JP2013179255A - ワイヤーボンダのためのワイヤーテール自動調節システム - Google Patents

Abstract

【課題】ウェッジワイヤーボンドを形成時にキャピラリーからワイヤーテールが不適切に延びるのを防止し、ワイヤーボンディング装置の生産力を増大させたワイヤーボンダのためのワイヤーテール自動調節システムを提供する。
【解決手段】ワイヤー保持器１６が、ワイヤークランプ部１８が開いてワイヤー１２を締め付けない間、ワイヤーの固定のために設置される。ワイヤークランプ部及びキャピラリー２０は、所定長さのワイヤーを繰り出すために、ワイヤーに対してウェッジワイヤーボンドから離れる方向にワイヤー保持器に向かって持ち上げられる。予め規定された高さにおいて、ワイヤークランプ部は、ワイヤーを締め付けるために閉じ、キャピラリー及びワイヤークランプ部は、ウェッジワイヤーボンドからさらに離れるよう移動される。これによりワイヤーをウェッジワイヤーボンドから切り、キャピラリーから延在する所望の長さを有するワイヤーテールを形成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、ワイヤーボンダに関し、特にワイヤーボンダのためのワイヤー送りシステムに関する。

ワイヤーボンダは、半導体チップ上の電気接点パッドと基板との間、あるいは別の半導体チップ上の電気接点パッド間に電気ワイヤー接続を形成するために半導体組立て及びパッケージング中に用いられる。ワイヤーは、ボンディングワイヤーを収容するワイヤースプールからボンディングツール、例えばボンディングツールのうちワイヤーボンディングを実行するためのキャピラリーへ送られる。最も広く用いられるワイヤー材料は、金、銅及びアルミニウムである。電気接点パッドは、半導体チップ上及び配線基板上に金属化されたボンディング部位を備えてもよい。

ワイヤーを接続パッドへボンディングまたは溶接するために用いられる標準的な方法は、熱、圧力及び／または超音波エネルギーの組み合わせを用いる。それは、固相溶接プロセスであり、このプロセスでは、２つの金属材料（ワイヤー及びパッド面）を緊密に接触させる。表面を緊密に接触させると、原子の電子共有または相互拡散が起こり、結果としてワイヤーボンドの形成が生じる。このボンディングの力は、材料の変形を引き起こし、汚染層を破壊し、表面の凹凸を滑らかにすることができ、また、超音波エネルギーを利用することによってこれらの効果を強めることが可能である。熱は、原子間の拡散を速めることが可能であり、従ってワイヤーボンドを形成する。

ある種類のワイヤーボンドの形状は、ボールワイヤーボンドを用いる。このプロセスは、キャピラリーによって保持されている所定長さのワイヤー上の球形のワイヤー材料を溶かすことを含み、この溶けたワイヤー材料は、第１ボンディング位置に下げられて溶接される。その後、キャピラリーは、ループを描き、そして、一般にウェッジワイヤーボンドと呼ばれる、通常三日月形であるボンドを用いてワイヤーを第２ボンディング位置に接続する。その後、別のボールが、次の第１のボールワイヤーボンドのために再形成される。現在、金または銅のボールボンディングが、最も広く使用されるボンディング技術である。その利点は、ボールワイヤーボンディングがデバイスの接続パッド上で行われると、ワイヤーにストレスを与えることなくワイヤーを任意の方向に移動できることであり、この利点は、自動ワイヤーボンディングを非常に容易にさせる。

ボールボンディング工程の間、第２ボンドは、第２ボンディング位置においてウェッジワイヤーボンドの形状である。ウェッジ形成の後、ワイヤーがウェッジワイヤーボンドにまだ接続されているときに、ボンディングヘッドが上方に移動し、このため、所定長さのワイヤーがキャピラリーとウェッジワイヤーボンドとの間で繰り出される。ボンディングヘッドはテール高さ位置まで上昇し、そこで、ボンディングヘッドがエレクトリックフレームオフ（“ＥＦＯ”）の高さまで移動するにつれてワイヤーボンディング装置のワイヤークランプ部が閉じる。上方へさらに動く間に、ワイヤークランプ部が閉じると、ワイヤーがウェッジワイヤーボンディング部分において切れ、それによってキャピラリーから外側へ自由に延在するワイヤーテールを形成する。ＥＦＯデバイスは、スパークを生じさせ、これにより、ワイヤーテールを溶かして次のボールワイヤーボンドを形成するために用いられる溶けたボールを製造する。

