KR20080054580A - 탄산세륨과 산화세륨의 신규한 제조방법 및 제조된산화세륨을 포함하는 연마액 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탄산세륨 및 산화세륨의 신규한 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 ⅰ) 세륨염을 물 용매에 녹여 세륨염 용액을 제조하는 단계, ⅱ) 제조된 세륨염 용액에 이산화탄소를 주입하는 단계, 및 ⅲ) 이산화탄소가 포함된 세륨염 용액에 수용성 아민계 화합물을 투입하여 탄산세륨을 합성하는 단계를 포함하므로써, 탄산세륨의 입자크기 및 입자형태를 용도에 맞게 조절할 수 있고, 특히 기체상을 이용하여 반응조건이 온화하고 후공정이 간단하며, 출발물질의 비용을 절감할 수 있는 탄산세륨의 제조방법에 관한 것이다.
탄산세륨, 산화세륨, 암모니아수, 이산화탄소, 소성, 연마액

Description

탄산세륨과 산화세륨의 신규한 제조방법 및 제조된 산화세륨을 포함하는 연마액{NOVEL SYNTHETIC METHOD OF CERIUM CARBONATE AND CERIA, AND ABRASIVE LIQUID CONTAINING THE SAID CERIA}
도 1은 본 발명의 실시예 1에 의해 제조된 탄산세륨 분말의 SEM 사진이다
(배율: 10,000 배, 스케일바(scale bar)의 길이: 5 ㎛).
도 2는 본 발명의 실시예 2에 의해 제조된 탄산세륨 분말의 SEM 사진이다
(배율: 10,000 배, 스케일바의 길이: 5 ㎛).
도 3은 본 발명의 실시예 3에 의해 제조된 탄산세륨 분말의 SEM 사진이다
(배율: 10,000 배, 스케일바의 길이: 5 ㎛).
도 4은 본 발명의 실시예 1에 의해 제조된 탄산세륨 분말의 XRD 패턴을 나타낸 그래프이다.
도 5은 본 발명의 실시예 2에 의해 제조된 탄산세륨 분말의 XRD 패턴을 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예 3에 의해 제조된 탄산세륨 분말의 XRD 패턴을 나타낸 그래프이다.
도 7는 본 발명의 실시예 4에 의해 제조된 산화세륨 분말의 XRD 패턴을 나타낸 그 래프이다.
본 발명은 탄산세륨 및 산화세륨의 신규한 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 탄산세륨의 입자 크기 및 형태를 용도에 맞게 조절할 수 있고, 반응조건이 온화하고 후공정이 간단하며, 출발물질의 비용을 절감할 수 있는 새로운 탄산세륨 및 산화세륨의 제조방법에 관한 것이다.
또한, 반도체용, 광학용 등 연마특성에 따라서 여러 가지 결정모양의 산화세륨을 포함하는 연마액에 관한 것이다.
종래 산화세륨의 제조방법으로는 통상적으로 3 가 혹은 4 가의 세륨염 출발물질로부터 침전제를 첨가하여 산화세륨 분말을 직접 제조하는 액상법과 탄산세륨 등의 중간 원료물질을 제조한 후 고온 소성 공정을 거쳐 제조하는 고상법 등이 있다.
상기 탄산세륨의 제조방법으로써, Journal of materials science letters 18(1999) 403-405(M. Hirano, E.Kato; hydrothermal synthesis of two types of cerium carbonate particle)에서는 용액상에서 질산세륨, 염화세륨 또는 술폰산세륨과 우레아를 반응시켜 육방정계와 사방정계의 결정구조를 갖는 탄산세륨의 제조방법을 개시하고 있다. 상기 제조방법은 우레아의 농도와 반응 온도에 따라 결정 구조를 조절할 수 있으나, 고온 및 고압의 반응조건이 요구되어 고압반응기를 사용해야 한다는 한계가 있다.
