JPH02298874A - ワイヤ接続不良検出方法 - Google Patents

ワイヤ接続不良検出方法

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亨 持田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はワイヤポンダにおけるワイヤ接続不良検出方法
に関する。
［従来の技術］ 従来、ワイヤ接続不良検出方法として、例えば特開昭５
９−８８８４２号公報に示す方法が知られている。この
方法を第５図乃至第７図により説明する。
第５図に示すように、ペレット１が固着されたリードフ
レーム２は試料台３に位置決め固定されている。ペレッ
ト１とリードフレーム２に接続されるワイヤ４は、スプ
ール５に巻回されており、一端はクランパ６を通ってキ
ャピラリ７に挿通され、他端は端子８に接続されている
。またキャピラリ７の近傍にはワイヤ４の先端を溶融し
てポール４ａを形成する電気トーチ９が設けられている
。前記端子８はリードリレー等よりなるスイッチ１０の
コモン接点１０ａに接続され、スイッチ１０の常時閉接
点１０ｂはアースされている。前記スイー、チ１０の常
時開接点１０ｃは検出器１１及び抵抗１２に接続されて
おり、抵抗１２はスイッチ１３によって２個の直流電源
１４．１５に選択的に接続されるようになっている。
第６図はキャピラリ７の上下動及びスイッチ１０の切換
えタイミングを示し、スイッチ１０の切換えタイミング
は第７図（ｃ）（ｄ）に示すポンディング状態で行われ
る。
次に作用について説明する。スイッチ１３は、ペレット
１のパッドが順方向の場合はプラス電圧がかかるように
直流電源１４に接続しておき、逆方向の場合はマイナス
電圧がかかるように直流電源１５に接続しておく。
まず、キャピラリ７の下端より延在したワイヤ４の先端
に電気トーチ９の放電によって第７図（ａ）に示すよう
にポール４ａが形成される０次回図（ｂ）に示すように
キャピラリ７が下降し。
ワイヤ４はペレー２ト１に第１ボンドされる。その後同
図（ｃ）（ｄ）（ｅ）に示すようにキャピラリ７は上昇
し、第２ボンド点の上方に移動し、再び下降する。この
間に第６図に示すようにスイッチ１０の切換え信号がオ
ンとなり、スイッチ１０は常時開接点１０ｃに接続され
る。
この場合、ワイヤ４がペレット１に接続されていると、
直流電源１４又は１５よりスイッチ１３、抵抗１２、ス
イッチ１０、端子８を通ってワイヤ４に微小電流が流れ
、検出器１１には電流が流れない、もし、ワイヤ４がペ
レット１に接続されていないと、ワイヤ４には電流が流
れなく、検出器１１に電流が流れ、検出器１１よりワイ
ヤ接続不良信号１１ａが出力される。
ワイヤ接続が正常であると、キャピラリ７は下降を続け
、第７図（ｅ）に示すように第２ボンドにワイヤ４が接
続される。その後回１ｆｆｌ（ｆ）に示すようにクラン
パ６は閉じてキャピラリ７のみが一定の高さまで上昇す
る０次に同図（ｇ）に示すようにクランパ６及びキャピ
ラリ７が共に上昇し、第２ボンド点の付根よりワイヤ４
は切断される。これにより、第１ボンド点と第２ボンド
点とにワイヤ４ｂが接続される。その後はキャピラリ７
は次に接続する第１ボンド点の上方に移動され、同図（
ａ）に示すようにポール４ａが形成される。以後、前記
したサイクルを繰り返す。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、第１ボンドの異常（不着）を検出する
のみであり、信頼性に劣るという問題があった。
本発明の目的は、ポンディングの信頼性を一段と向上さ
せることができるワイヤ接続不良検出方法を提供するこ
とにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、第１ボンド後から第２ボンド前の間、第２
ボンド後からワイヤ切断前の間及びワイヤボンディング
前にそれぞれワイヤに微少電圧を印加して第１ボンド異
常、第２ボンド異常及びワイヤボンディング前゛の異常
を検出することにより達成される。
［作用］ 第１ボンド異常、第２ボンド異常及びワイヤボンディン
グ前の異常等のワイヤボンディング時の異常項目を全て
検出するので、ポンディングの信頼性が向上する。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第５図及び第７図を参照しな
がら第１図乃至第４＠により説明する。
第１図に示すように、第１ボンド後２０から第２ボンド
２１前の間に第１ボンド異常検出２３、″第２ボンド２
１後からワイヤ切断２２前の間に第２ボンド異常検出２
４、ワイヤボンディング前にワイヤ異常検出２５を行う
、前記第１ボンド異常検出２３は、従来と同様であるの
でその省略する。
第２ボンド異常検出２４は、第７図（ｆ）の状態、即ち
第２ボンド終了後にキャピラリ７が上昇し、ワイヤ切断