ワイヤーテールは、次のボールボンドのための適切な溶けたボールを製造するために十分な長さでなければならない。しかしながら、ワイヤーテールは、さまざまな理由に起因して過度に短いかまたは欠落する可能性がある。例として、ウェッジ形成のためのボンディングパラメーターが十分に最適化されないか、またはボンディングされる材料が汚れている場合、ワイヤーは、ウェッジワイヤーボンドから早く切れる可能性がある。その後、ワイヤーは、ワイヤー経路またはキャピラリー自体から不意に飛び出す可能性がある。テールが短いかまたは完全に欠落する場合、次のボールボンドを作るために、溶けたボールを適切に製造できない。装置が、適切なワイヤーテールが形成されないことを検出し、稼働に関するエラーを示すと、機械は停止し、且つ、通常、人間の操作者による手動の介入、例えばキャピラリーを通るボンディングワイヤーを再び通すことを必要とする。従って、ワイヤーテールの形状における上記エラーは、不必要な機械休止時間及び生産力の低下を引き起こす。

従って、本発明の目的は、ワイヤーボンディング工程の間、キャピラリーからワイヤーテールが不適切に延びるのを自動的に防止し且つ／または正常な状態に戻し、これにより、人間の介入を減少させ且つワイヤーボンディング装置の生産力を増大させることである。

本発明の関連する目的は、キャピラリーから延在するワイヤーテールを測定し、これにより、ワイヤーテールが次のワイヤーボンディング工程を容易にする適当な長さからなることを保証することである。

従って、本発明は、ウェッジワイヤーボンドを含むワイヤー相互結合を形成するためのワイヤーボンディング方法であって、ウェッジワイヤーボンドを形成するためにキャピラリーを使用するステップと、ワイヤークランプ部が開いてワイヤーを締め付けない間にワイヤーを固定するために、ワイヤークランプ部及びキャピラリーの上に設置されるワイヤー保持器を使用するステップと、キャピラリーから所定長さのワイヤーを繰り出すために、ワイヤーに対してワイヤークランプ部及びキャピラリーをウェッジワイヤーボンドから離れる方向に且つワイヤー保持器に向かって持ち上げるステップと、キャピラリーの予め規定された高さにおいてワイヤーを締め付けるためにワイヤークランプ部を閉じるステップと、その後、ワイヤーをウェッジワイヤーボンドから切ってキャピラリーから延在する所望の長さを有するワイヤーテールを形成するために、キャピラリー及びワイヤークランプ部をウェッジワイヤーボンドからさらに離れるよう移動させるステップと、を含む、ワイヤーボンディング方法を提供する。

便宜上、本明細書における以下では、本発明を、本発明の一実施形態を示す添付の図面を参照してより詳細に説明する。図及び関係する説明の特性は、特許請求の範囲によって規定されるように本発明の広い特定の全体に優先するものとして理解されるべきではない。

本発明によるワイヤーボンディング装置及び方法の好ましい一実施例は、添付の図面を参照してこれから説明される。

本発明の好ましい実施形態によるワイヤーボンディング装置の斜視図である。 短いワイヤーテールが生じる可能性を低減させるために、所定長さのボンディングワイヤーをどのように制御するかを概略的に示す図である。 本発明の好ましい実施形態によるワイヤーテール長測定システムを示す図１のワイヤーボンディング装置の側面図である。 キャピラリー上に固着された所定長さのワイヤーを解放する第１の方法を示す図１のワイヤーボンディング装置の側面図である。 キャピラリー上に固着された所定長さのワイヤーを解放する第２の方法を概略的に示す図である。 次のワイヤーボンディング工程のためにボンディングワイヤーを適当なテール長繰り出すことを概略的に示す図である。 正確なワイヤーテール長が適切に繰り出されない場合において、新たなテールをどのように作り出すかを概略的に示す図である。

