JPH11307575A - ワイヤボンディング方法 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ボールボンディングにおけるボールの径を所
望値にすることが困難であった。 【解決手段】 キャピラリ２、カットクランパ３、テン
ションクランパ４、トーチ９を有するワイヤボンダを用
意する。ステッチボンディングが終了した後にテンショ
ンクランパ４でワイヤ５を挟持する工程を設ける。テン
ションクランパ四でワイヤ５を挟持した状態でキャピラ
リ２を所定距離だけ上昇させる。ワイヤ５がステッチボ
ンディング部８とテンションクランパ４とで保持されて
いるので、キャピラリ２を円滑に上昇させることがで
き、キャピラリ２からのワイヤ５の突出量を正確に管理
できる。これにより、ボール部１０の径のバラツキが少
なくなる。
望値にすることが困難であった。 【解決手段】 キャピラリ２、カットクランパ３、テン
ションクランパ４、トーチ９を有するワイヤボンダを用
意する。ステッチボンディングが終了した後にテンショ
ンクランパ４でワイヤ５を挟持する工程を設ける。テン
ションクランパ四でワイヤ５を挟持した状態でキャピラ
リ２を所定距離だけ上昇させる。ワイヤ５がステッチボ
ンディング部８とテンションクランパ４とで保持されて
いるので、キャピラリ２を円滑に上昇させることがで
き、キャピラリ２からのワイヤ５の突出量を正確に管理
できる。これにより、ボール部１０の径のバラツキが少
なくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
等に使用されるボールボンディング又はネイルヘッドボ
ンディングと称されているワイヤボンディング方法に関
する。
等に使用されるボールボンディング又はネイルヘッドボ
ンディングと称されているワイヤボンディング方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤ（リード細線）の端部にボール部
（球状部）を形成し、このボール部をキャピラリによっ
て釘頭（ネイルヘッド）形状に半導体チップの上面電極
等の被接続体に押し潰して熱圧着することによってファ
ーストボンディング部を形成するワイヤボンディング方
法は一般にボールボンディング或いはネイルヘッドボン
ディングと称されており、公知である。ところで、ワイ
ヤボンディングはボールボンディング（ファーストボン
ディング）とステッチボンディング（セカンドボンディ
ング）との繰り返しで行われる。図１は従来のワイヤボ
ンディング方法に従うステッチボンディング後のボール
ボンディング工程におけるワイヤボンダ（自動ワイヤボ
ンディング装置）１及びワイヤ５の状態変化を概略的に
示す。このワイヤボンダ１は図１（Ａ）に示すようにキ
ャピラリ２、カットクランパ３及びテンションクランパ
４を有している。
（球状部）を形成し、このボール部をキャピラリによっ
て釘頭（ネイルヘッド）形状に半導体チップの上面電極
等の被接続体に押し潰して熱圧着することによってファ
ーストボンディング部を形成するワイヤボンディング方
法は一般にボールボンディング或いはネイルヘッドボン
ディングと称されており、公知である。ところで、ワイ
ヤボンディングはボールボンディング（ファーストボン
ディング）とステッチボンディング（セカンドボンディ
ング）との繰り返しで行われる。図１は従来のワイヤボ
ンディング方法に従うステッチボンディング後のボール
ボンディング工程におけるワイヤボンダ（自動ワイヤボ
ンディング装置）１及びワイヤ５の状態変化を概略的に
示す。このワイヤボンダ１は図１（Ａ）に示すようにキ
ャピラリ２、カットクランパ３及びテンションクランパ
４を有している。
【０００３】キャピラリ２は、太さを省略して１本の線
で概略的に示すＡｕ又はＡｌ等の金属細線から成るワイ
ヤ５を繰り出す孔６を有する金属製の細管であり、ワイ
ヤ５を被接続部に加圧して接続する部分である。
で概略的に示すＡｕ又はＡｌ等の金属細線から成るワイ
ヤ５を繰り出す孔６を有する金属製の細管であり、ワイ
ヤ５を被接続部に加圧して接続する部分である。
【０００４】カットクランパ３は、一対の挟持板即ちク
ランプ板３ａ、３ｂと、これを開閉駆動する駆動装置３
ｃから構成されており、クランプ板３ａ、３ｂはキャピ
