JP2006279050A - 分散安定性に優れている研磨スラリーの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水中に研磨粒子及びアニオン性ポリマー酸分散剤を分散させた後、生成した分散液にアルカリ性物質を研磨粒子100重量部を基準に0.1〜8重量部の量で添加する段階を含む方法で研磨スラリーを製造する。
【選択図】なし
Description
(a)水中に研磨粒子及びアニオン性ポリマー酸分散剤を分散させる段階;及び
(b)生成した分散液にアルカリ性物質を研磨粒子100重量部を基準に0.1〜8重量部の量で添加する段階を含む、研磨スラリーの製造方法を提供する。
炭酸セリウムを900℃で焼成して得られた酸化セリウムを乾式ボールミルを用いて微細粉砕した。粉砕された微細酸化セリウム粉末1000gを脱イオン水8910gに加えた後、これをプロペラ攪拌器で30分間攪拌した。得られた懸濁液に分散剤として50重量%のポリアクリル酸(重量平均分子量5,000)30gを加えて生成した混合物(pH3)を30分間攪拌した。これに、アルカリ性物質として25重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド60gを加え、生成した混合物(pH8.3)を30分間攪拌した。生成物を高圧分散させた後、CMP3フィルター(Mykrolis Cor.)でろ過して巨大粒子を除去し、得られたろ液に蒸留水を一定量加えて、5重量%の酸化セリウムスラリーを製造した。
酸化セリウム粉末の攪拌の際、脱イオン水8902.5gを用い、分散剤として40重量%のポリアクリル酸(重量平均分子量15,000)37.5gを用いることを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH8.2)を製造した。
酸化セリウム粉末の攪拌の際、脱イオン水8920gを用い、アルカリ性物質として30重量%のアンモニア50gを用いることを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH8.5)を製造した。
酸化セリウム懸濁液に対して、アルカリ性物質添加を分散剤の添加より先に行うことを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH3)を製造した。
酸化セリウム懸濁液に、分散剤をアルカリ性物質と先に混合してから添加することを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH12)を製造した。
酸化セリウム懸濁液に対して、分散剤添加及びアルカリ性物質添加を同時に行うことを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH8.2)を製造した。
酸化セリウム粉末の攪拌の際に脱イオン水8962.5gを用い、分散剤として40重量%のポリアクリルアンモニウム(重量平均分子量3,000)37.5gを添加し、アルカリ性物質は添加しないことを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH8.3)を製造した。
アルカリ性物質として用いられる25重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの量を60gから2gに減少させることを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH3.8)を製造した。
アルカリ性物質として用いられる25重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの量を60gから400gに増加させることを除いては、前記実施例1の工程を繰り返して研磨スラリー(pH12.8)を製造した。
前記実施例1〜3及び比較例1〜6で得た5重量%の酸化セリウムスラリー各々の均等な量で4000rpmで20分間遠心分離して得た酸化セリウム粉末を90℃で乾燥した後、炭素分析器を用いて炭素量を測定することによって酸化セリウム粒子に吸着された分散剤の含量を評価した。その結果を下記表1に示す。
前記実施例1〜3及び比較例1〜6から得た酸化セリウムスラリーに対する研磨特性を評価するため、図2に示されたようにAMAT Mirra研磨機を用いてCMP工程を行った。
前記検査例2で用いられた酸化セリウムスラリーの分散安定性について次のように評価し、その結果を表3に示す。
前記検査例2で用いられたそれぞれの酸化セリウムスラリー−薬液混合物を排出部(46)から採取して酸化セリウム粒径をMICROTRAC UPA 150で測定した後、薬液と混合する前の粒径と比較した。
前記検査例2で用いられた酸化セリウムスラリー−薬液混合物50mlを各々排出部(46)から採取してシリンダーに放置し、2時間及び6時間後に粒子の沈殿度を肉眼で観察してスラリー混合物の混濁度を決定した(○全体的に混濁、分散性に優れる;△上層部が透明;X全体的に透明、過度な沈殿)。
実施例1、そして比較例1及び2の酸化セリウムスラリーの各30mlを40mlシリンダーに入れ、10日、60日及び90日の貯蔵後に検査例2のCMP工程を行って、長期間貯蔵後の研磨量変化に対して評価し、その結果を表4に示す。
Claims (14)
- (a)水中に研磨粒子及びアニオン性ポリマー酸分散剤を分散させる段階;及び
(b)生成した分散液にアルカリ性物質を研磨粒子100重量部を基準に0.1〜8重量部の量で添加する段階を含む、研磨スラリーの製造方法。 - 前記段階(a)で分散された研磨粒子が正の表面ゼータ電位を有することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記段階(a)で得られた分散液のpHが1〜4の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記研磨スラリーのpHが6〜9の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記研磨粒子がシリカ(SiO2)、アルミナ(Al2O3)、セリア(CeO2)、ジルコニア(ZrO3)、酸化スズ(SnO2)、酸化マンガン(MnO2)及びこれらの混合物からなる群から選ばれる金属酸化物であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記研磨粒子が炭酸セリウム又は水酸化セリウムを600〜1000℃の温度範囲で焼いて得られたセリアであることを特徴とする請求項5に記載の製造方法。
- 前記研磨粒子が研磨スラリー総量を基準に0.5〜20重量%で用いられることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記アニオン性ポリマー酸が2,000〜250,000範囲の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記アニオン性ポリマー酸がポリメタクリル酸、ポリアクリル酸、ポリビニルスルホン酸及びこれらの混合物からなる群から選ばれることを特徴とする請求項8に記載の製造方法。
- 前記アニオン性ポリマー酸が研磨粒子100重量部を基準に0.1〜10重量部の範囲で用いられることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記アルカリ性物質がアンモニア、アルキルアンモニウム塩、アミン及びこれらの混合物からなる群から選ばれることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記アミンがトリメタノールアミン、トリエタノールアミン、ジメチルベンジルアミン、エトキシベンジルアミン及びこれらの混合物からなる群から選ばれることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 前記アルキルアンモニウム塩がトリメチルアンモニウムヒドロキシド、トリエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン及びこれらの混合物からなる群から選ばれることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の製造方法によって製造され、非プレストニアン挙動を示す、半導体薄膜研磨用スラリー。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009227893A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | セリウム系研摩材スラリー |
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Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007062572A1 (de) * | 2007-12-22 | 2009-06-25 | Evonik Degussa Gmbh | Ceroxid und kolloidales Siliciumdioxid enthaltende Dispersion |
DE102008008183A1 (de) * | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Evonik Degussa Gmbh | Ceroxidpartikel enthaltende Dispersion und deren Verwendung zum Polieren von Gläsern |
DE102008008184A1 (de) * | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zum Polieren einer Siliciumoberfläche mittels einer ceroxidhaltigen Dispersion |
DE102008002321A1 (de) * | 2008-06-10 | 2009-12-17 | Evonik Degussa Gmbh | Ceroxid und partikuläres Additiv enthaltende Dispersion |
CN101671525B (zh) * | 2009-09-01 | 2013-04-10 | 湖南皓志新材料股份有限公司 | 一种改善稀土抛光粉悬浮性的方法 |
JP2011218494A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 研摩スラリー及びその研摩方法 |
JP5957292B2 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-07-27 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物並びにそれを用いた研磨方法及び基板の製造方法 |
