JP2006221144A - 防曇性反射防止膜を有する光学素子及び防曇性反射防止膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基体表面に防曇性の反射防止膜を有し、前記反射防止膜はシリカエアロゲル層を有し、前記シリカエアロゲル層の水に対する接触角が15°以下である光学素子及びその製造方法。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明の光学素子の一例を示す。図1に示す光学素子は、凸状の第一の面11を有するレンズ1と、第一の面11に成膜された防曇性反射防止膜2とからなる。光学素子の裏面側は、凹状の第二の面12となっている。図1に示す例では第一の面11にのみ反射防止膜2が成膜されているが、本発明はこれに限定されず、レンズ1の第一の面11及び第二の面12に反射防止膜2が成膜されたものを含む。図中の反射防止膜2は、実際より厚く描かれている。なお回折を生じるように第一の面11及び/又は第二の面12に輪帯を有するものも本発明の範疇である。
レンズ1の表面にシリカエアロゲル層のみからなる防曇性反射防止膜2を形成する場合を例にとって、光学素子の製造方法を説明する。
(a) シリカエアロゲル層の原料
(a-1) アルコキシシラン及びシルセスキオキサン
アルコキシシラン及び/又はシルセスキオキサンの加水分解重合により、シリカゾル及びシリカゲルが生成する。アルコキシシランはモノマーでも、オリゴマーでも良い。アルコキシシランモノマーはアルコキシル基を3つ以上有するのが好ましい。アルコキシル基を3つ以上有するアルコキシシランを出発原料とすることにより、優れた均一性を有する反射防止膜が得られる。アルコキシシランモノマーの具体例としてはメチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブトキシシラン、テトラプロポキシシラン、ジエトキシジメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシランが挙げられる。アルコキシシランオリゴマーとしては、上述のモノマーの縮重合物が好ましい。アルコキシシランオリゴマーはモノマーの加水分解重合により得られる。
溶媒は水とアルコールからなるのが好ましい。アルコールとしてはメタノール、エタノール、n-プロピルアルコール、i-プロピルアルコールが好ましく、エタノールが特に好ましい。溶媒の水/アルコールのモル比は0.01〜2とするのが好ましく、0.1〜2とするのがより好ましい。水/アルコールのモル比が2超であると、加水分解反応が速く進行し過ぎる。水/アルコールのモル比が0.01未満であると、アルコキシシラン及び/又はシルセスキオキサン(以下、単に「アルコキシシラン等」という)の加水分解が十分に起こらない。
アルコキシシラン等の水溶液に触媒を添加するのが好ましい。適当な触媒を添加することによりアルコキシシラン等の加水分解反応を促進することができる。触媒は酸性であっても塩基性であっても良い。酸性の触媒の例として塩酸、硝酸及び酢酸が挙げられる。塩基性の触媒の例としてアンモニア、アミン、NaOH及びKOHが挙げられる。好ましいアミンの例としてアルコールアミン、アルキルアミン(例えばメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、n-ブチルアミン、n-プロピルアミン)が挙げられる。
水とアルコールからなる溶媒に、アルコキシシラン等を溶解する。溶媒/アルコキシシラン等のモル比は3〜100にするのが好ましく、3〜40にするのがより好ましい。モル比を3未満とすると、アルコキシシラン等の重合度が高くなり過ぎる。モル比を100超とすると、アルコキシシラン等の重合度が低くなり過ぎる。触媒/アルコキシシラン等のモル比は1×10-4〜3×10-2にするのが好ましく、3×10-4〜1×10-2にするのがより好ましい。モル比が1×10-4未満であると、アルコキシシラン等の加水分解反応が十分に起こらない。モル比を3×10-2超としても、触媒効果は増大しない。
ゾル及び/又はゲルに有機修飾剤の溶液を加え、ゾル及び/又はゲルと有機修飾剤溶液とが十分接触した状態にすることにより、ゾル又はゲルを構成する酸化ケイ素の末端にある水酸基等の親水性基を疎水性の有機基に置換する。好ましい有機修飾剤は下記式(1)〜(6)
MpSiClq ・・・(1)
M3SiNHSiM3 ・・・(2)
MpSi(OH)q ・・・(3)
M3SiOSiM3 ・・・(4)
MpSi(OM)q ・・・(5)
MpSi(OCOCH3)q ・・・(6)
(ただしpは1〜3の整数であり、qはq = 4−p を満たす1〜3の整数であり、Mは水素、アルキル基又はアリール基であり、アルキル基は置換又は無置換であって炭素数1〜18であり、アリール基は置換又は無置換であって炭素数5〜18である)のいずれかにより表される化合物及びそれらの混合物である。
ゾル及び/又はゲルの分散媒は、前述のエージング工程においてエージングを促進したり遅らせたりする表面張力及び/又は固相−液相の接触角や、有機修飾工程における表面修飾の範囲に影響する他、後述するコーティング工程における分散媒の蒸発率にも関係する。ゲルに取り込まれている分散媒は、ゲルの入った容器に置換すべき分散媒を注ぎ、振とうした後でデカンテーション操作を繰り返すことによって置換することができる。ゾルの場合、低沸点の分散媒又は置換すべき分散媒と共沸する分散媒をゾルに加え、元の分散媒を揮発させた後、新しい分散媒を補給することによって置換することができる。
超音波処理により、ゲル状及び/又はゾル状の有機修飾酸化ケイ素をコーティングに好適な状態にすることができる。ゲル状の有機修飾酸化ケイ素の場合、超音波処理により、電気的な力若しくはファンデルワールス力によって凝集していたゲルが解離するか、金属と酸素との共有結合が壊れて、分散状態になると考えられる。ゾル状の場合も、超音波処理によってコロイド粒子の凝集を少なくすることができる。超音波処理には、超音波振動子を利用した分散装置を使用することができる。照射する超音波の周波数は10〜30 kHzとするのが好ましい。出力は300〜900 Wとするのが好ましい。
有機修飾シリカ含有ゾルからなる層をレンズ1の表面11に設ける。有機修飾シリカ含有ゾルからなる層を設ける方法の例としてスプレーコート法、スピンコート法、ディップコート法、フローコート法及びバーコート法が挙げられる。有機修飾シリカ含有ゾルをコーティングすると、ゾルの構成要素である分散媒が揮発して、有機修飾シリカエアロゲル層が生成する。有機修飾シリカエアロゲル層の空隙率は、分散媒が揮発している間は、毛管圧によって生じるゲルの収縮のために小さくなるが、揮発し終わると、スプリングバック現象によって回復する。このため有機修飾シリカエアロゲル層の空隙率は、ゲルネットワークの元々の空隙率とほぼ同じであり、大きな値を示す。シリカゲルネットワークの収縮及びスプリングバック現象については、米国特許5,948,482号に詳細に記載されている。
有機修飾シリカエアロゲル層を加熱処理し、有機基を分解させる。加熱処理温度は有機基がシリカから脱離する温度以上とし、かつレンズ1のガラス転移温度以下とする必要がある。加熱処理温度は少なくとも150℃超とし、300℃以上とするのがより好ましく、400度以上とするのが特に好ましい。加熱処理温度を150℃超とすると、有機基を分解し、親水性を有するシリカエアロゲル層を得ることができる。加熱処理温度を300℃以上にすると、ほとんどの有機基を分解し、優れた親水性を与えることができる。加熱処理温度をレンズ1のガラス転移温度より高くすると、レンズ1が変形し易すぎる。加熱処理温度の上限は、レンズ1のガラス転移温度より100℃以上低くするのがより好ましい。
(i) 有機修飾シリカ含有ゾルの調製
(i-1) シリカゲルの作製
テトラエトキシシラン5.21 gと、エタノール4.38 gとを混合した後、0.01規定の塩酸0.4 gを加えて90分間撹拌した。次いでエタノール44.35 gと、0.02規定のアンモニア水溶液0.5 gとを添加し、46時間撹拌した後、60℃に昇温して46時間熟成したところ、湿潤状態のシリカゲルが生成した。湿潤状態のシリカゲルの溶媒をデカンテーションによって除去した後、素早くエタノールを加えて振とうし、デカンテーションすることによりシリカゲルの分散媒をエタノールに置換した。その後、ヘキサンを加えて振とうし、デカンテーションすることによりエタノール分散媒をヘキサンに置換した。
ゲル状のシリカにジエチルジクロロシランのヘキサン溶液(濃度5体積%)を加え、30時間撹拌して、酸化ケイ素末端を有機修飾した。有機修飾シリカゲルを含有する混合物からヘキサンをデカンテーションした後、新たにヘキサンを加えて1質量%にし、超音波処理(20 kHz、500 W、20分間)したところ、有機修飾シリカ含有ゾルが得られた。
LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、実施例1(i) で得られた有機修飾シリカ含有ゾルをディップコートし、室温で乾燥させたところ、有機修飾シリカエアロゲル膜となった。乾燥中に、ゲルの収縮及びスプリングバックが起こったと考えられる。有機修飾シリカエアロゲル膜の空隙率を測定したところ、41%であった。
実施例1(ii)で得た光学素子を500℃で2時間加熱処理して有機基を分解し、シリカエアロゲル膜を有する光学素子を得た。シリカエアロゲル膜の膜厚は102 nmであり、屈折率は1.28であった。
BK7ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.53、ガラス転移温度Tg = 553℃)の第一の面11に、実施例1(i) で作製した有機修飾シリカ含有ゾルをディップコートし、室温乾燥後に450℃で2時間加熱処理した以外実施例1と同様にして、シリカエアロゲル膜を有する反射防止膜を作製した。シリカエアロゲル膜の膜厚は108 nmであり、屈折率は1.26であった。
(i) 有機修飾シリカ含有ゾルの調製
有機修飾剤としてジエチルジクロロシランの代わりにトリエチルクロロシランを使用して濃度8体積%のヘキサン溶液とし、超音波処理(20 kHz、500 W)の時間を10分間にした以外、実施例1(i)と同様にして、有機修飾シリカ含有ゾルを調製した。
LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、実施例3(i) で得られた有機修飾シリカ含有ゾルをディップコートした。これを室温で乾燥させたところ、ゲルの収縮及びスプリングバックが起こって有機修飾シリカエアロゲル膜となった。有機修飾シリカエアロゲル膜の空隙率を測定したところ、76%であった。
実施例3(ii) で得られた光学素子を400℃で1時間加熱処理し、シリカエアロゲル膜を有する光学素子を得た。シリカエアロゲル膜の膜厚は120 nmであり、屈折率は1.11であった。
LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、電子ビーム式の真空蒸着装置を用いて、厚さ163 nmとなるようにMgF2(屈折率n = 1.38)を蒸着した。形成したMgF2層の上に実施例3(i) で得られた有機修飾シリカ含有ゾルをディップコートした後、400℃で3時間熱処理した。加熱処理後のシリカエアロゲル層の厚さは246 nmであり、屈折率は1.13であった。得られた反射防止膜の層構成を表1に示す。
表2に示す層厚になるように、電子ビーム式の真空蒸着装置を用いて、LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、Al2O3層、SiO2層及びMgF2層を形成した。次いで、実施例3(i) で得られた有機修飾シリカ含有ゾルをMgF2層上にディップコートし、400℃で3時間熱処理した。加熱処理後のシリカエアロゲル層の厚さは305 nmであり、屈折率は1.13であった。
(i) 有機修飾シリカ含有ゾルの作製
シリカゲルの分散媒としてヘキサンの代わりにメチルi-ブチルケトン(MIBK)を使用した以外実施例1(i-1)と同様にして、ゲル状のシリカを作製した。
LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、実施例6(i) で得られた有機修飾シリカ含有ゾルをディップコートし、室温で乾燥させたところ、ゲルの収縮及びスプリングバックが起こって空隙率69%の有機修飾シリカエアロゲル膜となった。
実施例6(ii)で得た光学素子を450℃で1時間加熱処理して有機基を分解し、シリカエアロゲル膜を有する光学素子を得た。シリカエアロゲル膜の膜厚は130 nmであり、屈折率は1.14であった。
電子ビーム式の真空蒸着装置を用いて、LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、MgF2(屈折率n=1.38)を膜厚132 nmとなるように蒸着した。MgF2からなる緻密膜を有する光学素子が得られた。
各層の膜厚が表3のとおりとなるように、ZrO2(屈折率n= 2.04)からなる薄膜と、MgF2(屈折率n= 1.38)からなる薄膜とを交互に形成した以外比較例1と同様にして、多層緻密膜を有する光学素子を作製した。
BK7ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.53)の第一の面11に、膜厚114 nmとなるようにMgF2(屈折率n=1.38)を蒸着した以外比較例1と同様にして、MgF2緻密膜を有する光学素子を作製した。
電子ビーム式の真空蒸着装置を用いて、LAK14ガラスからなる対物レンズ1(両面非球面レンズ、屈折率n=1.70、ガラス転移温度Tg = 668℃)の第一の面11に、空隙率58%となるように調節してMgF2(屈折率n=1.38)を蒸着した。膜厚164 nm、屈折率1.16の多孔質MgF2膜が得られた。
有機修飾シリカエアロゲル膜を有する光学素子を加熱処理する温度を150℃とした以外実施例6と同様にして、光学素子を作製した。
有機修飾シリカエアロゲル膜を有する光学素子を加熱処理する温度を150℃とした以外実施例4と同様にして、光学素子を作製した。
有機修飾シリカエアロゲル膜を有する光学素子を加熱処理する温度を150℃とした以外実施例5と同様にして、光学素子を作製した。
実施例1〜5及び比較例1〜4の第一の面11に、空気中で波長405 nmのレーザー光を照射し、光透過率 (%)を測定した。結果を表4に示す。
(2) 耐擦傷性
不織布に水を含浸させたもので、実施例1〜5及び比較例1〜4の反射防止膜、並びに比較例8及び9の第一の面11を擦り、擦った後の反射防止膜及びレンズ面を観察した。評価基準は次のとおりとした。
◎:全く傷がついていない。
○:傷は付いているが、光学的な影響が無い。
△:光学的な影響を与える傷が発生するが、反射防止膜は剥離しない。
×:反射防止膜が剥離する。
結果を表4に併せて示す。
(3) 水に対する接触角
実施例1〜5及び比較例1〜4の反射防止膜、並びに比較例8及び9の第一の面11に純水を滴下し、接触角を測定した。
結果を表4に併せて示す。
(4) 防曇性
実施例1〜5及び比較例1〜4の反射防止膜、並びに比較例8及び9の第一の面11に呼気を吹きかけ、曇りの発生状況を観察した。評価基準は次のとおりとした。
◎:全く曇らない。
○:曇りは発生するが、瞬時に消える。
△:曇りが発生し、しばらく消えない。
×:防曇性が全く認められない。
結果を表4に併せて示す。
11・・・第一の面
12・・・第二の面
2・・・防曇性反射防止膜
Claims (8)
- 基体表面に防曇性の反射防止膜を有する光学素子において、前記反射防止膜がシリカエアロゲル層を有し、前記シリカエアロゲル層の水に対する接触角が15°以下であることを特徴とする光学素子。
- 基体表面に防曇性の反射防止膜を有する光学素子において、前記反射防止膜がシリカエアロゲル層を有し、前記シリカエアロゲル層が有機基の分解温度以上、かつ前記基体のガラス転移温度以下の温度で加熱処理されたものであることを特徴とする光学素子。
- 請求項1又は2に記載の光学素子において、前記シリカエアロゲル層の屈折率が1.05〜1.35であることを特徴とする光学素子。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子において、前記基体の有効径内であって基板傾斜角度50°以上の部分の投影面積が、前記有効径内の投影面積の10%以上であることを特徴とする光学素子。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の光学素子において、前記シリカエアロゲル層の物理層厚が15〜500 nmであることを特徴とする光学素子。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の光学素子において、光ピックアップ装置の対物レンズに用いられることを特徴とする光学素子。
- 基体表面に反射防止膜を製造する方法において、(a) ゾル状又はゲル状の酸化ケイ素を有機修飾剤と反応させて有機修飾ゾル又は有機修飾ゲルとする工程と、(b) 前記有機修飾ゾル又は前記有機修飾ゲルをゾル状にしたものを前記基体又は前記シリカエアロゲル層以外の前記反射防止膜の層上にコーティングし、得られた有機修飾シリカゲル層にスプリングバック現象を生じさせ、有機修飾シリカエアロゲル層にする工程と、(c) 前記有機修飾シリカゲル層の有機基の分解温度以上、かつ前記基体のガラス転移温度以下で前記有機修飾シリカエアロゲル層を熱処理する工程とを有することを特徴とする反射防止膜の製造方法。
- 請求項7に記載の反射防止膜の製造方法において、前記有機修飾ゾル又は前記有機修飾ゲルを超音波処理した後で前記シリカゲル層を形成することを特徴とする方法。
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009014086A1 (ja) * | 2007-07-25 | 2009-01-29 | Hoya Corporation | プラスチックレンズの製造方法 |
JP2009128844A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Canon Inc | 光学系及びそれを有する光学機器 |
JP2009210739A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Keio Gijuku | 反射防止膜、その形成方法及び光学素子 |
WO2012086806A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 旭硝子株式会社 | 低反射膜を有する物品 |
JP2017066209A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 日東電工株式会社 | 塗工液、塗工液の製造方法、積層フィルムの製造方法および画像表示装置の製造方法 |
KR20170099925A (ko) | 2014-12-26 | 2017-09-01 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 촉매 작용을 통하여 결합한 공극 구조 필름 및 그 제조 방법 |
KR20170100546A (ko) | 2014-12-26 | 2017-09-04 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도료 및 그 제조 방법 |
KR20170100545A (ko) | 2014-12-26 | 2017-09-04 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 적층 필름 롤 및 그 제조 방법 |
KR20170101230A (ko) | 2014-12-26 | 2017-09-05 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 실리콘 다공체 및 그 제조 방법 |
KR20180050682A (ko) | 2015-09-07 | 2018-05-15 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 저굴절률층, 적층 필름, 저굴절률층의 제조 방법, 적층 필름의 제조 방법, 광학 부재 및 화상 표시 장치 |
KR20180063067A (ko) | 2015-09-29 | 2018-06-11 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 플렉시블 발광 디바이스, 조명 장치 및 화상 표시 장치 |
JP2020177923A (ja) * | 2020-07-20 | 2020-10-29 | 日東電工株式会社 | フレキシブル発光デバイス、照明装置および画像表示装置 |
US11460610B2 (en) | 2015-07-31 | 2022-10-04 | Nitto Denko Corporation | Optical laminate, method of producing optical laminate, optical element, and image display |
US11536877B2 (en) | 2015-08-24 | 2022-12-27 | Nitto Denko Corporation | Laminated optical film, method of producing laminated optical film, optical element, and image display |
US11674004B2 (en) | 2015-07-31 | 2023-06-13 | Nitto Denko Corporation | Laminated film, optical element, and image display |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000294173A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 導電性反射防止膜 |
JP2001006204A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Sharp Corp | 光ピックアップ装置及び光記録媒体 |
JP2002321910A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Matsushita Electric Works Ltd | エアロゲル薄膜の形成方法 |
JP2003119052A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 光透過シート、これを用いた発光装置、及び、光透過シートの製造方法 |
WO2003045840A2 (en) * | 2001-11-21 | 2003-06-05 | University Of Massachusetts | Mesoporous materials and methods |
JP2004294521A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Sanyo Electric Co Ltd | ピックアップ用対物レンズ |
-
2005
- 2005-12-13 JP JP2005359430A patent/JP4951237B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000294173A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 導電性反射防止膜 |
JP2001006204A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Sharp Corp | 光ピックアップ装置及び光記録媒体 |
JP2002321910A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Matsushita Electric Works Ltd | エアロゲル薄膜の形成方法 |
JP2003119052A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 光透過シート、これを用いた発光装置、及び、光透過シートの製造方法 |
WO2003045840A2 (en) * | 2001-11-21 | 2003-06-05 | University Of Massachusetts | Mesoporous materials and methods |
JP2005510436A (ja) * | 2001-11-21 | 2005-04-21 | ユニバーシティー オブ マサチューセッツ | メソポーラス材料および方法 |
JP2004294521A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Sanyo Electric Co Ltd | ピックアップ用対物レンズ |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009014086A1 (ja) * | 2007-07-25 | 2009-01-29 | Hoya Corporation | プラスチックレンズの製造方法 |
EP2168757A1 (en) * | 2007-07-25 | 2010-03-31 | Hoya Corporation | Method for producing plastic lens |
JP5340937B2 (ja) * | 2007-07-25 | 2013-11-13 | Hoya株式会社 | プラスチックレンズの製造方法 |
EP2168757A4 (en) * | 2007-07-25 | 2014-04-16 | Hoya Corp | PROCESS FOR PRODUCING A LENS OF PLASTIC MATERIAL |
JP2009128844A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Canon Inc | 光学系及びそれを有する光学機器 |
JP2009210739A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Keio Gijuku | 反射防止膜、その形成方法及び光学素子 |
WO2012086806A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 旭硝子株式会社 | 低反射膜を有する物品 |
CN103260870A (zh) * | 2010-12-24 | 2013-08-21 | 旭硝子株式会社 | 具有低反射膜的物品 |
US20130279007A1 (en) * | 2010-12-24 | 2013-10-24 | Asahi Glass Company, Limited | Article having low reflection film |
JP5849970B2 (ja) * | 2010-12-24 | 2016-02-03 | 旭硝子株式会社 | 低反射膜を有する物品 |
KR20170101230A (ko) | 2014-12-26 | 2017-09-05 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 실리콘 다공체 및 그 제조 방법 |
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US11618807B2 (en) | 2014-12-26 | 2023-04-04 | Nitto Denko Corporation | Film with void spaces bonded through catalysis and method of producing the same |
US10472483B2 (en) | 2014-12-26 | 2019-11-12 | Nitto Denko Corporation | Silicone porous body and method of producing the same |
US10494546B2 (en) | 2014-12-26 | 2019-12-03 | Nitto Denko Corporation | Coating material and method of producing the same |
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US11460610B2 (en) | 2015-07-31 | 2022-10-04 | Nitto Denko Corporation | Optical laminate, method of producing optical laminate, optical element, and image display |
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US11524481B2 (en) | 2015-09-07 | 2022-12-13 | Nitto Denko Corporation | Low refractive index layer, laminated film, method for producing low refractive index layer, method for producing laminated film, optical element, and image display device |
JP2017066209A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 日東電工株式会社 | 塗工液、塗工液の製造方法、積層フィルムの製造方法および画像表示装置の製造方法 |
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