JP2007180348A - ワイヤボンディング装置、ボンディング制御プログラム及びボンディング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワイヤボンディング装置のボンディング制御部は、第1ボンド点とワイヤとの間の不着を検出する電気的不着検出手段と光学的不着検出手段と光学的形状検出手段とを備え、電気的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出手段によって不着が検出された場合に、光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段26によりワイヤ先端を所定の形状のボール5に再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う。
【選択図】図1
Description
(1)ボール形成手段26(電気トーチ)によってワイヤ12先端をボール5に形成し、位置検出カメラ128によって半導体チップ2の位置検出し、移動機構18によりキャピラリ16をパッド3(第1ボンド点)の上に移動させる(図13、ステップS901、図14(a))。
(2)キャピラリ16を下動させて、パッド3(第1ボンド点)上にボンディングを行う(図13、ステップS902、図14(b))。パッド3(第1ボンド点)上にはボール5が圧着して第1ボンディング部6(圧着ボール)が形成される。
(3)移動機構18は、パッド3(第1ボンド点)からキャピラリ16を上昇させ、次いでキャピラリ16を横に移動させる(図13、ステップS903、図14(c))。
(4)キャピラリ16の移動中に、通電状態取得手段22によって電流がワイヤ12とワーク14の間に流され、このときの通電状態が通電状態取得手段22に取得される。取得されたデータは通電状態取得手段インターフェース42を介して制御部30に入力される(図13、ステップS904、図14(c))。パッド3(第1ボンド点)へのボンディングが成功し、うまく接合されていると、図14に示すように、ワイヤ12とワーク14の間に電流が流れる。
(5)不着の場合にはパッド3(第1ボンド点)には第1ボンディング部6形成されず、キャピラリ16先端のワイヤ12はパッド3(第1ボンド点)とは接続されない状態でキャピラリ16が上昇、移動することから、ワイヤ12とワーク14との間に電流は流れない。これによってワイヤの不着検出が可能となる。取得されたワイヤ12とワーク14の間の通電状態データは制御部30の電気的不着検出手段によって処理され、不着かどうかが判断される(図13、ステップS905、図14(c’))(例えば特許文献2、3参照)。
(6)電気的不着検出手段によって不着と判断された場合でも、キャピラリ16はそのままリード4(第2ボンド点)に移動を続け、リード4(第2ボンド点)にボンディングを行い、キャピラリ16を上昇させてからワイヤ12を切断する(図13、ステップS906〜S908)。ただし、リード4(第2ボンド点)でのノーテール検出、リード不着を検出するための通電状態取得は行わない。
(7)ワイヤ切断が終了した段階で、パッド3(第1ボンド点)不着の信号によって、エラー処理がされ、ワイヤボンディング装置100は停止する(図13、ステップS909)。
(8)一方、パッド3(第1ボンド点)へのボンディングの後、移動機構18はキャピラリ16をリード4(第2ボンド点)に移動させてリード4(第2ボンド点)にボンディングを行う。電気的不着検出手段によってパッド3(第1ボンド点)が不着ではないと判断された場合には、この後のキャピラリ16を上昇させる時に、通電状態取得手段22によってワイヤ12とワーク14の間に電流が流され、通電状態が通電状態取得手段22に取得される。リード4(第2ボンド点)への接合が成功して、キャピラリ16の先端にテールワイヤ8がうまく形成されていると、電流がワイヤ12とワーク14との間に流れるようになり、逆にキャピラリ16が上昇している途中にワイヤ12が切れてしまうと、電流がワイヤ12とワーク14との間に流れなくなる。このことによってテールワイヤ8が所定の長さに至らないノーテールかどうかを検出することができる。取得されたデータは通電状態取得手段インターフェース42を介して制御部30に入力される(図13、ステップS911〜S912、図14(d)〜(e)、(e’))。
(9)リード4(第2ボンド点)へのボンディングの後、クランパ17が閉状態となってキャピラリ16と一緒に上昇することによって、ワイヤ12は第2ボンディング部7の上で切断される。(図14(e)〜(f))。このワイヤ切断後にも通電状態取得手段22によってワイヤ12とワーク14の間に電流が流され、このときの通電状態が通電状態取得手段22に取得される(図13、ステップS913〜S914)。
(10)リード4(第2ボンド点)へのボンディングが成功してワイヤ12の切断がうまくいっているときには、キャピラリ16の上昇時にはワイヤ12とワーク14の間に流れていた電流は流れなくなっている(図14(f))。一方ワイヤ12の切断がうまくいっていない、たとえばワイヤ12がワーク14から剥がれたときには、ワイヤ12は図14(f')のように第1ボンディング部6を介してワーク14と電気的につながっていることから、電流が流れることとなる。また、クランパ17の閉、上昇前に電流が流れなくなり、ワイヤ12の切断後も電流が流れていない時には第2ボンディング部7は形成されているものの、テールワイヤ8が所定の長さにいたっていないノーテールであると判断することができる。このようにリード4(第2ボンド点)へのボンディング後の通電状態を通電状態取得手段22の出力データを制御部30の電気的ノーテール検出手段で処理することによって、ノーテールであるか、リード不着状態であるかを判断することができる(図13、ステップS915、S917)(例えば特許文献2、3参照)。