ラリ２の上方においてワイヤ５の経路上に配置されてい
る。このカットクランパ３は、後述のようにセカンドボ
ンディング後にクランプ板３ａ、３ｂを閉じてワイヤ５
を挟持し、ワイヤ５を引きちぎる機能をする。
ランプ板３ａ、３ｂと、これを開閉駆動する駆動装置３
ｃから構成されており、クランプ板３ａ、３ｂはキャピ
ラリ２の上方においてワイヤ５の経路上に配置されてい
る。このカットクランパ３は、後述のようにセカンドボ
ンディング後にクランプ板３ａ、３ｂを閉じてワイヤ５
を挟持し、ワイヤ５を引きちぎる機能をする。
【０００５】テンションクランパ４は、一対の挟持板即
ちクランプ板４ａ、４ｂと、これを開閉駆動する駆動装
置４ｃから構成されており、クランプ板４ａ、４ｂはカ
ットクランパ３の上方においてワイヤ５の経路上に配置
されている。このテンションクランパ４によるワイヤ５
の挟持力はカットクランパ３の挟持力よりも弱く、ワイ
ヤ５を延伸方向に引っぱるとワイヤ５はテンションクラ
ンパ４の閉じたクランプ面４ａ、４ｂの界面を滑る程度
である。このため、テンションクランパ４は、キャピラ
リ２が下降するときにクランプ面４ａ、４ｂを閉じてワ
イヤ５の繰り出し量を調整する機能等を有する。
ちクランプ板４ａ、４ｂと、これを開閉駆動する駆動装
置４ｃから構成されており、クランプ板４ａ、４ｂはカ
ットクランパ３の上方においてワイヤ５の経路上に配置
されている。このテンションクランパ４によるワイヤ５
の挟持力はカットクランパ３の挟持力よりも弱く、ワイ
ヤ５を延伸方向に引っぱるとワイヤ５はテンションクラ
ンパ４の閉じたクランプ面４ａ、４ｂの界面を滑る程度
である。このため、テンションクランパ４は、キャピラ
リ２が下降するときにクランプ面４ａ、４ｂを閉じてワ
イヤ５の繰り出し量を調整する機能等を有する。
【０００６】また、キャピラリ２は図示しない駆動装置
によって左右及び前後方向（ＸＹ軸方向）及び上下方向
（Ｚ軸方向）に駆動可能となっており、カットクランパ
３もこのキャピラリ２の移動に追従するように図示しな
い駆動装置によってＸＹ軸方向及びＺ軸方向に駆動可能
となっている。一方、テンションクランパ４はＸＹ軸方
向においてはキャピラリ２及びカットクランパ３に追従
して駆動可能であるが、Ｚ軸方向には駆動不可能であ
る。従って、テンションクランパ４の高さ位置は固定さ
れている。この結果、キャピラリ２を上昇（Ｚ軸のプラ
ス方向に移動）した時、カットクランパ３はそれに追従
して上昇するため両者の間隔は変化しないが、テンショ
ンクランパ４はそれに追従して上昇しないためテンショ
ンクランパ４とキャピラリ２及びカットクランパ３との
間の間隔は狭くなる。
によって左右及び前後方向（ＸＹ軸方向）及び上下方向
（Ｚ軸方向）に駆動可能となっており、カットクランパ
３もこのキャピラリ２の移動に追従するように図示しな
い駆動装置によってＸＹ軸方向及びＺ軸方向に駆動可能
となっている。一方、テンションクランパ４はＸＹ軸方
向においてはキャピラリ２及びカットクランパ３に追従
して駆動可能であるが、Ｚ軸方向には駆動不可能であ
る。従って、テンションクランパ４の高さ位置は固定さ
れている。この結果、キャピラリ２を上昇（Ｚ軸のプラ
ス方向に移動）した時、カットクランパ３はそれに追従
して上昇するため両者の間隔は変化しないが、テンショ
ンクランパ４はそれに追従して上昇しないためテンショ
ンクランパ４とキャピラリ２及びカットクランパ３との
間の間隔は狭くなる。
【０００７】上記のワイヤボンダを使用してワイヤ５の
端部にボール部を形成する時は、図１（Ａ）に示すよう
に外部端子等の第１の被接続部７ａに対してワイヤ５を
ステッチボンディング（セカンドボンディング）した
後、図１（Ｂ）に示すようにカットクランパ３のクラン
プ板３ａ、３ｂ及びテンションクランパ４のクランプ板
４ａ、４ｂを開いた状態でキャピラリ２及びカットクラ
ンパ３を上昇する。ワイヤ５は第１の被接続部７ａに対
してボンディング部分８で接続されているので、キャピ
ラリ２を上昇することによってキャピラリ２と第１の被
接続部６ａとの間に所定の長さＬのワイヤ５の繰り出し
部分が生じる。
端部にボール部を形成する時は、図１（Ａ）に示すよう
に外部端子等の第１の被接続部７ａに対してワイヤ５を
ステッチボンディング（セカンドボンディング）した
後、図１（Ｂ）に示すようにカットクランパ３のクラン
