JP2007127637A - 表面分析用分光装置と分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一次粒子による分光装置(10)は、試料表面に対してほぼ垂直な試料観測と二次荷電粒子捕集を実現する。捕集チャンバ(22)は、放出された粒子を、第一の垂直軸(24)に沿って下流方向に集束させ、これによって荷電粒子の光学クロスオーバ地点(25)を画定する二次荷電粒子レンズ装置(20)と、レンズ装置の下流にあり、結像光(41)を受け取り、これを第二の垂直軸(42)から遠ざけるように反射して、表面の観測可能な画像を提供するよう構成された光反射光学素子(50)をクロスオーバ地点(25)またはその付近に配置し、貫通する穴(52)を有し、集束した粒子が、光学素子によってほぼ遮ぎられることなく、下流での分光分析を受けるために開口部を通過するようになっている。
【選択図】図1
Description
Claims (20)
- 試料表面に一次粒子を照射することによって前記試料の表面を分析するための分光装置であって、
前記試料表面からの二次荷電粒子と結像光を受け取る捕集チャンバを備え、前記捕集チャンバは使用時に前記試料表面にほぼ垂直な第一の軸を有し、前記捕集チャンバは、
前記放出された二次荷電粒子の少なくとも一部を、前記第一の軸に沿って下流方向に集束させ、これによって荷電粒子光学クロスオーバ地点を画定するよう構成された二次荷電粒子レンズ装置と、
前記二次荷電粒子レンズ装置の下流に設置され、使用時に前記試料表面にほぼ垂直となる第二の軸を有する光反射光学素子を備え、前記光学素子は、前記試料表面からの結像光を受け取り、この光を前記第二の軸から遠ざけるよう反射し、前記試料表面の観測可能な画像を提供するよう構成されており、
前記光学素子は、前記荷電粒子光学クロスオーバ地点またはその付近に設置され、前記光学素子はこれを貫通する開口部を有し、前記集束した二次荷電粒子の少なくとも一部が、下流での分光学的分析を受けるために、前記光学素子による障害をほぼ受けることなく、前記開口部を通過することを特徴とする分光装置。 - 請求項1に記載の分光装置であって、
前記光反射光学素子は、前記試料表面から結像光を直接受け取るよう構成されていることを特徴とする分光装置。 - 請求項1に記載の分光装置であって、
前記開口部は、前記第一の軸にほぼ平行な側壁によって画定されることを特徴とする分光装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の分光装置であって、
前記光学素子は鏡であることを特徴とする分光装置。 - 請求項4に記載の分光装置であって、
さらに、前記鏡を含み、前記第二の軸と平行でない第三の結像光軸を有する光学顕微鏡を備え、
前記鏡は、前記試料の前記表面から発せられる結像光の方向を、前記第二の軸から遠ざけるように変え、前記光が前記第三の軸を中心に配列されるように構成されていることを特徴とする分光装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の分光装置であって、
前記開口部は楕円形であることを特徴とする分光装置。 - 請求項5または6のいずれかに記載の分光装置であって、
前記捕集チャンバは、前記第三の結像光軸をほぼ中心として配置された光透過性を有する窓を備える側壁を有し、前記鏡が結像光の方向を変え、前記窓から前記チャンバの外へと向かわせることを特徴とする分光装置。 - 請求項7に記載の分光装置であって、
前記窓は光学レンズ素子であることを特徴とする分光装置。 - 請求項4から8のいずれかに記載の分光装置であって、
前記鏡は、集束素子として作用するような形状であることを特徴とする分光装置。 - 請求項5から9のいずれかに記載の分光装置であって、
前記光学顕微鏡はさらに、
前記試料表面に照明光を供給する光源と、
前記結像光学軸に対して斜めに配置され、前記光源からの照明光を受け取り、前記照明光の方向を変えて前記鏡に向かわせ、ほぼ垂直な照明が前記試料表面に供給されるよう構成された、部分的に反射する素子を備えることを特徴とする分光装置。 - 請求項5から10のいずれかに記載の分光装置であって、