(11)電気的ノーテール検出手段によってノーテールあるいは、リード不着が検出されたときには、その信号によりワイヤボンディング装置100はエラー処理を行って停止する(例えば特許文献4参照)。
(12)正常にリード4(第2ボンド点)へのボンディングが終了した場合にはボンディングサイクルは終了し、次のパッド3(第1ボンド点)に向かってキャピラリ16を移動させる。
ボンディング制御部は、通電状態取得手段によって取得された第1ボンド点とワイヤとの間の通電状態信号を処理して第1ボンド点とワイヤとの間の不着を電気的に検出する電気的不着検出手段と、撮像手段によって取得された平面画像を処理して第1ボンド点のワイヤの不着を光学的に検出する光学的不着検出手段と、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出手段と、電気的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出手段によって不着が検出された場合に、光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う不着リカバリー手段と、を有することを特徴とするワイヤボンディング装置によって達成することができる。また、前記ワイヤボンディング装置は更に、ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段を備え、制御部は更に、電気的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し手段を有することとしてもよい。
ボンディング制御部は、第2ボンド点へのボンディングの後でワイヤ切断の前に通電状態取得手段によって取得された第2ボンド点とワイヤの間との通電状態信号を処理してテールワイヤが所定の長さに至らないノーテールを検出する電気的ノーテール検出手段と、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出手段と、電気的ノーテール検出手段によってノーテールが検出され、かつ、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し手段と、光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成するノーテールリカバリー手段と、を有することを特徴とするワイヤボンディング装置によって達成することができる
ボンディング制御部は、ボール形成手段の放電時に放電状態取得手段によって取得された放電電極とワイヤとの間の放電状態信号を処理して電気的にボール形成手段の放電が正常かどうかを検出する電気的放電異常検出手段と、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出手段と、電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出され、かつ、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し手段と、電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出された後に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤ状態が所定の状態である場合に、光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成する放電異常リカバリー手段と、を有することを特徴とするワイヤボンディング装置によって達成することができる。
通電状態取得手段によって取得された第1ボンド点とワイヤとの間の通電状態信号を処理して第1ボンド点とワイヤとの間の不着を電気的に検出する電気的不着検出プログラムと、撮像手段によって取得された平面画像を処理して第1ボンド点のワイヤの不着を光学的に検出する光学的不着検出プログラムと、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出プログラムと、電気的不着検出プログラムから不着検出が出力され、かつ、光学的不着検出プログラムから不着検出が出力された場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段によりワイヤ先端に所定の形状のボールを再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う不着リカバリープログラムと、を有することを特徴とするボンディング制御プログラムによって達成することができる。また、ボンディング制御プログラムが制御するワイヤボンディング装置は更に、ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段を備え、ボンディング制御プログラムは更に、電気的不着検出プログラムから不着検出が出力され、かつ、光学的不着検出プログラムから不着検出が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でないという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出しプログラムを有するようにしてもよい。
ボール形成手段の放電時に放電状態取得手段によって取得された放電電極とワイヤとの間の放電状態信号を処理して電気的にボール形成手段の放電が正常かどうかを検出する電気的放電異常検出プログラムと、光路変更手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出プログラムと、電気的放電異常検出プログラムから放電異常が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でないという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出しプログラムと、電気的放電異常検出プログラムから放電異常が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤ状態が所定の状態であるという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成する放電異常リカバリープログラムと、を有することを特徴とするボンディング制御プログラムによって達成することができる。
