JP4004490B2 - 走査型電子顕微鏡装置 - Google Patents

走査型電子顕微鏡装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4004490B2
JP4004490B2 JP2004214292A JP2004214292A JP4004490B2 JP 4004490 B2 JP4004490 B2 JP 4004490B2 JP 2004214292 A JP2004214292 A JP 2004214292A JP 2004214292 A JP2004214292 A JP 2004214292A JP 4004490 B2 JP4004490 B2 JP 4004490B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
microscope
scanning electron
sample
image
electron microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2004214292A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004319518A (ja
Inventor
治郎 等松
Original Assignee
株式会社トプコン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社トプコン filed Critical 株式会社トプコン
Priority to JP2004214292A priority Critical patent/JP4004490B2/ja
Publication of JP2004319518A publication Critical patent/JP2004319518A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4004490B2 publication Critical patent/JP4004490B2/ja
Expired - Lifetime legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、走査型電子顕微鏡装置、特に観察に於ける視野選択を容易に行うことができる光学顕微鏡を備えた走査型電子顕微鏡装置に関するものである。
従来の光学顕微鏡を併設した走査型電子顕微鏡装置としては、例えば特許文献1に示されるものがある。該走査型電子顕微鏡装置を図11に於いて説明する。
電子線を発する電子銃1、該電子銃1より射出された電子線を試料面に対して走査する走査機構2を具備した鏡筒3aが気密な試料室4の上面に立設されて走査型電子顕微鏡3が構成され、該試料室4の内部には試料5が載置され、移動可能に設けられた試料台6、前記試料5に電子線を走査させることで発生する2次電子を捕捉する2次電子検出器7が収納されている。
更に前記試料室4の斜め上方には円筒アダプタ8が設けられ、該円筒アダプタ8にはベローズ10を介して光学顕微鏡9が光軸方向に移動可能に且気密に設けられている。該光学顕微鏡9は図示しない移動機構により光軸方向に移動され、又光学顕微鏡9の光軸は走査型電子顕微鏡の観察位置の中心に合致している。
上記走査型電子顕微鏡により試料5の観察を行う場合について説明する。
図示しない移動機構により光学顕微鏡9を2点鎖線に示す様に移動させ、試料台6を移動させて、光学顕微鏡9により試料5の表面を観察し、走査型電子顕微鏡により観察すべき位置を特定する。観察すべき位置が特定できたら前記光学顕微鏡9を後退させ、該光学顕微鏡9が走査型電子顕微鏡の電子線走査を遮ったり、前記試料5より発生する2次電子が光学顕微鏡9に衝突しない様にする。その後、前記電子銃1から電子線を発生させ、走査機構2により走査し、前記2次電子検出器7により捕捉した2次電子を基に得られる画像を図示しないCRT上に表示し観察していた。
ところが上記した従来の走査型電子顕微鏡では短焦点の光学顕微鏡の為、試料に光学顕微鏡を近付ける必要があり、光学顕微鏡9が試料室4内に収納される構成であり、光学顕微鏡9の占有空間が試料5近傍迄及び、有効な試料室4の空間が狭められてしまい、試料5を設置する空間、試料5を移動させる距離、或は試料の傾斜が制限され、2次電子、反射電子を検出する検出器を同時に設けることができず、2次電子、反射電子を同時に捕捉し、それぞれの電子に基づく画像を作成し観察に利用するということができなかった。
更に、上記従来例では走査型電子顕微鏡3の走査中心位置(電子線が試料面に照射される位置)が特定できないので、観察部位を特定することができなかった。
特開平4−308639号公報
本発明は斯かる実情に鑑み、光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用する様にすると共に、レーザ光線により走査型電子顕微鏡の走査中心位置を示し、観察部位の特定作業を容易にするものである。
