JP2006339596A - インタポーザおよび半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インタポーザ2は、絶縁性樹脂からなる絶縁性基板4を備えている。絶縁性基板4の一方面4Aには、その中央部に、平面視で半導体チップ1とほぼ同じサイズを有する矩形薄板状のアイランド5が形成されている。アイランド5には、たとえば、高融点はんだ(融点が260℃以上のはんだ)からなる接合剤7を介して、半導体チップ1の裏面が接合される。また、絶縁性基板4の他方面4Bには、その中央部に、アイランド5とほぼ同じ形状を有するサーマルパッド9が、アイランド5と同じ金属材料を用いて形成されている。そして、絶縁性基板4には、アイランド5とサーマルパッド9との間において、それらを熱伝導可能に接続するための複数のサーマルビア10が貫通して形成されている。
【選択図】 図1
Description
BGAでは、インタポーザ上に半導体チップが搭載される。インタポーザは、ガラスエポキシ樹脂からなる絶縁性基板を備えている。絶縁性基板の一方面には、半導体チップが接合されるアイランドと、ボンディングワイヤによって半導体チップの表面上のパッドと電気接続される内部端子とが配置されている。また、絶縁性基板の他方面には、実装基板(プリント配線板)上のランド(電極)との電気接続のためのボール状の外部端子が整列して配置されている。そして、絶縁性基板には、その一方面と他方面との間を貫通するスルーホールが形成されている。スルーホールは、金属材料で埋め尽くされており、このスルーホール内の金属を介して、絶縁性基板の一方面上の内部端子と他方面上の外部端子とが電気的に接続されている。
たとえば、パワーICが作り込まれた半導体チップは、その裏面(半導体基板の裏面)をグランドとして動作する。そのため、パワーICが作り込まれた半導体チップを備える半導体装置にBGAを採用する場合、アイランドと外部端子とを電気的に接続するとともに、導電性を有する接合剤(導電性接合剤)を用いて、半導体チップの裏面をアイランドに接合させなければならない。しかしながら、BGAが採用された半導体装置ではて、半導体チップをアイランドに接合させるための接合剤として、エポキシ樹脂系接着剤や絶縁ペーストなどの絶縁性接合剤を用いるのが一般的であり、現在のところ、はんだ接合剤のような導電性接合剤を用いたものは提供されていない。はんだ接合剤を用いた場合、リフローが必須となるが、そのリフロー時に、半導体チップが載置されたインタポーザが高温(たとえば、260℃程度)に加熱されると、絶縁性基板の一方面における熱膨張量と他方面における熱膨張量とに差が生じ、絶縁性基板に反りを生じてしまう。
また、請求項3記載の発明は、請求項2記載のインタポーザにおいて、前記サーマルパッド上に形成され、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板に当接するサーマルバンプをさらに含むことを特徴としている。
また、請求項4記載の発明は、請求項3記載のインタポーザにおいて、前記アイランド、前記サーマルパッド、前記サーマルビアおよび前記サーマルバンプは、いずれも導電性を有しており、前記接合剤は、金属材料からなり、前記サーマルバンプは、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板上のグランド端子に当接することを特徴としている。
ここで、高融点はんだとは、融点が260℃以上のはんだを言う。
この構成によれば、高融点はんだを用いて、半導体チップの裏面をアイランドに接合する場合、リフローが必要となるが、そのリフロー時に、半導体チップが載置されたインタポーザが260℃以上の高温に加熱されても、絶縁性基板の一方面と他方面との間で温度(熱)の均衡を保つことができる。その結果、絶縁性基板の一方面と他方面との間に熱膨張差が生じることを防止することができ、絶縁性基板の熱反りの発生を防止することができる。
また、請求項7記載の発明は、請求項6記載の半導体装置において、前記絶縁性基板の前記一方面上に形成され、前記半導体チップとの電気接続のための内部端子と、前記絶縁性基板の前記他方面上に形成され、前記半導体装置が実装される実装基板上のランドとの電気接続のための外部端子と、前記絶縁性基板の前記一方面と前記他方面との間を貫通して形成され、前記内部端子と前記外部端子とを電気的に接続する端子間接続ビアとをさらに含むことを特徴としている。
また、請求項8記載の発明は、請求項7記載の半導体装置において、前記サーマルパッド上に形成され、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板に当接するサーマルバンプをさらに含むことを特徴としている。
また、請求項9記載の発明は、請求項8記載の半導体装置において、前記アイランド、前記サーマルパッド、前記サーマルビアおよび前記サーマルバンプは、いずれも導電性を有しており、前記接合剤は、金属材料からなり、前記サーマルバンプは、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板上のグランド端子に当接することを特徴としている。
また、請求項10記載の発明は、請求項9記載の半導体装置において、前記接合剤は、高融点はんだであることを特徴としている。
ここで、高融点はんだとは、融点が260℃以上のはんだを言う。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体装置の構成を図解的に示す断面図である。この半導体装置は、BGA(Ball Grid Array)が採用された半導体装置であり、半導体チップ1と、半導体チップ1が搭載されるインタポーザ2と、半導体チップ1およびインタポーザ2の半導体チップ1に対向する面を封止する封止樹脂3とを備えている。
