JP2007173763A - フラッシュメモリ素子の製造方法 - Google Patents
フラッシュメモリ素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007173763A JP2007173763A JP2006167099A JP2006167099A JP2007173763A JP 2007173763 A JP2007173763 A JP 2007173763A JP 2006167099 A JP2006167099 A JP 2006167099A JP 2006167099 A JP2006167099 A JP 2006167099A JP 2007173763 A JP2007173763 A JP 2007173763A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- element isolation
- polysilicon
- etching
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/76224—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using trench refilling with dielectric materials
- H01L21/76229—Concurrent filling of a plurality of trenches having a different trench shape or dimension, e.g. rectangular and V-shaped trenches, wide and narrow trenches, shallow and deep trenches
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【課題】第1ポリシリコン膜間のインターフェランスを改善することができ、インターフェランスを改善することにより、セル間のしきい値電圧の分布を改善するフラッシュメモリ素子の製造方法の提供。
【解決手段】半導体基板11の上部の所定の領域にトンネル酸化膜12及び第1ポリシリコン膜13を形成し、上記半導体基板11の所定の領域に素子分離膜14を形成する段階;全体構造の上部に第2ポリシリコン膜15を形成した後、ポリシリコンエッチングチャンバで上記素子分離膜14と一部重畳するように上記第2ポリシリコン膜15をパターニングし、これにより上記素子分離膜14が一部エッチングされる段階;酸化膜エッチングチャンバでポリマーが発生する条件で上記素子分離膜14を所定の深さのV字状にエッチングする段階;及び全体構造の上部に誘電体膜17及び第3ポリシリコン膜18を形成した後、パターニングする段階を含む製造方法。
【選択図】図1b
【解決手段】半導体基板11の上部の所定の領域にトンネル酸化膜12及び第1ポリシリコン膜13を形成し、上記半導体基板11の所定の領域に素子分離膜14を形成する段階;全体構造の上部に第2ポリシリコン膜15を形成した後、ポリシリコンエッチングチャンバで上記素子分離膜14と一部重畳するように上記第2ポリシリコン膜15をパターニングし、これにより上記素子分離膜14が一部エッチングされる段階;酸化膜エッチングチャンバでポリマーが発生する条件で上記素子分離膜14を所定の深さのV字状にエッチングする段階;及び全体構造の上部に誘電体膜17及び第3ポリシリコン膜18を形成した後、パターニングする段階を含む製造方法。
【選択図】図1b
Description
本発明は、フラッシュメモリ素子の製造方法に関するものであり、特に、SA−STI工程を用いるNAND型フラッシュメモリ素子のセル間インターフェランスを改善するフラッシュメモリ素子の製造方法に関するものである。
NAND型フラッシュメモリ素子は、データを格納するための多数のセルが直列連結されて一つのストリングを構成し、セルストリングとドレイン及びセルストリングとソースとの間にそれぞれドレイン選択トランジスタ及びソース選択トランジスタが形成される。このようなNAND型フラッシュメモリ素子のセルは、半導体基板上の所定の領域にトンネル酸化膜、フローティングゲート、誘電体膜及びコントロールゲートが積層されたゲートを形成し、ゲートの両側に接合部を形成することにより形成される。
このようなNAND型フラッシュメモリ素子は、セルの状態が隣接した周辺セルの動作により影響を受けるため、セルの状態を一定に維持することが非常に重要である。このような隣接した周辺セルの動作、特にプログラム動作によりセルの状態が変わることをインターフェランス効果(interferenceeffect)であるという。即ち、インターフェランス効果とは、読み出そうとする第1セルと隣接した第2セルをプログラムすれば、第2セルのフローティングゲートのチャージ変化によるキャパシタンスの作用により、第1セルの読み出し時に第1セルのしきい値電圧より高いしきい値電圧が読み出される現象を称するものであり、読み出しセルのフローティングゲートのチャージは変化しないが、隣接セルの状態変化により実際のセルの状態が歪曲して見える現象を称する。このようなインターフェランス効果によりセルの状態が変わり、これは、不良率を増加させて歩留まりを低下させる結果をもたらす。従って、インターフェランス効果を最小化することがセルの状態を一定に維持するのに効果的であると言える。
一方、一般的なNAND型フラッシュメモリ素子の製造工程において、SA−STI(Self Aligned Shallow TrenchIsolation)工程を用いて素子分離膜及びフローティングゲートの一部を形成するが、その工程を簡略に説明すれば、次の通りである。半導体基板の上部にトンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜を形成した後、第1ポリシリコン膜及びトンネル酸化膜の所定領域をエッチングし、半導体基板を所定の深さでエッチングしてトレンチを形成した後、絶縁膜を埋め込み、研磨工程を実施して素子分離膜を形成する。以後、全体構造の上部に第2ポリシリコン膜を形成した後、素子分離膜と一部重畳するようにパターニングして第1及び第2ポリシリコン膜が積層されたフローティングゲートを形成する。この時、第2ポリシリコン膜のエッチング残留物を完全に除去するために第2ポリシリコン膜を過度エッチングするようになる。これにより、素子分離膜が一定の深さでエッチングされるが、第2ポリシリコン膜のエッチング残留物を完全に除去するために十分な過度エッチングを進行しなければならず、この時に除去される素子分離膜の損失量は100Å程度である。以後、全体構造の上部に誘電体膜を形成した後、コントロールゲート用の第3ポリシリコン膜を形成する。
