TWI634602B - 在線接合操作中之短尾恢復技術 - Google Patents

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TWI634602B
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蓋瑞Ｓ 吉洛帝
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美商庫利克和索夫工業公司
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Abstract

提供一種線材接合機的操作方法。該方法包括：在線材接合部形成之後檢測短尾情況；將線材接合機的接合頭組件設置在線材接合機的xy位置處；使接合頭組件朝向位於xy位置處的接觸表面下降；打開線材夾；使接合頭元件減速，從而使得線材的一部分延伸到線材接合工具的末端下方；閉合線材夾；以及執行測試，以確認線材延伸到線材接合工具的末端下方的端部是否與接觸表面接觸。

Description

在線接合操作中之短尾恢復技術
本發明涉及一種線材接合操作(例如線環的形成、導電凸塊的形成等)，並且具體涉及在線材接合操作中從短尾情況恢復的技術。
在半導體器件的加工和包裝中，在線接合一直是在包裝部件內兩個位置(例如在半導體晶片的晶片墊和引線框架的引線之間)之間的電性互連的主要方法。更具體地，利用在線接合器(也稱為在線接合機)可在待電性互連的相應位置之間形成線環。線環形成的主要方法為球狀接合和打線接合(wedge bonding)。在(a)線環的端部和(b)接合位置(例如晶片墊、引線等)之間的接合部形成中，可以使用例如包括超聲能、熱聲能、熱壓能等的各種類型的接合能量。在線接合機(例如包括撞釘機(stud bumping machine))也被用來使部分線材形成導電凸塊。
在球狀接合操作過程中，利用放電結球(EFO)裝置的火花，將接合工具(例如細管)末端延伸的線材尾部熔化為焊球。之後，焊球被用於在第一接合位置上形成線環的第一接合部(例如球形接合部)，之後線材從該球形接合部延伸到第二接合位置，在第二接合位置處，線環的第二接合部(例如縫接合部(stitch bond))利用接合工具將線材的一部分接合到第二接合位置來形成。例如，第一接合位置可以是半導體晶片的接合墊， 並且第二接合位置可以是引線框架的引線。之後，接合工具被升高到線材測試(例如電連線性測試)的短尾檢測高度，以確保線材在第二接合位置上仍然與縫接合部連接。如果短尾未被檢測到，則接合頭(即承載接合工具和線材夾的接合頭，線材夾此時為閉合)則被升高至縫接合部，使線材被撕下。之後，剩餘的尾部長度被用來形成用於另一個線環的另一個焊球。
如第1A圖所示，線材接合機100中具有的多個元件。線材接合機100包括支撐襯底104的支撐結構102(例如熱塊、砧座等)。襯底104包括接觸部104a(在此進一步被稱為接合位置104a)。在具體的實施例中，襯底104是引線框架，並且接觸部104a可為引線框架104的引線104a。半導體晶片106被襯底104所支撐。線材接合機100進一步包括接合工具110、線材夾112(在第1A圖中處於打開位置)、線材114以及檢測系統116。線材114係由線材供應部(例如線材接合機100上的線材卷軸，未示出)所提供。接合工具110(例如細管)被用來形成半導體晶片106和襯底104之間的線環108。更具體地，線環108的第一接合部108a被接合到半導體晶片106的接合位置。同樣，線環108的第二接合部108b被接合到襯底104的接觸部104a的接合位置。在第1A圖中，接合工具顯示在第二接合部形成高度h0處。