インタポーザ2は、絶縁性樹脂(たとえば、ガラスエポキシ樹脂)からなる絶縁性基板4を備えている。
なお、絶縁性基板4の他方面4Bは、ソルダレジスト層17で覆われている。外部端子13およびサーマルバンプ16は、ソルダレジスト層17から一部が突出した状態に設けられている。
以上、この発明の一実施形態を説明したが、この発明は、他の形態で実施することもできる。たとえば、上述の実施形態では、アイランド5が平面視で半導体チップ1とほぼ同じサイズを有しているとしたが、アイランド5の平面視におけるサイズは、半導体チップ1の平面視におけるサイズよりも大きくてもよいし、逆に小さくてもよい。
さらにまた、上述の実施形態では、BGAが採用された半導体装置を取り上げたが、この発明は、絶縁性基板4の他方面4Bに複数のランド(薄板状の外部端子)が整列した、いわゆるLGA(Land Grid Array)が採用された半導体装置に適用されてもよい。また、BGAやLGAなどの表面実装型パッケージに限らず、実装基板に形成されたスルーホールに半導体装置のリードを挿入して、半導体装置の実装基板への実装が達成されるタイプの挿入型実装パッケージが採用された半導体装置に適用されてもよい。
2 インタポーザ
4 絶縁性基板
4A 一方面
4B 他方面
5 アイランド
6 内部端子
7 接合剤
9 サーマルパッド
10 サーマルビア
11 実装基板
12 ランド
13 外部端子
14 端子間接続ビア
15 グランド電極
16 サーマルバンプ
Claims (10)
- 半導体チップとともに半導体装置に備えられ、当該半導体装置の実装基板への実装時に、前記半導体チップと前記実装基板との間に介在されるインタポーザであって、
絶縁性樹脂からなる絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の一方面上に形成され、前記半導体チップの裏面が接合剤を介して接合されるアイランドと、
前記絶縁性基板の前記一方面と反対側の他方面上において、前記アイランドに対して前記絶縁性基板を挟んでほぼ対向する位置に形成されたサーマルパッドと、
前記絶縁性基板の前記一方面と前記他方面との間を貫通して形成され、前記アイランドと前記サーマルパッドとを熱伝導可能に接続するサーマルビアとを含むことを特徴とする、インタポーザ。 - 前記絶縁性基板の前記一方面上に形成され、前記半導体チップとの電気接続のための内部端子と、
前記絶縁性基板の前記他方面上に形成され、前記実装基板上のランドとの電気接続のための外部端子と、
前記絶縁性基板の前記一方面と前記他方面との間を貫通して形成され、前記内部端子と前記外部端子とを電気的に接続する端子間接続ビアとをさらに含むことを特徴とする、請求項1記載のインタポーザ。 - 前記サーマルパッド上に形成され、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板に当接するサーマルバンプをさらに含むことを特徴とする、請求項2記載のインタポーザ。
- 前記アイランド、前記サーマルパッド、前記サーマルビアおよび前記サーマルバンプは、いずれも導電性を有しており、
前記接合剤は、金属材料からなり、
前記サーマルバンプは、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板上のグランド端子に当接することを特徴とする、請求項3記載のインタポーザ。 - 前記接合剤は、高融点はんだであることを特徴とする、請求項4記載のインタポーザ。
- 半導体チップと、
絶縁性樹脂からなる絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の一方面上に形成され、前記半導体チップの裏面が接合剤を介して接合されるアイランドと、
前記絶縁性基板の前記一方面と反対側の他方面上において、前記アイランドに対して前記絶縁性基板を挟んでほぼ対向する位置に形成されたサーマルパッドと、
前記絶縁性基板の前記一方面と前記他方面との間を貫通して形成され、前記アイランドと前記サーマルパッドとを熱伝導可能に接続するサーマルビアとを含むことを特徴とする、半導体装置。 - 前記絶縁性基板の前記一方面上に形成され、前記半導体チップとの電気接続のための内部端子と、
前記絶縁性基板の前記他方面上に形成され、前記半導体装置が実装される実装基板上のランドとの電気接続のための外部端子と、
前記絶縁性基板の前記一方面と前記他方面との間を貫通して形成され、前記内部端子と前記外部端子とを電気的に接続する端子間接続ビアとをさらに含むことを特徴とする、請求項6記載の半導体装置。 - 前記サーマルパッド上に形成され、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板に当接するサーマルバンプをさらに含むことを特徴とする、請求項7記載の半導体装置。
- 前記アイランド、前記サーマルパッド、前記サーマルビアおよび前記サーマルバンプは、いずれも導電性を有しており、
前記接合剤は、金属材料からなり、
前記サーマルバンプは、前記半導体装置が前記実装基板に実装された状態で、当該実装基板上のグランド端子に当接することを特徴とする、請求項8記載の半導体装置。 - 前記接合剤は、高融点はんだであることを特徴とする、請求項9記載の半導体装置。
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