上記のように、SA−STI工程を用いてフラッシュメモリ素子を製造すれば、フローティングゲートとして作用する第1ポリシリコン膜と隣接した第1ポリシリコン膜との間に素子分離膜が形成されているため、第1ポリシリコン膜間にインターフェランスが発生することがある。また、素子分離膜が所定の深さでエッチングされ、アクティブ領域の半導体基板とコントロールゲート間の間隔が狭くなるため、コントロールゲートにより半導体基板が影響を受けてサイクリングフェイルが発生することがある。
本発明の目的は、SA−STI工程を適用する過程において素子分離膜が過度エッチングされて発生する第1ポリシリコン膜間のインターフェランスを防止するフラッシュメモリ素子の製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、SA−STI工程を適用する過程において素子分離膜が過度エッチングされ、アクティブ領域の半導体基板とコントロールゲートの間隔が狭くなるために発生するサイクリングフェイルを防止するフラッシュメモリ素子の製造方法を提供することにある。
本発明の一実施例によるフラッシュメモリ素子の製造方法は、(a)半導体基板の上部の所定の領域にトンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜を形成し、上記半導体基板の所定の領域に素子分離膜を形成する段階;(b)全体構造の上部に第2ポリシリコン膜を形成した後、上記素子分離膜と一部重畳するように上記第2ポリシリコン膜をパターニングし、これにより上記素子分離膜が一部エッチングされる段階;(c)ポリマーが発生する条件で上記素子分離膜を所定の深さでエッチングする段階;及び(d)全体構造の上部に誘電体膜及び第3ポリシリコン膜を形成した後、パターニングする段階を含む。
上記(c)段階は、酸化膜エッチングチャンバを用いて上記第2ポリシリコン膜のエッチング率は低く、上記素子分離膜のエッチング率は高い条件で実施する。
上記(c)段階は、上記素子分離膜がV字状にエッチングされるようにする。
上記(c)段階は、上記素子分離膜がV字状にエッチングされるようにする。
上記(c)段階は、CF4、CHF3、CF8、CH2F2の混合ガスを用いて実施する。
上記(c)段階は、酸化膜エッチングチャンバに50〜200sccmのCF4、20〜200sccmのCHF3、5〜30sccmのCF8及び10〜50sccmのCH2F2を流入させ、アルゴン(Ar)ガスを50〜100sccm以下に流入させた後、100〜200W以下のバイアスを印加して実施する。
上記(c)段階は、上記素子分離膜が上記半導体基板の表面の高さまでエッチングされるようにする。
本発明の他の実施例によるフラッシュメモリ素子の製造方法は、半導体基板の上部の所定の領域にトンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜を形成し、上記半導体基板の所定の領域に素子分離膜を形成する段階;全体構造の上部に第2ポリシリコン膜を形成した後、ポリシリコンエッチングチャンバで上記素子分離膜と一部重畳するように上記第2ポリシリコン膜をパターニングし、これにより上記素子分離膜が一部エッチングされる段階;酸化膜エッチングチャンバでポリマーが発生する条件で上記素子分離膜を所定の深さのV字状にエッチングする段階;及び全体構造の上部に誘電体膜及び第3ポリシリコン膜を形成した後、パターニングする段階を含む。
上述した通り、本発明によれば第2ポリシリコン膜のエッチング時に一部がエッチングされた素子分離膜を酸化膜エッチングチャンバを用いてエクスシチュでエッチングしてV字状にエッチングし、V字状にエッチングされた部分に誘電体膜及び第3ポリシリコン膜が形成されるようにして第1ポリシリコン膜間のインターフェランスを改善することができ、インターフェランスを改善することによりセル間のしきい値電圧分布を改善することができる。また、半導体基板とコントロールゲートの間隔が遠くなってサイクリングしきい値電圧を改善することができる。
以下、添付した図面を参照し、本発明の一実施例を詳細に説明することにする。
図1(a)〜図1(c)は、本発明の一実施例によるフラッシュメモリ素子の製造方法を説明するために順に示した素子の断面図である。
図1(a)を参照すれば、半導体基板(11)の上部にトンネル酸化膜(12)及び第1ポリシリコン膜(13)を形成する。第1ポリシリコン膜(13)の上部にハードマスク膜(図示せず)を形成した後、素子分離マスクを用いた写真及びエッチング工程でハードマスク膜(図示せず)をパターニングする。パターニングされたハードマスク膜(図示せず)をマスクにして第1ポリシリコン膜(13)、トンネル酸化膜(12)及び半導体基板(11)を所定の深さでエッチングしてトレンチを形成する。トレンチが埋め込まれるように絶縁膜を形成した後、ハードマスク膜(図示せず)が露出されるように研磨し、ハードマスク膜(図示せず)を除去して素子分離膜(14)を形成する。全体構造の上部に第2ポリシリコン膜(15)を形成した後、その上部に感光膜(16)を形成する。所定のマスクを用いて素子分離膜(14)と一部重畳するように感光膜(16)をパターニングする。パターニングされた感光膜(16)をエッチングマスクにして第1エッチングチャンバで第2ポリシリコン膜(15)をエッチングし、第1及び第2ポリシリコン膜(13及び15)が積層されたフローティングゲートを形成する。この時、第2ポリシリコン膜(15)のエッチング残留物を完全除去するために第2ポリシリコン膜(15)を過度エッチングするようになる。これにより、素子分離膜(14)が所定の深さでエッチングされる。
