JPH04249843A - 反射電子検出器 - Google Patents

反射電子検出器

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JPH04249843A
JPH04249843A JP2333696A JP33369690A JPH04249843A JP H04249843 A JPH04249843 A JP H04249843A JP 2333696 A JP2333696 A JP 2333696A JP 33369690 A JP33369690 A JP 33369690A JP H04249843 A JPH04249843 A JP H04249843A
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JP
Japan
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electron beam
scintillators
backscattered electron
electron
electron detector
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JP2333696A
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English (en)
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Kikuhiro Hikita
疋田　喜久博
Jirou Toumatsu
等松　治郎
Shoji Shimakura
島倉　昌二
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Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
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Publication date
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    • H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電子顕微鏡など電子線装置の反射電子の検
出を有効に行うための反射電子検出器に関する。
〔従来の技術〕
従来の電子顕微鏡など電子線装置の反射電子検出器とし
ては、半導体を利用したタイプと、シンチレータを利用
したタイプがあり、シンチレータを利用したタイプとし
ては、第７図に示すようなものがある。
電子顕微鏡の試料室１の上方に対物レンズ２があり、対
物レンズ２を通過して放射される電子線３は試料４を照
射し、試料４から反射される反射電子５がシンチレータ
６の螢光体などを塗布した反射電子受感部７に当って光
が放出され、その光を光電子倍増管８や増幅器９を組合
せて構成した反射電子検出器１０によって検出するよう
になっている。
〔発明が解決しょうとする課題〕
ところでこのような、従来のシンチレータ６にあっては
、電子線３は第８図に示すように、シンチレータ６にあ
けられた孔６ａを通過して試料４を照射するが、それに
よって発生した反射電子５がシンチレータ６の反射電子
受感部７のうち、反射電子検出器８の本体側７ａに当っ
たものは、直接反射電子検出器８で捕捉され高い効率で
検出される。しかし反射電子受感部７のうち、反射電子
検出器１０本体と反対側７ｂに当って発生した光は、光
路が複雑なため端面からの透過、反射、散乱などにより
、光電子倍増管８に到達せず、従って検出されないこと
になる。このように反射電子５はシンチレータ６の反射
電子受感部７により全面的に捕捉されるのでなく、反射
電子受感部７の反射電子検出器１０本体側７ａによって
のみ捕捉されるので検出効率も悪く、大幅な検出効率の
向上は期待できないという問題があった。この発明はこ
のような従来の課題に着目してなされたもので、シンチ
レータ６の検出効率を増大させ、検出効率を向上させる
ことができる反射電子検出器を得ることをその目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記の課題を解決するための手段として、その
構成を、シンチレータ、光電子倍増管、増幅器によって
構成した電子線装置の反射電子検出器において、対物レ
ンズと試料との間の位置に、複数個のシンチレータを受
感部を互いに近接させて配置し、互いに近接した該受感
部の対向部に、電子線通過用切欠部を設けることとした
。
〔作用〕
次に本発明の作用を説明する。電子線装置の反射電子検
出器は、対物レンズと試料との間の位置に、複数個のシ
ンチレータを受感部を互いに近接させて装着したので、
シンチレータの反射電子検出器の本体側はそのまゝの形
で残るが、シンチレータの反射電子検出器の反対側の受
感部は必然的に消滅し、直接反射電子検出器で捕捉され
て高い効率で検出される本体側の受感部のみで検出され
ることになり、また互いに近接した受感部の近接部に、
電子線通過用切欠部が設けられているため、複数個のシ
ンチレータの受感部が互いに近接していても、その切欠
きが通孔となって電子線は受感部の間を通過することが
できる。
〔実施例〕
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の実施例を示す図で、従来技術と同様に
、電子顕微鏡の試料室１１の上方に対物レンズ１２があ
り、対物レンズ１２を通過して放射される電子線１３は
試料１４を照射し、試料１４から反射される反射電子１
５がプラスチックシンチレータ１６の反射電子受感部１
７によって検出されて光が放出され、その光を光電子倍
増管１８や増幅器１９を組合せて構成した反射電子検出
器２０によって検出するものである。そして対物レンズ
１２と試料１４との間の位置に、第２図に示すように、
２個のプラスチックシンチレータ１６を、電子線１３が
通過する中心線に対称の位置に、受感部１７を互いに近