通電状態取得手段によって取得された第1ボンド点とワイヤとの間の通電状態信号を処理して第1ボンド点とワイヤとの間の不着を電気的に検出する電気的不着検出工程と、撮像手段によって取得された平面画像を処理して第1ボンド点のワイヤの不着を光学的に検出する光学的不着検出工程と、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出工程と、電気的不着検出工程によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出工程によって不着が検出された場合に、光学的形状検出工程により検出されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う不着リカバリー工程と、を有することを特徴とするボンディング方法によって達成することができる。また、ボンディング方法が用いられるワイヤボンディング装置は更に、ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段を備え、ボンディング方法は更に、電気的不着検出工程によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出工程によって不着が検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し工程を有することとしてもよい。
第2ボンド点へのボンディングの後でワイヤ切断の前に通電状態取得手段によって取得された第2ボンド点とワイヤの間との通電状態信号を処理してテールワイヤが所定の長さに至らないノーテールを検出する電気的ノーテール検出工程と、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出工程と、電気的ノーテール検出工程によってノーテールが検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し工程と、光学的形状検出工程により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成するノーテールリカバリー工程と、を有することを特徴とするボンディング方法によって達成することができる。
ボール形成手段の放電時に放電状態取得手段によって取得された放電電極とワイヤとの間の放電状態信号を処理して電気的にボール形成手段の放電が正常かどうかを検出する電気的放電異常検出工程と、光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出工程と、電気的放電異常検出工程によって放電異常が検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し工程と、電気的放電異常検出工程によって放電異常が検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤ状態が所定の状態である場合に、光学的形状検出工程により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成する放電異常リカバリー工程と、を有することを特徴とするボンディング方法によって達成することができる。
(1)従来技術で述べたのと同様の方法とステップによってパッド3(第1ボンド点)へのボンディング、不着検出、を行う(図2、ステップS101〜S105、図6(a)〜(c))。
(2)通電状態取得手段22の信号を制御部30によって処理する電気的不着検出手段によってパッド3(第1ボンド点)の不着が検出された場合でも、キャピラリ16はそのままリード4(第2ボンド点)に移動を続け、リード4(第2ボンド点)にボンディングを行う(図2、ステップS106、図6(d))。ただし、リード4(第2ボンド点)におけるノーテール状態、リード不着状態を検出するための通電状態の取得は行わない。
(3)リード4(第2ボンド点)にボンディング後、キャピラリ16を上昇させて、テールワイヤ8を伸ばしてから、第1クランパ17aを閉じてキャピラリ16と共に上昇させてワイヤ12を切断する(図2、ステップS106〜S108、図6(e)〜(f))。このリード4(第2ボンド点)へのボンディング動作によって、キャピラリ16の先端にボール形成が可能なテールワイヤ8が作られる。
(4)電気的不着検出手段によってパッド3(第1ボンド点)の不着が検出された場合には、制御部30はパッド不着リカバリー処理を行う指令を出す。この指令によって、パッド不着リカバリー処理S109が開始される。
