JP3719794B2 - 反射電子検出装置及びそれを有する走査型電子顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は、反射電子検出器を備えた走査型電子顕微鏡装置、特にプラスチックシンチレータを備えた走査型電子顕微鏡装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
走査型電子顕微鏡装置では、電子線の走査により、試料から発生する2次電子を検出して試料表面の画像観察を行なうのと同時に、試料から発生する反射電子やX線を検出して、試料表面の反射電子像観察やX線分析を行っている。
【0003】
このような走査型電子顕微鏡装置において、上記反射電子を検出する検出器として、図5に示すようなプラスチックシンチレータを使用した反射電子検出器がある。
この反射電子検出器50は、プラスチックシンチレータで形成され、電子線プローブ通過用の孔51aを開設した検出部51と、光電増倍管(PMT)55と、信号増幅器56とからなる。
【0004】
この反射電子検出器50は、検出部51の先端を試料52と対物レンズ53との間に配置し、試料52からの反射電子54を検出部51で光に変換して、この光を検出部51の基部に導き、光電増倍管(PMT)55で増幅し、反射電子信号を得、該信号を増幅器(AMP)56で増幅して、電子線プローブの走査に同期して表示装置(CRT)57に表示するものである。
このように試料の反射電子を観察解析することにより、試料52表面形状の凹凸像や試料52の組成分布についての情報を得ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような走査型電子顕微鏡装置において、試料上どの位置を観察しているかを特定するため、または試料上の観察希望部位を電子線走査領域の中心付近に位置させ、速やかに目的部位の走査電子顕微鏡像を得ることを目的として、光学顕微鏡によって試料を観察することがある。
【0006】
このような光学顕微鏡は、走査型電子顕微鏡装置の対物レンズ53の斜め側方から、試料52を見込むようにして観察する。
【0007】
光学顕微鏡の観察方向は、試料に対して垂直方向、即ち電子線プローブの照射角度に近い位置にすることが望ましい。光学顕微鏡での観察像と、走査型電子顕微鏡装置での観察像とを画像の位置関係(上下左右)において一致させて、最初に視野の広い光学顕微鏡装置で目的とする観察部位を位置合わせすることにより、その後走査型電子顕微鏡に切換観察することで目的部位の観察が容易に素早くできるからである。
【0008】
また、このような走査型電子顕微鏡にあっては、上述したように2次電子線の検出、及び反射電子の検出による観察の他、試料から発生するX線を検出して元素分析を行なうエネルギー分析型X線元素分析装置(EDX)が使用される。この場合には、試料室内にX線検出器を配置する必要がある。
そして、このX線検出器も効率よくX線を検出するため、試料上のプローブ照射個所に対してなるべく大きい立体角でX線の検出面を設けることが望ましい。
【0009】
一方、反射電子検出器の検出部51は、反射電子が試料52から放射状に放出されるため、できでだけ試料52を覆うように配置するほうがよい。
【0010】
そこで、本発明は、試料位置特定用の光学顕微鏡の見込み角を大きくでき、また元素分析装置のX線検出器の検出面が試料の観察点に対してできるだけ広い立体角と見込み角を有するように配置でき、かつ反射電子検出器が試料から放出される反射電子を多く取り込むことができるような走査型電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明における請求項1に係る反射電子検出装置は、対物レンズ(14)と試料(5)との間に配置され、反射電子を検出するためのシンチレータ(17a)を有する反射電子検出装置(17)において、前記シンチレータ(17a)の先端部(38)に前記対物レンズ(14)の頂面(14a)の半径と同一半径20mmをなす半円形状部(44)を設け、この半円形状部(44)の厚みを3mmにし、前記先端部(38)の周端部の少なくとも一部に前記対物レンズ(14)の傾斜面(14b)と同一の傾斜になる電子線軸から60°傾斜した切欠面(39)を設け、さらに前記先端部(38)には電子線を透過させる電子線透過孔(40)を設け、この電子線透過孔(40)から下方に向けて拡がる拡開凹部(41)を設けたことを特徴とするものである。
【0012】
本出願の請求項2に係る走査型電子顕微鏡装置は、請求項1記載の反射電子検出装置(17)を備えたことを特徴とするものである。
本出願の請求項3に係る走査型電子顕微鏡装置は、光学顕微鏡(19)を備えたことを特徴とするものである。