図１は、本発明の好ましい実施形態によるワイヤーボンディング装置１０の斜視図である。ボンディングワイヤー１２、例えば金または銅ワイヤーが、ワイヤースプール（図示せず）から、垂直上方または下方に真空吸引力を加えるように稼働可能な空気圧デバイス１４内に送られ、これにより、これらの方向にボンディングワイヤー１２が移動することを促す。ワイヤークランプ部の形態であってもよいワイヤー保持器１６が、空気圧デバイス１４の下に設置され、且つ、ボンディングワイヤー１２を固定し且つワイヤー送り経路に沿ったボンディングワイヤー１２の移動を制御するために稼働可能である。また、ワイヤー保持器１６は、ワイヤーボンディング中に適切な位置にワイヤーを保持するために保持力を付与する機能を果たすソレノイド通電機構、空気圧機構または任意の他の機構を備えていてもよい。

ワイヤークランプ部１８が、ボンディングワイヤー１２の相対的な移動を抑えるか、または送られるボンディングワイヤーの移動を制御するときに、ボンディングワイヤー１２を締め付けるためにワイヤー保持器１６の下に設置される。ワイヤー保持器１６は、ワイヤークランプ部１８から独立して稼働可能である。その後、ボンディングワイヤー１２は、ワイヤークランプ部１８の下のキャピラリー２０を通過する。キャピラリー２０は、全体としてトランスデューサホーン２２の一端に設置される。ワイヤーボンディングは、キャピラリー２０の底端において実施される。通常、ボールワイヤーボンド及びウェッジワイヤーボンドが、キャピラリー２０によって形成される。

エレクトロニックフレームオフ（“ＥＦＯ”）トーチ２４が、キャピラリー２０の底端に近接して設置されており、これにより、ワイヤーボンディングさせるためにスパークを生じさせてボンディングワイヤー１２のテール端を溶かす。また、ボンディングワイヤー１２のテール端は、ワイヤーテールと呼ばれる。溶けたボンディングワイヤー１２は、ボールの形態にあり、続いてこのボールはキャピラリー２０によって電子デバイス２６上にボンディングされ、これにより、ワイヤー配線の第１ボンドを作り出す。第１ボンドは、好ましくはボールワイヤーボンドである。続いて、キャピラリー２０は、第１ボンドから延在するワイヤーループを形成するためにボンディングワイヤー１２を延在させる。その後、ウェッジワイヤーボンドの形態にある第２ボンドが、第２ボンディング位置においてキャピラリー２０によって作られ、これにより、第１ボンディング位置と第２ボンディング位置との間のワイヤー配線が完成する。

図２は、短いワイヤーテールが生じる可能性を低減させるためにどのように所定長さのボンディングワイヤー１２を制御するかを概略的に示す図である。第２ボンディング位置において、キャピラリー２０は、ウェッジワイヤーボンドを作り出すときに電子デバイス２６と接触する。この時点では、ワイヤー保持器１６は、ボンディングワイヤー１２を固定するために閉じており、且つ、ワイヤークランプ部１８は、ボンディングワイヤー１２を締め付けないように開いている。ウェッジワイヤーボンドが作り出された後に、キャピラリー２０は、ボンディングワイヤー１２に対して、ワイヤークランプ部１８とともにウェッジワイヤーボンドから離れる方向に且つワイヤー保持器１６に向かって上方に持ち上げられて移動され、これにより、ワイヤーがウェッジワイヤーボンドにまだ接続されているときにウェッジワイヤーボンドから所定長さのワイヤーを繰り出す。この動作は、ボンディングワイヤー１２の充分な長さを延在させて、ワイヤーテールを作り出す。

キャピラリー２０及びワイヤークランプ部１８が上方に移動してキャピラリー２０からワイヤーを繰り出すときに、ワイヤー保持器１６は、ボンディングワイヤー１２を固定し且つその位置を制御するために、ボンディングワイヤー１２を締め付けるべきであり、このため、ボンディングワイヤー１２がウェッジボンドから早く切れる場合において、ボンディングワイヤー１２がワイヤー送りルートからそれない。ボンディングワイヤーにおける位置の前記制御は、ボンディングワイヤー１２がワイヤー送りルートからはずれる可能性を減少させて、不必要な機械停止を回避する。

キャピラリー２０が予め規定した高さまで上昇し、且つ適正な長さのワイヤーテールが形成された後に、ワイヤークランプ部１８は、ボンディングワイヤー１２上で閉じ、ここでワイヤー保持器１６は開くことができる。キャピラリー２０及びワイヤークランプ部１８がウェッジワイヤーボンドから離れてさらに上方へ動くと、所望の長さのワイヤーテールは、電子デバイス２６上のウェッジワイヤーボンドから離れて切れる。ここで、キャピラリー２０から延在する所望の長さを有するワイヤーテールをＥＦＯデバイス２４によって溶かす準備ができ、これにより、次のボールワイヤーボンドを作り出すためにボールを形成する。