(5)パッド不着リカバリー処理S109が開始されると、制御部30は移動機構18によってCCDカメラなどで構成される撮像手段28をパッド3(第1ボンド点)がその視野60に入る位置に移動させる(図3、ステップS202)。そして、不着が検出されたパッド3(第1ボンド点)の周りの平面画像を取得する(図3、ステップS203、図6(g))。取得された平面画像は撮像手段インターフェース40を介して制御部30に入力され、その画像が分析される(図3、ステップS204)。取得された平面画像の一例を示すと、図10に示すようになっている。図10(a)は正常にボンディングができている状態を示し、図10(b)は不着状態を示す。図10(a)、(b)共に、ボンディングは視野60の下から上に向かっておこなわれ、下のパッドはすでに正常にボンディングが終了したパッド、中央のパッド3はボンディング中のパッド3(第1ボンド点)で、一番上のパッドは未ボンディングのパッドを示している。図10(a)では、中央のパッドにはボール5が圧着して形成される第1ボンディング部6(圧着ボール)が見られるが、図10(b)では、パッド3の上に第1ボンディング部(圧着ボール)が見られない。このような平面画像を制御部30の光学的不着検出手段によって処理することによって、パッド3に実際に第1ボンディング部6(圧着ボール)が形成、接合が行われているかどうかを検出することができる。不着の検出は制御部30の光学的不着検出手段によって、第1ボンディング部(圧着ボール)の有無を判断することによってもよいし、許容される第1ボンディング部(圧着ボール)の形状データを記憶部34に記憶させておき、光学的不着検出手段によってこのデータと比較することによって不着検出処理を行うようにしてもよい。
(6)光学的不着検出手段によってパッド3(第1ボンド点)が不着であると判断された場合には、制御部30は移動機構18によって、キャピラリ16を放電によって再度ボール形成を行う放電位置に移動させる(図3、ステップS206、図6(h))。
(7)放電位置に移動したら、ボール形成手段26(電気トーチ)の放電電極とテールワイヤ8の間に放電を行いこれによってテールワイヤ8の先端をボール形状に形成する。放電によって形成されるボール形は放電によってテールワイヤ8に与えられる電荷量によって決まってくる。例えば、電荷量を放電電流の積分値として求めこの値が所定の値になった時に放電が適正に行われたかどうかを検出することができる。放電状態検出手段29はこのような放電電流など放電の時の電流の状態を取得する。その取得データは放電状態取得インターフェース50によって制御部30に入力され、電気的放電異常検出手段によって記憶部34のデータと比較処理され、放電異常が発生しているかどうかが判断される(図3、ステップS207〜S209)。
(8)電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出されず、放電が正常に行われたと判断された場合には、制御部30は移動機構18によってキャピラリ16の先端を光路手段24が配設されている立面画像取得位置に移動させる(図3、ステップS210)。立面画像取得位置の基板23には基準部材25が取り付けられている。
(9)立面画像取得位置では、キャピラリ16の側面から発光ダイオードなどの発光器21によってキャピラリ16の先端部が基準部材25と共に照明され、その立面画像が形成される。形成された立面画像はレンズ24a、プリズム24bの光路手段24によって撮像手段28に導かれる。撮像手段28はこのキャピラリ16先端の立面画像を取得し、撮像手段インターフェース40から制御部30に入力する(図3、ステップS211、図6(i))。入力された立面画像は制御部30の光学的形状検出手段で処理され、形成されたボール5の径が所定の径となっているかどうかが判断される(図3、ステップS212)。ボール5が形成されている場合、取得された立面画像は図11(d)、(e)に示すように、視野62の中にキャピラリ16、ボール5、テールワイヤ8、基準部材25を含んでいる。制御部30は予め求めた画素数と視野の中の物体の長さの関係のキャリブレーション結果に基づいて、画像のボール5の部分の画素数からボール径を求めるようにしても良いし、一緒に視野62の中に撮像させている基準部材との相対長さを求めて、この関係からボール径を求めるようにしてもよい。そして、光学的形状検出手段によって取得されたボール径を、記憶部34に格納されている所定の基準範囲データと比較して、ボール径が所定の基準範囲に入っているかを判断する(図3、ステップS212、図6(i))。
(10)光学的形状検出手段によって検出されたボール5の形状が許容範囲内に入っている場合には、パッド不着リカバリープログラムを終了する(図3、ステップS214)。
(11)パッド不着処理S109が終了すると、制御部30は移動機構18によってキャピラリ16の位置を再度パッド3(第1ボンド点)に移動させる。(図2、ステップS109からステップS102、図6(j))。
(12)そして、再度パッド3(第1ボンド点)にボンディングを行う(図2、ステップS102、図6(k))。
(13)ボールの形状が所定の形状となっていない場合には、パッド不着リカバリー失敗と判断してエラー停止処理をおこう(図3、ステップS213)。
(2)しかし、リード4(第2ボンド点)へのボンディング工程によって、良好なテールワイヤ8が形成されていなかったり、テールワイヤ8の長さが所定の長さよりも短かったりする場合(図7(e)〜(f))、ボール形成手段26(電気トーチ)の電極とテールワイヤ8の距離が長すぎ、所定の放電ができず良好にボールが形成されない。放電の異常は放電状態取得手段29からデータを放電状態取得インターフェース50によって制御部30に取り込んで処理する電気的放電異常検出手段によって検出することができる。
(3)電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出された場合には、制御部30は移動機構18によってキャピラリ16の先端を光路手段24が配設されている立面画像取得位置に移動させる(図3、ステップS215)。
(4)立面画像取得位置では、通常の不着リカバリー処理と同様、キャピラリ16先端部の立面画像が撮像され、撮像手段28はこのキャピラリ16先端の立面画像を撮像手段インターフェース40によって制御部30に入力する(図3、ステップS216、図7(i))。入力された立面画像は制御部30の光学的形状検出手段で処理され、キャピラリ16の先端のテールワイヤの長さ、傾き、曲がりなどの状態が取得される(図3、ステップS216)。取得された立面画像は図11(a)〜(c)に示すように、視野62の中にキャピラリ16、テールワイヤ8、基準部材25を含んでいる。制御部30は光学的形状取得手段によって、テールワイヤ8の長さや傾き、曲がりの程度を求める。そして、取得されたテールワイヤ8の形状を記憶部34の基準データと比較して所定の形状になっていない場合には、キャピラリ16の先端にワイヤ12を繰り出す再テール出し処理S218が行われる(図3、ステップS217〜S218、図7(i))。