Bulletin of the chemical society of Japan(vol. 52(2) 428-432 1979 ; Hisandu Wakita, Setsuko Kinoshita; A synthetic study of the solid solution in the systems La2(CO3)3.8H2O-Ce(CO3)3.8H2O and La(OH)CO3-Ce(OH)CO3)에서는 염화세륨과 알칼리탄산염, 알칼리중탄산염, 트리클로로아세트산 또는 우레아를 침전제로 사용한 탄산세륨의 제조방법을 개시하고 있으나, 이 경우에도 반응 조건에 따라서 고압반응기가 필요하고, 알칼리탄산염 또는 알칼리중탄산염을 사용하여 반응시키는 경우 다량의 이산화 탄소 거품에 의해서 반응기가 넘칠 수 있는 문제점이 있다.
일본공개특허 제 2002-371267(2002.12.26 공개)에서는 침전제로 탄산염, 수산화염을 사용하는 방법을 개시하고 있으나, 탄산세륨의 후처리 공정이 복잡하고, 생성되는 탄산세륨의 결정모양을 여러 가지 특성에 따라 조절할 수 없다는 한계가 있다.
일본등록특허 제 2786095호(1998.05.29 등록)에서는 세륨 광산염 수용액의 pH를 2.0 내지 5.0으로 유지하면서 탄산수소암모늄 용액을 투입하여 탄산세륨을 합성하는 방법을 개시하고 있으나, 이는 특정 세륨염 용액의 농도 및 pH에 제한되어 탄산세륨의 입자 크기 및 형태 등을 조절하기 어렵고, 반응시 다량의 이산화탄소의 발생으로 반응기가 넘칠 수 있고, 세척공정이 필요하여 후공정 등이 복잡하며, 침전되는 탄산세륨이 과도하게 뭉쳐지는 현상이 발생하는 한계가 있다.
따라서, 원료의 비용을 줄이고, 후처리 공정이 간단하며, 적용되는 특성에 따라 탄산세륨 및 산화세륨의 결정모양을 조절할 수 있는 새로운 탄산세륨 및 산화세륨의 제조방법에 대한 연구가 필요한 실정이다.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자, 본 발명은 탄산세륨의 입자 크기 및 형태를 용도에 맞게 조절할 수 있고, 특히 반응조건이 온화하고 후공정이 간단하며, 출발물질의 비용을 절감할 수 있는 새로운 탄산세륨 및 산화세륨의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 반도체용, 광학용 등 연마특성에 따라서 여러 가지 결정모양의 산화세륨을 포함하는 연마액을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 상기 목적 및 기타 목적들은 하기 설명된 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 ⅰ) 세륨염을 물 용매에 녹여 세륨염 용액을 제조하는 단계, ⅱ) 제조된 세륨염 용액에 이산화탄소를 주입하는 단계, 및 ⅲ) 이산화탄소가 포함된 세륨염 용액에 수용성 아민계 화합물을 투입하여 탄산세륨을 합성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄산세륨의 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 탄산세륨을 400 내지 1,000 ℃에서 소성하는 단계를 포함하는 산화세륨의 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 연마재로서 상기 산화세륨 100 중량부 및 분산제 0.001 내지 10 중량부를 포함하는 연마액을 제공한다.
이하 본 발명을 상세하게 설명한다.
본 발명자들은 탄산세륨 및 산화세륨의 제조에 대하여 연구하던 중, 세륨염 용액에 이산화탄소를 투입하여 포화시키고, 이산화탄소가 포화된 세륨염 용액에 물에 용해되는 아민계 화합물을 투여하여 반응시키는 경우에, 반응이 온화하고, 세척공정이 불필요하여 후공정이 간단하고, 출발물질의 비용을 절감할 수 있음을 확인하였고, 또한 상기 반응에서 질산세륨의 농도, 탄산세륨의 합성 온도 및 시간을 조절하므로써 수백 마이크로미터에서 나노미터 크기의 탄산세륨 입자를 얻을 수 있으며, 판형의 결정모양에서부터 구형의 입자까지 자유롭게 조절 할 수 있고, 결정구조 또한 육방체형에서 사방체형까지 조절할 수 있음을 확인하였고, 이를 토대로 본 발명을 완성하게 되었다.
본 발명의 탄산세륨의 제조방법은 ⅰ) 세륨염을 물 용매에 녹여 세륨염 용액을 제조하는 단계, ⅱ) 제조된 세륨염 용액에 이산화탄소를 주입하는 단계, 및 ⅲ) 이산화탄소가 포함된 세륨염 용액에 수용성 아민계 화합물을 투입하여 탄산세륨을 합성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 ⅰ) 단계는 세륨염을 물 용매에 녹여 세륨염 용액을 제조하는 단계이다.
