JP5242044B2 - 強誘電体メモリ装置とその製造方法 - Google Patents
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また、このように水素バリア膜を設ける場合、水素バリア膜をキャパシタに対して2層形成する方法も知られている(例えば、特許文献3参照)。
このように強誘電体キャパシタの下側に酸素バリア膜を配設する場合、一般には、強誘電体キャパシタを構成する上部電極、強誘電体膜、下部電極と酸素バリア膜とを、同じレジストマスクを用いてエッチングし、パターニングを行う。
前記酸素バリア膜は、前記強誘電体キャパシタの側方に拡がって形成されてなり、
前記酸素バリア膜上でかつ前記強誘電体キャパシタの側面側には、前記下部電極、前記強誘電体膜、前記上部電極のそれぞれの側面を覆って前記酸素バリア膜よりエッチング耐性が高い絶縁材料からなるサイドウォールが設けられており、
前記サイドウォールは、その上端が前記上部電極の上面より下側に位置していることを特徴とする。
また、酸素バリア膜上でかつ強誘電体キャパシタの側面側に、酸素バリア膜よりエッチング耐性が高い絶縁材料からなるサイドウォールが設けられているので、製造時に該サイドウォールをマスクとして用い、エッチングして酸素バリア膜をパターニングすることにより、得られた強誘電体メモリ装置は、酸素バリア膜の加工時における強誘電体キャパシタのエッチングダメージが抑えられたものとなる。
このようにすれば、強誘電体キャパシタの側面側が水素バリア材料からなるサイドウォールによって保護されるため、サイドウォール形成後のプロセス等で水素や水等に曝されても、強誘電体膜が還元されて特性劣化が引き起こされてしまうことが防止される。
このようにすれば、特に強誘電体キャパシタの側面等が水素バリア膜によって保護されるため、強誘電体膜が還元されて特性劣化が引き起こされてしまうことが防止される。
前記上部電極層と強誘電体層と下部電極層とをパターニングして上部電極と強誘電体膜と下部電極とからなる強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタを覆って前記酸素バリア層上に、該酸素バリア層に対してエッチング耐性が高い絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜をエッチバックし、前記強誘電体キャパシタの側部に前記上部電極、前記強誘電体膜、前記下部電極のそれぞれの側面を覆って、前記絶縁膜からなるサイドウォールを形成する工程と、
前記サイドウォールをマスクにして前記酸素バリア層をエッチングし、前記強誘電体キャパシタ及び前記サイドウォールの下側に酸素バリア膜を残す工程と、を有してなり、
前記絶縁膜をエッチバックし、前記強誘電体キャパシタの側部にサイドウォールを形成する工程では、得られるサイドウォールの上端が前記強誘電体キャパシタの上部電極の上面より下側に位置するように、該サイドウォールを形成することを特徴としている。
また、酸素バリア膜に対しエッチング耐性が高い絶縁膜によってサイドウォールを形成し、このサイドウォールをマスクにして酸素バリア層をエッチングし、酸素バリア膜を形成するので、強誘電体キャパシタの側面側をサイドウォールで覆った状態で酸素バリア層をエッチングすることにより、この酸素バリア膜の加工時における強誘電体キャパシタのエッチングダメージを抑えることができる。したがって、強誘電体キャパシタのエッチングダメージによる特性劣化を防止することができる。
このようにすれば、強誘電体キャパシタの側面側が水素バリア膜からなるサイドウォールによって保護されるため、サイドウォール形成後のプロセス等で水素や水等に曝されても、強誘電体膜が還元されて特性劣化が引き起こされてしまうことが防止される。
上部電極に通じるコンタクトホールを形成した際、合わせずれによってコンタクトホールがサイドウォール上にのって形成されることがある。その際、上部電極に対してサイドウォールのエッチングレートが小さいと、サイドウォールがコンタクトホールの底部に突出した状態で残ってしまう。すると、その後コンタクトホール内にメタルを埋め込んでプラグを形成する際、コンタクトホール内に残ったサイドウォールによって埋め込み不良が生じ、形成したプラグと上部電極との間で接続不良が生じてしまう。これに対し、前記したように得られるサイドウォールの上端が前記強誘電体キャパシタの上部電極の上面より下側に位置するように、該サイドウォールを形成することにより、コンタクトホールの合わせずれが生じても、サイドウォールがコンタクトホールの底部に突出した状態で残ってしまうことを防止することができ、したがってプラグと上部電極との間の接続不良を防止することができる。
このようにすれば、上部電極が露出していた強誘電体キャパシタの上面を水素バリア膜によって保護し、強誘電体キャパシタ側面の水素バリヤより厚くすることができ、したがって強誘電体膜が還元されて特性劣化が引き起こされてしまうことを防止することができる。
まず、本発明の強誘電体メモリ装置の一実施形態を説明する。図1は、本発明の強誘電体メモリ装置の一実施形態を模式的に示す側断面図であり、図1中符号1は強誘電体メモリ装置である。この強誘電体メモリ装置1は、1T/1C型のメモリセル構造を有したスタック型のもので、基体2と、この基体2上に形成された強誘電体キャパシタ3とを備えて構成されたものである。なお、本実施形態では1T/1C型のメモリセル構造のものについて説明するが、本発明は1T/1C型に限定されないのはもちろんである。
