JP2005519845A - 単結晶酸化セリウム粉末の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
な粒子形状及び粒径分布を有し低温で生成できるだけでなく、従来の水熱反応では合成し難い約30nm以上の粒径を有する単結晶酸化セリウムナノ粉末の製造方法に関するものである。
能性粉末であって、最近は、半導体産業の発達に伴ってその製造工程のうちのCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程に用いられるスラリーの主要成分として脚光を浴び
ている。
、粒子の形状が球形である酸化セリウム(CeO2)粉末の合成が非常に必要な状況であ
るが、粒度及び分散の制御が難しい高温固相合成法以外には特別な製造方法がなく、粒度及び形状の制御が比較的容易である共沈法、水熱合成法、エマルジョン法などの各種溶液法では30nm以上の単結晶酸化セリウム(CeO2)粉末を合成した研究結果がないた
め、酸化セリウム(CeO2)粉末の活用は非常に困難である。
適切な溶媒、溶質の濃度、温度、及び溶解度を調節して粒子の形状を調節するための添加剤の選択が非常に重要である。
O、(NH4)4Ce(SO4)4・2H2O、(NH4)2Ce(NO3)6などを原料として
用い、これをパイレックス(R)管に密封し、一定の温度に加熱して水酸化セリウムを沈殿させた後、約600℃で焼成して、六角形の板状及び球形の酸化セリウム粒子を得ることができると報告している(Wan Peter Hsu, Lena Roannquist, Egon Matijevic, Preparation and Properties of Monodispersed Colloidal Particles of Lanthanide Compounds. 2. Cerium(IV), Langmuir, 4, 31-37 (1998))。
用い、メカノケミカル(Mechanochemical)工程と焼成工程とを利用してナノサイズの均
一な酸化セリウムを合成した。1次粉砕工程では、塩化セリウム、NaOH及びNaClを鉄球(steel ball)で粉砕することにより、メカノケミカル反応によって水酸化セリ
ウムが合成され、この水酸化セリウムを500℃以上で焼成して、球形のナノサイズの酸化セリウムが合成されると報告している。
G. McCormick, Synthesis of Ultrafine Ceria Powders by Mechanochemical Porcessing, J. Am. Ceram. Soc., 84(7), 1453-58, (2001))。
本発明の酸化セリウム粉末を製造する方法は、有機溶媒と水との混合溶液の存在下でセリウム塩から水酸化セリウムを沈殿させる工程と、該水酸化セリウムを水熱反応させる工程を含んでいる。この方法により、約30nm以上の粒径を有する単結晶酸化セリウム粉末を容易に得ることができる。また、従来のセリウム塩から水酸化セリウムを沈殿させる沈殿法が、水だけを溶媒として用いており、粒子の大きさ及び形状を調整できなかったのに対して、本発明は、有機溶媒と水との混合溶媒を用いて、約30nm以上の粒径を有し、形状が一定である粉末を製造できるようにしたものである。適切な有機溶媒の添加により、本発明の方法は水酸化セリウムの結晶化度を調節し、酸化セリウム粉末の粒度及び形状が制御しやすくなる。本発明の製造方法で製造される単結晶酸化セリウムナノ粉末は、約30乃至約300nmの粒径を有することが好ましい。
i)アルコール:メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなど、
ii)グリコール:エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコールなど、
iii)その他:アセトン、グリセロール、蟻酸、エチルアセテートなど
が好ましい。
前記セリウム塩の原料としては様々な化学物質を用いることができるが、陰イオン成分は、後の反応溶液の組成に大きな影響を与えるので慎重に考慮しなければならない。本発明では、硝酸セリウム(cerium nitrate)、酢酸セリウム(cerium acetate)などのセリ
ウム塩を、沈殿反応のための出発原料として用いた。
前記水熱反応は、通常の温度条件より低い温度、たとえば300℃程度で行うのが好ましく、この水熱反応は、さらに塩化ナトリウム、硝酸、又は尿素などの添加剤を加えて行うことができる。
以下の実施例によって本発明をより詳細に説明する。但し、実施例は本発明を単に説明するためのものであり、本発明はこれらだけに限定されるわけではない。
[実施例]
水熱合成法によるセラミック粉末の製造方法は、原料の混合及び分散、適切な反応装置内での水熱反応、ならびに洗浄及び乾燥の工程からなる。
[比較例1]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.02molを蒸溜水300mlに溶解
し、0.08molのNH4OHを添加して30℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿
した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
[実施例1]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.04molを蒸溜水200mlとエチ
レングリコール100mlとの混合溶液に溶解し、0.5M濃度のNaOH水溶液160mlを添加して50℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄
し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
図3に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバーの長さは100nmを表す。
[実施例2]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.06molを蒸溜水100mlとブタ
ノール200mlとの混合溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液200mlを添加して50℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.1molを蒸溜水300mlとグリセ