２２する前に、第５図に示すスイッチ１０は常時開接点
１０ｃに接続される。これにより、直流電源１４又は１
５の電圧がワイヤ４に印加され、第２ボンドが正常であ
ったかどうかをチェックする。ここで、ペレットｌのパ
ッドが第３図に示すように順方向である場合には、ワイ
ヤ４にマイナス電圧がかかるようにスイッチ１３を直流
電源１５に接続しておく。
第３図（ａ）は第２ボンドが正常状態で、同図（ｂ）（
ｃ）は異常状態を示し、同図（ｂ）は第２ボンド不着状
態、同図（ｃ）は第１ボンド点と第２ボンド点にワイヤ
４ｂは接続されたが、ワイヤ切断動作（第７図（ｇ）の
動作）前にワイヤ４が切れてしまった場合である。同図
（Ｃ）の状態では、ワイヤテール長が不安定であり、第
７図（ａ）に示すポール４ａを正常に作ることができな
い。
第３図（ａ）の場合には、ワイヤ４に印加されたマイナ
ス電圧は、リードフレーム２のリード部２ａよりグラン
ドにショートされ、検出器１１の入力部はＯｖとなる。
同図（ｂ）（ｃ）の場合には、ワイヤ４には電流が流れ
なく、ワイヤ４部の電圧はマイナスの印加電圧となり、
検出器１１の入力部はＯＶとならず、異常と判断できる
。
この第２ボンド異常が第２ボンド不着かワイヤテール長
異常かを判断するには、印加電圧を切換えることにより
行う、即ち、スイッチ１３を直流電源１５に接続させて
ワイヤ４にマイナス電圧がかけられた状態で、前記のよ
うに第２ボンド異常が検出された場合、スイッチ１３を
直流電源１４に切換えてワイヤ４にプラス電圧をかける
。そこで、第３図（ｂ）の場合には、ワイヤ４に印加さ
れたプラス電圧は、ペレットｌよりリードフレーム２に
流れ、検出器１１はＯＶとなる。同図（Ｃ）には、ワイ
ヤ４の電圧は印加電圧となる。
このように、第３図（ｂ）の場合には、印加電圧よりＯ
Ｖとなり、同図（Ｃ）の場合には印加電圧のままである
ので、両者を区別できる。この第２ボンド異常検出２４
をまとめると第２図のようになる。
第２図に示すように、パッドの状態が逆方向の場合には
、ワイヤ４への電圧印加は順方向の場合と逆の電圧をか
ける。
次に第１図に示すワイヤボンディング前の異常検出２５
について説明する。この場合には、スイッチ１３は直流
電源１４．１５のいずれに接続していてもよい、そこで
、キャピラリ７が第１ボンド点に下降する前に、ワイヤ
４に電圧を印加する。第４図（ａ）に示すようにギヤピ
ラリ７の下にワイヤ４が正常に出てポール４ａが形成さ
れている場合には、検出器１１は印加電圧となる。同図
（ｂ）の場合には、ワイヤ４が前工程で切断されなかっ
た場合で、検出器１１はＯｖとなる。そこで、Ｏｖでな
ければ正常と判断する。
前記した検出２３〜２５において、スイッチ１０．１３
の切換えのタイミング及びパッド側の状態は、予め図示
しないマイクロコンピュータに記憶しておき、その都度
印加電圧の切換えを行う。
またスイッチ１０．１３は信頼性及び応答時間を短くす
るために、半導体を使用した回路を使用するのが好まし
い。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、第１
ボンド異常、第２ボンド異常及びワイヤボンディング前
の異常等のワイヤボンディング時の異常項目を全て検出
するので、ポンディングの信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のワイヤ接続不良検出方法の一実施例を
示すキャピラリの上下動及びスイッチの切換えのタイミ
ング図、第２図は第２ボンド異常の検出状態図、第３図
（ａ）乃至（ｃ）は第２ボンド後の状態図、第４図（ａ
）（ｂ）はポンディング前の状態図、第５図は本発明の
方法に用いる一例を示すブロック図、第６図は従来例に
おけるキャピラリの上下動及びスイッチの切換えのタイ
ミング図、第７図（ａ）乃至（ｇ）はポンディング動作
の説明図である。 １：ペレット、　　　　　２：リードフレーム、４：ワ
イヤ、　　　　　　７：キャピラリ、１０：スイッチ、
　　　　１１：検出器、１３：スイッチ、　　　　１４
．１５：直流電源、２０：第１ボンド、　　２１：第２
ボンド、２２：ワイヤ切断、　　　２３：第１ボンド異
常検出、　　　　　　２４：第２ボンド異常検出、２５
：ワイヤボンディング前の異常検出。 第１図 第２図 第３図 （Ｑ）　　　　　　　　（ｂ） 第４図 第５図 第７図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）第１ボンド後から第２ボンド前の間、第２ボンド
    後からワイヤ切断前の間及びワイヤボンディング前にそ
    れぞれワイヤに微少電圧を印加して第１ボンド異常、第
    ２ボンド異常及びワイヤボンディング前の異常を検出す
    ることを特徴とするワイヤ接続不良検出方法。
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