상기 세륨염으로는 질산세륨, 염화세륨, 아세트산세륨, 술폰산세륨 등으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상을 사용할 수 있다.
상기 세륨염 용액은 0.1 내지 1 ㏖/L인 것이 바람직할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
합성 시 탄산세륨은 핵생성 단계와 핵성장 단계를 거쳐 탄산세륨 분말로 자라게 되므로, 상기 세륨염 용액의 농도를 달리하면 초기의 핵생성 단계에서 핵의 개수를 조절할 수 있고, 이로부터 다양한 입자 크기 및 모양의 탄산세륨 분말을 얻을 수 있다.
상기 ⅱ) 단계는 제조된 세륨염 용액에 이산화탄소를 주입하는 단계이다.
상기 이산화탄소는 세륨염 용액에 포화되어 녹을 수 있을 정도로 주입하는 것이 바람직하다. 이산화탄소가 세륨염 용액에 포화되는 경우에 합성되는 탄산세륨의 수율이 높게 된다.
상기 이산화탄소의 주입은 물에 용해되는 아민계 화합물이 투입되어 탄산세륨이 합성되는 동안 계속되는 것이 바람직하다.
상기 ⅲ) 단계는 상기 이산화탄소가 주입된 세륨염 용액에 수용성 아민계 화합물을 투입하여 탄산세륨을 합성하는 단계이다.
상기 수용성 아민계 화합물로는 에틸아민, 암모니아 등을 사용할 수 있고, 바람직하게는 암모니아를 사용하는 것이다. 상기 암모니아를 사용하는 경우에는 세척단계를 생략할 수 있어, 후처리 공정이 용이한 장점이 있다.
상기 수용성 아민계 화합물은 물 용매와 혼합하여 사용할 수 있다.
상기 세륨염과 상기 아민계 화합물의 몰비는 1:0.1 내지 1:5인 것이 바람직하다. 상기 세륨염 1 몰에 대하여 아민계 화합물이 0.1 몰 미만인 경우에는 탄산세륨의 수율이 떨어지게 되고, 5 몰을 초과하는 경우에는 두 용액의 혼합 시 탄산세륨 보다 수산화세륨이 먼저 생성된다.
상기 수용성 아민계 화합물의 투입은 이산화탄소를 상기 세륨염 용액에 불어넣어 주면서 30 분 이상 일정하게 연속적으로 실시하는 것이 바람직하다.
상기 투입되는 시간이 30 분 미만인 경우에 부산물로 수산화 세륨이 생성되어, 탄산세륨의 수율이 낮아진다.
상기 수용성 아민계 화합물을 투입하는 단계에서 핵 생성과 성장이 동시에 이루어지므로, 세륨염 용액의 농도와 아민계 화합물의 농도, 양 및 투입시간 등을 조절함으로써 입자의 크기 및 모양을 조절할 수 있다.
상기 탄산세륨 합성은 30 분 내지 30 시간 동안 실시되는 것이 바람직하다. 상기 탄산세륨을 합성하는 시간은 최소한 상기 아민계 화합물을 투입하는 시간 이상이어야 하고, 암모니아를 다 적가하기 전에 합성을 끝낼 수 없으며, 또한 적가를 빨리해서 합성 시간을 줄일 수 없다. 상기 합성 시간이 30 분 미만인 경우에는 반응이 덜 진행되어 탄산세륨의 수율이 낮아지고, 30 시간을 초과하는 경우에는 경제성이 떨어진다.
상기 탄산세륨 합성은 10 ℃ 이상 및 용액의 끓는점 이하의 범위에서 실시할 수 있고, 바람직하게는 20 내지 100 ℃에서 실시하는 것이다. 상기 합성 온도가 10 ℃ 미만인 경우에 반응시간이 지나치게 길어지며, 반응이 완전히 진행되지 않아 수율이 낮게 되고, 상기 합성 온도가 용액의 끓는점을 초과하는 경우에는 용액의 기화로 이산화탄소의 용해도가 급격히 줄어들어 탄산세륨의 수율이 낮아지고, 수산화세륨이 다량 생성된다.