(5)再テール出し処理S218は図5、図9に示すように、第1、第2の2つのクランパ17a、17bの開閉動作と、キャピラリ16及び第1クランパ17aの上下動によって行う。クランパの開閉動作は制御部30からの信号がクランパ開閉インターフェース48を介してクランパ開閉手段27に入力されることよって行われる。以下、再テール出し処理S218について説明する。
(a)第1クランパ17a、第2クランパ17b共に閉まっている状態であることを確認する(図5、ステップS402、図9(a))。
(b)第2クランパ17bを開く(図5、ステップS403、図9(b))。
(c)第1クランパ17aでワイヤ12をクランピングしながらキャピラリと共に下動させ、所定の位置に停止させる(図5、ステップS404、図9(c)〜(d))。この動作によって第1クランパ17aがスプール11に巻回されているワイヤ12を引き出す。
(d)第2クランパ17bを閉じて、第1クランパ17aを開く(図5、S406、図9(e))。
(e)この状態でキャピラリ16、第1クランパ17aを上動させる。すると、ワイヤ12は第2クランパ17bによって固定されていることから、キャピラリ16の先端に飛び出してくる(図5、ステップS407、図9(f))。
(f)キャピラリ16、及び第1クランパ17aが所定の位置に戻ったら、第1クランパ17aを閉じて、第1、第2クランパ17a,17b閉を確認する(図5、ステップS409〜S410、図9(g))。再テール出し処理S218は一度に所定の長さになるようにワイヤを繰り出すのではなく、少しずつ何回か繰り返して繰り出していく。そして繰り出すごとにキャピラリ先端に繰りだされたワイヤ長さを光学的形状検出手段によって検出、測定し、所定の長さ、形状になっていると判断されたら再テール出し処理S218を終了する(図3、ステップS218〜ステップS220)。
(6)再テール出し処理S218によってテールワイヤ8が所定の状態になった場合には、制御部30は移動機構18によってキャピラリ16を放電位置に移動させる(図3、ステップS220〜S206、図7(j))。
(7)放電位置に移動したら、先の放電ステップと同様、ボール形成手段26(電気トーチ)の放電電極とテールワイヤ8の間に放電を行いこれによってテールワイヤ8の先端をボール形状に形成する。放電が良好に行われ、電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出されない場合には、制御部30は移動機構18によって、立面画像取得位置に移動してボール5の立面画像を取得し、光学的形状検出手段でボール形状が所定の形状になっているかを検出する(図3、ステップS209〜S212、図7(j)〜(k))。
(8)所定のボール形状となっていた場合には放電異常リカバリー処理を含むパッド不着リカバリー処理は終了する。(図3、ステップS214)、
(9)パッド不着リカバリー処理が終了すると、制御部30は移動機構18にキャピラリ16の位置を再度パッド3(第1ボンド点)に移動させる。(図2、ステップS109〜ステップS102、図7(l))。
(10)そして、再度パッド3(第1ボンド点)にボンディングを行う(図2、ステップS102、図7(b))。
(11)ボールの形状が所定の形状となっていない場合には、パッド不着リカバリー失敗と判断してエラー停止処理を行う(図3、ステップS213)。この時、ボール形状を判定して、ボールが所定の形状に形成されるまで、光学的形状検出手段で形状を確認しながら再度再テール出し処理、再放電を行ってリカバリーサイクルを回るようにしても良いし、何回かこのような処理を行った後でエラー停止処理を行うこととすることでも良い。
(2)ノーテールリカバリー処理S116が開始されると、制御部30は移動機構18によってキャピラリ16の先端を光路手段24が配設されている立面画像取得位置に移動させ、キャピラリ先端近傍の立面画像を取得する(図4、ステップS302〜S303、図8(d))。
(4)立面画像取得位置では、先に述べた放電異常リカバリー処理を含む不着リカバリー処理と同様、キャピラリ16先端部の立面画像が撮像されて撮像手段インターフェース40を介して制御部30に入力される。入力された立面画像は制御部30の中で処理され、光学的形状検出手段によってキャピラリ16の先端のテールワイヤ8の長さ、傾き、曲がりなどの状態が取得される(図4、ステップS304)。
(5)取得されたテールワイヤ8の状態が所定の状態でない場合には、光学的形状検出手段でテールワイヤ8の形状を検出しながら、テールワイヤ8の形状が所定の形状になるまで、先に述べた再テール出し処理S305が行われる(図4、ステップS305、図8(d))。
(6)再テール出し処理S305によってテールワイヤ8が所定の状態になった場合には、制御部30は移動機構18によってキャピラリ16を放電位置に移動させる(図4、ステップS306、図8(e))。
(7)放電位置に移動したら、先の放電ステップと同様、放電を行いこれによってテールワイヤ8の先端をボール形状に形成する。放電が良好に行われ、電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出されない場合には、制御部30は移動機構18によって、立面画像取得位置に移動してボール5の立面画像を取得、光学的形状検出手段によってボール形状が所定の形状になっているかを検出する。(図4、ステップS309〜S312、図8(f))。