前記顕微鏡はさらに、前記試料表面の観測対象点の画定において使用される参照パターン発生器を備えることを特徴とする分光装置。 - 請求項1から11のいずれかに記載の分光装置であって、
前記捕集チャンバは一体鋳造構造であることを特徴とする分光装置。 - 請求項1から12のいずれかに記載の分光装置であって、
a)前記捕集レンズ装置が前記二次荷電粒子を、下流での処理のために前記開口部に向かって集束させることと、
b)前記光学素子が前記試料の前記表面から結像光を受け取り、前記表面の観測可能な画像を提供すること
を同時に行えるよう構成されていることを特徴とする分光装置。 - 請求項1から13のいずれかに記載の分光装置であって、さらに、
前記試料表面を照射するための一次粒子源と、
前記開口部の下流にあり、そこから、分光エネルギー分析または分光質量分析を行うために二次荷電粒子を受け取るよう構成された分光分析器と、
を備えることを特徴とする分光装置。 - 請求項1から14のいずれかに記載の分光装置であって、
前記第一と第二の軸はほぼ一致することを特徴とする分光装置。 - 表面分析分光の方法であって、
試料の表面を照射し、前記表面から二次荷電粒子を放出させるステップと、
前記放出された二次粒子の少なくとも一部を、前記試料表面に対してほぼ垂直な第一の軸を中心として配置された捕集チャンバ内に集めるステップと、
前記捕集された二次粒子を、二次荷電粒子レンズ装置を使い、前記第一の軸に沿って下流方向に集束させ、荷電粒子光学クロスオーバ地点を画定するステップと、
前記二次荷電粒子レンズ装置の下流に設置され、前記試料表面に対してほぼ垂直な第二の軸をほぼ中心として整列される光反射光学素子において、前記試料表面から放出された結像光を受け取るステップと、
前記受け取った結像光を反射して、前記第二の軸から遠ざけ、前記試料表面の観測可能な画像を提供するステップを含み、
前記光学素子は、前記荷電粒子光学クロスオーバ地点またはその付近に配置され、前記光学素子は、これを貫通する開口部を備え、前記集束した二次荷電粒子の少なくとも一部が、ほぼ前記光学素子によって遮られることなく、下流での分光学的分析のために前記開口部を通過するようになっていることを特徴とする方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記結像光は前記試料表面から直接受け取られることを特徴とする方法。 - 表面分析分光の方法であって、
前記捕集チャンバにおいて、
a)試料表面から放出された二次荷電粒子を、二次荷電粒子レンズ装置を使って集束させ、前記集束した二次荷電粒子は、前記二次荷電粒子レンズ装置の下流の荷電粒子光学クロスオーバ地点を画定し、前記集束した二次荷電粒子を、前記試料表面に対してほぼ垂直な第一の軸をほぼ中心として配置され、前記荷電粒子光学クロスオーバ地点またはその付近に位置づけられた開口部から受け取り、前記受け取った二次粒子を分光学的に分析するステップと、
b)前記開口部周辺で、前記試料表面から放出された結像光を受け取り、前記受け取った結像光を結像して、前記表面の観測可能な画像を提供するステップを、
同時に行うことを特徴とする方法。 - 試料の表面分析のための分光装置であって、
一次粒子源による照射を受けるために試料の表面が設置される分析エリアと、
前記試料の前記表面から放出される二次荷電粒子を受け取るための捕集チャンバを備え、前記捕集チャンバは、その中を通る第一の軸を有し、前記軸は前記分析エリアに対してほぼ垂直であり、前記捕集チャンバは、
使用時に、前記試料の前記表面から受け取った結像光の少なくとも一部を、前記補修チャンバの下流側終端に向けて集束または収束させ、前記表面の観測可能な画像を提供する光学レンズ装置と、
前記第一の軸をほぼ中心として配置され、使用時に、前記放出された二次荷電粒子の少なくとも一部を、軸外れの出口開口部に向けて集束または収束させ、前記集束または収束した二次荷電粒子の少なくとも一部が、下流での分光分析を受けるために前記開口部を通過するように構成された荷電粒子鏡を備えることを特徴とする分光装置。 - 請求項19に記載の分光装置であって、
前記荷電粒子鏡はメッシュ素子であることを特徴とする分光装置。
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