本発明は、走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有しズーム機能を有する長焦点距離光学顕微鏡を、該長焦点距離光学顕微鏡の光軸が前記試料のY移動軸と前記走査型電子顕微鏡の光軸とを含む面内にあり、光学顕微鏡像が走査型電子顕微鏡像に対して天地左右が全て逆転する位置に設け、前記長焦点距離光学顕微鏡による画像を撮像する撮像手段を前記長焦点距離光学顕微鏡の接眼レンズ側に設置すると共に前記撮像手段の撮像画像が走査型電子顕微鏡像と天地左右が一致する様に設け、長焦点距離光学顕微鏡によるズームアップした画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段を設けた走査型電子顕微鏡装置に係り、又電子線を走査する走査手段を有する走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に、該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有しズーム機能を有する長焦点距離光学顕微鏡を、該長焦点距離光学顕微鏡の光軸が前記試料のY移動軸と前記走査型電子顕微鏡の光軸とを含む面内にあり、光学顕微鏡像が走査型電子顕微鏡像に対して天地左右が全て逆転する位置に設け、前記走査手段による走査軸の回転により前記長焦点距離光学顕微鏡によるズームアップした画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段を設けた走査型電子顕微鏡装置に係るものである。
本発明によれば、光学顕微鏡を試料室の外に設け、試料室に光学顕微鏡が占める空間を除去したので、試料室内の有効空間が大幅に増大し、試料台、試料等を配置する場合の制約が緩和され、レーザ光線により走査型電子顕微鏡の走査中心位置がズームアップした画像で示されるので観察部位の特定作業が容易となる。
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
図1は第1の実施の形態を示し、図中に於いて図11中で示したものと同様の構成要素には同符号を付してある。
試料室4の上面に下端部が試料室4内に突出した鏡筒3aが立設され、該鏡筒3a内部には上方より電子銃1、第1コンデンサレンズ11、第2コンデンサレンズ12、走査コイル13、対物レンズ14が順次配設されている。又、前記鏡筒3aの下端下方には試料ステージ15がX,Y軸方向、回転、傾斜、上下方向の移動機構を介して任意の方向に傾動自在に設けられ、該試料ステージ15の上面に設けられる試料台16には試料5が載置され、該試料ステージ15は前記鏡筒3a下端の直下に位置する。
前記鏡筒3aの光軸上の所要位置、例えば前記第2コンデンサレンズ12と走査コイル13との間に可動ミラー35を設け、該可動ミラー35に向かってレーザ光線を発するレーザ光線発光手段36を設ける。可動ミラー35は楕円面状のミラーを有し、挿入・引出機構と中心合わせ機構を設けるか、或は電子線を通過させるのに充分な穴を設ける。電子線の照射前に可動ミラー35を挿入し、電子線の光軸と同軸になる様に中心合わせを行う。レーザ光線発光手段36から発せられたレーザ光線は前記可動ミラー35により電子銃1の光軸と同軸になる様に調整されて試料5に向かって反射される。而して、前記可動ミラー35、レーザ光線発光手段36のレーザ光線照射手段により、走査型電子顕微鏡の走査中心位置がレーザ光線により示される。電子線の照射時には、可動ミラー35は引出され、位置合わせされた試料5の走査中心位置に電子線が照射される。或は、可動ミラー35に電子線を通過させるのに充分な穴を設け、挿入・引出機構を設けずに走査型電子顕微鏡の走査中心位置がレーザ光線により示される。尚、可動ミラー35の楕円面状のミラーによって試料5上にレーザ光線が照射される。
前記試料室4の側壁には2次電子検出器7が気密貫通して設けられ、2次電子検出器7の2次電子検出部7aは前記試料5の側方に位置する。又、試料室4の他の側壁には反射電子検出器17が気密に貫通して設けられ、該反射電子検出器17の反射電子検出部17aは鏡筒3aより射出される電子線に干渉せず光学顕微鏡の視野を遮らない位置の前記試料5の上方迄延出している。
前記試料室4の上角部には、電子線照射時に生ずるX線の漏洩を防止する鉛ガラスで気密に張設された光学顕微鏡取付け窓18が設けられ、該光学顕微鏡取付け窓18には光学顕微鏡19が立設されている。該光学顕微鏡19は焦点距離が長いもの、例えば100mm以上の焦点距離を有するものが用いられ、焦点位置は前記試料5の表面に合致する。又、光学顕微鏡19の視野は試料台16の全域をカバーできる広さを有し、肉眼での観察に近付ける為、15mmφ〜30mmφ程度の領域を最大視野としている。更に、光学顕微鏡19はズーム機構を具備している。