図３は、本発明の好ましい実施形態によるワイヤーテール長測定システムを示す図１のワイヤーボンディング装置１０の側面図である。ワイヤーテール長の測定は、短いテールが見つかり、且つワイヤーボンディング装置１０がボンディングワイヤー１２をどのくらい繰り出すかを自動的に判断する必要がある場合に極めて有益であり、これにより、適正な長さのワイヤーテールを得て、操作者の介入なくワイヤーボンディング工程を継続する。

接触検出器２８が、ワイヤーテールの長さを検出するために、ワイヤーボンディング装置１０と関連して用いられる。このシステムによって、発生する恐れのあるワイヤーテール長の不足あるいは欠落が発見された場合、すなわち典型的には、ボンディングワイヤー１２が、第２ボンドすなわちウェッジボンドから早く破断されたことを該ワイヤーボンディング装置１０が検出した場合には、残るワイヤーテールの長さが規定されるべきである。これを行うため、接触検出器２８の一方の電極は、ボンディングワイヤー１２に電気的に接続される一方で、接触検出装置２８の他方の電極は、電子デバイス２６または他の導電性面に電気的に接続される。あるいは、任意の別の適した電気センサーが、ボンディングワイヤー１２と導電性面との間の接触を検出するために、ボンディングワイヤー１２及び導電性面それぞれに電気的に接続されてもよい。これらの接続は、電気的な回路ループを形成する。前記回路ループは、ボンディングワイヤー１２が電子デバイス２６または他の導電性面と接触しないときに開き、且つボンディングワイヤー１２がこれらと接触するときに閉じる。

この段階では、ボンディングワイヤー１２のテール部の幾分かは、キャピラリー２０の先端から自由に垂れ下がっていてもよく、接触検出器２８の回路ループは、開いている。その後、ボンディングワイヤー１２を保持するキャピラリー２０は、予め規定された高さに位置決めされ、そして電子デバイス２６に向かって徐々に下げられると同時に、キャピラリー２０またはボンディングヘッドにおける別の適した部分の垂直位置が観測される。キャピラリー２０は、ボンディングワイヤー１２が電子デバイス２６または別の導電性面と初めて接触するまで下げられ、その結果、接触検出器２８の回路ループが閉じられる。この段階では、キャピラリー２０またはボンディングヘッド上の別の関連箇所の垂直位置が記録される。電子デバイス２６または別の導電性面の高さが分かっているので、キャピラリー２０の先端から突出するボンディングワイヤー１２の長さを判断することが可能である。

突出するボンディングワイヤー１２の長さが判断されると、システムは、ボンディングワイヤーにおける繰り出す（または引き込む）必要がある追加長さを計算し、これにより、所望の長さのワイヤーテールを得て、操作者の介入なくボンディング工程をさらに継続する。所望の長さのワイヤーテールが得られた後に、またはワイヤーテールの長さが予め規定された範囲内にあると、ＥＦＯデバイス２４からのスパークは、ワイヤーテールの端部を溶かし、これにより、溶けたボールを製造して、次のワイヤーボンドを作る。

場合によっては、ボンディングワイヤー１２は、ワイヤークランプ部１８をボンディングワイヤー１２に対して操作するにもかかわらずさらに繰り出されることのないように、キャピラリー２０に固着されてもよい。図４は、キャピラリー２０上、通常であればキャピラリー２０の先端、に固着された所定長さのボンディングワイヤーを解放する第１の方法を示す図１のワイヤーボンディング装置の側面図である。この第１の方法では、キャピラリー２０の先端がＥＦＯデバイス２４と隣接して移動される。その後、ＥＦＯデバイス２４から１回以上のスパーク３０をボンディングワイヤー１２上に生じさせ、キャピラリー２０の先端に固着されたボンディングワイヤー１２の一部を溶かす。ボンディングワイヤー１２が溶けた後に、ボンディングワイヤー１２は、はずされ且つキャピラリー２０から引き離されてもよく、このため、ボンディングワイヤー１２を繰り出し且つワイヤーボンディング工程は継続してもよい。