ロール200mlとの混合水溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液400mlを添加して80℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が300mlになるように蒸溜水に分散させた。
[実施例4]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.2molを蒸溜水300mlとメタノ
ール200mlとの混合溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液500mlを添加して30℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
[実施例5]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.08molを蒸溜水200mlとブチ
レングリコール50mlとブタノール50mlとの混合水溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液300mlを添加して10℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
Claims (12)
- セリウム塩を有機溶媒と水との混合溶媒の存在下で沈殿させて水酸化セリウムを製造する工程;及び
前記水酸化セリウムを水熱反応させる工程;
を含む単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。 - 前記有機溶媒が、アルコール系有機溶媒、グリコール系有機溶媒、アセトン、グリセロール、蟻酸、及びエチルアセテートからなる群より選択される1種以上の化合物を含有することを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造
方法。 - 前記混合溶媒において、前記有機溶媒と水との混合重量比が約0.1:1乃至約5:1であることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の
製造方法。 - 前記セリウム塩が、硝酸セリウム又は酢酸セリウムを含有することを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 前記沈殿が、NaOH、KOH、及びアンモニア水からなる群より選択されるpH調整剤の添加によりアルカリ条件下で行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 前記沈殿が、約20乃至約80℃の沈殿反応温度で行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 前記沈殿が、さらに塩化ナトリウム又は尿素を添加して行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 前記水熱反応が約180乃至約300℃で行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 前記水熱反応が、さらに塩化ナトリウム、硝酸、又は尿素を添加して行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 前記単結晶酸化セリウムナノ粉末の粒径が約30乃至約300nmであることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法。
- 請求項1に記載の方法によって製造される単結晶酸化セリウムナノ粉末。
- 前記単結晶酸化セリウムナノ粉末が約30乃至約300nmの粒径を有することを特徴とする、請求項11に記載の単結晶酸化セリウムナノ粉末。
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006182604A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 金属酸化物ゾルの製造方法および金属酸化物ゾル |
JP2006279050A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Samsung Corning Co Ltd | 分散安定性に優れている研磨スラリーの製造方法 |
JP2007217265A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-30 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 酸化物微結晶粒子からなる粉体、それを用いた触媒、及びその製造方法 |
JP2007230800A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Nissan Motor Co Ltd | 希土類酸化物の製造方法 |
JP2010510157A (ja) * | 2006-11-20 | 2010-04-02 | エルジー・ケム・リミテッド | 有機溶媒を用いた酸化セリウム粉末の製造方法及びこの粉末を含むcmpスラリー |
JP2010089989A (ja) * | 2008-10-08 | 2010-04-22 | Daito Kasei Kogyo Kk | 球状酸化セリウムおよびその製造方法並びにそれを配合した化粧料 |
JP2012223667A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Toyota Motor Corp | 柱状セリア触媒 |
JP2014058422A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Kyushu Univ | 酸化セリウム粒子の製造方法 |
JP2017014482A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド | 研磨粒子、研磨スラリー及び研磨粒子の製造方法 |
KR20180029198A (ko) | 2015-07-14 | 2018-03-20 | 엠. 테크닉 가부시키가이샤 | 산화물 입자의 제조 방법 |
