JP4118818B2 - 単結晶酸化セリウム粉末の製造方法 - Google Patents

単結晶酸化セリウム粉末の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、酸化セリウム(CeO2)ナノ粒子の製造方法に関し、より詳しくは、均一
な粒子形状及び粒径分布を有し低温で生成できるだけでなく、従来の水熱反応では合成し難い約30nm以上の粒径を有する単結晶酸化セリウムナノ粉末の製造方法に関するものである。
酸化セリウム(CeO2)粉末は、研磨剤、触媒、蛍光体の原料などに適用される多機
能性粉末であって、最近は、半導体産業の発達に伴ってその製造工程のうちのCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程に用いられるスラリーの主要成分として脚光を浴び
ている。
酸化セリウム(CeO2)粉末を用いる多くの分野では、微細ながらもより均一であり
、粒子の形状が球形である酸化セリウム(CeO2)粉末の合成が非常に必要な状況であ
るが、粒度及び分散の制御が難しい高温固相合成法以外には特別な製造方法がなく、粒度及び形状の制御が比較的容易である共沈法、水熱合成法、エマルジョン法などの各種溶液法では30nm以上の単結晶酸化セリウム(CeO2)粉末を合成した研究結果がないた
め、酸化セリウム(CeO2)粉末の活用は非常に困難である。
鉱物を粉砕して粉末を得る従来の方法ではセラミックの優れた特性を十分得られないということが認識されてきている。共沈法、ゾル−ゲル法、水熱合成法などの液相粉末合成法によれば、このような既存方式の短所を補完してセラミックスの新しい特性を開発し、高付加価値を有するセラミック製品を得られるので、これに関する多くの研究が行われている。
特に、水熱合成法は、液相粉末合成法が有する粒度及び形状の制御特性だけでなく、固相反応より遥かに低い温度の溶液状態で単結晶粒子を成長させ、粒度及び形状を制御することができるので、研究が多くなされてきている。
一方、水熱合成法などの液相粉末合成法は、小さい核から大きい粒子へと成長するビルド−アップ(Build-up)方式であって微細な粒子を合成しやすい方であるが、大きくて結晶性の高い粒子は合成し難い。多くの研究でこの問題点を克服するために、シード(Seed)を用いて初期出発粒子の大きさを制御した後に結晶成長だけを行ったり、水の臨界点以上の超臨界状態の高温高圧反応を適用したり、溶解度を高めるために高濃度の酸、塩基を用いたりもするが、問題もある。特に、超臨界水を用いた超臨界流体法は、高温での反応に適用できる高価な装置が要求され、高価な部品の消耗性が大きく、反応条件の制御も難しくて、継続的な研究が行われているにもかかわらず、産業への適用はまだ遠い話である。
溶液相を経る粉末合成工程は、一般に大きく二つの段階、つまり核生成及び結晶成長を経て行われる。粒子の大きさを調節するためにはこの二つの段階が全てよく制御されなければならず、特に核生成段階においては、核の数が多くなるほど粒子の大きさは小さくなり、結晶成長時においては、過飽和度が大きい場合や、大きい粒子への成長におけるエネルギー障壁が核生成におけるエネルギー障壁よりも低い場合には、二次核生成が起こる。したがって均一で結晶の大きい粒子は生成し難い。一般的に大きくて均一な粒子を得るためには、反応溶液の過飽和度が適切に制御されなければならない。この過飽和度は主に溶質の濃度と溶液の溶解度とで制御できるので、所望のセラミック粉末を合成するためには
適切な溶媒、溶質の濃度、温度、及び溶解度を調節して粒子の形状を調節するための添加剤の選択が非常に重要である。
Matijevicなどは、溶液相を経るCeO2の粉末合成に関して、Ce(SO42・4H2
O、(NH44Ce(SO44・2H2O、(NH42Ce(NO36などを原料として
用い、これをパイレックス(R)管に密封し、一定の温度に加熱して水酸化セリウムを沈殿させた後、約600℃で焼成して、六角形の板状及び球形の酸化セリウム粒子を得ることができると報告している(Wan Peter Hsu, Lena Roannquist, Egon Matijevic, Preparation and Properties of Monodispersed Colloidal Particles of Lanthanide Compounds. 2. Cerium(IV), Langmuir, 4, 31-37 (1998))。
また、E. Taniなどは、硝酸セリウムとNH4OHを原料として用いて水酸化物を沈殿させた後、これを各種添加剤と共に約500乃至600℃の高温で水熱合成して、約100μmまたはそれ以上の酸化セリウム粉末を合成した(E. Tani, M. Yoshimura, S. Somiya, Crystallization and crystal growth of CeO2 under hydrothermal conditions, J. Mater. Sci. Letters, 1, 461-462, (1982))。
また、Takuya Tsuzukiなどは、塩化セリウム(CeCl3)とNaOHとを原料として
用い、メカノケミカル(Mechanochemical)工程と焼成工程とを利用してナノサイズの均