図５は、キャピラリー２０上に固着された所定長さのボンディングワイヤーを解放する第２の方法を概略的に示す図である。この方法では、ボールワイヤーボンドの形態にある突起ボール３２は、それをダミーの領域または表面に予めボンディングすることによって、すでに事前形成してある。このようなダミー領域は、電子デバイス２６における使用されない部分またはどこか他の表面に求めることができる。ボンディングワイヤー１２がキャピラリー２０の先端上に固着されたことを判断すると、キャピラリー２０は、ボンディングワイヤー１２を突起ボール３２に向かって導き、且つキャピラリー２０は、突起ボール３２の頂部上に位置決めされる。その後、キャピラリー２０は、固着されたボンディングワイヤー１２を例えば超音波振動を通じた洗浄作用によって突起ボール３２にボンディングして取り付けようとし、このため、固着されたワイヤーは、キャピラリー２０から分離される。

ボンディングワイヤー１２の先端が突起ボール３２上に固着すると、キャピラリー２０が持ち上げられると同時にワイヤークランプ部１８が開き、新たなワイヤーテールを作り出す。適正な長さのワイヤーテールが得られた時点で、ワイヤークランプ部１８が閉じる。キャピラリー２０及びワイヤークランプ部１８をさらに持ち上げると、ワイヤーテールは突起ボール３２から切れて、所望の長さの新たなワイヤーテールがさらなるボンディング工程のために利用可能である。

図６は、次のワイヤーボンディング工程のために、ボンディングワイヤー１２を適当なテール長に繰り出すことを概略的に示す図である。テールワイヤーの長さが決定されると、ワイヤーボンディング装置１０は、所望の長さに到達するためにボンディングワイヤー１２をどれだけ繰り出す必要があるかを判断する。ボンディングワイヤー１２を繰り出すために、まず、ワイヤークランプ部１８がボンディングワイヤー１２を締め付けると同時に、ワイヤー保持器１６が開いて、ボンディングワイヤー１２がワイヤー保持器１６によって固定状態から解放される。その後、ワイヤークランプ部１８は、ボンディングワイヤー１２をワイヤー保持器１６から離れる方向に且つキャピラリー２０に向かって下方に引き、これにより、より多くのボンディングワイヤー１２がワイヤースプールから送られる。その後、ワイヤー保持器１６は、ボンディングワイヤー１２が移動することを防止するためにボンディングワイヤー１２上で閉じ、且つワイヤークランプ部１８は、開く。その後、ワイヤークランプ部１８は、ワイヤー保持器１６に向かって上方に移動し、新たに引く動作の準備をする。ワイヤークランプ部１８をボンディングワイヤー１２に対して上昇させた後に、ワイヤークランプ部１８はボンディングワイヤー１２上で再び閉じ、そして、ワイヤー保持器１６は、ボンディングワイヤー１２を固定された状態から解放させるために開く。ワイヤークランプ部１８はボンディングワイヤー１２を、ワイヤー保持器１６から離れるように且つキャピラリー２０に向かって、正しいワイヤーテール長に届くまで再び下方に引く。届かない場合は、より多くのボンディングワイヤー１２を繰り出すためにこのサイクルが繰り返される。

図７は、正確なワイヤーテール長を適切に繰り出せない場合、どのように新たなテールを作り出すかを概略的に示す図である。作られたワイヤーテールの長さを調節しようとしたにもかかわらず、正確なテール長を未だに達成できないか、またはワイヤーテールの形態が、固着されたボンディングワイヤー１２をキャピラリー２０から引き離すために生じるスパーク３０によって変形される可能性がある。その場合、ボンディング工程をスムーズに継続することを保証するために、欠陥があるワイヤーテールを取り除き、且つ新たなワイヤーテールを形成する必要がある。この場合、ダミーのボンドが作り出されてもよい。

キャピラリー２０は初め、電子デバイス２６の使用されない部分またはどこか他の表面であってよいダミー領域に移動される。ＥＦＯデバイス２４は、スパークを生じさせて、ワイヤーテールを溶かして溶けたボールを形成する。その結果、まずボールワイヤーボンドがダミー領域上に作り出される。その後、キャピラリー２０は、上方に移動し且つボンディングワイヤー１２を第２ボンディング位置に向かって延在させ、第２のウェッジワイヤーボンドを作り出す。このプロセスにおいて、ワイヤーループ３４が形成される。ワイヤーループ３４が形成された後に、ボンディングワイヤー１２をウェッジボンドから切り、キャピラリー２０から延在する所望の長さの新たなワイヤーテールを形成する。その後、ワイヤーボンディング工程は、よりスムーズに継続することが可能である。