상기 합성에 따라 제조된 탄산세륨 분말은 원심분리 세척을 거쳐 약 60 ℃에서 24 시간 동안 건조하는 것이 바람직하다.
본 발명의 산화세륨의 제조방법은 상기 탄산세륨의 제조방법에 따라 제조된 탄산세륨을 400 내지 1,000 ℃에서 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 소성은 30 분 내지 2 시간 동안 실시되는 것이 바람직하다.
본 발명의 연마액은 상기 산화세륨의 제조방법에 따라 제조된 산화세륨 100 중량부 및 분산제 0.001 내지 10 중량부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 산화세륨 분말을 연마재로 하는 연마액은 상기 산화세륨 분말을 분산제와 함께 용매에 용해함으로써 제조할 수 있다.
상기 분산제는 비이온성 고분자 분산제 또는 음이온성 고분자 분산제를 사용할 수 있다.
상기 비이온성 고분자 분산제로는 폴리 비닐 알코올, 에틸렌 글리콜, 글리세린, 폴리 에틸렌 글리콜, 폴리 프로필렌 글리콜 및 폴리 비닐 피롤리돈으로 이루어 진 군으로부터 선택되는 1 종 이상을 사용할 수 있고, 상기 음이온성 고분자 분산제로는 폴리 아크릴산, 폴리 아크릴산 암모늄염 및 폴리 아크릴 말레익산으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 분산제는 산화세륨 연마재 100 중량부를 기준으로 0.001 내지 10 중량부로 포함되는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.02 내지 3.0 중량부가 포함되는 것이다. 그 함량이 0.001 중량부 미만인 경우에는 분산력이 낮아 침전이 빨리 진행되므로, 연마액의 이송 시 침전이 발생되어 연마재의 공급이 균일하지 못하게 되고, 10 중량부를 초과하는 경우에는 연마재 입자 주변에 일종의 쿠션역할을 하는 분산제 폴리머 층이 두텁게 형성되어, 연마재 표면이 실리카 연마면에 접촉되기가 어려워져 연마 속도가 낮아진다.
상기 연마액은 산화세륨 분말 및 분산제를 물에 혼합한 후 pH 6 내지 8이 되도록 1N KOH 또는 1N HNO3 등으로 적정하는 것이 바람직하다.
상기 pH 적정이 끝나면 분산 및 저장안정성을 향상시키기 위하여 분산안정화 공정을 거치는 것이 바람직하다. 분산 안정화 공정은 분산 장비인 아펙스 밀(APEX mill)을 사용하여 수행할 수 있다.
상기 아펙스 밀의 조건으로는 0.01 내지 1 mm 지르코니아 비이드의 사용, 이송속도 10 내지 1,000 ㎖/min, 교반속도 2,000 내지 5,000 rpm 및 순환 회수 1 내지 20 회인 것이 바람직하다.
본 발명에서 제조한 산화세륨은 연마재외에도 각종 촉매용으로 사용할 수 있다.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시하나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 범주 및 기술사상 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속하는 것도 당연한 것이다.
[실시예]
< 탄산세륨의 합성>
실시예 1
질산세륨 130 g 및 물 600 g을 1 ℓ 유리 반응기에 투입하여 300 rpm의 속도로 교반하여 완전히 용해시켰다. 이후 상기 반응기에 이산화탄소를 60 분 동안 충분히 불어넣어준 후, 이산화탄소의 공급을 유지하면서 25 % 암모니아수 126 g을 30 분 동안 천천히 투입하였다. 이후 상온에서 2 시간 동안 더 반응을 진행시키고, 반응물을 배출시켰다. 상기 반응물을 자연냉각시켜 탄산세륨을 제조하였다.
상기 제조된 탄산세륨을 X-선 회절분석을 통해 확인하였다.
실시예 2
상기 실시예 1에서 질산세륨 65 g, 물 1,000 g 및 25 % 암모니아수 63 g을 사용한 것과 암모니아수 투입 후 상온에서 20 시간 동안 더 반응을 진행시킨 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 실시하였다.