線環108形成之後，就是時候形成用於後續的線環的線尾。現在參考第1B圖，接合工具110已經被升高(例如同線材夾112和線材接合機100的Z軸運動系統的其它元件一起被升高，未示出)到高度h1(其可被稱為“尾部高度”118)，從而使線尾114a在接合工具110的下方延伸。此時的線材夾112是閉合的，且檢測系統116被用於執行連線性檢查。即， 如本領域技術人員已知的，檢測系統116感測包括線材夾112、線尾114a、第二接合部108b等的電路中的電連線性。即，如果在h1處(如第1B圖中所示)線尾114a仍與第二接合部108b連接，則電連線性會被感測到並且不存在短尾情況。相反地，如果在h1處線尾114a與第二接合部108b不連接，則電連線性沒有被感測到並且存在短尾情況。檢測系統116可被稱為某些線材接合機上的接合完整性測試系統(即BITS系統)。
短尾情況可能在接合線過程中導致很多問題，例如焊球不一致的尺寸和形狀。因此，期望提供線材接合操作過程中的改進的短尾恢復技術。
基於上述理由，依據本發明的示例性實施例，提供了一種線材接合機的操作方法。該方法包括步驟：(a)在線材接合部形成之後檢測短尾情況，其中，線材接合部利用線材接合工具形成；(b)將線材接合機的接合頭組件設置在線材接合機的xy位置處，接合頭元件承載線材接合工具；(c)在線材接合機的線材夾閉合的情況下，使接合頭組件朝向位於xy位置處的接觸表面下降；(d)打開線材夾；(e)在接合頭元件朝向接觸表面下降時，使接合頭元件減速，從而使得線材的一部分延伸到線材接合工具的末端下方；(f)閉合線材夾；以及(g)執行測試，以確認線材延伸到線材接合工具的末端下方的端部是否與接觸表面接觸。在一個示例中，步驟(b)中接合頭元件的xy位置可以是從步驟(a)中檢測到的短尾情況的上方的位置。在另一個示例中，接合頭元件可在步驟(a)和步驟(c)之間移動到xy位置，其中，該位置沒有直接位於從步驟(a)中檢測的短尾情 況的上方。
本發明的方法進一步可以具體化為一個設備(例如作為線材接合機的智慧部分)，或者為電腦可讀載體(例如包括與線材接合機結合使用的線材接合程式的電腦可讀載體)上的電腦程式指令。
100‧‧‧接合機
102‧‧‧支撐結構
104‧‧‧支撐襯底
104a‧‧‧接觸部
106‧‧‧半導體晶片
108‧‧‧線環
108a‧‧‧第一接合部
108b‧‧‧第二接合部
110‧‧‧接合工具
112‧‧‧線材夾
114‧‧‧線材
114a、114b1、114b2、114b3‧‧‧線尾
116‧‧‧檢測系統
118‧‧‧尾部高度
208‧‧‧線環
208a、208b‧‧‧接合部
217‧‧‧電子滅焰裝置
220‧‧‧電弧
222‧‧‧結構
222a‧‧‧接觸表面
224‧‧‧焊球
328‧‧‧前軌
326‧‧‧後軌
330‧‧‧引線框架帶
332‧‧‧裝置夾
334‧‧‧限定開口
350‧‧‧接合頭元件
400、402、404、406、408、410、412‧‧‧步驟
h0、h1、h2、ha、ha+‧‧‧高度
第1A、1B圖分別為顯示用於檢測短尾情況存在與否的示例性習知技術的側視圖；第2A-2K圖分別為顯示依據本發明的示例性實施例的短尾恢復技術的一系列側視圖；第3圖為顯示根據本發明的某些示例性實施例結合使用的線材接合機的一部分的俯視附加圖；以及第4圖為顯示依據本發明的示例性實施例的線材接合機的操作方法的流程圖。
根據本發明的多個示例性實施例，提供了一種從“短尾”情況恢復的方法。透過提供短尾的恢復，機器輔助之間的總體平均時間(即MTBA)借助短尾發生之後的恢復被延長。如本文中所詳細描述的，在檢測到短尾情況之後，執行一個過程(例如使用線材接合機上的軟體演算法)來控制Z軸運動系統和線材夾從而形成檢測到短尾之後線材被恢復的工序。
本領域技術人員可以意識到，線材接合工具的某些運動遵循加速/減速曲線(例如“S”曲線)。例如，在朝向工件的下降過程中，線材 接合工具朝向工件加速。在下降過程中，線材接合工具在向工件移動的同時減速。透過線材接合工具下降的過程中(與線材接合工具的減速結合，在線材上沒有空氣張力)打開線材夾，線材的慣性使得線材向下延伸經過線材接合工具的末端，以提供更期望的線尾(而不是短尾)。