図1(b)を参照すれば、感光膜(16)を除去した後、第2エッチングチャンバで素子分離膜(14)の一部を再びエッチングする。素子分離膜(14)の一部をエッチングするための第2エッチングチャンバは酸化膜エッチングチャンバを用いるが、例えば、AMAT社のe−MAXまたはTEL社のSCCM装備を用いる。素子分離膜(14)をe−MAXまたはSCCM装備等の酸化膜チャンバを用いてエッチングすることにより、ポリシリコン膜のエッチング率は低く、酸化膜のエッチング率は高くすることができる。一方、素子分離膜(14)のエッチング部位がV字状を有するようにエッチングすることが望ましいが、そのために、CF4、CHF3、CF8、CH2F2などの混合ガスを用いる。上記ガスを用いて素子分離膜(14)をエッチングすれば、ポリマーが発生してV字状に素子分離膜(14)の所定領域をエッチングすることができる。上記ガスを用いて素子分離膜(14)の所定領域をV字状にエッチングする具体的な条件を詳察すれば、酸化膜エッチングチャンバ、例えば、SCCM装備に50〜200sccmのCF4、20〜200sccmのCHF3、5〜30sccmのCF8及び10〜50sccmのCH2F2を流入させ、アルゴン(Ar)ガスを100sccm以下に流入させた後、200W以下の低いバイアスを印加してエッチング工程を実施する。このようにしてV字状にエッチングされる素子分離膜(14)の深さは、望ましくは半導体基板(11)の表面高さ程度、例えば、100〜500Åになるようにする。一方、素子分離膜(14)を酸化膜エッチングチャンバを用いてエッチングする理由は、第2ポリシリコン膜(15)の上部に感光膜(16)が残留する状態で第2ポリシリコン膜(15)を過度エッチングすれば、素子分離膜(14)を100Å以下にエッチングすることができるが、感光膜(16)マージンがないため、100Å以上の深さで素子分離膜(14)をエッチングすることができないためである。
図1(c)を参照すれば、全体構造の上部に誘電体膜(17)を形成した後、コントロールゲート用の第3ポリシリコン膜(18)を形成する。素子分離膜(14)の所定部位がV字状にエッチングされているため、この部分に誘電体膜(17)及び第3ポリシリコン膜(18)が形成される。そして、コントロールゲートマスクを用いた写真及びエッチング工程で第3ポリシリコン膜(18)をエッチングした後、下部層をエッチングしてフローティングゲートとコントロールゲートが積層されたゲートを形成する。
11:半導体基板
12:トンネル酸化膜
13:第1ポリシリコン膜
14:素子分離膜
15:第2ポリシリコン膜
16:感光膜
17:誘電体膜
18:第3ポリシリコン膜
12:トンネル酸化膜
13:第1ポリシリコン膜
14:素子分離膜
15:第2ポリシリコン膜
16:感光膜
17:誘電体膜
18:第3ポリシリコン膜
Claims (7)
- (a)半導体基板の上部の所定の領域にトンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜を形成し、上記半導体基板の所定の領域に素子分離膜を形成する段階;
(b)全体構造の上部に第2ポリシリコン膜を形成した後、上記素子分離膜と一部重畳するように上記第2ポリシリコン膜をパターニングし、これにより上記素子分離膜が一部エッチングされる段階;
(c)ポリマーが発生する条件で上記素子分離膜を所定の深さでエッチングする段階;及び
(d)全体構造の上部に誘電体膜及び第3ポリシリコン膜を形成した後、パターニングする段階を含むフラッシュメモリ素子の製造方法。 - 上記(c)段階は、酸化膜エッチングチャンバを用いて上記第2ポリシリコン膜のエッチング率は低く、上記素子分離膜のエッチング率は高い条件で実施する請求項1に記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 上記(c)段階は、上記素子分離膜がV字状にエッチングされるようにする請求項1に記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 上記(c)段階は、CF4、CHF3、CF8、CH2F2の混合ガスを用いて実施する請求項1に記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 上記(c)段階は、酸化膜エッチングチャンバに50〜200sccmのCF4、20〜200sccmのCHF3、5〜30sccmのCF8及び10〜50sccmのCH2F2を流入させ、アルゴン(Ar)ガスを50〜100sccm以下に流入させた後、100〜200W以下のバイアスを印加して実施する請求項1に記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 上記(c)段階は、上記素子分離膜が上記半導体基板の表面高さまでエッチングされるようにする請求項1に記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 半導体基板の上部の所定の領域にトンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜を形成し、上記半導体基板の所定の領域に素子分離膜を形成する段階;
全体構造の上部に第2ポリシリコン膜を形成した後、ポリシリコンエッチングチャンバで上記素子分離膜と一部重畳するように上記第2ポリシリコン膜をパターニングし、これにより上記素子分離膜が一部エッチングされる段階;
酸化膜エッチングチャンバでポリマーが発生する条件で上記素子分離膜を所定の深さのV字状にエッチングする段階;及び
全体構造の上部に誘電体膜及び第3ポリシリコン膜を形成した後、パターニングする段階を含むフラッシュメモリ素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050128763A KR100650857B1 (ko) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | 플래쉬 메모리 소자의 제조 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007173763A true JP2007173763A (ja) | 2007-07-05 |