プ板３ａ、３ｂ及びテンションクランパ４のクランプ板
４ａ、４ｂを開いた状態でキャピラリ２及びカットクラ
ンパ３を上昇する。ワイヤ５は第１の被接続部７ａに対
してボンディング部分８で接続されているので、キャピ
ラリ２を上昇することによってキャピラリ２と第１の被
接続部６ａとの間に所定の長さＬのワイヤ５の繰り出し
部分が生じる。
【０００８】次に、図１（Ｃ）に示すように、カットク
ランパ３のクランプ板３ａ、３ｂを閉じてワイヤ５をカ
ットクランパ３で挟持する。続いて、図１（Ｄ）に示す
ように、カットクランパ３のクランプ板３ａ、３ｂを閉
じてワイヤ５を固定した状態でキャピラリ２及びカット
クランパ３を上昇させる。これにより、ワイヤ５はボン
ディング部分８のキャピラリ３側の端部の肉薄部分で破
断され、キャピラリ２の先端に所定の長さでワイヤ５が
残存する。
ランパ３のクランプ板３ａ、３ｂを閉じてワイヤ５をカ
ットクランパ３で挟持する。続いて、図１（Ｄ）に示す
ように、カットクランパ３のクランプ板３ａ、３ｂを閉
じてワイヤ５を固定した状態でキャピラリ２及びカット
クランパ３を上昇させる。これにより、ワイヤ５はボン
ディング部分８のキャピラリ３側の端部の肉薄部分で破
断され、キャピラリ２の先端に所定の長さでワイヤ５が
残存する。
【０００９】次に、図１（Ｅ）で概略的に示すボ−ル形
成手段としての電気トーチ９とワイヤ５の端部との間に
電気スパークを発生させて、ワイヤ５の端部を溶融して
ボール部１０を形成する。
成手段としての電気トーチ９とワイヤ５の端部との間に
電気スパークを発生させて、ワイヤ５の端部を溶融して
ボール部１０を形成する。
【００１０】次に、図１（Ｆ）に示すように、キャピラ
リ６を例えば半導体チップの電極等の第２の被接続部７
ｂの上に位置決めし、しかる後、ボール部１０をキャピ
ラリ６で押し潰して熱圧着してボールボンディング部
（ネイルヘッドボンディング部）を形成する。このボー
ルボンディングの後には再び図１（Ａ）に示すステッチ
ボンディングを行う。なお、キャピラリ２と共にボ−ル
１０の位置を下げる時には、カットクランパ３を開き、
テンションクランパ４を閉める。テンションクランパ４
はワイヤ５にデションを与えるのみであるので、キャピ
ラリ２と共にワイヤ５が下降することを阻止しない。
リ６を例えば半導体チップの電極等の第２の被接続部７
ｂの上に位置決めし、しかる後、ボール部１０をキャピ
ラリ６で押し潰して熱圧着してボールボンディング部
（ネイルヘッドボンディング部）を形成する。このボー
ルボンディングの後には再び図１（Ａ）に示すステッチ
ボンディングを行う。なお、キャピラリ２と共にボ−ル
１０の位置を下げる時には、カットクランパ３を開き、
テンションクランパ４を閉める。テンションクランパ４
はワイヤ５にデションを与えるのみであるので、キャピ
ラリ２と共にワイヤ５が下降することを阻止しない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ボール部１
０の径サイズはボールボンディングを良好に行う上で極
めて重要である。ボール部１０は上記のようにキャピラ
リ２の端部から導出されたワイヤ５を溶融して形成する
ためキャピラリ２から繰り出されて残存するワイヤ５の
長さいわゆるテール長さが一定にならないと、ボール部
１０の径サイズは安定しない。ところが、従来のワイヤ
ボンディング方法において、ワイヤ５が図１（Ｂ）で矢
印で示すように少し上方向に引っ張られている状態にお
いて、例えば、図１（Ｂ）に示すセカンドボンディング
部分８においてワイヤ５が切断すると、図１（Ｂ）に示
すキャピラリ２の上昇の際にワイヤ５がキャピラリ２内
に潜り込んでしまいテール長さを一定にできずボール部
１０を所望の径で良好に形成できないことがあった。特
に、テール長さが短かすぎた場合には、トーチ電極とワ
イヤ５端部との間隔が広すぎてスパークが不十分又はス
パークできずワイヤボンディング工程を一旦停止せざる
を得なくなり問題であった。
０の径サイズはボールボンディングを良好に行う上で極
めて重要である。ボール部１０は上記のようにキャピラ
リ２の端部から導出されたワイヤ５を溶融して形成する
ためキャピラリ２から繰り出されて残存するワイヤ５の
長さいわゆるテール長さが一定にならないと、ボール部
１０の径サイズは安定しない。ところが、従来のワイヤ
