JPH04109357U - 表面分析装置 - Google Patents
表面分析装置Info
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- JPH04109357U JPH04109357U JP1966791U JP1966791U JPH04109357U JP H04109357 U JPH04109357 U JP H04109357U JP 1966791 U JP1966791 U JP 1966791U JP 1966791 U JP1966791 U JP 1966791U JP H04109357 U JPH04109357 U JP H04109357U
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリズムなどの光路偏向手段を移動させるこ
となく、分析を行うことができる装置を提供する。 【構成】 １１は試料面２に対向する位置の静電半球型
アナライザ外球部６の一部を円筒状にくり抜いて設けら
れた開口部であり、その開口部には電極板の曲面に沿う
ように形成されたオプティカルファイバープレート１２
が取り付けられている。また、オプティカルファイバー
プレートの曲面には透明電極が薄く蒸着され、電極板と
同電位が印加されている。これによって、試料面からの
光はオプティカルファイバープレートから取り出される
ため、プリズム等の光路偏向手段を移動させることな
く、試料面の観察と分析を行うことができる。
となく、分析を行うことができる装置を提供する。 【構成】 １１は試料面２に対向する位置の静電半球型
アナライザ外球部６の一部を円筒状にくり抜いて設けら
れた開口部であり、その開口部には電極板の曲面に沿う
ように形成されたオプティカルファイバープレート１２
が取り付けられている。また、オプティカルファイバー
プレートの曲面には透明電極が薄く蒸着され、電極板と
同電位が印加されている。これによって、試料面からの
光はオプティカルファイバープレートから取り出される
ため、プリズム等の光路偏向手段を移動させることな
く、試料面の観察と分析を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本考案は、Ｘ線光電子分光（ＸＰＳ）やオージェマイク
ロプローブなどの試料面上の微小領域を分析可能な表面分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 Ｘ線光電子分光は固体表面をＸ線で励起することにより得られ
る光電子スペクトルの性質を用いて、物質を構成する元素の結合状態を解析する
ことを特徴とした表面分析の一手法であり、図２にその一般的な構成例を示す。
この装置においては、励起線源１としてＸ線を用い試料面２から発生する光電子
を静電レンズ４により集光させ、内側電極板５，外側電極板６からなる電極板に
よって構成される静電半球型アナライザに導いている。このアナライザにより光
電子はエネルギー分光され、検出器７により電気信号に変換される。その電気信
号から、表面の組成に対応した光電子のエネルギースペクトルが得られる。分析
に際しては試料面の位置決めをする必要があり、試料の上部に設けられたプリズ
ム８などの光路偏向手段によって、観察光学軸９と分析光学軸１０とが交わる位
置に観察光学軸を曲げ、光学顕微鏡３により試料の分析位置を選択している。ま
た、位置決め終了後このプリズム８を図示外のプリズム移動機構によって分析光
学軸から離れた所に移動させ分析を行う。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】 この様な装置においては、試料面を観察する
ために静電レンズ下部へプリズムなどの光路偏向手段を挿入しているため、試料
面から発生した光電子は静電レンズに到達することができない。そのため、分析
する際にはプリズムなどの光路偏向手段を分析光学軸外に移動させなくてはなら
ず、プリズムの移動機構により装置が複雑になる。
【０００４】
そこで本考案はかかる問題点に鑑がみてなされたものであり、プリズムなどの
光路偏向手段を移動させることなく、簡単な構成で試料面の観察と分析を行うこ
とができる装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するために、本考案は、試料室
内に置かれた試料を覆うように２次荷電粒子を分析する静電アナライザが配置さ
れる装置において、前記アナライザを構成する電極板の試料と対向する位置に開
口部を形成し、該開口部に光学的入出力端子を設けたことを特徴とするものであ
る。
【０００６】
【作用】 電極板の試料と対向する位置に形成された開口部に光学的入出力端子
を設けられている。
【０００７】
【実施例】 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
【０００８】
図１は本考案の一実施例装置の構成概略図であり、図２と同一番号のものは同
一構成要素を示す。
【０００９】
図１において、１１は試料面２に対向する位置の静電半球型アナライザの外側
電極板６の一部を円筒状にくり抜いて設けられた開口部であり、その開口部には
電極板の曲面に沿うように形成されたオプティカルファイバープレート１２が取
り付けられている。また、電極板の曲面に沿うようにオプティカルファイバープ
レート１２の曲面には透明電極が薄く蒸着されており、電極板の曲面と同じ電位
が印加されている。
【００１０】
かかる構成において、試料面からの光は静電半球型アナライザに取り付けられ
たオプティカルファイバープレート１２により装置外部に取り出され、図示外の
光学顕微鏡によって拡大と画像処理がなされる。これにより、オペレーターは分
析する試料面を観察しつつ試料を移動させて分析位置を選択することができる。
そのため、プリズム等の光路偏向手段を移動させることがなく試料面の観察と分
析を同時に行うことができる。
【００１１】
図２は本考案の他の実施例装置の構成概略図であり、オプティカルファイバー
プレートに試料面の分析位置を中心とした入射角と出射角が等しくなるように角
度を持たせた入射口１３と出射口１４を１組設けたことを特徴とする。
【００１２】
かかる構成において、入射口よりレーザー光発生手段１５からのレーザー光を
試料面に照射し、試料面で反射されて戻ってくるレーザー光を出射口に設けられ
た位置敏感検出器１６で確認することにより、試料面の高さ方向の位置合わせを
正確に行うことができる。
【００１３】
尚、前記レーザー光の入射口や出射口に試料加熱用のレーザー光を入射すれば
、試料を加熱しながら試料面の観察と分析を同時に行うことができる。
【００１４】
また、上記実施例では試料面の高さ方向の位置合わせのためのレーザー光の入
射口および出射口を１組設けることについて述べたが、これに限られることなく
、レーザー光の入射口を複数設けてもよい。
【００１５】
さらに、上記実施例では静電半球型アナライザについて述べたが、これに限ら
れることなく、例えば、半円筒型を使用するような、他の既知の静電型アナライ
ザにも同様に適用できる。
【００１６】
【考案の効果】 以上詳説したように本考案は、２次荷電粒子線アナライザの電
極板に開口部を設け、この開口部に光学的入出力端子を設けることにより、プリ
ズムなどの光路偏向手段を移動させることがなく、観察と分析を行うことができ
る。
【図１】 図１は本考案の一実施例装置の構成概略図で
ある。
ある。
【図２】 図２は本考案の他の実施例装置の構成概略図
である。
である。
【図３】 図３は本考案の従来例を示した図である。
８：プリズム ９：観察光学軸
１０：分析光学軸 １１：開口部
１２：オプティカルファイバープレート
Claims (1)
- 【請求項１】 試料室内に置かれた試料を覆うように２
次荷電粒子を分析する静電アナライザが配置される装置
において、前記アナライザを構成する電極板の試料と対
向する位置に開口部を形成し、該開口部に光学的入出力
端子を設けたことを特徴とする表面分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1966791U JPH04109357U (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 表面分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1966791U JPH04109357U (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 表面分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04109357U true JPH04109357U (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=31905906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1966791U Withdrawn JPH04109357U (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 表面分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04109357U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127637A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-24 | Thermo Fisher Scientific Inc | 表面分析用分光装置と分析方法 |
-
1991
- 1991-03-06 JP JP1966791U patent/JPH04109357U/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127637A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-24 | Thermo Fisher Scientific Inc | 表面分析用分光装置と分析方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19950615 |