第2A-2K圖展示了一些與第1A-1B圖相同的元件。在第2A圖中，線材接合工具110為已經形成線環208(包括半導體晶片106上的第一接合部208a和襯底104的接合位置104a上的第二接合部208b，其中，襯底104被支撐結構102支撐)。進一步顯示了電子滅焰裝置217(用於形成線尾上的焊球)。與第1B圖相反，第2A圖顯示了短尾情況。即，形成線環208之後，線材接合工具110被升高至高度h1，並且之後(在線材夾112閉合的情況下)執行電連線性檢查(例如使用檢測系統116，未示出)以確定是否出現短尾情況(例如參見用於確定是否出現短尾情況的示例性方法的第1A-1B圖的描述)。因為在第2A圖中出現短尾情況時，可以實施根據本發明所教導的用於從短尾情況恢復的新技術。
然而，產生短尾情況的原因可能是線材114在線材接合工具110的下末端處卡住。在這種情況下，電子滅焰設備217用來提供電弧220以鬆開卡在線材接合工具110中的任何線材114，如第2B圖所示。本領域技術人員可以意識到，在第2B圖中示出的這個步驟是可選擇的。在任何情況下，在第2A圖中示出的步驟之後(已經檢測到短尾情況的情況下)，利用線材接合機100的z軸運動系統(未示出)移動承載線材接合工具110的接合頭元件而將線材接合工具110移動到預定高度(例如預定高度可以是第2B圖所示的滅焰高度h2、或者另一預定高度)。不管是否執行第2B 圖中所示的步驟，皆可沿z軸將線材接合工具110移動到預定高度(例如高度h2、或另一個預定高度)。
線材接合工具110可以被移動到線材接合機100選取的XY位置。更具體地，短尾恢復技術與線材接合機100的選擇結構(例如線材接合機100的標引系統(indexing system)的後軌、線材接合機100的標引系統的前軌、線材接合機100的設備夾、或其它結構)結合地來執行。對於這種技術，線材接合工具110可移動(例如利用XY工作臺或其它用於移動承載線材接合工具110的接合頭元件的運動系統)至第2C圖所示出的，位於選取的XY位置的選擇結構222上方的位置處。在下文中結合第2D圖來描述線材接合工具110下降之前的某一個時間點，關閉線材接合機的一個或一個以上空氣/氣體系統。例如，線材接合機通常包括由線材頭元件承載並定位在該線材接合工具的上方的線材張緊器。這種張緊器利用空氣壓力/真空來執行某些功能，例如焊球形成之後焊球在細管末端處的“座”。線材接合機進一步包括利用空氣壓力與線材分配的控制有關的“空氣引導”結構。例如，該空氣引導結構可產生線材卷軸與線材夾之間的線材鬆弛長度。該線材鬆弛長度被用於提供線材接合工具的快速運動(例如線材形成環的運動)過程中的靈活性。無論如何，可以預期的是，在第2D圖所示的下降之前關閉線材張緊器和至少一個的空氣引導結構，使得線尾(例如下文中，結合附圖第2E-2F圖所展示和描述的線尾114b)的進料能利用接合頭元件的減速和打開的線材夾來實現。
當線材接合工具110位於結構222上方(例如位於高度h2或其它預定高度)以後，線材接合工具110朝結構222下降(在線材夾112 處於閉合位置的情況下)，如第2D圖中所示。因為接合頭元件(在第3圖中示出)承載線材接合工具110和線材夾112，所以線材接合工具110會和線材夾112沿z軸一起移動。當線材夾112打開時，線材接合工具110沿z軸朝向結構222將會同時減速。如上文所述，該線材接合工具110的z軸運動在下降過程中可以遵循加速/減速曲線(例如“S”曲線)。打開線材夾112和線材接合工具110減速的步驟可以同時完成(即，線材夾112能被打開且與線材接合工具110的減速同時進行)；或者，如期望中地，這兩個步驟中的任一個可在另一個之前執行。