ボンディング方法において、ワイヤ５が図１（Ｂ）で矢
印で示すように少し上方向に引っ張られている状態にお
いて、例えば、図１（Ｂ）に示すセカンドボンディング
部分８においてワイヤ５が切断すると、図１（Ｂ）に示
すキャピラリ２の上昇の際にワイヤ５がキャピラリ２内
に潜り込んでしまいテール長さを一定にできずボール部
１０を所望の径で良好に形成できないことがあった。特
に、テール長さが短かすぎた場合には、トーチ電極とワ
イヤ５端部との間隔が広すぎてスパークが不十分又はス
パークできずワイヤボンディング工程を一旦停止せざる
を得なくなり問題であった。
【００１２】そこで、本発明はワイヤのキャピラリから
導出された部分の長さのバラツキを抑え、径のバラツキ
の少ないボール部を良好に形成することができるワイヤ
ボンディング方法を提供することにある。
導出された部分の長さのバラツキを抑え、径のバラツキ
の少ないボール部を良好に形成することができるワイヤ
ボンディング方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し、上記
目的を達成するための発明は、キャピラリとカットクラ
ンパとテンションクランパとボール形成手段とを有して
ワイヤを被接続部に接続する方法であって、前記キャピ
ラリから繰り出されているワイヤを第１の被接続部に前
記キャピラリを使用してボンディングする工程と、次
に、前記テンションクランパで前記ワイヤを保持する工
程と、次に、前記キャピラリを前記第１の被接続部から
所定距離だけ離間させる工程と、前記カットクランパで
前記ワイヤを保持し、前記テンションクランパによる前
記ワイヤの保持を解除した状態で前記カットクランパを
上昇させることによって前記第１の被接続部に対する前
記ワイヤのボンディング部分の前記キャピラリ側の端又
はこの近傍で前記ワイヤを切断する工程と、前記ワイヤ
の前記キャピラリから導出された部分をボール状に形成
する工程と、前記ワイヤのボール状に形成された部分を
第２の被接続部にボンディングする工程とを有すること
を特徴とするワイヤボンディング方法に係わるものであ
る。
目的を達成するための発明は、キャピラリとカットクラ
ンパとテンションクランパとボール形成手段とを有して
ワイヤを被接続部に接続する方法であって、前記キャピ
ラリから繰り出されているワイヤを第１の被接続部に前
記キャピラリを使用してボンディングする工程と、次
に、前記テンションクランパで前記ワイヤを保持する工
程と、次に、前記キャピラリを前記第１の被接続部から
所定距離だけ離間させる工程と、前記カットクランパで
前記ワイヤを保持し、前記テンションクランパによる前
記ワイヤの保持を解除した状態で前記カットクランパを
上昇させることによって前記第１の被接続部に対する前
記ワイヤのボンディング部分の前記キャピラリ側の端又
はこの近傍で前記ワイヤを切断する工程と、前記ワイヤ
の前記キャピラリから導出された部分をボール状に形成
する工程と、前記ワイヤのボール状に形成された部分を
第２の被接続部にボンディングする工程とを有すること
を特徴とするワイヤボンディング方法に係わるものであ
る。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、テンションクランパで
ワイヤを挟持してキャピラリを上昇させるので、ワイヤ
はテンションクランパと第１の被接続部との２箇所で固
定された状態となり、キャピラリは上記２箇所の間を移
動する。従って、ワイヤのキャピラリから導出されてい
る部分の長さ即ちテール長さのバラツキを少なくするこ
とができ、キャピラリから導出された部分（テール）で
形成するボール部の径のバラツキを少なくすることがで
き、信頼性の高いワイヤボンディングが可能になる。
ワイヤを挟持してキャピラリを上昇させるので、ワイヤ
はテンションクランパと第１の被接続部との２箇所で固
定された状態となり、キャピラリは上記２箇所の間を移
動する。従って、ワイヤのキャピラリから導出されてい
る部分の長さ即ちテール長さのバラツキを少なくするこ
とができ、キャピラリから導出された部分（テール）で
形成するボール部の径のバラツキを少なくすることがで
き、信頼性の高いワイヤボンディングが可能になる。
【００１５】
【実施形態及び実施例】次に、本発明の実施形態及び実