あるいは、ワイヤーループ３４を形成する代わりに、突起ボール３２を作り出し、ボンディングワイヤー１２を突起ボール３２から延長させた後に、ボンディングワイヤー１２を即座に突起ボール３２から切り、図５に示すようにキャピラリー２０から延在する所望の長さの新たなワイヤーテールを形成することもできる。このように、ボンディング時間を省くことが可能であり、あるいは場合によっては、固着したワイヤーの取外しが容易となる。しかしながら、この場合、突起ボールは、ボンディングワイヤー１２をボールワイヤーボンドから切るために引くときに、ダミー領域から除去されないように十分強固にボンディングされなければならない。

本明細書に開示される本発明は、変更、修正及び／または具体的に開示されたこれら以外を付加することを許容する。本発明が、上記説明の精神及び範囲に含まれるすべての上記変更、修正及び／または付加を含むことは、理解される。

１２ ボンディングワイヤー、１６ ワイヤー保持器、１８ ワイヤークランプ部、２０ キャピラリー、２６ 電子デバイス、２８ 接触検出器、３０ スパーク

Claims (16)

1. ウェッジワイヤーボンドを含むワイヤー相互結合を形成するためのワイヤーボンディング方法であって、
   前記ウェッジワイヤーボンドを形成するためにキャピラリーを使用するステップと、
   ワイヤークランプ部が開いてワイヤーを締め付けていない間、前記ワイヤーを固定するために、前記ワイヤークランプ部及び前記キャピラリーの上に設置されるワイヤー保持器を使用するステップと、
   前記キャピラリーから所定長さのワイヤーを繰り出すために、前記ワイヤーに対して前記ワイヤークランプ部及び前記キャピラリーを前記ウェッジワイヤーボンドから離れる方向に且つ前記ワイヤー保持器に向かって持ち上げるステップと、
   前記キャピラリーにおける予め規定された高さにおいて、前記ワイヤーを締め付けるために前記ワイヤークランプ部を閉じるステップと、
   その後、前記ウェッジワイヤーボンドから前記ワイヤーを切って前記キャピラリーから延在する所望の長さを有するワイヤーテールを形成するために、前記キャピラリー及び前記ワイヤークランプ部を前記ウェッジワイヤーボンドからさらに離れるよう移動させるステップと、
   を含むことを特徴とするワイヤーボンディング方法。
2. 前記ワイヤークランプ部が閉じるステップの後に、前記ワイヤー保持器による固定状態から前記ワイヤーを解放するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
3. 前記ワイヤーテールの形成の後に、前記キャピラリーを所定の高さに位置決めし、且つ導電性面に向かって前記ワイヤーテールを徐々に下げるステップと、
   前記キャピラリーから延在する前記ワイヤーテールの長さを決定するステップと、
   その後、次のワイヤーボンドを作るために、前記ワイヤーテールの端部を溶かし、溶けたボールを製造するように、スパークを作り出すステップと、
   をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
4. 前記キャピラリーから延在する前記ワイヤーテールの長さを決定するステップは、
   前記ワイヤーテールが導電性面に接触する垂直位置を検出するために、接触検出器を使用するステップと、
   前記ワイヤーテールが前記導電性面に接触する前記垂直位置に基づいて前記ワイヤーテールの長さを決定するステップと、
   をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載のワイヤーボンディング方法。
5. 前記接触検出器は、前記ボンディングワイヤーと電気的に接続する第１電極と、前記導電性面と電気的に接続する第２電極と、を備えることを特徴とする請求項４に記載のワイヤーボンディング方法。
6. 前記キャピラリーから延在する前記ワイヤーテールの長さを検出するステップは、
   回路ループを形成するために、電気センサーを前記ワイヤー及び導電性面のそれぞれに接続させるステップであって、前記回路ループが、前記ワイヤーが前記導電性面に接触していないときに開き、且つ前記ワイヤーが前記導電性面に接触しているときに閉じるものである、ステップと、
   前記回路ループを閉じるために前記ワイヤーが前記導電性面と接触するまで前記キャピラリーを前記導電性面に向かって徐々に移動させるステップと、
   その後、前記回路ループが閉じるときに、前記キャピラリーの垂直位置において前記キャピラリーの先端から前記導電性面へ延在する前記ワイヤーテールの長さを決定するステップと、
   をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載のワイヤーボンディング方法。