本出願の請求項4に係る走査型電子顕微鏡装置は、2次電子検出器(7)を備えたことを特徴とするものである。
本出願の請求項5に係る走査型電子顕微鏡装置は、X線分析装置(EDX)およびX線検出器(42)を備えたことを特徴とするものである。
【0019】
〔本発明の作用〕
本発明に係る走査型電子顕微鏡によれば、反射電子検出器17の先端部38に対物レンズ14の頂面14aの半径と略同一半径をなす半円形状部44を設け、また、半円形状部44の周端面の少なくとも一部に上記対物レンズ14の傾斜面14bの延長面に沿う切欠面39を形成している。
【0020】
このため、反射電子検出器17の先端部38は、対物レンズ14の頂面14aより外側にはみ出ないので、他の検出器、例えば2次電子検出器7、光学顕微鏡19やX線分析装置42は、反射電子検出器17の配置に伴う制約をうけることがなくなり、最適な位置に配置できる。
【0021】
特に、光学顕微鏡19は、反射電子検出器17の先端部38に切欠面39を設けた方向から試料5を観察するものとでき、反射電子検出器17の先端部38を視野に入れることなく、取りうる最大の見込み角、即ち対物レンズ14の傾斜面14bに沿った方向から試料5を観察できる。
【0022】
さらに、本発明の走査型電子顕微鏡装置の反射電子検出器17の先端部38には電子線を透過させる電子線透過孔40を中心に下方に向け拡がる拡開凹部41を設けているから、この拡開凹部41は試料5の電子線プローブの照射点を包み込むように配置され、反射電子を効率よく捕捉することができる。
【0023】
【実施の形態】
以下、この発明に係る走査型電子顕微鏡装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0024】
〔発明の実施の形態の構成〕
図1乃至図4は、本発明に係る走査型電子顕微鏡装置の実施形態を示す構成図である。
本例は、特許請求の範囲の請求項1、請求項2、請求項3、請求項4及び請求項5に相当する。
【0025】
まず、本例にかかる走査型電子顕微鏡装置の全体構造を説明する。
図4に示すように、走査型電子顕微鏡装置3は、電子線を発する電子銃1、該電子銃1より射出された電子線を試料面にプローブとして収束させて走査する電子線収束走査機構を具備した鏡筒3aが試料室4の上面に立設されて構成される。
【0026】
試料室4の内部には、移動可能に設けられた試料ステージ15上の試料台16に試料5が載置され、これに電子線プローブが走査される。試料室4には、前記試料5から発生される2次電子を捕捉する2次電子検出器7、反射電子を捕捉するプラスチックシンチレータを使用した反射電子検出器17、EDXのX線検出器42(図3参照、図4には図示していない)、試料の表面を光学的に観察する長焦点距離の光学顕微鏡19、及び試料の交換を行なう試料出入部43(図3参照、図4には図示していない)を備える。
【0027】
この例では、試料室4の上面からその下端部が試料室4内に突出した鏡筒3aが立設され、該鏡筒3a内部には、上方から電子銃1、第1コンデンサレンズ11、第2コンデンサレンズ12、走査コイル13、対物レンズ14が順次配設されている。
【0028】
また、前記鏡筒3aの下方下端には試料ステージ15がX,Y軸方向、回転、傾斜、上下方向の移動機構を介して任意の方向に傾動自在に設けられ、該試料ステージ15の上面に設けられる試料台16には、試料5が載置され、該試料ステージ15は前記鏡筒3a下端の直下に位置する。
【0029】
前記試料室4の上角部には、光学顕微鏡取付け窓18が設けられ、光学顕微鏡19が備え付けられている。
該光学顕微鏡19は焦点距離が長いもの、例えば100mm以上の焦点距離を有するものが用いられ、焦点位置は前記試料5の表面に合致する。また、光学顕微鏡19の視野は試料台16の全域をカバーできる広さを有するものとし、肉眼での観察に近づけるため、15mmφ〜30mmφ程度の領域を最大視野としている。更に、光学顕微鏡19はズーム機構を具備するものとしている。
【0030】
前記光学顕微鏡19の視野は、同軸照明系により照明される。即ち、前記光学顕微鏡19の内部にはハーフミラー20が設けられ、該ハーフミラー20に対向して同軸照明ユニット21が連接されている。該同軸照明ユニット21には、白熱灯等の光源を有する冷光照明光源22からの照明光がファイバケーブル23を介して導かれ、照明光は、前記ハーフミラー20で光学顕微鏡19の光軸と一致した方向に反射され、前記試料5に導かれる。
【0031】
また、前記光学顕微鏡の接眼レンズ側には、CCD撮像素子24等の撮像手段が設けられ、光学顕微鏡19で得られた像は、前記CCD撮像素子24で信号化され、カラーモニタ25で画像として表示されると共に、画像処理装置26に入力される。