施例を図２を参照して説明する。図２（Ａ）に示す本発
明の一実施例に係わるワイヤボンディング方法で使用す
るワイヤボンダ１ａは図１に示す従来方法で使用したワ
イヤボンダ１と同様にキャピラリ２、カットクランパ３
及びテンションクランパ４を有している。また、ワイヤ
ボンダ１ａは図１（Ｅ）に概略的に示す電気トーチ９を
有している。図２のワイヤボンダ１ａは図１のものと同
様にキャピラリ２及びカットクランパ３は図示しない駆
動装置によってＸＹ軸方向及びＺ軸方向に駆動可能であ
り、テンションクランパ４はＸＹ軸方向にのみ駆動可能
である。また、図２においても図１と同様にカットクラ
ンパ３は一対のクランプ板３ａ、３ｂと開閉駆動装置３
ｃを有し、テンションクランパ４は一対のクランプ板４
ａ、４ｂと開閉駆動装置４ｃを有する。なお、図２のワ
イヤボンダ１ａはワイヤボンディングのシーケンスを除
いて図１の従来のワイヤボンダ１と同一であるので、図
２において図１と実質的に同一の部分には同一の符号を
付して、これ等の詳しい説明を省略する。
施例を図２を参照して説明する。図２（Ａ）に示す本発
明の一実施例に係わるワイヤボンディング方法で使用す
るワイヤボンダ１ａは図１に示す従来方法で使用したワ
イヤボンダ１と同様にキャピラリ２、カットクランパ３
及びテンションクランパ４を有している。また、ワイヤ
ボンダ１ａは図１（Ｅ）に概略的に示す電気トーチ９を
有している。図２のワイヤボンダ１ａは図１のものと同
様にキャピラリ２及びカットクランパ３は図示しない駆
動装置によってＸＹ軸方向及びＺ軸方向に駆動可能であ
り、テンションクランパ４はＸＹ軸方向にのみ駆動可能
である。また、図２においても図１と同様にカットクラ
ンパ３は一対のクランプ板３ａ、３ｂと開閉駆動装置３
ｃを有し、テンションクランパ４は一対のクランプ板４
ａ、４ｂと開閉駆動装置４ｃを有する。なお、図２のワ
イヤボンダ１ａはワイヤボンディングのシーケンスを除
いて図１の従来のワイヤボンダ１と同一であるので、図
２において図１と実質的に同一の部分には同一の符号を
付して、これ等の詳しい説明を省略する。
【００１６】次に、本実施例のワイヤボンディング方法
を工程順に説明する。まず、図２（Ａ）に示すように、
キャピラリ２の先端部分でワイヤ５を線径方向に押し潰
してワイヤ５を半導体装置の外部リード端子等から成る
第１の被接続部７ａに熱圧着で接続し、第１のボンディ
ング部分８を形成する。この第１のボンディング部分８
はスッチボンディング部分であって、セカンドボンディ
ングと呼ばれる部分である。
を工程順に説明する。まず、図２（Ａ）に示すように、
キャピラリ２の先端部分でワイヤ５を線径方向に押し潰
してワイヤ５を半導体装置の外部リード端子等から成る
第１の被接続部７ａに熱圧着で接続し、第１のボンディ
ング部分８を形成する。この第１のボンディング部分８
はスッチボンディング部分であって、セカンドボンディ
ングと呼ばれる部分である。
【００１７】次に、図２（Ｂ）に示すように本発明に基
づいてテンションクランパ４の一対のクランプ板４ａ、
４ｂを閉じてワイヤ５をテンションクランパ４で挟持す
る。一方、カットクランパ３のクランプ板３ａ、３ｂは
開いた状態とし、カットクランパ３ではワイヤ５を挟持
しない。この結果、ワイヤ５は一端側が被接続部７ａに
接続されることで固定され、他端側がテンションクラン
パ４に挟持されることで実質的に固定され、被接続部７
ａとテンションクランパ４との間に直線状に張り渡され
た状態となる。なお、図２（Ｂ）でワイヤ５をテンショ
ンクランパ４で保持する力は図示されていないワイヤ供
給装置が図２（Ｂ）で矢印で示すようにワイヤ５を上方
に引っ張る力よりも大である。
づいてテンションクランパ４の一対のクランプ板４ａ、
４ｂを閉じてワイヤ５をテンションクランパ４で挟持す
る。一方、カットクランパ３のクランプ板３ａ、３ｂは
開いた状態とし、カットクランパ３ではワイヤ５を挟持
しない。この結果、ワイヤ５は一端側が被接続部７ａに
接続されることで固定され、他端側がテンションクラン
パ４に挟持されることで実質的に固定され、被接続部７
ａとテンションクランパ４との間に直線状に張り渡され
た状態となる。なお、図２（Ｂ）でワイヤ５をテンショ
ンクランパ４で保持する力は図示されていないワイヤ供
給装置が図２（Ｂ）で矢印で示すようにワイヤ５を上方
