6…下部突起部、7…上部突起部、8…アンダーフィル材、9…接合領域、
10…下部樹脂フィルム、11…上部樹脂フィルム、20…基台、21…下部ホルダ、
22…上部ホルダ、23…ボンディングヘッド、24…圧力検出器、
25…ボンディングヘッド保持部、26…ボンディングヘッド駆動部、
27…ボンディングヘッド駆動制御部、30…主制御部、31…モニタ部、
32…温度制御部
Claims (14)
- 導電性材料からなる突起電極と、
前記突起電極よりも大きな高さをもつダミーの突起部と
を基板上に有する電子部品。 - 前記突起電極が形成された領域の外側に、前記突起部が形成された、請求項1に記載の電子部品。
- 前記突起電極が複数個設けられ、これらが略同じ高さをもつ、請求項1に記載の電子部品。
- 前記突起部が複数個設けられ、これらが略同じ高さをもつ、請求項1に記載の電子部品。
- 前記突起部の融点が、前記突起電極の融点以下の温度範囲にある、請求項1に記載の電子部品。
- 前記突起部が、導電性材料又は熱可塑性樹脂から形成される、請求項5に記載の電子部品。
- 半導体チップを構成している、請求項1に記載の電子部品。
- 実装基板を構成している、請求項1に記載の電子部品。
- 請求項1から請求項8の何れか1項に記載の電子部品に、半導体チップが前記突起電極を介して電気的に接続された半導体装置であって、前記突起部の内側領域において前記電子部品の表面に付着された電気絶縁材によって、前記半導体チップが前記電子部品に固定されている半導体装置。
- 前記電気絶縁材がアンダーフィル材であり、前記突起部の融点よりも低い熱硬化温度を有している、請求項9に記載の半導体装置。
- 第1及び第2の電子部品の少なくとも一方の面に突起電極を形成し、この突起電極を介して前記第1及び第2の電子部品を電気的に接続する半導体装置の製造方法において、
前記突起電極よりも大きな高さをもつダミーの突起部を前記第1の電子部品の面に形
成する第1の工程と、
前記第1の電子部品の面に、前記突起電極よりも高く、前記突起部よりも低い電気絶
縁材を付着する第2の工程と、
前記第1の電子部品と前記第2の電子部品とを近接させ、前記第2の電子部品と前記
突起部との接触を検出する第3の工程と、
前記接触を検出した後に、前記第1の電子部品と前記第2の電子部品との間隔が所定
の値となるまで、前記第1の電子部品と前記第2の電子部品とを更に近接させる第4の
工程と
を有する、半導体装置の製造方法。 - 前記第1の電子部品に形成された前記突起部と、前記第2の電子部品に形成された第2の突起部との接触を検出する、請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3の工程に先立って、前記突起部の温度が前記突起電極の融点以下の所定の温度範囲となるように、前記第1及び第2の電子部品を加熱する工程を有し、前記電気絶縁材が完全硬化する前に、前記第1及び第2の電子部品を前記所定の温度範囲に昇温させる、請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第4の工程に先立って、前記突起電極の温度がその融点以上の所定の温度範囲となるように、前記第1及び第2の電子部品を加熱する工程を有し、前記電気絶縁材が完全硬化する前に、前記第1及び第2の電子部品を前記所定の温度範囲に昇温させ、前記第4の工程の後に、前記突起部の融点よりも低い熱硬化温度をもつ前記電気絶縁材を硬化させるために、所定の時間だけ前記第1及び第2の電子部品を前記所定の温度範囲又は前記所定の温度範囲よりも低い温度に保持する工程を有する、請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006109455A JP4752586B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006109455A JP4752586B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007281393A true JP2007281393A (ja) | 2007-10-25 |
JP4752586B2 JP4752586B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=38682506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006109455A Expired - Fee Related JP4752586B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4752586B2 (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6093831A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-25 | Yaesu Musen Co Ltd | 音声信号処理回路 |
JP2010040651A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2011165862A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Sony Corp | 半導体装置、チップ・オン・チップの実装構造、半導体装置の製造方法及びチップ・オン・チップの実装構造の形成方法 |
KR20120068690A (ko) * | 2010-12-17 | 2012-06-27 | 소니 주식회사 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2014057008A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Panasonic Corp | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
US8847296B2 (en) | 2012-01-17 | 2014-09-30 | Olympus Corporation | Solid-state imaging device, imaging apparatus, substrate, semiconductor device and method of manufacturing the solid-state imaging device |
US9570414B2 (en) | 2013-11-06 | 2017-02-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device |
JP2017126703A (ja) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 富士通株式会社 | 積層半導体及び積層半導体の製造方法 |
CN108987353A (zh) * | 2017-06-05 | 2018-12-11 | 富士电机株式会社 | 半导体封装件、半导体装置以及半导体装置的制造方法 |
US10312197B2 (en) | 2013-12-13 | 2019-06-04 | Toshiba Memory Corporation | Method of manufacturing semiconductor device and semiconductor device |
JP2021009938A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板、接合型配線基板及び配線基板の製造方法 |
JPWO2021152934A1 (ja) * | 2020-01-29 | 2021-08-05 | ||
WO2022266786A1 (en) * | 2021-06-21 | 2022-12-29 | Lumentum Operations Llc | Control of solder bond line thickness with squeezed gold bump space |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210060732A (ko) | 2019-11-18 | 2021-05-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조 방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6273639A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-04 | Fujitsu Ltd | 半導体チツプの装着方法 |
JPH06112463A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその実装方法 |
JPH09232506A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002373914A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 電子部品接続構造体 |
JP2004265888A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-09-24 | Sony Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007027576A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007194274A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Nec Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-04-12 JP JP2006109455A patent/JP4752586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6273639A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-04 | Fujitsu Ltd | 半導体チツプの装着方法 |
JPH06112463A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその実装方法 |
JPH09232506A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002373914A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 電子部品接続構造体 |