画像処理装置26は、画像記憶手段(図示していない)を有し、前記光学顕微鏡19で得られた画像を格納でき、カラーモニタ25には格納した画像を適宜表示できる。
【0032】
前記2次電子検出7、反射電子検出器17はスイッチング回路27を介して信号増幅器28に接続され、前記2次電子検出器7、反射電子検出器17からの信号は前記信号増幅器28、前記画像処理装置26を介してカラーモニタ25及びCRT29等の映像表示手段に入力される。該CRT29の走査回路30は前記走査コイル13を同時に駆動し、前記走査コイル13の走査に同期してCRT29の走査を行なう。
【0033】
次に、本発明に係る走査型電子顕微鏡3の反射電子検出器17について説明する。
図1(1)は、この反射電子検出器17を対物レンズ14と試料台16と共に示す側面図である。また、図1(2)は反射電子検出器17を下側(図1(1)中ii方向)から見た図であり、図3は該反射電子検出器17の拡大断面図である。
【0034】
この反射電子検出器17は、対物レンズ14の頂面14aの下側に設けられ、試料5からの反射電子を検出するものである。
この例において、対物レンズ14は、図1(1)に示すように、先窄まりの截頭円錐形であり、その電子軸からの傾斜角θは、例えば60°であり、その頂面14aの直径dは20mmである。
【0035】
そして、本例に係る反射電子検出器17はシンチレータ17aと光電子増倍管(PMT)と、前置増幅器(プリアンプ)とから構成されている。シンチレータ17aは従来例として説明した反射電子検出器と同様にシンチレーションプラスチックで構成され、シンチレータ17aの先端部38には、図1(1),(2)、及び図2に示すように、上記対物レンズ14の頂面14aの半径と同一の半径d(20mm)をなす半円形状部44を形成すると共に、該半円形状部44の先端を上記対物レンズ14の傾斜面14bの延長面と略同一の傾斜面とした切欠面39を設けている。
【0036】
この切欠面39は、上記対物レンズ14の傾斜面14bの延長面と略同一即ち電子線軸から60°(水平面から30°)に傾斜するように設けている。
なお、この先端部38の半円形状部44の厚みは、薄いほうが望ましく、この例では3mmである。
【0037】
また、この例の反射電子検出器17の先端部38には、電子線プローブを透過させる電子線透過孔40を開設し、この電子線透過孔40を中心として下方に向け拡がる逆漏斗状の拡開凹部41を設けている。
【0038】
図3は、本例に係る走査型電子顕微鏡装置3の各種検出器の配置状態を示す概略図である。
本例では、試料室4には、試料室内に試料5を交換して設置するための試料出入部43、上述した反射電子検出器17、2次電子検出器7、X線検出器42及び光学顕微鏡19が配置されている。
光学顕微鏡19は、上記反射電子検出器17の先端部38の傾斜面39を設けた方向から電子線軸と試料上5で交差する光軸を有するものとしている。
【0039】
即ち、光学顕微鏡19は、反射電子検出器17の挿入位置と、電子線軸に対して対称な位置に配置される。また、反射電子検出器17から試料出入部43の反対側に30°離れた位置に、2次電子検出器7が配置され、さらに、光学顕微鏡19から試料出入部からの反対側に30°離れた位置にEDXのX線検出器42が配置されている。
【0040】
上記実施例では、X線検出器42及び2次電子検出器は反射電子検出器17と光学顕微19を結ぶ直線から30°離れた位置に配置しているが、これらの配置位置はこの例には限定されない。
【0041】
即ち、本例にかかる走査型電子顕微鏡装置3の反射電子検出器17は、先端部を半円形状部44としたシンチレータ17aを有し、対物レンズの傾斜面14bの傾斜角と略等しい角度の傾斜面をその先端部に設けているから、他の検出器をこの反射電子検出器17に対してどのような角度に配置しても、検出効率を高く保つことができる。
【0042】
なお、光学顕微鏡19の設置位置は、試料の移動方向及び電子顕微鏡の走査方向と、光学顕微鏡19の画像観察面との上下左右の関係を一致させる便宜上、光学顕微鏡は上記実施例の設置位置に設置するのがよい。
【0043】
また、切欠面39の形成位置は、この例に限定されることなく、他の部分及び、複数個所または全周に渡って設けてもよい。
【0044】
〔実施の形態の作用、効果〕
このように、本例に係る走査型電子顕微鏡によれば、プラスチックシンチレータを備えた反射電子検出器17の先端部38を対物レンズ14の頂面14aの半径と略同一半径をなす半円形状部44とし、さらに、円盤形状の先端部38の周端面の少なくとも一部を上記対物レンズ14の傾斜面14bの延長面に沿う切欠面39を形成したので、反射検出器17の先端の周縁においては、反射電子検出器の先端部38が対物レンズ14の頂面14aより外側に張り出すことがなく、他の検出器、例えばX線検出器42等は、反射電子検出器17の配置に伴う制限をうけることがなくなり、最大の検出効率を得る位置に配置できる。