一な酸化セリウムを合成した。1次粉砕工程では、塩化セリウム、NaOH及びNaClを鉄球(steel ball)で粉砕することにより、メカノケミカル反応によって水酸化セリ
ウムが合成され、この水酸化セリウムを500℃以上で焼成して、球形のナノサイズの酸化セリウムが合成されると報告している。
一方、このようなメカノケミカル工程による酸化セリウム粒子の合成は、半導体工程に致命的な汚染源であるナトリウムを多量に含有するために、別途の洗浄工程を追加しなければならず、その上焼成工程により凝集及び結晶化が生ずるためにナノサイズの粒子に粉砕するのに多くのエネルギーが消耗される。したがって、産業への適用及びCMP工程への適用のためには解決しなければならない問題点がまだ存在する(Takuya Tsuzuki, Paul
G. McCormick, Synthesis of Ultrafine Ceria Powders by Mechanochemical Porcessing, J. Am. Ceram. Soc., 84(7), 1453-58, (2001))。
本発明は前記従来の技術の問題点に鑑みて、有機溶媒の存在下で酸化セリウム前駆体を製造することにより、従来の水熱反応では合成し難い約30nm以上の粒径を有する単結晶酸化セリウムナノ粉末の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、粒子の形状及び大きさの分布が均一であり、分散性が優れた単結晶酸化セリウムナノ粉末の製造方法を提供することにある。
本発明は、前記目的を達成するために、セリウム塩を有機溶媒と水との混合溶媒の存在下で沈殿させて水酸化セリウムを製造する工程;及び該水酸化セリウムを水熱反応させる工程;を含む単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法を提供する。
また、本発明は、前記方法によって、約30nm以上の粒径を有する単結晶酸化セリウムを提供する。
本発明により、単結晶酸化セリウムナノ粉末のための方法であって、粒子の形状及び粒度を制御し、約30nm以上の粒径を有し分散性にも優れた単結晶酸化セリウム粉末を提供する上での優れた方法が提供される。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の酸化セリウム粉末を製造する方法は、有機溶媒と水との混合溶液の存在下でセリウム塩から水酸化セリウムを沈殿させる工程と、該水酸化セリウムを水熱反応させる工程を含んでいる。この方法により、約30nm以上の粒径を有する単結晶酸化セリウム粉末を容易に得ることができる。また、従来のセリウム塩から水酸化セリウムを沈殿させる沈殿法が、水だけを溶媒として用いており、粒子の大きさ及び形状を調整できなかったのに対して、本発明は、有機溶媒と水との混合溶媒を用いて、約30nm以上の粒径を有し、形状が一定である粉末を製造できるようにしたものである。適切な有機溶媒の添加により、本発明の方法は水酸化セリウムの結晶化度を調節し、酸化セリウム粉末の粒度及び形状が制御しやすくなる。本発明の製造方法で製造される単結晶酸化セリウムナノ粉末は、約30乃至約300nmの粒径を有することが好ましい。
前記沈殿工程で合成された水酸化セリウムを水熱反応させて酸化セリウムを合成する工程では、核生成及び結晶成長が酸化セリウム粒子の形状及び粒度を制御する。水酸化セリウムは他のセラミック材料に比べて比較的容易に酸化物へ相転移するため、最終生成粒子の形状及び粒度を調節するのが難しい。つまり、数ナノメートル単位の水酸化物粒子がそのまま酸化物へ相転移したり、数マイクロメートルの凝集した酸化物が生成する可能性もある。したがって、核生成及び結晶成長を制御するために、核へ相転移する水酸化物粒子と結晶成長に消耗される非晶質の水酸化物とは適切に混合され、以前の沈殿反応で残存した他の陰イオン及び溶媒成分などは溶解度及び過飽和度を制御する。
本発明の沈殿法では、硝酸セリウム又は酢酸セリウムなどのセリウム塩を有機溶媒と水との混合溶媒に溶解した後にpH調整剤を加えて、アルカリの存在下で水酸化セリウムを製造する。このような沈殿は、さらに塩化ナトリウム又は尿素を添加して実施することもできる。
前記有機溶媒と水との混合重量比は約0.1:1乃至約5:1が好ましい。具体的には、原料であるセリウム塩約0.01〜約0.5molを約100〜約1000mlの蒸溜水と有機溶媒との混合溶液に溶解させ、沈殿反応のpHがアルカリとなるようにNaOH、KOH、又はアンモニア水などのpH調整剤を少量添加して、水酸化物の酸化程度及び結晶度が調節される。また、沈殿の際の反応温度を約20乃至約80℃に調節して、結晶度を調節する。
ここで、有機溶媒としては、
i)アルコール:メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなど、
ii)グリコール:エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコールなど、
iii)その他:アセトン、グリセロール、蟻酸、エチルアセテートなど
が好ましい。
これら有機溶媒は、前記の例の中から1種だけを選択して使用してもよく、2種以上選択して混合有機溶媒として使用してもよい。