に引っ張る力よりも大である。
【００１８】次に、図２（Ｃ）に示すように、図２
（Ｂ）と同一のテンションクランパ４を閉じ、カットク
ランパ３を開いた状態を保ってキャピラリ２とカットク
ランパ３を所定距離Ｌだけ上昇させる。この時、キャピ
ラリ２とカットクランパ３は相互間距離を一定に保って
上昇させる。一方、テンションクランパ４はキャピラリ
２の上昇移動に追従させず、固定されたままに保つの
で、テンションクランパ４とカットクランパ３との間隔
及びテンションクランパ４とキャピラリ２との間隔は、
図２（Ｂ）に示すそれらの間隔よりも狭くなる。ワイヤ
５は被接続部７ａとテンションクランパ４で固定されて
直線状に張り渡された状態となっており、この状態でキ
ャピラリ２とカットクランパ３をワイヤ５の経路に沿っ
て上昇させるので、キャピラリ２及びカットクランパ３
がワイヤ５に強く接触してワイヤ５を被接続部７ａから
剥離させるような事態が生じない。また、万一ワイヤ５
が被接続部７ａで切断したとしても、テンションクラン
パ４の下方に所定の長さのワイヤ５を確実に残存させる
ことができ、キャピラリ２からのワイヤ５の突出量を所
定値に保つことができる。
（Ｂ）と同一のテンションクランパ４を閉じ、カットク
ランパ３を開いた状態を保ってキャピラリ２とカットク
ランパ３を所定距離Ｌだけ上昇させる。この時、キャピ
ラリ２とカットクランパ３は相互間距離を一定に保って
上昇させる。一方、テンションクランパ４はキャピラリ
２の上昇移動に追従させず、固定されたままに保つの
で、テンションクランパ４とカットクランパ３との間隔
及びテンションクランパ４とキャピラリ２との間隔は、
図２（Ｂ）に示すそれらの間隔よりも狭くなる。ワイヤ
５は被接続部７ａとテンションクランパ４で固定されて
直線状に張り渡された状態となっており、この状態でキ
ャピラリ２とカットクランパ３をワイヤ５の経路に沿っ
て上昇させるので、キャピラリ２及びカットクランパ３
がワイヤ５に強く接触してワイヤ５を被接続部７ａから
剥離させるような事態が生じない。また、万一ワイヤ５
が被接続部７ａで切断したとしても、テンションクラン
パ４の下方に所定の長さのワイヤ５を確実に残存させる
ことができ、キャピラリ２からのワイヤ５の突出量を所
定値に保つことができる。
【００１９】次に、図２（Ｄ）に示すように、カットク
ランパ３の一対のクランプ板３ａ、３ｂを閉じてワイヤ
５をカットクランパ３で挟持すると共に、テンションク
ランパ４の一対のクランプ板４ａ、４ｂは開いてテンシ
ョンクランパ４によるワイヤ５の挟持を解く。従って、
図２（Ｄ）では、ワイヤ５が被接続体７ａとカットクラ
ンパ３との間に固定された状態となる。なお、この図２
（Ｄ）の状態は図１（Ｃ）の状態と同一である。
ランパ３の一対のクランプ板３ａ、３ｂを閉じてワイヤ
５をカットクランパ３で挟持すると共に、テンションク
ランパ４の一対のクランプ板４ａ、４ｂは開いてテンシ
ョンクランパ４によるワイヤ５の挟持を解く。従って、
図２（Ｄ）では、ワイヤ５が被接続体７ａとカットクラ
ンパ３との間に固定された状態となる。なお、この図２
（Ｄ）の状態は図１（Ｃ）の状態と同一である。
【００２０】次に、図２（Ｅ）に示すように、カットク
ランパ３はワイヤ５を挟持し、テンションクランパ４は
ワイヤ５を挟持しない状態でキャピラリ２及びカットク
ランパ３を上昇させる。テンションクランパ４は高さ位
置が固定されているので、テンションクランパ４とカッ
トクランパ３との距離及びテンションクランパ４とキャ
ピラリ２との間隔は図２（Ｃ）及び（Ｄ）に示すそれら
の間隔よりも更に狭くなる。また、ワイヤ５はカットク
ランパ３に挟持されて上方（Ｚ軸方向）に引っ張られる
ため、ワイヤ５はその線径が小さくなった（肉薄化し
た）セカンドボンディング部分８の端部側で破断され、
キャピラリ２の先端から所定の長さで繰り出された状態
でキャピラリ２及びカットクランパ３と共に上昇する。
ランパ３はワイヤ５を挟持し、テンションクランパ４は
ワイヤ５を挟持しない状態でキャピラリ２及びカットク
ランパ３を上昇させる。テンションクランパ４は高さ位
置が固定されているので、テンションクランパ４とカッ
トクランパ３との距離及びテンションクランパ４とキャ
ピラリ２との間隔は図２（Ｃ）及び（Ｄ）に示すそれら
の間隔よりも更に狭くなる。また、ワイヤ５はカットク