(8)所定のボール形状となっていた場合にはノーテールリカバリー処理は終了する。(図4、ステップS314)、
(9)ノーテールリカバリー処理が終了すると、ボンディングサイクルは終了する(図2、ステップS116〜ステップS119)。
(10)制御部30は移動機構18によってキャピラリ16の位置を次のパッド3(第1ボンド点)に移動させ、次のボンディング動作を継続していく。
(11)ボールの形状が所定の形状となっていない場合には、ノーテールリカバリー失敗と判断してエラー停止処理をおこう(図4、ステップS313)。この時、ボール形状を判定して、ボールが所定の形状に形成されるまで、光学的形状検出手段で形状を確認しながら再度再テール出し処理、再放電を行ってリカバリーサイクルを回るようにしても良いし、何回かこのような処理を行った後でエラー停止処理を行うこととすることでも良い。
Claims (12)
- ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワイヤとワークの間に通電し、その通電状態を検出する通電状態取得手段と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
ワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するボンディング制御部と、を備えるワイヤボンディング装置であって、
ボンディング制御部は、
通電状態取得手段によって取得された第1ボンド点とワイヤとの間の通電状態信号を処理して第1ボンド点とワイヤとの間の不着を電気的に検出する電気的不着検出手段と、
撮像手段によって取得された平面画像を処理して第1ボンド点のワイヤの不着を光学的に検出する光学的不着検出手段と、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出手段と、
電気的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出手段によって不着が検出された場合に、光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う不着リカバリー手段と、
を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 請求項1に記載のワイヤボンディング装置において、
ワイヤボンディング装置は更に、ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段を備え、
制御部は更に、
電気的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出手段によって不着が検出され、かつ、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し手段
を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワイヤとワークの間に通電し、その通電状態を検出する通電状態取得手段と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
ワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段と、
第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続した後にワイヤを切断するボンディング制御部と、を備えるワイヤボンディング装置であって、
ボンディング制御部は、
第2ボンド点へのボンディングの後でワイヤ切断の前に通電状態取得手段によって取得された第2ボンド点とワイヤの間との通電状態信号を処理してテールワイヤが所定の長さに至らないノーテールを検出する電気的ノーテール検出手段と、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出手段と、
電気的ノーテール検出手段によってノーテールが検出され、かつ、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し手段と、
光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成するノーテールリカバリー手段と、
を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
放電電極とワイヤ間の放電によりワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
放電電極とワイヤ間の放電状態を取得する放電状態取得手段と、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段と、
第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するボンディング制御部と、を備えるワイヤボンディング装置であって、
ボンディング制御部は、
ボール形成手段の放電時に放電状態取得手段によって取得された放電電極とワイヤとの間の放電状態信号を処理して電気的にボール形成手段の放電が正常かどうかを検出する電気的放電異常検出手段と、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出手段と、
電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出され、かつ、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し手段と、
電気的放電異常検出手段によって放電異常が検出された後に、光学的形状検出手段により検出されたキャピラリ先端のワイヤ状態が所定の状態である場合に、光学的形状検出手段により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成する放電異常リカバリー手段と、