7. 請求項１に記載のワイヤーボンディング方法において、
   前記キャピラリーから所定の追加的長さの前記ワイヤーを繰り出すステップを備え、該ワイヤーを繰り出すステップが、
   前記ワイヤーを前記ワイヤー保持器によって固定状態から解放するステップと、
   前記ワイヤー保持器から離れる方向に且つ前記キャピラリーに向かって前記ワイヤークランプ部とともに前記ワイヤーを引くステップと、
   前記ワイヤーを固定するために前記ワイヤー保持器を使用するステップと、
   前記キャピラリーから前記ワイヤーを繰り出すために前記ワイヤークランプ部を開いた後に、前記ワイヤーに対して前記キャピラリー及び前記ワイヤークランプ部を前記ワイヤー保持器に向かう方向に移動させるステップと、
   その後、前記ワイヤークランプ部を用いて前記ワイヤーを締め付け且つ前記ワイヤー保持器による固定状態から前記ワイヤーを解放するステップと、
   を含むことを特徴とするワイヤーボンディング方法。
8. 前記ワイヤーが前記キャピラリーに固着される段階において、前記ワイヤーを溶かすために、前記キャピラリー上に固着された前記ワイヤー上に１回以上のスパークを生じさせるステップと、その後、溶けた前記ワイヤーテールを前記キャピラリーから引き離すステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
9. 前記ワイヤーが前記キャピラリーに固着される段階において、表面に予めボンディングされたボール上に、固着された前記ワイヤーを設置するステップと、固着された前記ワイヤーを前記ボールに取り付け且つ前記キャピラリーから固着された前記ワイヤーを分離させるステップと、その後、前記キャピラリーから前記ワイヤーを延在させるステップと、そして前記ボールから前記ワイヤーを切るステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
10. 前記ワイヤークランプ部がワイヤーテールを伸ばすために前記キャピラリーから前記ワイヤーをさらに繰り出すことができないか、または前記ワイヤーテールが通常のボールワイヤーボンドを形成するために適していない場合において、第１ワイヤーボンド及び第２ワイヤーボンドを備えるワイヤーループを形成するステップと、前記キャピラリーから延在する所望の長さの新たなワイヤーテールを形成するために前記第２ワイヤーボンドから前記ワイヤーを切るステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
11. 前記ワイヤークランプ部が前記ワイヤーテールを伸ばすために前記キャピラリーから前記ワイヤーをさらに繰り出すことができない場合において、ボールワイヤーボンドを形成するステップと、前記キャピラリーと前記ボールワイヤーボンドとの間に所定長さのワイヤーを延在させるステップと、その後、前記キャピラリーから延在する所望の長さの新たなワイヤーテールを形成するために前記ボールワイヤーボンドから前記ワイヤーを切るステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
12. 前記ワイヤー保持器は、ワイヤークランプ部を備えていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤーボンディング方法。
13. ワイヤーボンディングのための装置であって、
    自身の先端にワイヤーボンドを形成するよう働くキャピラリーと、
    前記キャピラリーに送られるワイヤーを制御するために前記キャピラリーの上に設置されるワイヤークランプ部と、
    前記ワイヤークランプ部及び前記キャピラリーの上に設置されるワイヤー保持器であって、該ワイヤー保持器が前記ワイヤークランプ部から独立して動作可能であり且つ前記ワイヤークランプ部及び前記キャピラリーに対して前記ワイヤーを固定するために動作可能である、ワイヤー保持器と、
    を備えることを特徴とするワイヤーボンディングのための装置。
14. 前記キャピラリーから延在するワイヤーテールが導電性面に接触するときの瞬間を検出するために動作可能な接触検出器をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載のワイヤーボンディングのための装置。
15. 前記接触検出器は、ボンディングワイヤーと電気的に接続されるように構成される第１電極と、導電性面と電気的に接続されるように構成される第２電極と、を備えることを特徴とする請求項１３に記載のワイヤーボンディングのための装置。
16. 前記ワイヤー保持器は、ワイヤークランプ部を備えることを特徴とする請求項１３に記載のワイヤーボンディングのための装置。