【0045】
殊に、光学顕微鏡19は、反射電子検出器17の先端部38の切欠面39を設けた方向から試料5を観察するものとしているので、反射電子検出器17の先端部38を視野に入れることなく、取りうる最大の見込み角で試料5を観察でき、画像の歪みを少なくし、焦点の合致範囲を大きなものとできる。
この状態を、この切欠面39がない状態(図1に仮想線で示した)に比べると、切欠面を形成しない場合に比べて図上角度αだけ見込み角が大きくなることがわかる。
【0046】
さらに、本発明の走査型電子顕微鏡装置は、反射電子検出器17の先端部38に電子線を通過させる電子線通過孔40を中心に下方に向け拡がる拡開凹部41を設けたので、反射電子を効率よく捕捉することができる。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の反射電子検出装置では、対物レンズと試料との間に配置され、反射電子を検出するためのシンチレータを有する反射電子検出装置において、前記シンチレータの先端部に前記対物レンズの頂面の半径と同一半径20mmをなす半円形状部を設け、この半円形状部の厚みを3mmにし、前記先端部の周端部の少なくとも一部に前記対物レンズの傾斜面と同一の傾斜になる電子線軸から60°傾斜した切欠面を設け、さらに前記先端部には電子線を透過させる電子線透過孔を設け、この電子線透過孔から下方に向けて拡がる拡開凹部を設けたことにより、反射検出器の先端に形成された半円形状部の周縁においては、先端部が対物レンズの頂面より外部に出ることがなく、他の検出器、例えば2次電子検出器、X線分析装置のX線検出器は、反射電子検出器の影響を受けることが少なくなり、最大の検出効率を得ることができる位置に配置できる。
また、光学顕微鏡は、反射電子検出器の先端部の切欠面を設けた方向から試料を観察できるので、反射電子検出器の先端部を視野に入れることなく、取り得る最大の見込み角から試料を観察できる。
さらにまた、反射電子検出器の先端部には電子線を通過させる電子線通過孔を中心に下方に向け拡がる拡開凹部を設けているので、反射電子を効率良く補足することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る走査型電子顕微鏡装置の実施の形態を示す図であり、(1)は側面図、(2)は、(1)に示した走査型電子顕微鏡装置の反射電子検出器を示す(1)中のii矢視図である。
【図2】図1に示した走査型電子顕微鏡装置の反射電子検出器の図1(2)中のII−II線断面図である。
【図3】図1に示した走査型電子顕微鏡装置の試料室の各検出器の配置の一例を示す平面概略図である。
【図4】図1に示した走査型電子顕微鏡装置の全体構成を示すブロック図である。
【図5】従来の走査型電子顕微鏡装置の反射電子検出器を示す斜視図である。
【符号の説明】
3 走査型電子顕微鏡装置
5 試料
7 2次電子検出器
14 対物レンズ
14a 頂面
14b 傾斜面
17 反射電子検出器
19 光学顕微鏡
38 先端部
39 切欠面
40 電子線通過孔
41 拡開凹部
42 X線検出器
43 試料出入部
44 半円形状部
Claims (5)
- 対物レンズ(14)と試料(5)との間に配置され、反射電子を検出するためのシンチレータ(17a)を有する反射電子検出装置(17)において、
前記シンチレータ(17a)の先端部(38)に前記対物レンズ(14)の頂面(14a)の半径と同一半径20mmをなす半円形状部(44)を設け、この半円形状部(44)の厚みを3mmにし、前記先端部(38)の周端部の少なくとも一部に前記対物レンズ(14)の傾斜面(14b)と同一の傾斜になる電子線軸から60°傾斜した切欠面(39)を設け、さらに前記先端部(38)には電子線を透過させる電子線透過孔(40)を設け、この電子線透過孔(40)から下方に向けて拡がる拡開凹部(41)を設けたことを特徴とする反射電子検出装置。 - 請求項1記載の反射電子検出装置(17)を備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
- 光学顕微鏡(19)を備えたことを特徴とする請求項2記載の走査型電子顕微鏡装置。
- 2次電子検出器(7)を備えたことを特徴とする請求項2記載の走査型電子顕微鏡装置。
- X線分析装置(EDX)およびX線検出器(42)を備えたことを特徴とする請求項2記載の走査型電子顕微鏡装置。
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