前記光学顕微鏡19の視野は同軸照明系により照明される様になっている。即ち、前記光学顕微鏡19内部にはハーフミラー20が設けられ、該ハーフミラー20に対向して同軸照明ユニット21が連設されている。該同軸照明ユニット21には白熱灯等の光源を有する冷光照明光源22からの照明光がファイバケーブル23を介して導かれ、前記ハーフミラー20により光学顕微鏡19の光軸と一致した方向に反射され、前記試料5を照明する。
又、前記光学顕微鏡19の接眼レンズ側にはカラーCCDカメラ24、テレビカメラ等の撮像手段が設けられ、光学顕微鏡19で得られた像は前記カラーCCDカメラ24で撮像され、更に信号化され、カラーモニタ25で画像化されると共に、画像処理装置26に入力される。該画像処理装置26は画像記憶回路(図示せず)を有し、前記光学顕微鏡19で得られる画像を記憶できる様になっている。従って、カラーモニタ25には記憶した過去の画像を適宜表示できる。
前記2次電子検出器7、反射電子検出器17はスイッチング回路27を介して信号増幅器28に接続され、前記2次電子検出器7、反射電子検出器17からの信号は前記信号増幅器28、前記画像処理装置26を介してカラーモニタ25に及びCRT29等の映像表示手段に入力される。該CRT29の走査回路30は前記走査コイル13も駆動し、前記走査コイル13の走査に同期してCRT29の走査を行う構成となっている。
ここで、光学顕微鏡19による試料5の位置設定作業で、走査型電子顕微鏡3の画像上での移動方向と、光学顕微鏡19で得られる画像の移動方向が一致することが作業をやり易くする上で重要である。
走査型電子顕微鏡の画像上での移動方向と、光学顕微鏡による移動方向とを一致させる為に、下記の条件(1)及び(2)を満す様に構成される。
光学顕微鏡の条件(1)
図2により、光学顕微鏡像と走査型電子顕微鏡像との関係を説明する。
走査型電子顕微鏡の光軸(走査中心)O1 と光学顕微鏡の光軸O2 との交点をAとし、A点に試料表面を合わせた時の走査型電子顕微鏡の作動距離をD1 とする。光学顕微鏡の焦点距離D2 はA点に焦点が合うように設定されている。走査型電子顕微鏡像は試料を上方つまり電子銃側より見た画像となり、一方光学顕微鏡像は図2に於ける試料表面と光学顕微鏡の光軸O2 とがなす角をθとすると、斜め上方θ角度からの観察像となる。双方の画像を近付ける為には構造的に可能な限りθを大きくする必要がある。然し角度θは対物レンズの形状、作動距離D1 、光学顕微鏡の最大視野サイズで制限され、今回の実施の形態では30°の値を採用した。
光学顕微鏡の条件(2)
光学顕微鏡の取付位置は、図2の条件を施せばどこでもよいかというと、そうではなく、以下の制約を満たす為には、所定の取付位置が決定される。
前述の通り、双方の観察方向が異なる為、光学顕微鏡像と走査型電子顕微鏡像との画像の完全な一致は不可能であるが、少なくとも、次の要件を満足することが望ましい。即ち、1)画像の天地、左右は一致させること、2)走査型電子顕微鏡試料装置の傾斜機能を用い、走査型電子顕微鏡での傾斜観察条件に於いても光学顕微鏡像が得られること、3)試料の移動方向と画像の移動方向との関係が光学顕微鏡像と走査型電子顕微鏡像とで一致していることである。
この状態を図3により説明する。図3は試料室を上方より見た図であり、図4は試料部の断面を示す。
図3の様に試料の移動方向をX+ ,X- ,Y+ ,Y- とした場合、走査型電子顕微鏡の画像は図5の様に設定される。この為、光学顕微鏡に於いては走査型電子顕微鏡像と同様の天地左右の関係を得るには、図3中、走査型電子顕微鏡走査中心(A)を通る試料Y移動軸上に、光学顕微鏡を設定する必要があることが解る。而してY移動軸上では、Y+ 側とY- 側のいずれかに光学顕微鏡装着が可能である。
先ず、Y- 側に光学顕微鏡を装着した場合、光学顕微鏡画像は図6の様になり、又試料移動に対する画像の移動方向も走査型電子顕微鏡と一致する。但し、走査型電子顕微鏡の試料傾斜機能は、+傾斜の際にY+ 側が下がり、Y- 側が上昇する。この為、光学顕微鏡をY- 側に装着する場合、試料傾斜によって傾斜角が図2に於ける角θを越えると試料表面の光学顕微鏡像が得られない。従って、図3に於けるY- 側への装着は好ましくない。
次に、Y+ 側の位置に光学顕微鏡を装着する場合、光学顕微鏡像は図7に示す様に走査型電子顕微鏡像の天地左右がすべて逆転したものとなるが、前述の図3に於けるY- 側に装着の場合の様な試料傾斜による問題はなくなり、むしろ試料傾斜により図2に於ける角θの値を可変できるようになり、制約条件の2)を満足させることができる。
次に前記制約条件1)及び3)を満足させるには、以下の2つの方法による。
(A)CCDカメラの回転により一致させる
CCDカメラを180°回転させて取付け、光学顕微鏡像の天地左右を走査型電子顕微鏡像に一致させることができる。
(B)走査型電子顕微鏡の走査軸を回転させる
走査型電子顕微鏡のもつ走査軸回転機能(スキャンローテーション)により、180°走査軸を回転させ、光学顕微鏡像と合わせる。