JP2019131447A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | ヒロセホールディングス株式会社 | 酸化セリウム微粒子の製造方法 |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002090260A1 (en) * | 2001-05-07 | 2002-11-14 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Apparatus and method for preparing cerium oxide nanoparticles |
US7135161B2 (en) | 2003-09-04 | 2006-11-14 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Method of producing nanosized oxide powders |
US20050252853A1 (en) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | Berland Brian S | Novel proton conducting materials and devices incorporating them |
KR100682233B1 (ko) * | 2004-07-29 | 2007-02-12 | 주식회사 엘지화학 | 산화세륨 분말 및 그 제조방법 |
CN1622283A (zh) * | 2004-12-15 | 2005-06-01 | 贺平 | 复合氧化物半导体纳米材料的制备方法 |
CN100341787C (zh) * | 2005-03-29 | 2007-10-10 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种氧化铈纳米材料及制备方法和应用 |
KR101117525B1 (ko) * | 2005-06-10 | 2012-03-20 | 주식회사 동진쎄미켐 | 산화세륨 연마입자 및 그 제조방법 |
CN1312044C (zh) * | 2005-07-15 | 2007-04-25 | 清华大学 | 一种纳米氧化铈晶体材料的合成方法 |
KR100743457B1 (ko) | 2005-08-23 | 2007-07-30 | 한화석유화학 주식회사 | 반도체 얕은 트렌치소자 연마용 산화세륨 초미립자 및 이의슬러리 제조방법 |
KR100787346B1 (ko) * | 2005-08-31 | 2007-12-18 | 주식회사 엘지화학 | 산화세륨의 제조방법 |
SG136886A1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-29 | Asahi Glass Co Ltd | Method for producing glass substrate for magnetic disk, and magnetic disk |
US10435639B2 (en) | 2006-09-05 | 2019-10-08 | Cerion, Llc | Fuel additive containing lattice engineered cerium dioxide nanoparticles |
WO2008030805A1 (en) * | 2006-09-05 | 2008-03-13 | Cerion Technology, Inc. | Cerium dioxide nanoparticle-containing fuel additive |
US8883865B2 (en) | 2006-09-05 | 2014-11-11 | Cerion Technology, Inc. | Cerium-containing nanoparticles |
US20100172994A1 (en) * | 2006-11-22 | 2010-07-08 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Nanoparticles for Protection of Cells from Oxidative Stress |
US8333815B2 (en) * | 2007-05-03 | 2012-12-18 | Lg Chem, Ltd. | Cerium oxide powder for abrasive and CMP slurry comprising the same |
KR100873945B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2008-12-12 | (주) 뉴웰 | 미세 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는 씨엠피슬러리 |
KR100873940B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2008-12-12 | (주) 뉴웰 | 고순도 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는씨엠피 슬러리 |
US8679344B2 (en) * | 2008-12-17 | 2014-03-25 | Cerion Technology, Inc. | Process for solvent shifting a nanoparticle dispersion |
KR101075966B1 (ko) * | 2010-03-09 | 2011-10-21 | 주식회사 엘지화학 | 결정성 산화세륨 및 이의 제조 방법 |
CN102557102A (zh) * | 2010-12-29 | 2012-07-11 | 中国科学院过程工程研究所 | 单分散球形纳米氧化铈的制备方法 |
CN102730740B (zh) * | 2012-07-06 | 2014-03-12 | 南京信息工程大学 | 一种制备立方晶系氧化铈纳米晶的方法 |