結合上述描述的加速/減速曲線，在線材接合工具110減速的過程中，於線材夾112打開的情況下，線材114的慣性可引起線材114的一部分延伸到線材接合工具110的末端下方。更具體地，如第2E圖所示，線材接合工具110減速後，線尾114b1將會延伸到線材接合工具110的末端下方。之後線材接合工具110繼續下降至預定高度(例如到高度ha)，此時，線尾114b1比原先更長(並標記為線尾114b2)，如第2F圖所示。為了進一步將線材114透過線材接合工具110的末端(為了延長線尾114b2)，線材接合工具110藉由接合頭元件沿著z軸的運動，順著如第2F圖所示的向上箭頭被略微升高(在一個示例中大約為25-100密耳)。線材接合工具110(在線材夾112仍然打開的情況下)的這個向上運動可傾向於在線材接合工具110的末端下方延長線尾114b2。如第2G圖所示，線材接合工具已經上升到高度ha+，並且線尾已經延長並被標記為線尾114b3。線材夾112可在上升至高度ha+的過程中的某一時間或在這個上升結束時被閉合，使得線材夾112在第2H圖所示的時間的某個時間點被閉合。
在第2H圖中，在線材夾112閉合的情況下，能進行電連線性的檢查(例如利用上文參考圖第1A-1B圖描述的檢測系統116)。在本發明的某些示例性實施例中，連線性檢查可在線材夾112閉合時執行。之後，也可在執行連線性檢查之前使接合頭元件下降至(從而下降線材接合工具110)不同高度。第2H-2I圖展示了這樣一個示例。更具體地，在第2H圖中，線材接合工具110從高度ha+下降(如向下的箭頭所示)至第2I圖中所示的略微更低的高度ha。之後，在高度ha處執行連線性檢查。本領域技術人員可以意識到，線材接合工具110可以在連線性測試的週期內(透過接合頭元件沿z軸的運動)以搜索線尾(例如線尾114b3)的端部和接觸表面222a之間的接觸的“搜索”模式逐漸向下移動。
即，電連線性檢查係用於確認線尾的存在以及線尾是否具有與結構222的接觸表面222a接觸的足夠長度。例如，線尾可接受的長度範圍能在閉合迴路“搜索”過程中注意到。本領域技術人員可以意識到，理想的結構222的接觸表面222a是具有良好的導電的材質或金屬，使得電連線性測試可以被完成。當線尾被確認後，線材接合工具110將會被升至高度h2(例如焊球形成高度h2)，在高度h2處，電子滅焰裝置217用來提供電弧220以形成如第2K圖所示的焊球，如第2J圖所示。如第2K圖所示的形成的焊球224此時可被用於形成後續的線環的接合部、後續的導電凸塊等。高度h2可與通常的焊球形成高度不同，即，高度h2可根據上述之內容，在過程中來調整確定線尾的長度，使得線尾的端部相對於電子滅焰裝置217能被適當定位。
結合上述的“搜索”模式，可接受的閾值高度可被設置(例 如編入線材接合系統的程式中)。即，如果在期望的線尾高度處沒有檢測到連線性時，則接合頭元件將繼續逐漸下降以“搜索”線尾的端部和接觸表面222a之間的連接。但是，在“搜索”模式過程中某些閾值高度(例如等於預期線尾長度的一半的高度)處下降則可被停止，並且啟動新的恢復過程。
除了上述描述中，用於提供期望的線尾(例如透過將接合頭元件減速而利用慣性等)的技術，本發明可以結合使用其它技術。例如可應用超聲能量。本領域技術人員可以意識到，線材接合工具通常被連接至包括在接合頭元件中的超聲換能器，其中，超聲換能器用以提供線材接合工具的末端振動/擦動以形成線材接合部。對於本發明，這樣的超聲換能器可被使用，例如用於輔助將期望長度的線材移動至線尾位置。在一個具體的示例中，在線材接合工具下降後(例如參見第2D-2E圖)，與已經穿過了線材接合工具之後且關閉線材夾的線尾(例如參見第2H圖中關閉的線材夾112)之間的某些點上可將超聲換能器接通。超聲換能器可以以任何預期的方法(例如開啟/關閉、具有預定頻率的脈衝、根據預定能量曲線的操作等)操作來施加超聲波能量來幫助線尾的穿出。
本領域技術人員可以意識到，結合第2A-2K圖(或第2A-2K圖的任何部分)描述的上述過程可被重複多次。即，單次操作(包括上述減速)可能不足以穿出期望的線尾長度。例如，操作能夠以期望的最大次數(例如10次)被重複。如果在最大次數的操作之後期望的線尾長度沒有出現，則機器將因為短尾的情況而停止、和/或操作者將得到警報。
本領域技術人員可以意識到，線材接合機100的多個不同結 構可用作為一個結構222。第3圖是線材接合機100的一部分的俯視框圖，展示了可以被用作結構222的示例性結構。第3圖展示了在前軌328和後軌326之間的位置處標引的引線框架帶330。裝置夾332(限定開口334，透過該開口執行線材接合操作)將引線框架帶330的一部分固定至支撐結構102(在第3圖中未示出，但參見例如第1A-1B圖)。前軌328、後軌326、以及裝置夾332中的每一個都可用作結構222，該結構222包括用於透過上面結合第2C-2F圖所描述的電連線性測試來執行線尾114b的確認的接觸表面222a。當然，線材接合機100的其它部分也適於作為結構222。第3圖進一步以塊狀形式展示了承載第1A-1B圖和第2A-2K圖中所示的某些元件如接合工具110和線材夾112的接合頭元件350。
第4圖是展示操作線材接合機的示例性方法的流程圖。本領域技術人員可以理解的是：流程圖中包括某些步驟可以省略；某些額外的步驟可以增加；步驟的順序可以從展示的順序改變。
如第4圖中所示，在步驟400中，在線材接合部形成之後檢測短尾情況，其中，所述線材接合部利用線材接合工具形成。例如，線材接合部可以是線環的第二接合部(例如參見第1B圖和第2A圖)。在其他示例中，線材接合部可以是：(a)形成在線材接合機上的導電凸塊；或(b)針腳接合(stand-off stitch bond，SSB)的線環(其中，SSB線環包括在工件的第一接合位置上形成導電凸塊、工件的第二接合位置上形成另一線材接合部、朝向導電凸塊以從該另一線材接合部延續地延伸一長度的線材、以及該長度的線材的一部分接合到導電凸塊以形成最終接合部)的最終接合部。
在步驟400中，短尾情況可利用結合第1A-1B圖所描述的技術(例如利用檢測系統116)檢測。在步驟400後並且在步驟402之前，可執行多個可選的步驟。例如，在步驟400後但在步驟402前，線材接合機的電子滅焰裝置可被操作以將電火花引向線材接合工具的末端(例如參見第2B圖及相關描述)。此外，在步驟402前，可將線材接合工具沿著線材接合機的z軸升高到預定高度(例如在第2B圖所示的高度h2)。在步驟402中，將線材接合機的接合頭組件移動至線材接合機的xy位置。本領域技術人員可以意識到，接合頭元件可用來承載多個元件、如線材接合工具、線材夾、電子滅焰裝置等。且接合頭元件可被移動，例如利用線材接合機的XY工作臺移動。線材接合機的接合頭組件所移至的xy位置可基於執行短尾恢復過程的位置來選取。例如，如第2C圖中所示，接合頭元件可移至使線材接合工具110位於結構222上方的位置處(在該位置處，結構222包括如第2F-2I圖所示的用於執行短尾恢復過程的接觸表面222a)。結構222理想為金屬的和/或可導電的，並且可以是線材接合機標引系統的軌道(例如第3圖中的後軌326或前軌328)或線材接合機的裝置夾(例如第3圖中的裝置夾332)。如在上文中參考第2A-2K圖所提到的，對於本文中公開的短尾恢復技術，在某些時間點上關閉線材接合機的一個或一個以上的空氣/氣體系統。參考第4圖，下文中關於步驟404所描述的下降線材接合工具之前關閉一個或一個以上空氣/氣體系統。當然，這種系統在後續形成線材接合部和線環之前將需要重啟。
在步驟404中，在線材接合機的線材夾閉合的情況下，使接合頭組件朝向位於xy位置處的接觸表面下降。例如，在線材接合工具110 位於期望的xy位置上方(例如參見第2C圖)之後，接合頭元件(承載線材接合工具110和線材夾112)在線材夾112處於關閉位置的情況下(例如參見第2D圖)朝向結構222的接觸表面下降。在朝向接觸表面下降的過程中，線材夾在步驟406打開(例如參見第2E圖)。在步驟408中，在接合頭元件朝向接觸表面下降時，使接合頭元件減速，從而使得線材的一部分延伸到線材接合工具的末端下方。如上所述，在加速/減速曲線(例如“S”曲線)過程中，曲線的一部分包括線材接合工具在給定運動(例如朝向工件的減速運動)過程中的減速。例如，在第2E圖中，在朝向結構222的接觸表面222a減速過程中，線尾114b1已經延伸到線材接合工具110的末端下方，這是因為這個減速伴隨著線材夾112處於打開位置。這些步驟的準確順序(例如在步驟406中打開線材夾，並且在步驟408中接合頭元件減速)並不重要，這兩個步驟可以同時完成(線材夾至少部分與線材接合工具的減速同步地打開)，或如給定的應用中所期望的，這兩個步驟中的任意一個可以在另一個之前執行。