を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワイヤとワークの間に通電し、その通電状態を検出する通電状態取得手段と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
ワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
ボンディング装置を制御するボンディング制御部と、
を備え、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するワイヤボンディング装置のボンディング制御プログラムであって、
通電状態取得手段によって取得された第1ボンド点とワイヤとの間の通電状態信号を処理して第1ボンド点とワイヤとの間の不着を電気的に検出する電気的不着検出プログラムと、
撮像手段によって取得された平面画像を処理して第1ボンド点のワイヤの不着を光学的に検出する光学的不着検出プログラムと、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出プログラムと、
電気的不着検出プログラムから不着検出が出力され、かつ、光学的不着検出プログラムから不着検出が出力された場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段によりワイヤ先端に所定の形状のボールを再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う不着リカバリープログラムと、
を有することを特徴とするボンディング制御プログラム。 - 請求項5に記載のボンディング制御プログラムにおいて、
ボンディング制御プログラムが制御するワイヤボンディング装置は更に、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段を備え、
ボンディング制御プログラムは更に、
電気的不着検出プログラムから不着検出が出力され、かつ、光学的不着検出プログラムから不着検出が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でないという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出しプログラム
を有することを特徴とするボンディング制御プログラム。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワイヤとワークの間に通電し、その通電状態を検出する通電状態取得手段と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
ワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段と、
ボンディング装置を制御するボンディング制御部と、
を備え、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続した後にワイヤを切断するワイヤボンディング装置のボンディング制御プログラムであって、
第2ボンド点へのボンディングの後でワイヤ切断の前に通電状態取得手段によって取得された第2ボンド点とワイヤの間との通電状態信号を処理してテールワイヤが所定の長さに至らないノーテールを検出する電気的ノーテール検出プログラムと、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出プログラムと、
電気的ノーテール検出プログラムからノーテール検出が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でないという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出しプログラムと、
光学的形状検出プログラムからに出力されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成するノーテールリカバリープログラムと、
を有することを特徴とするボンディング制御プログラム。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
放電電極とワイヤ間の放電によりワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
放電電極とワイヤ間の放電状態を取得する放電状態取得手段と、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段と、
を備え、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するワイヤボンディング装置のボンディング制御プログラムであって、
ボール形成手段の放電時に放電状態取得手段によって取得された放電電極とワイヤとの間の放電状態信号を処理して電気的にボール形成手段の放電が正常かどうかを検出する電気的放電異常検出プログラムと、
光路変更手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出プログラムと、
電気的放電異常検出プログラムから放電異常が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でないという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出しプログラムと、
電気的放電異常検出プログラムから放電異常が出力され、かつ、光学的形状検出プログラムからキャピラリ先端のワイヤ状態が所定の状態であるという出力がされた場合に、光学的形状検出プログラムから出力されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成する放電異常リカバリープログラムと、