Family
ID=37105036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006167099A Pending JP2007173763A (ja) | 2005-12-23 | 2006-06-16 | フラッシュメモリ素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8048739B2 (ja) |
JP (1) | JP2007173763A (ja) |
KR (1) | KR100650857B1 (ja) |
CN (1) | CN1988117B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7667260B2 (en) * | 2006-08-09 | 2010-02-23 | Micron Technology, Inc. | Nanoscale floating gate and methods of formation |
KR100779360B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2007-11-23 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 게이트 형성 방법 |
US8686492B2 (en) * | 2010-03-11 | 2014-04-01 | Spansion Llc | Non-volatile FINFET memory device and manufacturing method thereof |
US8692353B2 (en) * | 2011-09-02 | 2014-04-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor structure and method |
JP2013065799A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-11 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
US8877614B2 (en) | 2011-10-13 | 2014-11-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Spacer for semiconductor structure contact |
CN112652528B (zh) * | 2019-10-11 | 2022-07-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 埋入式栅极结构及其制作方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5633424A (en) * | 1994-12-29 | 1997-05-27 | Graves; Clinton G. | Device and methods for plasma sterilization |
JPH10289990A (ja) | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
TW484228B (en) * | 1999-08-31 | 2002-04-21 | Toshiba Corp | Non-volatile semiconductor memory device and the manufacturing method thereof |
JP2001168306A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR100355238B1 (ko) | 2000-10-27 | 2002-10-11 | 삼성전자 주식회사 | 플레쉬 메모리 소자의 셀 제조 방법 |
KR100426487B1 (ko) | 2001-12-28 | 2004-04-14 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 소자의 플로팅 게이트 형성 방법 |
US6818553B1 (en) * | 2002-05-15 | 2004-11-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Etching process for high-k gate dielectrics |
JP3917063B2 (ja) | 2002-11-21 | 2007-05-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100537277B1 (ko) * | 2002-11-27 | 2005-12-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조 방법 |
DE10319136B4 (de) * | 2003-04-28 | 2008-06-12 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Verfahren zur Herstellung einer Metallisierungsschicht mit einer mit Stickstoff angereicherten Barrierenschicht mit kleinem ε |
KR100490288B1 (ko) | 2003-06-30 | 2005-05-18 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 소자 제조 방법 |
KR100578656B1 (ko) | 2003-06-30 | 2006-05-11 | 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. | 플래시 메모리 소자의 플로팅 게이트 형성방법 |