接させて配置する。
従って受感部１７の反射電子検出器２０から遠い部分は
消滅し、反射電子検出器２０の本体に近い側の受感部１
７ａのみが残ることになる。また互いに近接したプラス
チックシンチレータ１６の受感部１７の近接する部分２
１の中央部に、電子線通過用の切欠部である凹部２２を
設けて、２個の受感部１７が互いに近接しても、電子線
の通過の妨げとならないようになっている。なお複数個
のプラスチックシンチレータ１６の受感部１７は、互い
に近接して隙間がなくなり接触してもよく、その場合は
凹部２２の切欠の量を少し多くして、接触部に孔があい
た状態となる。
また反射電子検出器２０は、これを使用しないときには
、Ｘ線検出器やカソードルミネッセンス検出器を取付け
る場合もあるから、試料室１１の壁面に対して進退自在
になっており、第３図に示すように、受感部１７が試料
室１１の内壁１１ａの付近まで移動できるようになって
いる。
さらに受感部１７の電子線が当る部分は、凹状に湾曲し
ており、電子線が外部に漏れないようにして検出効率を
向上させると共に、試料１４が傾斜したときにも、十分
に電子線を検出できるようになっている。
上記のような構成によって、受感部１７の反射電子検出
器２０の本体側１７ａのみが残り、光路が複雑なため端
面からの透過、反射、散乱などにより反射電子検出器２
０の光電子倍増管１８に到達しない受感部１７の反射電
子検出器２０から遠い側の受感部はなくなるので、直接
反射電子検出器２０で捕捉されて高い効率で検出される
本体側受感部１７ａのみで検出することになる。また互
いに近接した受感部１７の対向部２１の中央に、電子線
通過用凹部２２が設けられているため、２個のプラスチ
ックシンチレータ１６の受感部１７が互いに近接してい
ても、その凹部２２が通孔となって電子線は２個の受感
部１７の間を通過することができる。
上記の実施例は２個の反射電子検出器２０が、電子線軸
に対して互いに対称の位置に設けられる場合について述
べたが、第４図に示すように、２個の反射電子検出器２
５，２６の中心線が必ずしも一直線にならなくてもよい
。更に反射電子検出器２０は２個以上複数個設けてもよ
く、例えば第５図に示すように、４個の反射電子検出器
３１，３２，３３，３４が、電子線１３の通路を中心と
した位置に、互いに衝合するように取付けてもよい。ま
た上記の実施例ではシンチレータとしてプラスチックシ
ンチレータを用いるものについて述べたが、プラスチッ
クシンチレータに限定されるものではなく、ガラス製や
、プラスチックとガラスの複合体から成るのもの等でも
よい。
第６図は試料室１１の、対物レンズ１２と試料１４との
間における断面図で、反射電子検出器の取付用として多
数のポートが開けられているものを示している。第４図
の実施例はこれらのポートのうち、ポート３及びポート
７に、反射電子検出器２５，２６を取付けた場合であり
、第５図の実施例は４個の反射電子検出器３１，３２，
３３，３４が、それぞれポート■、ポート■ポート■及
びポート■に取付けられた使用例である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明によれば、シンチレータ
、光電子倍増管、増幅器によって構成した電子線装置の
反射電子検出器において、対物レンズと試料との間の位
置に、複数個のシンチレータを受感部を互いに近接させ
て配置し、互いに近接した該受惑部の対向部に、電子線
通過用切欠き部を設けたので、光路が複雑なため端面か
らの透過、反射、散乱などにより反射電子検出器の光電
子倍増管に到達しないような受感部はなくなり、直接反
射電子検出器で捕捉されて高い効率で検出される受感部
のみで検出することになって、効率の高い反射電子検出
器を得ることができる。またシンチレータを複数個設け
るので、検出出力は複数個の個数だけ倍増され、感度が
向上した反射電子検出器が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例に係る反射電子検出器の側面図
、第２図は第１図の反射電子検出器のシンチレータ部の
平面図、第３図は反射電子検出器を後退させた場合の側
面図、第４図は本発明の他の実施例のシンチレータ部の
平面図、第５図は本発明の更に他の実施例のシンチレー
タ部の平面図、第６図は試料室の対物レンズと試料との
間における横断面図、第７図は従来の反射電子検出器と
その試料室への取付状態を示す側面図、第８図は第７図
の反射電子検出器のシンチレータ部の縦断面図である。 １１…試料室 １２…対物レンズ １４…試料 １６…シンチレータ １７…シンチレータ受感部 １８…光電子倍増管 １９…増幅器 ２０…反射電子検出器 ２１…受感部の対向部 ２２…切欠き部（凹部） 特許出願人　株式会社　エービーティ 代　理　人　弁理士　土橋　皓

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. シンチレータ、光電子倍増管、増幅器によって構成した
    電子線装置の反射電子検出器において、試料室の対物レ
    ンズと試料との間の位置に、複数個のシンチレータを受
    感部を互いに近接させて配置し、互いに近接した該受感
    部の対向部に、電子線通過用切欠部を設けたことを特徴
    とする電子線装置の反射電子検出器。
JP2333696A 1990-11-30 1990-11-30 反射電子検出器 Pending JPH04249843A (ja)

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JP2333696A JPH04249843A (ja) 1990-11-30 1990-11-30 反射電子検出器
US07/800,570 US5198675A (en) 1990-11-30 1991-11-27 Backscattered electron detector for an electron beam apparatus

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