JP2841126B2 - ワイヤボンデイング方法及び装置 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法及び装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング方法
及び装置に係り、特に第２ボンド点へのボンデイング後
におけるワイヤカット方法及び駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤボンデイングにおいては、
図５（ａ）に示すように第２ボンド点１にワイヤ２をボ
ンデイングした後、図５（ｂ）（ｃ）に示すようにキヤ
ピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４が上昇する。この
場合、キヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４の上昇
時の速度は、図４（ｂ）に示すように増速度５させ、そ
の後に減速度６させている。このキヤピラリ３及びワイ
ヤ切断用クランパ４の上昇途中における増速度５時にお
いて、ワイヤ切断用クランパ４が閉じ、該ワイヤ切断用
クランパ４によって第２ボンド点１の付け根からワイヤ
２を図５（ｃ）に示すようにカットする。これにより、
キヤピラリ３の先端には一定長さのワイヤ（テール）２
ａが延在する。このテール２ａには、次の工程によって
ボールが形成される。前記テール２ａの長さは、ボール
の大きさ及び良否に影響を及ぼすので、ワイヤボンデイ
ングにおいては非常に重要である。なお、この種のワイ
ヤカット方法として、例えば特公昭６２ー５２９４８号
公報があげられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ワイ
ヤカット時の速度が高速であるため、図４（ｃ）に示す
ようにワイヤ切断用クランパ４の閉じるタイミングのバ
ラツキＴ１によりテールの長さＳはＳ１だけバラツキ、
テールが安定しないという問題点があった。このテール
のバラツキを軽減させるには、増速度５を下げればよい
が、ワイヤカット動作におけるトータル時間がかかって
しまう。
【０００４】本発明の目的は、ワイヤカットのトータル
時間を長くしないで、テールのバラツキの軽減を図るこ
とができるワイヤボンデイング方法及び装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の方法は、第２ボンド点にワイヤをボンデイングした
後、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを上昇させ、
この上昇時にワイヤ切断用クランパを閉じてワイヤをカ
ットするワイヤボンデイング方法において、第２ボンド
点にワイヤをボンデイングした後にキヤピラリ及びワイ
ヤ切断用クランパを増速度で上昇させた後、減速度で上
昇させ、その後一定低速度で上昇させ、この一定低速度
間にワイヤ切断用クランパを閉じることを特徴とする。
【０００６】上記目的を達成するための装置は、ワイヤ
切断用クランパと、ワイヤが挿通されたキヤピラリと、
前記ワイヤ切断用クランパを開閉させるクランパ開閉駆
動回路と、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを上下
動させる上下駆動回路とを備えたワイヤボンデイング装
置において、第２ボンド点にワイヤをボンデイングした
後にキヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを増速度で上
昇させた後、更に減速度で上昇させ、その後一定低速度
で上昇させる信号を出力すると共に、前記一定低速度の
間にワイヤ切断用クランパを閉じる信号を出力する制御
回路を備えたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】ワイヤ切断用クランパを閉じるタイミングは、
キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを低速度させるの
で、ワイヤ切断用クランパのワイヤクランプタイミング
ずれによるテール長さのバラツキは非常に小さい。また
ワイヤカット時、即ちワイヤ切断用クランパを閉じる時
以外は高速度にさせることができるので、ワイヤカット
動作のトータル時間が長くなることはない。また増速度
で上昇させた後、減速度で上昇させ、更にその後一定低
速度で上昇させるので、一定低速度で上昇させた時に微
振動が生じなく、キャピラリ及びワイヤ切断用クランパ
の上昇位置が安定する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図４は本発明を適用したワイヤボンデイング装置を
示す。架台３０上には、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテー
ブル３１が搭載されており、ＸＹテーブル３１上には、
ボンデイングヘッド３２が固定されている。ボンデイン
グヘッド３２には、リフタアーム３３が上下動可能に設
けられており、リフタアーム３３はモータ３４によって
上下動させられる。リフタアーム３３には、一端にキヤ
ピラリ３５を保持したツールアーム３６と、ワイヤ切断
用クランパ３７を保持したクランパ支持体３８とが固定
されている。またボンデイングヘッド３２には、ワイヤ
３９を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ４０を保持す
るクランパ支持体４１と、ワイヤ３９が巻回されたスプ
ール４２を保持するスプール支持体４３と、試料４４を
検出するカメラ４５を保持したカメラ支持体４６とが固
定されている。前記ワイヤ３９は、スプール４２よりワ
イヤ保持用クランパ４０、ワイヤ切断用クランパ３７を