上記2方法のいずれでも、制約条件1)及び3)を満足させることができる。
而して、本実施の形態では、図2で示す位置に光学顕微鏡を取付け、上記(A)(B)の方法で光学顕微鏡の画像の天地左右と、試料の移動方向を一致させた。
以下、作動を説明する。
先ず、光学顕微鏡19を低倍率として試料5の観察位置を特定する。次に、光学顕微鏡19をズームアップして、観察部位の細部を正確に走査型電子顕微鏡による観察位置である画面の中心に試料5の位置を設定する。光学顕微鏡19による試料5の観察位置設定に於いて、前記走査コイル13上部からのレーザ光線が走査型電子顕微鏡3の走査中心位置を照射しているので光学顕微鏡19による部位設定は極めて簡単で正確となる。
尚、光学顕微鏡による像観察の為の照明光照射中は走査型電子顕微鏡(SEM)による像観察はできない。これは、走査型電子顕微鏡像の為の検出器に内蔵されている光電子増倍管(PMT)が光学顕微鏡用照明光を検出してしまい、画像表示不能となる為である。従って、光学顕微鏡像と走査型電子顕微鏡像を同時に表示、観察するには、いずれかの画像の一方を画像処理装置26を介しての記憶像とすることで可能となる。
次に、走査型電子顕微鏡による観察について説明する。
電子銃1より放出された電子線を、前記第1コンデンサレンズ11、第2コンデンサレンズ12で縮小して鋭い電子プロープと成し、該電子プロープを前記対物レンズ14により試料5の表面に収斂させ、照射すると同時に、前記走査コイル13により試料面上を走査する。この時試料表面より放出される2次電子又は反射電子を前記2次電子検出器7又は反射電子検出器17により捕捉して電気信号に変換し、更に増幅する。
前記2次電子検出器7、反射電子検出器17からの信号は前記スイッチング回路27により選択されて信号増幅器28に入力される。試料5の凹凸等の情報を得る場合には主に2次電子検出器7を前記信号増幅器28に接続し、試料の凹凸情報の他、組成、結晶性等の情報を得る場合は反射電子検出器17を前記信号増幅器28に接続する。
前記信号増幅器28からの信号は前記CRT29に入力され、該CRT29は前記走査回路30により前記走査コイル13と同期駆動され画像を形成する。
而して、観察条件に応じて前記スイッチング回路27により、2次電子検出器7又は反射電子検出器17かの検出器の選択をし、光学顕微鏡19で特定した部位を走査型電子顕微鏡により走査し、走査結果を前記CRT29により観察することができる。
図8により第2の実施の形態を説明する。
光学顕微鏡取付け窓18を垂直に設け、該光学顕微鏡取付け窓18に対して上下方向に摺動自在に3角スライドブロック31を設け、該3角スライドブロック31に光学顕微鏡19を設け、該光学顕微鏡19が前記3角スライドブロック31と共に上下方向に移動可能とする。尚、光学顕微鏡19を移動させた時、真空が破れることのない様充分大きなスライド面が形成されている。
而して、光学顕微鏡19を上下方向、光学顕微鏡19の光軸と交差する方向に移動させることで、光学顕微鏡19の光軸と前記走査型電子顕微鏡の光軸との交点がAからA′に移動する。従って、試料の厚みが変化し走査型電子顕微鏡の作動距離D1 が変化しても容易に対応させることができる。尚、光学顕微鏡の移動方向は図8の様に光軸に対して斜めでも、或は直角方向であってもよい。
図9により第3の実施の形態を説明する。
交点Aを移動させる他の機構として、前記試料室4の角部に凸面座の光学顕微鏡取付け窓18を設け、該光学顕微鏡取付け窓18に該光学顕微鏡取付け窓18の凸面に摺動自在に契合する凹面スライド座32を設け、該凹面スライド座32に光学顕微鏡19を設け、該光学顕微鏡19を傾動させることで光学顕微鏡19の光軸と交差する方向に移動させ、前記交点Aを上下方向に移動させる様にしてもよい。
更に交点Aを移動させる他の機構として、図10に示す様に光学顕微鏡取付け窓18を凹面に形成し、該光学顕微鏡取付け窓18に摺動自在に契合する凸面スライド座33を設けてもよい。
本発明の一実施の形態を示す概略構成図である。 該実施の形態に於ける走査型電子顕微鏡と光学顕微鏡との位置関係を示す説明図である。 試料の移動方向と光学顕微鏡の画像の移動方向の説明図である。 試料と試料台との関係を示す図である。 走査型電子顕微鏡像に関する説明図である。 光学顕微鏡像に関する説明図である。 光学顕微鏡像に関する説明図である。 本発明の他の実施の形態を示す説明図である。 本発明の他の実施の形態を示す説明図である。 本発明の他の実施の形態を示す説明図である。 従来例を示す説明図である。
符号の説明
1 電子銃
3 走査型電子顕微鏡
4 試料室
5 試料
7 2次電子検出器
16 試料台
17 反射電子検出器
19 光学顕微鏡
21 同軸照明ユニット
22 冷光照明光源
23 ファイバケーブル
24 カラーCCDカメラ
25 カラーモニタ
26 画像処理装置
27 スイッチング回路
29 CRT
31 3角スライドブロック
32 凹面スライド座
35 可動ミラー
36 レーザ光線発光手段