RU2506228C1 (ru) * | 2012-08-21 | 2014-02-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Способ получения мезопористого наноразмерного порошка диоксида церия (варианты) |
CN103183371B (zh) * | 2013-04-01 | 2014-10-29 | 黑龙江大学 | 柿子饼形二氧化铈的制备方法 |
WO2015058037A1 (en) | 2013-10-17 | 2015-04-23 | Cerion, Llc | Malic acid stabilized nanoceria particles |
CN105948097B (zh) * | 2016-04-22 | 2018-09-07 | 广州市威格林环保科技有限公司 | 一种球形二氧化铈 |
RU2633582C1 (ru) * | 2016-06-23 | 2017-10-13 | Общество с ограниченной ответственностью "Инновационные Технологии Синтеза" | Способ получения нанодисперсных оксидов металлов |
CN106186036B (zh) * | 2016-07-10 | 2017-10-24 | 九江学院 | 一种六边形二氧化铈纳米片材料的制备方法 |
KR101864230B1 (ko) * | 2016-10-11 | 2018-06-04 | 창원대학교 산학협력단 | 용매가열공정을 이용하는 세리아 나노입자 제조방법 |
CN108017083B (zh) * | 2018-02-08 | 2019-07-09 | 济南大学 | 一种由空心颗粒构筑的CeO2多孔纳米簇及其制备方法 |
CN110745857A (zh) * | 2018-07-04 | 2020-02-04 | 乐山东承新材料有限公司 | 一种高纯洁净硝酸铈的制备方法及产品 |
KR102174483B1 (ko) * | 2018-10-18 | 2020-11-04 | 인천대학교 산학협력단 | 바인더를 혼합한 희토류 금속 산화물 용액을 이용한 표면 개질 방법 |
KR102282872B1 (ko) * | 2019-11-11 | 2021-07-28 | 주식회사 켐톤 | 세륨 산화물 입자의 제조방법, 연마입자 및 이를 포함하는 연마용 슬러리 조성물 |
BR112022018755A2 (pt) * | 2020-03-20 | 2022-11-22 | Univ California | Método para preparar uma dispersão aquosa de partículas de carbonato de cério (iii) nanométricas |
EP3957605A1 (en) * | 2020-08-20 | 2022-02-23 | Tata Consultancy Services Limited | Production of stable and uniformly dispersed nanoparticles |
CN114604888B (zh) * | 2020-12-09 | 2023-06-20 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种制备棒状、立方体和多面体氧化铈的方法 |
EP4015457A1 (en) * | 2020-12-15 | 2022-06-22 | Tata Consultancy Services Limited | Method for enhancing throughput and yield in nanoparticle production |
WO2022181850A1 (ko) * | 2021-02-23 | 2022-09-01 | 창원대학교 산학협력단 | 우수한 분산성 및 균일한 입도를 가지는 나노분말의 제조방법 |
CN114524450B (zh) * | 2022-03-21 | 2024-01-19 | 南京科技职业学院 | 一种纳米氧化铈紫外吸收剂的制备方法 |
CN115417443B (zh) * | 2022-09-23 | 2024-03-08 | 江苏农牧科技职业学院 | 一种纳米氧化铈颗粒及其绿色合成工艺和应用 |
CN115472445B (zh) * | 2022-09-29 | 2024-03-29 | 贵州民族大学 | 一种利用二氧化铈制备超级电容电极材料的方法 |
CN118373443B (zh) * | 2024-06-24 | 2024-09-27 | 淄博力之信新材料科技有限公司 | 一种超细氧化铈抛光粉及其制备工艺 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2523892A (en) * | 1949-05-12 | 1950-09-26 | James C Warf | Extraction process for cerium |
FR2617154B1 (fr) * | 1987-06-29 | 1990-11-30 | Rhone Poulenc Chimie | Procede d'obtention d'oxyde cerique et oxyde cerique a nouvelles caracteristiques morphologiques |
EP0300853B1 (fr) | 1987-06-29 | 1991-09-18 | Rhone-Poulenc Chimie | Procédé d'obtention d'un oxyde cérique |
JPH05208816A (ja) | 1992-01-28 | 1993-08-20 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 水酸化セリウム及び酸化セリウムの製造方法 |
KR960004212A (ko) * | 1994-07-08 | 1996-02-23 | 이정성 | 산화세륨(c o2)의 제조방법 |
JP3837754B2 (ja) * | 1994-07-11 | 2006-10-25 | 日産化学工業株式会社 | 結晶性酸化第二セリウムの製造方法 |
TW311905B (ja) * | 1994-07-11 | 1997-08-01 | Nissan Chemical Ind Ltd | |