ランパ３に挟持されて上方（Ｚ軸方向）に引っ張られる
ため、ワイヤ５はその線径が小さくなった（肉薄化し
た）セカンドボンディング部分８の端部側で破断され、
キャピラリ２の先端から所定の長さで繰り出された状態
でキャピラリ２及びカットクランパ３と共に上昇する。
【００２１】次に、電気トーチ９を用いてキャピラリ２
から導出されたワイヤ５の端部とトーチ９との間に電気
スパークを発生させ、ワイヤ５の端部を溶融してボール
部１０を図２（Ｆ）に示すように形成する。
から導出されたワイヤ５の端部とトーチ９との間に電気
スパークを発生させ、ワイヤ５の端部を溶融してボール
部１０を図２（Ｆ）に示すように形成する。
【００２２】次に、ワイヤ５の通過を許すようなレベル
のテンションをワイヤ５に与えるようにテンションクラ
ンパ４のクランプ板４ａ、４ｂを緩く閉じ、カットクラ
ンパ３のクランプ板３ａ、３ｂを開き、キャピラリ２及
びカットクランパ３を図１（Ｆ）と同様に下げ、ボール
部１０を図１（Ｆ）と同様の第２の被接続部（例えば半
導体チップの電極）に接触させ、更にキャピラリ２でボ
ール部１０を押し潰して熱圧着してボールボンディング
部（ファーストボンディング部）を形成する。しかる
後、再び図２（Ａ）の工程に戻る。
のテンションをワイヤ５に与えるようにテンションクラ
ンパ４のクランプ板４ａ、４ｂを緩く閉じ、カットクラ
ンパ３のクランプ板３ａ、３ｂを開き、キャピラリ２及
びカットクランパ３を図１（Ｆ）と同様に下げ、ボール
部１０を図１（Ｆ）と同様の第２の被接続部（例えば半
導体チップの電極）に接触させ、更にキャピラリ２でボ
ール部１０を押し潰して熱圧着してボールボンディング
部（ファーストボンディング部）を形成する。しかる
後、再び図２（Ａ）の工程に戻る。
【００２３】本実施例のワイヤボンディング方法によれ
ば、上記のようにキャピラリ２の上昇の際にワイヤ５が
テンションクランパ４で挟持された状態となっているの
で、キャピラリ２の先端側から繰り出されたワイヤ５の
長さ即ちテール長さを一定に形成することができる。こ
のため、ボール部８の径サイズを所望する大きさに安定
して形成することができ、信頼性の高いワイヤボンディ
ングが可能となる。
ば、上記のようにキャピラリ２の上昇の際にワイヤ５が
テンションクランパ４で挟持された状態となっているの
で、キャピラリ２の先端側から繰り出されたワイヤ５の
長さ即ちテール長さを一定に形成することができる。こ
のため、ボール部８の径サイズを所望する大きさに安定
して形成することができ、信頼性の高いワイヤボンディ
ングが可能となる。
【００２４】
【変形例】本発明は上述の実施例に限定されるものでな
く、例えば次の変形が可能なものである。 （１） 電気トーチ９を水素トーチ等とすることができ
る。 （２） 実施例では図２（Ｂ）（Ｃ）におけるテンショ
ンクランパ４のクランプの力と図１（Ｆ）におけるテン
ションクランパ４によるクランプの力を同一に設定した
が、互いに異なる値に設定することもできる。 （３） キャピラリ２、カットクランパ３、及びテンシ
ョンクランパ４をＸＹ軸方向に移動する代りに、被接続
部７ａ、７ｂをＸＹ軸方向に移動させることもできる。
く、例えば次の変形が可能なものである。 （１） 電気トーチ９を水素トーチ等とすることができ
る。 （２） 実施例では図２（Ｂ）（Ｃ）におけるテンショ
ンクランパ４のクランプの力と図１（Ｆ）におけるテン
ションクランパ４によるクランプの力を同一に設定した
が、互いに異なる値に設定することもできる。 （３） キャピラリ２、カットクランパ３、及びテンシ
ョンクランパ４をＸＹ軸方向に移動する代りに、被接続
部７ａ、７ｂをＸＹ軸方向に移動させることもできる。
【図１】従来のワイヤボンディング方法におけるワイヤ
ボンダとワイヤの変化を工程順に示す断面図である。
ボンダとワイヤの変化を工程順に示す断面図である。
【図２】本発明の実施例のワイヤボンディング方法にお
けるワイヤボンダとワイヤの変化を工程順に示す断面図
である。
けるワイヤボンダとワイヤの変化を工程順に示す断面図
である。
２ キャピラリ ３ カットクランパ ４ テンションクランパ ５ ワイヤ ７ａ 第１の被接続部 ８ ステッチホンディング部 ９ トーチ １０ ボール部
Claims (1)
- 【請求項１】 キャピラリとカットクランパとテンショ