Claims (2)

  1. 走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有しズーム機能を有する長焦点距離光学顕微鏡を、該長焦点距離光学顕微鏡の光軸が前記試料のY移動軸と前記走査型電子顕微鏡の光軸とを含む面内にあり、光学顕微鏡像が走査型電子顕微鏡像に対して天地左右が全て逆転する位置に設け、前記長焦点距離光学顕微鏡による画像を撮像する撮像手段を前記長焦点距離光学顕微鏡の接眼レンズ側に設置すると共に前記撮像手段の撮像画像が走査型電子顕微鏡像と天地左右が一致する様に設け、長焦点距離光学顕微鏡によるズームアップした画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
  2. 電子線を走査する走査手段を有する走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に、該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有しズーム機能を有する長焦点距離光学顕微鏡を、該長焦点距離光学顕微鏡の光軸が前記試料のY移動軸と前記走査型電子顕微鏡の光軸とを含む面内にあり、光学顕微鏡像が走査型電子顕微鏡像に対して天地左右が全て逆転する位置に設け、前記走査手段による走査軸の回転により前記長焦点距離光学顕微鏡によるズームアップした画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
JP2004214292A 2004-07-22 2004-07-22 走査型電子顕微鏡装置 Expired - Lifetime JP4004490B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004214292A JP4004490B2 (ja) 2004-07-22 2004-07-22 走査型電子顕微鏡装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004214292A JP4004490B2 (ja) 2004-07-22 2004-07-22 走査型電子顕微鏡装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9780295A Division JPH08273578A (ja) 1995-03-30 1995-03-30 走査型電子顕微鏡装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004319518A JP2004319518A (ja) 2004-11-11
JP4004490B2 true JP4004490B2 (ja) 2007-11-07