JPH08119632A (ja) | 1994-10-25 | 1996-05-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類元素水酸化物の製造方法及び希土類元素酸化物の製造方法 |
JP2746861B2 (ja) * | 1995-11-20 | 1998-05-06 | 三井金属鉱業株式会社 | 酸化セリウム超微粒子の製造方法 |
US5962343A (en) * | 1996-07-30 | 1999-10-05 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Process for producing crystalline ceric oxide particles and abrasive |
US5879715A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-09 | Ceramem Corporation | Process and system for production of inorganic nanoparticles |
JP3983949B2 (ja) * | 1998-12-21 | 2007-09-26 | 昭和電工株式会社 | 研磨用酸化セリウムスラリー、その製造法及び研磨方法 |
US6887566B1 (en) * | 1999-11-17 | 2005-05-03 | Cabot Corporation | Ceria composition and process for preparing same |
KR100417529B1 (ko) * | 2001-04-09 | 2004-02-05 | (주)케이.씨.텍 | 글리코 써멀법에 의한 나노 크기 세리아 분말의 제조방법 |
KR100417530B1 (ko) * | 2001-04-09 | 2004-02-05 | (주)케이.씨.텍 | 직경이 50-100㎚인 미세 산화세륨 입자의 제조방법 |
US6596042B1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-07-22 | Ferro Corporation | Method of forming particles for use in chemical-mechanical polishing slurries and the particles formed by the process |
-
2002
- 2002-04-15 KR KR10-2002-0020407A patent/KR100477939B1/ko active IP Right Grant
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006182604A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 金属酸化物ゾルの製造方法および金属酸化物ゾル |
JP2006279050A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Samsung Corning Co Ltd | 分散安定性に優れている研磨スラリーの製造方法 |
JP2007217265A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-30 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 酸化物微結晶粒子からなる粉体、それを用いた触媒、及びその製造方法 |
JP2007230800A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Nissan Motor Co Ltd | 希土類酸化物の製造方法 |
JP2010510157A (ja) * | 2006-11-20 | 2010-04-02 | エルジー・ケム・リミテッド | 有機溶媒を用いた酸化セリウム粉末の製造方法及びこの粉末を含むcmpスラリー |
JP2010089989A (ja) * | 2008-10-08 | 2010-04-22 | Daito Kasei Kogyo Kk | 球状酸化セリウムおよびその製造方法並びにそれを配合した化粧料 |
JP2012223667A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Toyota Motor Corp | 柱状セリア触媒 |
JP2014058422A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Kyushu Univ | 酸化セリウム粒子の製造方法 |
JP2017014482A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド | 研磨粒子、研磨スラリー及び研磨粒子の製造方法 |
US9790401B2 (en) | 2015-06-30 | 2017-10-17 | Ubmaterials Inc. | Abrasive particles, polishing slurry and method of fabricating abrasive particles |
KR20180029198A (ko) | 2015-07-14 | 2018-03-20 | 엠. 테크닉 가부시키가이샤 | 산화물 입자의 제조 방법 |
US10196267B2 (en) | 2015-07-14 | 2019-02-05 | M. Technique Co., Ltd. | Method of producing oxide particles |
JP2019131447A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | ヒロセホールディングス株式会社 | 酸化セリウム微粒子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60327065D1 (de) | 2009-05-20 |
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