실시 예 3
상기 실시예 2에서 암모니아수 투입 후 90 ℃에서 4 시간 동안 더 반응을 진행시킨 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 실시하였다.
<산화세륨( CeO 2 )의 합성>
실시예 4
상기 실시예 3에서 제조된 탄산세륨 20 g을 50 ℃ 진공상태에서 24 시간 건조한 후 900 ℃에서 2 시간 동안 소성시켜 산화세륨을 제조하였다.
상기 제조된 산화세륨은 X-선 회절분석을 통해 확인하였다.
<연마액의 제조>
실시예 5
상기 실시예 4에서 제조된 산화세륨 0.1 kg, 초순수 0.9 kg 및 산화세륨 100 중량부에 대하여 폴리아크릴산 분산제(Mw 2,000, Aldrich사 제조) 2 중량부를 혼합하여 산화세륨 분산액을 제조하였다. 상기 산화세륨 분산액을 pH 7.5가 되도록 25 % 암모니아수로 적정한 후, 0.1 mm 지르코니아 비이드를 사용한 아펙스 밀(Kotobuki eng.& mfg. Co.제조)을 통하여 4,250 rpm의 속도로 교반하면서, 이송 속도 400 L/min의 조건에서 3 회 순환시켜 연마입자의 평균 입도가 180 nm가 되도록 하였다. 상기 산화세륨 분산액에 초순수를 첨가하여 연마입자가 2 중량%로 포함된 연마액을 제조하였다.
상기 실시예 1 내지 3에서 제조한 탄산세륨, 및 실시예 4 내지 5에서
제조한 산화세륨의 평균입경, 입자형태 및 입자구조를 측정하여 그 결과를 하기의 표 1에 나타내었다.
이때, 탄산세륨의 입자형태는 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진으로 나타내었고, 탄산세륨 및 산화세륨의 입자구조는 XRD(X-Ray Diffraction) 분석을 통하여 구하였다(1 내지 7 참조).
구분 탄산세륨 산화세륨 연마입자
실시예 1 실시예 2 실시예 3 실시예 4 실시예 5
평균 입경 20㎛이상 10㎛~20㎛ 20 ㎚∼2 ㎛ 20 ㎚∼2 ㎛ 180nm
입자 형태 판상형 판상형 막대 형태/구형 막대 형태/구형 구형
입자 구조 사방체형 육방체형 Ce2O(CO3)2H2O CeO2 CeO2
상기 표 1에 나타낸 바와 같이, 질산세륨의 농도를 낮추어 제조된 탄사세륨(실시예 1)은 평균입경 20 ㎛ 이상의 사방체형의 입자구조를 가지고, 질산세륨의 농도를 높여 제조된 탄산세륨(실시예 2)은 평균입경 10 ㎛ ~ 20 ㎛의 육방체형의 입자구조를 가지는 것을 확인하였고, 이로부터 질산세륨의 농도를 조절함으로써 입자 크기 및 구조를 조절할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한, 암모니아수를 모두 투여한 후 90 ℃에서 4 시간 동안 반응을 진행시켜 얻은 탄산세륨(실시예 3)의 경우에 평균입경 20 ㎚ ∼ 2 ㎛의 막대 형태 및 구형의 입자형태를 가짐을 확인하였고, 이로부터 반응온도를 조절함으로써 판상형에서 구형으로 입자형태를 조절할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한, 본 발명에 따른 탄산세륨(실시예 3)을 900 ℃에서 2 시간 동안 소성하여 얻은 산화세륨(실시예 4)의 경우 평균입경 1 ㎛의 막대 형태 및 구형의 입자형태를 가짐을 확인하였고, 이로부터 제조된 연마액의 경우에 분쇄를 통해서 평균입경 180 nm의 구형의 연마입자를 가짐을 확인할 수 있었다. 이로부터 연마특성에 따라 연마입자의 결정 구조 및 모양 등을 조절할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한, 본 발명에 따른 탄산세륨의 제조공정은 이산화탄소의 급격한 발생에 의한 끓음 현상이 없었으며, 세척공정이 불필요하여 후공정이 간단하였고, 저가의 원료물질을 사용하여 경제성이 우수함을 확인할 수 있었다.