JP2004265888A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-09-24 | Sony Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007027576A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007194274A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Nec Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6093831A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-25 | Yaesu Musen Co Ltd | 音声信号処理回路 |
JP2010040651A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2011165862A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Sony Corp | 半導体装置、チップ・オン・チップの実装構造、半導体装置の製造方法及びチップ・オン・チップの実装構造の形成方法 |
CN106098667A (zh) * | 2010-12-17 | 2016-11-09 | 索尼公司 | 半导体器件 |
KR20120068690A (ko) * | 2010-12-17 | 2012-06-27 | 소니 주식회사 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
CN102543902A (zh) * | 2010-12-17 | 2012-07-04 | 索尼公司 | 半导体器件及其制造方法 |
JP2012129474A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Sony Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
KR101998884B1 (ko) * | 2010-12-17 | 2019-07-10 | 소니 주식회사 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US9202804B2 (en) | 2010-12-17 | 2015-12-01 | Sony Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device |
US9478520B2 (en) | 2012-01-17 | 2016-10-25 | Olympus Corporation | Solid-state imaging device, imaging apparatus, substrate, semiconductor device and method of manufacturing the solid-state imaging device |
US8847296B2 (en) | 2012-01-17 | 2014-09-30 | Olympus Corporation | Solid-state imaging device, imaging apparatus, substrate, semiconductor device and method of manufacturing the solid-state imaging device |
JP2014057008A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Panasonic Corp | 回路装置の製造方法、半導体部品の実装構造および回路装置 |
US9570414B2 (en) | 2013-11-06 | 2017-02-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device |
US10312197B2 (en) | 2013-12-13 | 2019-06-04 | Toshiba Memory Corporation | Method of manufacturing semiconductor device and semiconductor device |
JP2017126703A (ja) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 富士通株式会社 | 積層半導体及び積層半導体の製造方法 |
JP2018206977A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 富士電機株式会社 | 半導体パッケージ、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
CN108987353A (zh) * | 2017-06-05 | 2018-12-11 | 富士电机株式会社 | 半导体封装件、半导体装置以及半导体装置的制造方法 |
CN108987353B (zh) * | 2017-06-05 | 2023-10-24 | 富士电机株式会社 | 半导体封装件、半导体装置以及半导体装置的制造方法 |
JP2021009938A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板、接合型配線基板及び配線基板の製造方法 |
JP7321009B2 (ja) | 2019-07-01 | 2023-08-04 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板、接合型配線基板及び配線基板の製造方法 |
JPWO2021152934A1 (ja) * | 2020-01-29 | 2021-08-05 | ||
WO2021152934A1 (ja) * | 2020-01-29 | 2021-08-05 | 株式会社村田製作所 | 電極付き受動部品及び電極付き受動部品の集合体 |
JP7103515B2 (ja) | 2020-01-29 | 2022-07-20 | 株式会社村田製作所 | 電極付き受動部品及び電極付き受動部品の集合体 |
US11646155B2 (en) | 2020-01-29 | 2023-05-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electrode-equipped passive component and collective body of electrode-equipped passive components |
WO2022266786A1 (en) * | 2021-06-21 | 2022-12-29 | Lumentum Operations Llc | Control of solder bond line thickness with squeezed gold bump space |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4752586B2 (ja) | 2011-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4752586B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
USRE44355E1 (en) | Method of forming a bump-on-lead flip chip interconnection having higher escape routing density | |
US8890304B2 (en) | Fan-out microelectronic unit WLP having interconnects comprising a matrix of a high melting point, a low melting point and a polymer material | |
US7026188B2 (en) | Electronic device and method for manufacturing the same | |
JP2004349390A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20180101252A (ko) | 반도체 패키지의 제조 방법 | |
JP5830847B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び接合方法 | |
CN101853835B (zh) | 倒装芯片封装的制造方法 | |
JPWO2008120564A1 (ja) | 電子部品の実装構造、及び電子部品の実装方法 | |
CN108538726B (zh) | 半导体芯片的制造方法 | |
JP2007157970A (ja) | ボンディング方法及びボンディング装置 | |
JPH10335527A (ja) | 半導体装置、半導体装置の実装方法、および半導体装置の製造方法 | |
US7687314B2 (en) | Electronic apparatus manufacturing method | |
JPH10112476A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3309832B2 (ja) | 電子部品の接続構造及び接続方法 | |
JPH10154726A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4324773B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009266972A (ja) | 積層型半導体モジュール及びその製造方法 | |
JPH1098075A (ja) | 半導体実装方法、半導体実装装置および半導体実装構造 | |
JP4200090B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2000058597A (ja) | 電子部品実装方法 | |
US8703533B2 (en) | Semiconductor package and method for manufacturing the same | |
JPH1098077A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008091650A (ja) | フリップチップ実装方法、および半導体パッケージ | |
JPH11274235A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090313 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110316 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |