JP2006080408A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板に回路素子を形成するステップと、半導体基板上に回路素子を覆う第1絶縁膜を形成するステップと、第1絶縁膜上に第1電極を形成するステップと、第1電極上に強誘電体膜を形成するステップと、強誘電体膜上に第2電極を形成するステップと、第2電極上に所定のパターンを有するマスク膜を形成するステップと、半導体基板の温度または半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度とし、マスク膜をマスクとして第2電極をエッチングするステップと、半導体基板の温度または半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度以下の第2温度とし、マスク膜をマスクとして強誘電体膜をエッチングするステップと、半導体基板の温度または半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度と略同一の第3温度とし、マスク膜をマスクとして第1電極をエッチングするステップとを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【選択図】 図2
Description
特許文献1には、絶縁膜に形成された開口部に埋め込まれるとともに絶縁膜表面に形成されたTiN層からなるプラグ電極層と、白金からなる下部電極と、PZT膜からなる強誘電体膜と、白金、TiN、WまたはAlなどからなる上部電極層を順次形成し、レジストをマスクとして一括でドライエッチングする強誘電体キャパシタのエッチング方法が記載されている。この製造方法では、TiN層を開口部に埋め込むとともに絶縁膜表面にも形成することにより、下部電極、強誘電体膜、上部電極を平坦に形成する。これにより、上部電極と下部電極との間隔を所定距離に保ち、上部電極と下部電極との間でリーク電流が流れることを防止している。
強誘電体膜上に第2電極を形成するステップと、第2電極上に所定のパターンを有するマスク膜を形成するステップと、半導体基板の温度または半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度とし、マスク膜をマスクとして第2電極をエッチングするステップと、半導体基板の温度または半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度以下の第2温度とし、マスク膜をマスクとして強誘電体膜をエッチングするステップと、半導体基板の温度または半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度と略同一の第3温度とし、マスク膜をマスクとして第1電極をエッチングするステップと、を含むことを特徴とする。
〔積層構造膜、エッチングマスク膜の形成〕
図1(a)に示すように、通常のSi半導体プロセスを用いてSi半導体基板1に素子分離絶縁膜2、拡散層3を形成し、さらに半導体基板1上にゲート絶縁膜及びゲート電極を形成してトランジスタ4を形成する。その後、半導体基板1上に絶縁膜5を形成してトランジスタ4を覆い、絶縁膜5を平坦化する。次に、絶縁膜5に開口部6を形成して拡散層3を露出し、TiNからなるバリア膜7及びWからなるプラグ電極8を開口部6に埋め込む。
下部電極9、強誘電体膜10及び上部電極11が強誘電体キャパシタの積層構造膜を構成する。
その後、第1のエッチングマスク膜12としてTiN膜をスパッタ法により形成し、第1エッチングマスク膜12上に第2のエッチングマスク膜13としてSiO2膜をプラズマCVD法で形成する。即ち、第1エッチングマスク膜12及び第2エッチングマスク膜13が2層構造のエッチングマスク膜を構成する。以下の説明では簡単のため、第1のエッチングマスク膜、第2のエッチングマスク膜を、単に第1マスク膜、第2マスク膜と称す。TiN膜のスパッタ条件は、例えば、ターゲットTi、N2雰囲気、DC電力5000W、基板温度100℃、膜厚100nmである。SiO2膜は、例えば、P−TEOS(プラズマテトラエトキシシラン)CVD法を用い、100nm形成する。
次に図2(d)に示すように、エッチング装置100のチャンバ102において、第2マスク膜13(SiO2膜)をマスクとして上部電極11のPt膜をエッチングする。
ここで、本実施形態で用いるエッチング装置100の概略平面図を図6に示す。このエッチング装置100は、平行平板型RIE装置である。このエッチング装置100は、チャンバ101と、チャンバ102と、チャンバ103と、搬送室104と、搬送室104に設置された搬送ロボット105とを備えている。チャンバ101は、半導体ウエハ(以下ウエハと称す)を載置する装置下部電極を備え、装置下部電極の温度を25〜350℃に制御可能である。チャンバ102は、ウエハを載置する装置下部電極を備え、装置下部電極を350〜450℃に制御可能である。チャンバ103は、アッシング用のチャンバである。また、このエッチング装置100は、チャンバ101及びチャンバ102の装置下部電極に13.56MHz及び450KHzの2つの周波数の高周波電力を印加する機構を有する。搬送室104には、出入口106が設けられており、搬送ロボット105は出入口106を介してウエハをエッチング装置100から出し入れする。また、搬送室104の出入口106の外には、カセット107が配置され、搬送ロボット105は、カセット107からウエハを受け取り、出入口106を介して搬送室104内にウエハを導入するとともに、ウエハを搬送室104から出入口106を介してカセット107に収納する。
上部電極11のエッチング後に、エッチング装置100からウエハを取り出し、カセット107に収納した後、再度、そのウエハを搬送室104に導入し、チャンバ101に投入する(図6参照)。チャンバー101において、図2(e)に示すように、第2マスク膜13をマスクとして、強誘電体膜12のSBT膜をエッチングする。
強誘電体膜12のエッチング後、エッチング装置100内でウエハをチャンバー101からチャンバー102に搬送し、第1のチャンバーにおいて、図2(f)に示すように、下部電極11のPt膜、IrO2膜、Ir膜、TiAlN膜をエッチングする。
上述したように、チャンバー102は、電極温度を350〜450℃に保持する機構を有しおり、ウエハの温度又はウエハを載置する装置下部電極の温度を350〜450℃に制御する。エッチングガスには、Cl2/O2=5/15sccmの混合ガス、または、Cl2/O2/Ar=5/15/10sccmの混合ガスを用いる。ガス圧力を1または2mTorr、13.56MHzのRFパワー1000W、450kHzのRFパワー100Wの処理条件を主に用いた。また、チャンバ102の装置下部電極の温度を350〜450℃、チャンバ内壁温度を80℃とする。この条件では、Ptのエッチングレートが60nm/min、SBTのエッチングレートが20nm/min、選択比(Pt/SBT)が3以上であった。なお、エッチングガスは、Cl2/Ar混合ガスを用いても良い。
さらに、図2(g)に示すように絶縁膜15のCVD酸化膜をCVD法を用いて形成し、エッチバック、CMP法等を用いて絶縁膜15の平坦化を行い、強誘電体キャパシタ19が形成される。その後、同図のように、トランジスタ4との接続のために、開口部16、セルブロック以外の部分の絶縁膜15をパターニングして除去し、開口部16にバリア膜17及びプラグ電極18を埋め込む。開口部16の形成、バリア膜17及びプラグ電極18の加工時のダメージは、開口部16から強誘電体キャパシタ19までの十分な距離が確保できるため問題にならない。
・ダメージ層
ここで、強誘電体キャパシタの特性について説明する。上部電極11、強誘電体膜10及び下部電極11からなる積層構造膜のエッチング工程において強誘電体膜10が露出するとドライエッチング雰囲気の塩素ガス等による還元反応が起こる。強誘電体膜10としてのSBT系酸化物は還元反応により強誘電体の特性である誘電分極を弱める。このような誘電分極が弱い部分をダメージ層を称する。ダメージ層は、図5(a)(b)に示すように、エッチング時に雰囲気に曝される強誘電体膜の側面から内部に侵入するように強誘電体膜の周辺部に形成される。このダメージ層は、強誘電体キャパシタの面積が小面積(図5(a))であっても、大面積(図5(b))であっても、ほぼ同程度の大きさで形成されるため、高集積化のために強誘電体キャパシタを微細化するほど、強誘電体キャパシタの有効面積に対するダメージ層の割合が相対的に増大し、ダメージ層の影響が大きくなる。図5(b)(d)に示すように、強誘電体キャパシタが小面積の場合に、強誘電体キャパシタが大面積の場合に比較して残留分極量がより低くなる。
・リーク電流
次に、強誘電体膜のエッチング温度がキャパシタのリーク電流に及ぼす影響について述べる。まず、強誘電体膜のエッチング温度を制御することによってキャパシタのリーク電流を抑制できる実験、及びその実験結果を説明する。
・パターン側面内角
また、従来、下部電極のPt膜のエッチング時には、強誘電体膜のパターン側面内角θが90度に近いと(図4(a))、Pt膜からPt塩化物として除去された除去物質Aが強誘電体膜の側面に再付着して、上部電極及び下部電極の間が短絡する虞がある。ここで、パターン側面内角とは、図4(a)〜(c)に示すように、上部電極、強誘電体膜及び下部電極からなる積層構造膜のパターン側面が積層構造膜の底面(下部電極の底面)と成す内角である。従来、エッチング時の除去物質の再付着を防止するために、積層構造膜のエッチングでは、図4(b)に示すように、積層構造膜のパターン側面内角θを90度よりも小さい75度未満にすることにより、パターン側面に除去物質が再付着し難いようにしていた。しかしながら、同じ特性を得るにも、パターン側面内角が小さくなるほど、強誘電体キャパシタは大きな面積が必要となり、微細化が困難であった。
本発明によれば、積層構造のキャパシタを一括してエッチングする際、ウエハまたはウエハを載置する装置下部電極の温度を350〜450℃として上部電極及び下部電極をエッチングすることにより、上部電極及び下部電極を高速でエッチングすることが可能である。また、ウエハまたはウエハを載置する装置下部電極の温度を350〜450℃として上部電極及び下部電極をエッチングすることにより、上部電極及び下部電極のエッチング時に電極材料の揮発性を向上させ、パターン内角を90度に近づけることができ、強誘電体キャパシタの形成面積を大幅に低減できる。
また、本発明によれば、上記の各エッチング温度で、Cl2ガスと、O2ガスあるはArガスの少なくとも一方との混合ガスを用いて上部電極、強誘電体膜及び下部電極をエッチングすることにより、強誘電体膜の特性劣化を抑制しつつ、積層構造キャパシタを一括してエッチングすることができる。
〔他の実施形態〕
上記実施形態では、強誘電体膜をSBTにより形成したが、本発明は、PZT(PbTiO3−PbZrO3:チタン酸ジルコン酸鉛)等を用いた場合にも適用可能である。
また、上記実施形態では、プラグ電極8の酸化防止膜としてTiAlN膜を、密着層としてIr膜/IrO2膜を、主電極膜にPt膜からなる積層構造の下部電極9を構成したが、プラグ電極8の酸化防止膜はTiAlN膜に限定するものではなく、他の酸化防止膜を用いた場合にも本発明が適用可能である。
2 素子分離絶縁膜
3 拡散層
4 トランジスタ
5 絶縁膜
6,16 開口部
7,17 バリア膜
8,18 プラグ電極
9 下部電極
10 強誘電体膜
11 上部電極
12 第1マスク膜
13 第2マスク膜
14 レジスト
15 絶縁膜
19 強誘電体キャパシタ
Claims (12)
- 半導体基板に回路素子を形成するステップと、
前記半導体基板上に前記回路素子を覆う第1絶縁膜を形成するステップと、
前記第1絶縁膜上に第1電極を形成するステップと、
前記第1電極上に強誘電体膜を形成するステップと、
前記強誘電体膜上に第2電極を形成するステップと、
前記第2電極上に所定のパターンを有するマスク膜を形成するステップと、
前記半導体基板の温度または前記半導体基板を載置する載置電極の温度を第1温度とし、前記マスク膜をマスクとして前記第2電極をエッチングするステップと、
前記半導体基板の温度または前記半導体基板を載置する載置電極の温度を前記第1温度以下の第2温度とし、前記マスク膜をマスクとして前記強誘電体膜をエッチングするステップと、
前記半導体基板の温度または前記半導体基板を載置する載置電極の温度を前記第1温度と略同一の第3温度とし、前記マスク膜をマスクとして前記第1電極をエッチングするステップと、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2電極をエッチングするステップ、前記強誘電体膜をエッチングするステップ及び前記第1電極をエッチングするステップは連続して行うことを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1温度は350度以上450度以下であり、前記第2温度は25度以上350度以下であり、前記第3温度は350度以上450度以下であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2電極をエッチングするステップ、前記強誘電体膜をエッチングするステップ及び前記第1電極をエッチングするステップでは、塩素ガスと、酸素ガスあるいはアルゴンガスの少なくとも1つ以上との混合ガスを用いることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2電極をエッチングするステップ、前記強誘電体膜をエッチングするステップ及び前記第1電極をエッチングするステップでは、前記第2電極、前記強誘電体膜及び前記第1電極の側面と前記第1電極の底面とが成す前記側面の内角が80度以上になるように前記第2電極、前記強誘電体膜及び前記第1電極をエッチングすることを特徴とする、請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記マスク膜を形成するステップは、チタン窒化膜を形成するステップと、前記チタン窒化膜上にシリコン酸化膜を形成するステップを含むことを特徴とする、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2電極をエッチングするステップ及び前記強誘電体膜をエッチングするステップでは、前記シリコン窒化膜をマスクとしてエッチングを行い、
前記第1電極をエッチングするステップでは、前記チタン窒化膜をマスクとしてエッチングを行うことを特徴とする、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1電極を形成するステップは、イリジウム膜を形成するステップと、前記イリジウム膜上にイリジウム酸化膜を形成するステップと、白金膜を形成するステップとを含むことを特徴とする、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記強誘電体膜はSBT系化合物又はPZT系化合物であることを特徴とする、請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の電極、前記強誘電体膜及び前記第1電極のエッチングに、第1チャンバと第2チャンバと備えるエッチング装置を使用し、
前記第2の電極をエッチングするステップ及び前記第1電極をエッチングするステップを前記第1チャンバで実行し、
前記強誘電体膜をエッチングするステップを前記第2チャンバで実行することを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板は半導体ウエハであり、
前記第2電極をエッチングするステップでは、前記半導体ウエハの温度又は前記半導体ウエハを載置する載置電極の温度を第1温度とし、
前記強誘電体膜をエッチングするステップでは、前記半導体ウエハの温度又は前記半導体ウエハを載置する載置電極の温度を前記第1温度以下の第2温度とし、
前記第1電極をエッチングするステップでは、前記半導体ウエハの温度又は前記半導体ウエハを載置する載置電極の温度を前記第1温度と略同一の第3温度とする、
ことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1温度は350度以上450度以下であり、前記第2温度は25度以上350度以下であり、前記第3温度は350度以上450度以下であることを特徴とする、請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
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