儘管沒有在第4圖中示出，但是額外的步驟可提供在步驟408和步驟410之間。例如，在達到預定高度(例如第2F圖中的高度ha)之後，線材接合工具可在步驟410閉合線材夾之前被稍微升高(例如升高至第2G圖示出的高度ha+)。透過在線材夾仍然打開的情況下升高線材接合工具，這可以提供向短尾增加附加長度的額外益處(例如第2G圖示出的短尾114b3比第2E-2F圖示出的短尾114b1/114b2長)。同樣地，如上文中描述的，超聲能量可以在過程中的某些時間點施加以幫助線尾的穿出。
在任何情況下，在步驟410中，線材夾閉合(例如參見第 2H圖)。在步驟412之前，接合頭元件停止在預定位置處(例如第2G圖所示出的ha+)。在步驟412中，執行測試，以確認線材延伸到線材接合工具的末端下方的端部是否與接觸表面接觸。例如第2I圖所示，確定線尾是否與結構222的接觸表面222a接觸的連線性檢查。透過執行電連線性測試來確認(例如利用結合第1A-1B圖所描述的檢測系統116)，由此確認是否存在出線尾，並且確認處線尾是否夠長至能夠與接觸結構222的接觸表面222a的接觸。在步驟410之後但在步驟412之前，線材接合工具可結合“搜索”過程被略微下降，“搜索”過程的一個示例在上文中結合第2H-2I圖予以描述。在第2H圖中，線材接合工具110從高度ha+被下降到ha(在第2I圖中)從而使得連線性檢查能被執行。如上文所述，連線性檢查可涉及線材接合工具110的多種運動(例如朝向接觸表面222a的多種逐漸向下運動)從而確定線尾是否存在以及線尾長度是否在滿意範圍內。
如果在步驟412中，確定出線材延伸到線材接合工具末端下方的部分的端部與接觸表面接觸(即線尾存在並且具有足夠長度)，則接合頭元件可以被升高到高度h2，使另一個焊球可被形成(例如參見第2J-2K圖以及焊球224的形成)用於後續的接合操作。當然，如果在步驟412中執行的測試結果指出，線材延伸到線材接合工具末端下方的部分與接觸表面沒有接觸，則該過程可被重複(例如包括第2B-2I圖所示的任意步驟)、或將操作者召喚至線材接合機。
儘管在本文中參考具體實施例對本發明進行說明和描述，但本發明不旨在限定於示出的特定細節。相反地，各種修改可在專利範圍的等同範圍內的細節上做出而不會脫離本發明。

Claims (21)

  1. 一種線材接合機的操作方法，該方法包括下述步驟：(a)在一線材接合部形成之後檢測一短尾情況，其中，該線材接合部利用一線材接合工具形成；(b)將一線材接合機的一接合頭組件設置在該線材接合機的一xy位置處，該接合頭組件承載一線材接合工具；(c)在該線材接合機的一線材夾閉合的情況下，使該接合頭組件朝向位於該xy位置處的一接觸表面下降；(d)打開該線材夾；(e)在該接合頭組件朝向該接觸表面下降時，使該接合頭組件減速，從而使得該線材的一部分延伸到該線材接合工具的末端下方；(f)閉合該線材夾；以及(g)執行測試，以確認該線材延伸到該線材接合工具的末端下方的一端部是否與該接觸表面接觸。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，該線材接合部包括一線環的一第二接合部。
  3. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，該線材接合部包括構造成作為一導電凸塊而被接合的一焊球。
  4. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，操作該線材接合機的一電子滅焰裝置，以在步驟(a)之後並於步驟(c)之前將一電火花引向該線材接合工具的末端。