Family

ID=33475813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004214292A Expired - Lifetime JP4004490B2 (ja) 2004-07-22 2004-07-22 走査型電子顕微鏡装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4004490B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103843106A (zh) * 2011-09-09 2014-06-04 独立行政法人科学技术振兴机构 用于以原本状态观察生物试样的利用电子显微镜的观察方法、以及用于该方法的真空下的蒸发抑制用组合物、扫描电子显微镜及透射电子显微镜

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1979926A2 (de) * 2006-02-03 2008-10-15 Carl Zeiss NTS GmbH Fokussier- und positionierhilfseinrichtung für ein teilchenoptisches rastermikroskop
JP5325522B2 (ja) 2008-10-15 2013-10-23 株式会社堀場製作所 複合型観察装置
JP5047318B2 (ja) 2010-03-05 2012-10-10 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子顕微鏡画像と光学画像を重ねて表示する方法
JP5690086B2 (ja) * 2010-07-02 2015-03-25 株式会社キーエンス 拡大観察装置
JP5517791B2 (ja) * 2010-07-02 2014-06-11 株式会社キーエンス 拡大観察装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103843106A (zh) * 2011-09-09 2014-06-04 独立行政法人科学技术振兴机构 用于以原本状态观察生物试样的利用电子显微镜的观察方法、以及用于该方法的真空下的蒸发抑制用组合物、扫描电子显微镜及透射电子显微镜
CN103843106B (zh) * 2011-09-09 2016-12-07 独立行政法人科学技术振兴机构 利用电子显微镜观察生物试样的方法和蒸发抑制用组合物

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004319518A (ja) 2004-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7671333B2 (en) Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope
JP4004490B2 (ja) 走査型電子顕微鏡装置
US7285776B2 (en) Scanning transmission electron microscope and electron energy loss spectroscopy
US7888643B2 (en) Focusing and positioning device for a particle-optical raster microscope
JP6009862B2 (ja) 走査型プローブ顕微鏡
JP2010080144A (ja) 複合型顕微鏡装置及び試料観察方法
EP1882967B1 (en) Scanning examination apparatus
JP2002042713A (ja) 対物レンズ内検出器を備えた走査電子顕微鏡
US6031230A (en) Reflected electron detector and a scanning electron microscope device using it
JPH08273578A (ja) 走査型電子顕微鏡装置
US6800853B2 (en) Electron microscope and method of photographing TEM images
JP6462188B2 (ja) 荷電粒子線装置
JP4574758B2 (ja) 顕微鏡画像観察装置
JP4456962B2 (ja) 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器
JP6255305B2 (ja) 光学顕微装置
JP2002343294A (ja) 複合電子顕微鏡
JPH10214583A (ja) 走査形電子顕微鏡
JP2007052972A (ja) 荷電粒子線装置システム
US6573502B2 (en) Combined electron microscope
JP2005310699A (ja) 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置
JP6775003B2 (ja) 荷電粒子線装置
JP3270627B2 (ja) 電子ビームマイクロアナライザーにおける試料の高さ表示方法
JP3573508B2 (ja) 共焦点走査型光学顕微鏡
JP6764953B2 (ja) 荷電粒子線装置
JPH0756788B2 (ja) 電子顕微鏡

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070220

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070423

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070605

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070703

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070807

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070821

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130831

Year of fee payment: 6

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term