前記セリウム塩の原料としては様々な化学物質を用いることができるが、陰イオン成分は、後の反応溶液の組成に大きな影響を与えるので慎重に考慮しなければならない。本発明では、硝酸セリウム(cerium nitrate)、酢酸セリウム(cerium acetate)などのセリ
ウム塩を、沈殿反応のための出発原料として用いた。
また、pH調整剤は、沈殿した水酸化セリウムの結晶化の程度、粒子の大きさ、及び酸化状態に非常に大きな影響を与える。さらに、一定量のpH調整剤が沈殿した水酸化物セリウムに残って、後の水熱合成反応において酸化セリウムの形状及び粒度の制御に大きな影響を与える。したがって、本発明では、NaOH、KOH、及びアンモニア水がpH調整剤として用いられる。
本発明では、前記の沈殿した水酸化セリウムを水熱反応させ、所望の粒度と形状を有する酸化セリウム粉末を製造する。
前記水熱反応は、通常の温度条件より低い温度、たとえば300℃程度で行うのが好ましく、この水熱反応は、さらに塩化ナトリウム、硝酸、又は尿素などの添加剤を加えて行うことができる。
より具体的には、前記沈殿反応で合成された水酸化セリウム約1〜約5gを蒸溜水約10〜約50mlに分散させ、必要であれば硝酸、尿素、塩化ナトリウム、及びクエン酸からなる群より選択される1種以上の添加剤を添加して、加圧することなく蒸溜水自体の蒸気圧下で、好ましくは約180〜約300℃の温度条件で水熱反応させる。この時の攪拌は約0〜約300rpmに調節できる。
本発明の製造方法は、粒子の形状及び粒度の制御が容易であり、少なくとも約30nmの粒径を有し分散性に優れた単結晶酸化セリウムナノ粉末を提供する。
以下の実施例によって本発明をより詳細に説明する。但し、実施例は本発明を単に説明するためのものであり、本発明はこれらだけに限定されるわけではない。
[実施例]
水熱合成法によるセラミック粉末の製造方法は、原料の混合及び分散、適切な反応装置内での水熱反応、ならびに洗浄及び乾燥の工程からなる。
本実施例で用いられた反応装置は、100ml、2リットル、及び2ガロンの高圧オートクレーブであり、装置自身の力又は機械的な力で操作した。反応生成物の洗浄には熱い蒸溜水およびエチルアルコールを用い、洗浄の後に反応生成物を濾過して100℃の乾燥オーブンで5時間またはそれ以上乾燥させた。乾燥粉末はXRD回折分析によって結晶相及び結晶化度を測定し、電子顕微鏡で粒子の形状及び大きさを観察した。図1は、本発明の製造方法で製造された酸化セリウムのXRD分析結果を示したものである。同図において、水平軸はX線強度、垂直軸は2シータ角を示す。
[比較例1]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.02molを蒸溜水300mlに溶解
し、0.08molのNH4OHを添加して30℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿
した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
この沈殿水酸化物溶液10mlを、蒸溜水40mlおよび1N濃度の硝酸溶液10mlに分散させて、230℃で12時間、200rpmで攪拌しながら水熱反応させた結果、平均粒径が10nmである球形酸化セリウムが合成された。合成された球形酸化セリウムのSEM写真を図2に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバー(Scale bar)の長さは100nmを表す。
[実施例1]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.04molを蒸溜水200mlとエチ
レングリコール100mlとの混合溶液に溶解し、0.5M濃度のNaOH水溶液160mlを添加して50℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄
し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
この沈殿水酸化物溶液10mlを蒸溜水10mlに分散させて、230℃で12時間、200rpmで攪拌しながら水熱反応させた結果、平均粒径が80nmである球形又は舟状(navicular)の酸化セリウムが合成された。合成された酸化セリウムのSEM写真を
図3に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバーの長さは100nmを表す。
[実施例2]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.06molを蒸溜水100mlとブタ
ノール200mlとの混合溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液200mlを添加して50℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
この沈殿水酸化物溶液20mlを蒸溜水10mlに分散させて、230℃で12時間、300rpmで攪拌しながら水熱反応させた結果、粒径が30〜80nmである球形又は舟状の酸化セリウムが合成された。合成された酸化セリウムのSEM写真を図4に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバーの長さは100nmを表す。[実施例3]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.1molを蒸溜水300mlとグリセ