상기 실시예 1 내지 3에서 제조한 탄산세륨의 SEM 사진을 도 1 내지 3에 나타내었다. 이때 SEM 사진의 배율은 10,000 배, 스케일 바의 길이는 5 ㎛였다.
도 1 내지 3에 따르면, 실시예 1 및 2의 탄산세륨은 판상형이고, 실시예 3의 탄산세륨은 막대 형태 및 구형임을 확인할 수 있었다.
상기 실시예 1 내지 4에서 제조한 탄산세륨 및 산화세륨의 XRD 패턴을 나타낸 그래프는 도 4 내지 7에 나타내었다.
도 1 내지 5에 따르면, 실시예 1의 탄산세륨은 사방체형이고, 실시예 2의 탄산세륨은 육방체형이며, 실시예 3의 탄산세륨은 Ce2O(CO3)2H2O의 입자구조를 가짐을 확인할 수 있었고, 또한 실시예 4의 산화세륨은 CeO2의 입자 구조를 가짐을 확인할 수 있었다.
상기에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 탄산세륨 및 산화세륨의 제조방법은, 종래의 탄산세륨을 중간단계로 사용하여 산화세륨을 합성할 경우에 제어하기 힘든 탄산세륨 입자 크기 및 형태를, 용도에 맞게 조절할 수 있고, 특히, 기체상을 이용하여 제조함으로써 반응조건이 온화하고, 세척공정이 불필요하여 후공정이 간단하며, 출발물질의 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 반도체용, 광학용 등 연마특성에 따라 연마입자인 산화세륨의 결정 구조 및 모양이 다양하게 조절된 연마액을 제공하는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. ⅰ) 세륨염을 물 용매에 녹여 세륨염 용액을 제조하는 단계;
    ⅱ) 제조된 세륨염 용액에 이산화탄소를 주입하는 단계; 및
    ⅲ) 이산화탄소가 포함된 세륨염 용액에 수용성 아민계 화합물을 투입하여 탄산세륨을 합성하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는
    탄산세륨의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 세륨염은, 질산세륨, 염화세륨, 아세트산세륨 및 술폰산세륨으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상인 것을 특징으로 하는
    탄산세륨의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 세륨염 용액의 농도는, 0.1 내지 1 ㏖/L인 것을 특징으로 하는
    탄산세륨의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 물에 용해되는 아민계 화합물은, 암모니아수인 것을 특징으로 하는
    탄산세륨의 제조 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 세륨염과 물에 용해되는 아민계 화합물의 몰비는, 1:0.1 내지 1:5인 것을 특징으로 하는
    탄산세륨의 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    ⅲ) 단계의 합성은, 20 내지 100 ℃에서 실시되는 것을 특징으로
    하는 탄산세륨의 제조방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    ⅲ) 단계의 합성은, 30 분 내지 30 시간 동안 실시되는 것을
    특징으로 하는
    탄산세륨의 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 수용성 아민계 화합물의 투입은, 이산화탄소를 지속적으로 주입시키면서 이루어지는 것을 특징으로 하는
    탄산세륨의 제조방법.
  9. ⅰ) 세륨염을 물 용매에 녹여 세륨염 용액을 제조하는 단계;
    ⅱ) 제조된 세륨염 용액에 이산화탄소를 투입하는 단계;
    ⅲ) 이산화탄소가 포함된 세륨염 용액에 암모니아수를 투입하여 탄산세륨을 합성하는 단계; 및
    ⅳ) 상기 탄산세륨을 400 내지 1,000 ℃에서 소성하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는
    산화세륨의 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 ⅳ) 단계의 소성은, 30 분 내지 2 시간 동안 실시되는 것을
    특징으로 하는
    산화세륨의 제조방법.
  11. 제 9항 기재의 제조방법에 의해 제조된 산화세륨 100 중량부 및 분산제 0.001 내지 10 중량부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는
    연마액.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 분산제는, 폴리 비닐 알코올, 에틸렌 글리콜, 글리세린, 폴리 에틸렌 글리콜, 폴리 프로필렌 글리콜, 폴리 비닐 피롤리돈, 폴리 아크릴산, 폴리 아크릴산 암모늄염 및 폴리 아크릴 말레익산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는
    연마액.
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