を有することを特徴とするボンディング制御プログラム。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワイヤとワークの間に通電し、その通電状態を検出する通電状態取得手段と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
ワイヤ先端に所定の形状のボールを形成するボール形成手段と、
ボンディング装置を制御するボンディング制御部と、
を備え、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するワイヤボンディング装置のボンディング方法であって、
通電状態取得手段によって取得された第1ボンド点とワイヤとの間の通電状態信号を処理して第1ボンド点とワイヤとの間の不着を電気的に検出する電気的不着検出工程と、
撮像手段によって取得された平面画像を処理して第1ボンド点のワイヤの不着を光学的に検出する光学的不着検出工程と、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出工程と、
電気的不着検出工程によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出工程によって不着が検出された場合に、光学的形状検出工程により検出されたワイヤ先端形状に基づいて、ボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成して、第1ボンド点に再ボンディングを行う不着リカバリー工程と、
を有することを特徴とするボンディング方法。 - 請求項9に記載のボンディング方法において、
ボンディング方法が用いられるワイヤボンディング装置は更に、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段を備え、
ボンディング方法は更に、
電気的不着検出工程によって不着が検出され、かつ、光学的不着検出工程によって不着が検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し工程
を有することを特徴とするボンディング方法。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワイヤとワークの間に通電し、その通電状態を検出する通電状態取得手段と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
ワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段と、
ボンディング装置を制御するボンディング制御部と、
を備え、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続した後にワイヤを切断するワイヤボンディング装置のボンディング方法であって、
第2ボンド点へのボンディングの後でワイヤ切断の前に通電状態取得手段によって取得された第2ボンド点とワイヤの間との通電状態信号を処理してテールワイヤが所定の長さに至らないノーテールを検出する電気的ノーテール検出工程と、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出工程と、
電気的ノーテール検出工程によってノーテールが検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し工程と、
光学的形状検出工程により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成するノーテールリカバリー工程と、
を有することを特徴とするボンディング方法。 - ワイヤが挿通されてワークにボンディングを行うキャピラリをXYZ方向に移動させる移動機構と、
ワークを撮像する撮像手段と、
キャピラリ先端近傍の立面画像を撮像手段に導く光路手段と、
放電電極とワイヤ間の放電によりワイヤ先端を所定の形状のボールに形成するボール形成手段と、
放電電極とワイヤ間の放電状態を取得する放電状態取得手段と、
ワイヤを把持する複数のクランパそれぞれを開閉するクランパ開閉手段と、
を備え、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するワイヤボンディング装置のボンディング方法であって、
ボール形成手段の放電時に放電状態取得手段によって取得された放電電極とワイヤとの間の放電状態信号を処理して電気的にボール形成手段の放電が正常かどうかを検出する電気的放電異常検出工程と、
光路手段を介して撮像手段によって取得された、キャピラリ先端近傍のワイヤの立面画像を処理してワイヤの先端部形状を検出する光学的形状検出工程と、
電気的放電異常検出工程によって放電異常が検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態が所定の状態でない場合に、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤの状態に基づいて、クランパ開閉手段と移動機構によるキャピラリの上下動によって、キャピラリ先端のワイヤが所定の状態になるまでキャピラリ先端にワイヤを繰り出す再テール出し工程と、
電気的放電異常検出工程によって放電異常が検出され、かつ、光学的形状検出工程により検出されたキャピラリ先端のワイヤ状態が所定の状態である場合に、光学的形状検出工程により検出されたワイヤ先端形状に基づいてボール形成手段によりワイヤ先端を所定の形状のボールに再形成する放電異常リカバリー工程と、
を有することを特徴とするボンディング方法。
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