ロール200mlとの混合水溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液400mlを添加して80℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が300mlになるように蒸溜水に分散させた。
この沈殿水酸化物溶液50mlを200℃で12時間、攪拌せずに水熱反応させた結果、粒径が30〜80nmである球形又は舟状の酸化セリウムが合成された。合成された酸化セリウムのSEM写真を図5に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバーの長さは100nmを表す。
[実施例4]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.2molを蒸溜水300mlとメタノ
ール200mlとの混合溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液500mlを添加して30℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
この沈殿水酸化物溶液50mlに0.01molの尿素を添加し、230℃で12時間、200rpmで攪拌しながら水熱反応させた結果、粒径が30〜80nmである球形又は舟状の酸化セリウムが合成された。合成された酸化セリウムのSEM写真を図6に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバーの長さは100nmを表す。
[実施例5]
硝酸セリウム(Aldrich社製、純度99%)0.08molを蒸溜水200mlとブチ
レングリコール50mlとブタノール50mlとの混合水溶液に溶解し、0.5M濃度のKOH水溶液300mlを添加して10℃で水酸化セリウムを沈殿させた。沈殿した水酸化物を蒸溜水で洗浄し、全溶液の体積が100mlになるように蒸溜水に分散させた。
この沈殿水酸化物溶液50mlを、230℃で12時間、100rpmで攪拌しながら水熱反応させた結果、粒径が80〜150nmである球形又は舟状の酸化セリウムが合成された。合成された酸化セリウムのSEM写真を図7に示す。SEM写真の倍率は100,000倍であり、スケールバーの長さは100nmを表す。
図1は、本発明の一実施例によって得られた酸化セリウム(CeO2)のXRD分析結果を示す。 図2は、比較例1で得られたCeO2粉末のSEM写真である。 図3は、実施例1で得られたCeO2粉末のSEM写真である。 図4は、実施例2で得られたCeO2粉末のSEM写真である。 図5は、実施例3で得られたCeO2粉末のSEM写真である。 図6は、実施例4で得られたCeO2粉末のSEM写真である。 図7は、実施例5で得られたCeO2粉末のSEM写真である。

Claims (6)

  1. 有機溶媒と水との混合溶媒の存在下で、硝酸セリウム又は酢酸セリウムから水酸化セリウムを沈殿させる工程;及び
    前記水酸化セリウムを水熱反応させる工程;
    を含む単結晶酸化セリウム(CeO2)ナノ粉末の製造方法であって、
    前記有機溶媒がアルコール系有機溶媒、グリコール系有機溶媒、アセトン、グリセロール、蟻酸、及びエチルアセテートからなる群より選択される1種以上の化合物であり、
    前記混合溶媒における前記有機溶媒と水との混合重量比が0.1:1乃至5:1であり、
    前記水熱反応が180乃至300℃で行われる
    ことを特徴とする単結晶酸化セリウム(CeO 2 )ナノ粉末の製造方法
  2. 前記沈殿が、NaOH、KOH、及びアンモニア水からなる群より選択されるpH調整剤の添加によりアルカリ条件下で行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO 2 )ナノ粉末の製造方法。
  3. 前記沈殿が、20乃至80℃の沈殿反応温度で行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO 2 )ナノ粉末の製造方法。
  4. 前記沈殿が、さらに塩化ナトリウム又は尿素を添加して行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO 2 )ナノ粉末の製造方法。
  5. 前記水熱反応が、さらに塩化ナトリウム、硝酸、又は尿素を添加して行われることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO 2 )ナノ粉末の製造方法。
  6. 前記単結晶酸化セリウムナノ粉末の粒径が30乃至300nmであることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶酸化セリウム(CeO 2 )ナノ粉末の製造方法。
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