通してキヤピラリ３５に挿通されている。なお、図中、
５０は試料４４を送るフイーダ、５１は試料４４をガイ
ドするガイドレールである。
【０００９】次に図５を参照しながら図１により本発明
になるワイヤカット方法の一実施例を説明する。第２ボ
ンド点１へのボンデイング後、キヤピラリ３及びワイヤ
切断用クランパ４は図１（ｂ）に示すような速度で上昇
する。まず、キヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４
は、増速度１０で上昇した後、減速度１１で上昇し、そ
の後一定低速度１２で上昇する。この一定低速度１２間
においてテールが所望とする長さになるようにする。即
ち、一定低速度１２のスタートは所望とするテール長さ
より僅かに下方となるように設定する。そして、前記一
定低速度１２間にワイヤ切断用クランパ４を閉じる。そ
の後再びキヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４は増
速度１３で上昇した後、減速度１４で上昇する。これに
より図５（ｃ）に示すようにワイヤ２はカットされ、キ
ヤピラリ３の先端には所望とする長さのテール２ａが延
在する。
【００１０】このように、一定低速度１２時にワイヤ切
断用クランパ４を閉じるので、ワイヤ切断用クランパ４
のワイヤクランプタイミングバラツキＴ１によるテール
長さのバラツキは非常に小さい。またワイヤ切断用クラ
ンパのワイヤクランプタイミング時のみ速度を下げるの
で、その他の増速度１０、減速度１１、増速度１３、減
速度１４は急な傾斜とすることができ、ワイヤカット動
作におけるトータル時間は長くならない。
【００１１】図２は本発明になるワイヤカット駆動装置
の一実施例を示す。キヤピラリ３及びワイヤ切断用クラ
ンパ４は、上下駆動回路２０によってモータ３４を介し
て上下動させられ、ワイヤ切断用クランパ４は、クラン
パ開閉駆動回路２１により開閉させられる。これら上下
駆動回路２０及びクランパ開閉駆動回路２１には、制御
回路２２から図１に示すようにキヤピラリ３及びワイヤ
切断用クランパ４の上昇信号及びワイヤ切断用クランパ
４の開閉信号が出力されるように記憶されている。即
ち、ワイヤ切断用クランパ４閉じ時には、制御回路２２
よりキヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４の上昇速
度を低速度１２させる信号が出力される。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、ワイヤ切断用クランパ
を閉じるタイミング時のみ低速度にするので、テールの
長さが安定すると共に、トータル時間も長くならない。
また増速度で上昇させた後、更に減速度で上昇させ、そ
の後一定低速度で上昇させるので、一定低速度で上昇さ
せた時に微振動が生じなく、キャピラリ及びワイヤ切断
用クランパの上昇位置が安定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になるワイヤボンデイング方法に用いる
ワイヤカット方法の一実施例を示し、（ａ）はキヤピラ
リの高さを示す図、（ｂ）はキヤピラリ及びワイヤ切断
用クランパの速度図、（ｃ）はワイヤ切断用クランパは
閉じタイミング図である。
【図２】本発明になるワイヤボンデイング装置に用いる
ワイヤカット駆動装置の一実施例を示すブロック図であ
る。
【図３】本発明を適用したワイヤボンデイング装置の側
面図である。
【図４】従来例を示し、（ａ）はキヤピラリの高さを示
す図、（ｂ）はキヤピラリ及びワイヤ切断用クランパの
速度図、（ｃ）はワイヤ切断用クランパは閉じタイミン
グ図である。
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）は第２ボンド点へのボンデ
イング後におけるワイヤカット動作を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
１ 第２ボンド点 ２ ワイヤ ３ キヤピラリ ４ ワイヤ切断用クランパ １０ 増速度 １１ 減速度 １２ 一定低速度 １３ 増速度 １４ 減速度 ２０ 上下駆動回路 ２１ クランパ開閉駆動回路 ２２ 制御回路

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第２ボンド点にワイヤをボンデイングし
    た後、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを上昇さ
    せ、この上昇時にワイヤ切断用クランパを閉じてワイヤ
    をカットするワイヤボンデイング方法において、第２ボ
    ンド点にワイヤをボンデイングした後にキヤピラリ及び
    ワイヤ切断用クランパを増速度で上昇させた後、更に減
    速度で上昇させ、その後一定低速度で上昇させ、この一
    定低速度の間にワイヤ切断用クランパを閉じることを特
    徴とするワイヤボンデイング方法。
  2. 【請求項２】 ワイヤ切断用クランパと、ワイヤが挿通
    されたキヤピラリと、前記ワイヤ切断用クランパを開閉
    させるクランパ開閉駆動回路と、キヤピラリ及びワイヤ
    切断用クランパを上下動させる上下駆動回路とを備えた
    ワイヤボンデイング装置において、第２ボンド点にワイ
    ヤをボンデイングした後にキヤピラリ及びワイヤ切断用
    クランパを増速度で上昇させた後、更に減速度で上昇さ
    せ、その後一定低速度で上昇させる信号を出力すると共
    に、前記一定低速度の間にワイヤ切断用クランパを閉じ
    る信号を出力する制御回路を備えたことを特徴とするワ
    イヤボンデイング装置。
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