ンクランパとボール形成手段とを有してワイヤを被接続
部に接続する方法であって、 前記キャピラリから繰り出されているワイヤを第１の被
接続部に前記キャピラリを使用してボンディングする工
程と、 次に、前記テンションクランパで前記ワイヤを保持する
工程と、 次に、前記キャピラリを前記第１の被接続部から所定距
離だけ離間させる工程と、 前記カットクランパで前記ワイヤを保持し、前記テンシ
ョンクランパによる前記ワイヤの保持を解除した状態で
前記カットクランパを上昇させることによって前記第１
の被接続部に対する前記ワイヤのボンディング部分の前
記キャピラリ側の端又はこの近傍で前記ワイヤを切断す
る工程と、 前記ワイヤの前記キャピラリから導出された部分をボー
ル状に形成する工程と、 前記ワイヤのボール状に形成された部分を第２の被接続
部にボンディングする工程とを有することを特徴とする
ワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10124235A JP2894344B1 (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | ワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10124235A JP2894344B1 (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | ワイヤボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2894344B1 JP2894344B1 (ja) | 1999-05-24 |
| JPH11307575A true JPH11307575A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14880326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10124235A Expired - Fee Related JP2894344B1 (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | ワイヤボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894344B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103077903A (zh) * | 2011-10-25 | 2013-05-01 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于导线键合机的自动线尾调节系统 |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP10124235A patent/JP2894344B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103077903A (zh) * | 2011-10-25 | 2013-05-01 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于导线键合机的自动线尾调节系统 |
| JP2013179255A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-09-09 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | ワイヤーボンダのためのワイヤーテール自動調節システム |
| CN103077903B (zh) * | 2011-10-25 | 2016-04-06 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于导线键合机的自动线尾调节系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2894344B1 (ja) | 1999-05-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |