JP2006100531A5 - - Google Patents

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  1. 半導体基板の主面に電荷蓄積用絶縁膜を介在してゲート電極が設けられた第１及び第２の不揮発性記憶素子を有し、
    前記第１の不揮発性記憶素子は、プログラムを構成するデータの記憶に使用され、
    前記第２の不揮発性記憶素子は、前記プログラムの実行によって処理されたデータの記憶に使用され、かつ、ゲート幅が前記第１の不揮発性記憶素子のゲート幅よりも広いことを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記電荷蓄積用絶縁膜は、窒化膜を含む膜であることを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々のゲート電極は、ゲート配線の一部で形成されていることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記第１の不揮発性記憶素子のゲート電極は、第１のゲート配線の一部で形成され、
    前記第２の不揮発性記憶素子のゲート電極は、前記第１のゲート配線とは異なる第２のゲート配線の一部で形成されていることを特徴とする半導体装置。
  5. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子のゲート幅は、前記半導体基板の主面に形成された素子分離領域で規定されていることを特徴とする半導体装置。
  6. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々のゲート電極は、メモリ・ゲート電極であり、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々は、前記半導体基板の主面上にゲート絶縁膜を介在して設けられたコントロール・ゲート電極を有することを特徴とする半導体装置。
  7. 請求項６に記載の半導体装置において、
    前記第２の不揮発性記憶素子のメモリ・ゲート電極下におけるゲート幅は、前記第１の不揮発性記憶素子のメモリ・ゲート電極下におけるゲート幅よりも広いことを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項６に記載の半導体装置において、
    前記第２の不揮発性記憶素子のコントロール・ゲート電極下におけるゲート幅は、前記第１の不揮発性記憶素子のコントロール・ゲート電極下におけるゲート幅よりも広いことを特徴とする半導体装置。
  9. 請求項６に記載の半導体装置において、
    前記第２の不揮発性記憶素子のメモリ・ゲート電極下におけるゲート幅は、前記第１の不揮発性記憶素子のメモリ・ゲート電極下におけるゲート幅よりも広く、
    前記第２の不揮発性記憶素子のコントロール・ゲート電極下におけるゲート幅は、前記第１の不揮発性記憶素子のコントロール・ゲート電極下におけるゲート幅よりも広いことを特徴とする半導体装置。
  10. 請求項６に記載の半導体装置において、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々のメモリ・ゲート電極下におけるゲート幅、並びに前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々のコントロール・ゲート電極下におけるゲート幅は、前記半導体基板の主面に形成された素子分離領域で規定されていることを特徴とする半導体装置。
  11. 請求項６に記載の半導体装置において、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々のメモリ・ゲート電極は、第１のゲート配線の一部で形成され、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子の各々のコントロール・ゲート電極は、第２のゲート配線の一部で形成されていることを特徴とする半導体装置。
  12. 請求項６に記載の半導体装置において、
    前記第１の不揮発性記憶素子のメモリ・ゲート電極は、第１のゲート配線の一部で形成され、
    前記第２の不揮発性記憶素子のコントロール・ゲート電極は、第２のゲート配線の一部で形成され、
    前記第２の不揮発性記憶素子のメモリ・ゲート電極は、前記第１のゲート配線とは異なる第３のゲート配線の一部で形成され、
    前記第２の不揮発性記憶素子のコントロール・ゲート電極は、前記第２のゲート配線とは異なる第４のゲート配線の一部で形成されていることを特徴とする半導体装置。
  13. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記電荷蓄積用絶縁膜は、窒化膜を含む膜で形成され、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子は、前記電荷蓄積用絶縁膜の窒化膜から前記ゲート電極に電子を放出させることによってデータの書き換えが行われることを特徴とする半導体装置。
  14. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記電荷蓄積用絶縁膜は、窒化膜を含む膜で形成され、
    前記第１及び第２の不揮発性記憶素子は、前記メモリ・ゲート電極ＭＧ下のチャネル形成領域側から前記電荷蓄積用絶縁膜の窒化膜中にホットホールを注入させることによってデータの書き換えが行われることを特徴とする半導体装置。
  15. 請求項１に記載の半導体装置において、
    前記第１および第２の不揮発性記憶素子は、共通のセンスアンプに接続されていることを特徴とした半導体装置。
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