  5. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，步驟(a)包括執行檢查該線材接合部和線材與線材接合工具接合的部分之間的一電連線性測試。
  6. 根據申請專利範圍第5項所述之線材接合機的操作方法，其中，該線材接合機的該線材夾在該電連線性測試過程中處於一閉合位置，該線材夾為用於執行該電連線性測試的一導電路徑的一部分。
  7. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，步驟(g)包括執行該線材的一端部和一接觸表面之間的該電連線性測試。
  8. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，進一步包括步驟：在步驟(c)之前切斷流向該線材接合機的一線材張緊器和一氣體引導器中的至少一個的氣體。
  9. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，步驟(d)和(e)中的每一個步驟至少為部分同時執行。
  10. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，在步驟(e)之前執行步驟(d)。
  11. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，在步驟(d)之前執行步驟(e)。
  12. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，該接觸表面是導電表面。
  13. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，該接觸表面是該線材接合機的一標引系統中一軌道的表面。
  14. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，該接觸表面為該線材接合機的一裝置夾的表面。
  15. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，在步驟(a)之前，進一步包括形成該線環的步驟，其中，該線環包括作為該線環的該第二接合部的該線材接合部。
  16. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，在步驟(a)之前，進一步包括在該線材接合機上形成該導電凸塊的步驟，其中，該導電凸塊包括該線材接合部。
  17. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，所述方法進一步包括步驟：(h)在一工件的一第一接合位置上形成該導電凸塊；(I)在該工件的一第二接合位置上形成一另一線材接合部；(j)將線材從該另一線材接合部延續地朝向該導電凸塊一長度；以及(k)將該長度的線材的一部分接合到該導電凸塊，以形成步驟(a)中的該線材接合部，其中，步驟(h)-(k)的每一個都在步驟(a)之前完成。
  18. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，該線材接合機被設定為在步驟(a)中檢測到該短尾情況後就自動執行步驟(b)到(g)。
  19. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，其中，在步驟(e)之後，在該接合頭組件達到一預定高度後，就終止步驟(c)中的下降步驟。
  20. 根據申請專利範圍第19項所述之線材接合機的操作方法，進一步包括下述步驟：在步驟(f)之前但在該接合頭組件達到該預定高度後下降被終止的步驟之後，升高該接合頭組件。
  21. 根據申請專利範圍第1項所述之線材接合機的操作方法，在步驟(a)之後但在步驟(b)之前，進一步包括將該線材接合機的該接合頭組件移動至該線材接合機的該xy位置的步驟。
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