KR101406763B1 (ko) * | 2012-12-04 | 2014-06-19 | 주식회사 케이씨텍 | 슬러리 조성물 및 첨가제 조성물 |
CN109807692A (zh) * | 2017-11-21 | 2019-05-28 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种研磨液、制备研磨液的方法和化学机械研磨方法 |
JP2022545469A (ja) * | 2019-08-21 | 2022-10-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 研磨パッドの付加製造 |
CN115141548B (zh) * | 2021-03-15 | 2023-12-05 | 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 | 一种高悬浮性氧化铈抛光液及其抛光工艺和应用 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10154672A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-06-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 酸化セリウム研磨剤及び基板の研磨法 |
JP2000248263A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2000252245A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2001007060A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨剤及び基板の研磨方法 |
JP2001007061A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨剤及び基板の研磨方法 |
JP2001035820A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2001085373A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2003064351A (ja) * | 2002-06-04 | 2003-03-05 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2004031905A (ja) * | 2002-02-28 | 2004-01-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 化学機械的ポリシングスラリー及びこれを用いた化学機械的研磨方法 |
JP2004335897A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体 |
JP2005519845A (ja) * | 2002-04-15 | 2005-07-07 | エルジー ケミカル エルティーディー. | 単結晶酸化セリウム粉末の製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5962343A (en) * | 1996-07-30 | 1999-10-05 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Process for producing crystalline ceric oxide particles and abrasive |
EP0850887B1 (en) * | 1996-12-26 | 2000-03-22 | Hoya Corporation | Method for manufacturing glass product by press forming |
JPH11181403A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 酸化セリウム研磨剤及び基板の研磨法 |
US6783434B1 (en) * | 1998-12-25 | 2004-08-31 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | CMP abrasive, liquid additive for CMP abrasive and method for polishing substrate |
TW501197B (en) * | 1999-08-17 | 2002-09-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | Polishing compound for chemical mechanical polishing and method for polishing substrate |
JP4123685B2 (ja) * | 2000-05-18 | 2008-07-23 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体 |
US6964923B1 (en) | 2000-05-24 | 2005-11-15 | International Business Machines Corporation | Selective polishing with slurries containing polyelectrolytes |
JP2005500173A (ja) * | 2001-08-20 | 2005-01-06 | サムソン コーニング カンパニー,リミテッド | シリカ−コーティングされたセリアを含む研磨スラリー |
KR101090913B1 (ko) * | 2004-08-11 | 2011-12-08 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 기계적 연마를 위한 산화세륨 연마입자 분산액 및 그제조방법 |
US7504044B2 (en) * | 2004-11-05 | 2009-03-17 | Cabot Microelectronics Corporation | Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios |
US7291280B2 (en) * | 2004-12-28 | 2007-11-06 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Multi-step methods for chemical mechanical polishing silicon dioxide and silicon nitride |
WO2006086265A2 (en) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Applied Materials, Inc. | Method and composition for polishing a substrate |
-
2006
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2009
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10154672A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-06-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 酸化セリウム研磨剤及び基板の研磨法 |
JP2000248263A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2000252245A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2001007060A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨剤及び基板の研磨方法 |
JP2001007061A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨剤及び基板の研磨方法 |
JP2001035820A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2001085373A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2004031905A (ja) * | 2002-02-28 | 2004-01-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 化学機械的ポリシングスラリー及びこれを用いた化学機械的研磨方法 |
JP2005519845A (ja) * | 2002-04-15 | 2005-07-07 | エルジー ケミカル エルティーディー. | 単結晶酸化セリウム粉末の製造方法 |
JP2003064351A (ja) * | 2002-06-04 | 2003-03-05 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨液 |
JP2004335897A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009227893A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | セリウム系研摩材スラリー |
US8222144B2 (en) | 2008-08-08 | 2012-07-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing semiconductor device, and polishing apparatus |
WO2014141889A1 (ja) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 国立大学法人九州大学 | 研磨パッド及び研磨方法 |
KR20150131024A (ko) | 2013-03-12 | 2015-11-24 | 고쿠리쓰다이가쿠호진 규슈다이가쿠 | 연마 패드 및 연마 방법 |
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