JP2005079165A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置とその製造方法、電子カードおよび電子装置 |
KR100562674B1 (ko) | 2003-11-03 | 2006-03-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 소자의 제조 방법 |
JP3966850B2 (ja) | 2003-11-20 | 2007-08-29 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
KR20060008555A (ko) * | 2004-07-21 | 2006-01-27 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
KR100605510B1 (ko) * | 2004-12-14 | 2006-07-31 | 삼성전자주식회사 | 제어게이트 연장부를 갖는 플래시메모리소자의 제조방법 |
-
2005
- 2005-12-23 KR KR1020050128763A patent/KR100650857B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-16 JP JP2006167099A patent/JP2007173763A/ja active Pending
- 2006-06-30 US US11/479,084 patent/US8048739B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-13 CN CN2006100988261A patent/CN1988117B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8048739B2 (en) | 2011-11-01 |
US20070148864A1 (en) | 2007-06-28 |
KR100650857B1 (ko) | 2006-11-28 |
KR20060001994A (ko) | 2006-01-06 |
CN1988117A (zh) | 2007-06-27 |
CN1988117B (zh) | 2011-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7183174B2 (en) | Flash memory device and method of manufacturing the same | |
JP2007013077A (ja) | Nand型フラッシュメモリ素子、その製造方法およびその駆動方法 | |
US20060141766A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2009010326A (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
JP2007180482A (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
JP2007173763A (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
JP2007214536A (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
JP2012019184A (ja) | 半導体素子のパターン形成方法 | |
JP2009094452A (ja) | 非揮発性メモリ素子及びその製造方法 | |
JP2007165829A (ja) | フラッシュメモリ素子のゲート形成方法 | |
JP2007013170A (ja) | フラッシュメモリ素子、その駆動方法および製造方法 | |
KR20060099157A (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조 방법 | |
KR20060075442A (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 | |
JP2008118100A (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
KR100719738B1 (ko) | 플래쉬 메모리 소자, 그 구동 방법 및 제조 방법 | |
JP2009021489A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR100824918B1 (ko) | 플래쉬 메모리 셀 및 그 제조 방법 | |
KR100702778B1 (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 | |
KR100833443B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 | |
KR20070062017A (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 | |
KR100784078B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | |
KR100739961B1 (ko) | 낸드 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 | |
JP2009111341A (ja) | 半導体素子のゲート形成方法 | |
KR20070076625A (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
KR20070064873A (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조 방법 |