なお、コンタクトホール17に埋設されたプラグ18は、本実施形態ではタングステン(W)によって形成されている。
ここで、この水素バリア膜21を構成する材料としては、前記サイドウォール20と同様にアルミニウム酸化物であるアルミナ(AlOx)が好適とされ、したがって本実施形態では、水素バリア膜21もアルミナ(AlOx)からなっているものとする。
さらに、この層間絶縁膜22上には、前記配線等を覆って別の層間絶縁膜(図示せず)が形成されている。
まず、図2(a)に示すように、予め公知の手法によってシリコン基板4に駆動トランジスタ5を形成し、続いてCVD法等により酸化珪素(SiO2)を成膜し、さらにこれをCMP法等によって平坦化することにより、第1下地絶縁膜6を形成する。
第2下地絶縁膜7については、CVD法等によって酸化珪素(SiO2)を成膜し、さらにこれをCMP法等によって平坦化することにより、第2下地絶縁膜7を形成する。
次いで、強誘電体キャパシタ3を形成するべく、前記酸素バリア層13a上に、下部電極14の形成材料であるイリジウムをスパッタ法等によって成膜し、下部電極層14aを形成する。
次いで、この強誘電体層15a上に、上部電極16の形成材料であるイリジウムをスパッタ法等によって成膜し、上部電極層16aを形成する。
なお、強誘電体キャパシタ3については、特にその上部電極16が前記の塩素系のエッチングガスに対して十分な耐性が得られない場合、再度レジストパターン(図示せず)を形成し、酸素バリア層13a(酸素バリア膜13)のエッチング時に、これをマスクとして用いてもよい。
次いで、層間絶縁膜22上に公知のレジスト技術、露光・現像技術によってレジストパターン(図示せず)を形成し、このレジストパターンをマスクにしてエッチングすることにより、前記強誘電体キャパシタ3、3間のサイドウォール20、20間にコンタクトホール24及びコンタクトホール23の上部23bを形成するとともに、前記強誘電体キャパシタ3上にその上部電極16の一部を露出させるコンタクトホール27を形成する。
なお、コンタクトホール24及びコンタクトホール23の上部23bの形成と、コンタクトホール27の形成については、そのエッチング深さが異なることから、同一条件では行い難いこともある。その場合には、これらを別工程で形成するようにしてもよい。
このようにしてエッチングを行うと、エッチング耐性が高く、したがってエッチング性が悪いAlOxからなる水素バリア膜21は、第2下地絶縁膜7上に一層しかないため、加工上の障害が比較的少なく抑えられている。したがって、強誘電体キャパシタ3の側面側にアルミナ(AlOx)からなるサイドウォール20と水素バリア膜21とを設け、水素バリア膜として機能する膜を二層設けたことにより、強誘電体キャパシタ3の特性劣化をより良好に防止しているにもかかわらず、コンタクトホール24については、水素バリア膜21が一層であることから、その加工性を容易にすることができる。
その後、層間絶縁膜22上に別の層間絶縁膜(図示せず)等を形成することにより、強誘電体メモリ装置1を得る。
また、酸素バリア膜13上でかつ強誘電体キャパシタ3の側面側に、酸素バリア膜13よりエッチング耐性が高い絶縁材料からなるサイドウォール20が設けられているので、製造時に該サイドウォール20をマスクとして用い、エッチングして酸素バリア膜13をパターニングすることにより、この強誘電体メモリ装置1は、酸素バリア膜13の加工時における強誘電体キャパシタ3のエッチングダメージが抑えられたものとなる。
また、酸素バリア膜13に対しエッチング耐性が高い絶縁膜20aによってサイドウォール20を形成し、このサイドウォール20をマスクにして酸素バリア層13aをエッチングし、酸素バリア膜13を形成するので、強誘電体キャパシタ3の側面側をサイドウォール20で覆った状態で酸素バリア層13aをエッチングすることにより、この酸素バリア層13a(酸素バリア膜13)の加工時における強誘電体キャパシタ3のエッチングダメージを抑えることができる。したがって、強誘電体キャパシタ3のエッチングダメージによる特性劣化を防止することができる。
この実施形態が前記の実施形態と異なるところは、図4(b)に示したように絶縁膜20aをエッチバックし、強誘電体キャパシタ3の側部にサイドウォール20を形成する際、図6に示すように、得られるサイドウォール20の上端が前記強誘電体キャパシタ3の上部電極16の上面より下側に位置するように、該サイドウォール20を形成する点である。
これは、図5(c)に示したように上部電極16に通じるコンタクトホール27を形成した際、コンタクトホール27が合わせずれによってサイドウォール20上にのって形成されてしまう、といった不都合に対処するためである。
L3={(L1+L2)/2}±(L2−L1)×0.4
Claims (6)
- 基体上に設けられて、該基体内に埋設されたプラグに接続する酸素バリア膜と、該酸素バリア膜上に設けられた下部電極と強誘電体膜と上部電極とからなる強誘電体キャパシタと、を備えてなる強誘電体メモリ装置において、
前記酸素バリア膜は、前記強誘電体キャパシタの側方に拡がって形成されてなり、
前記酸素バリア膜上でかつ前記強誘電体キャパシタの側面側には、前記下部電極、前記強誘電体膜、前記上部電極のそれぞれの側面を覆って前記酸素バリア膜よりエッチング耐性が高い絶縁材料からなるサイドウォールが設けられており、
前記サイドウォールは、その上端が前記上部電極の上面より下側に位置していることを特徴とする強誘電体メモリ装置。 - 前記サイドウォールは水素バリア材料からなることを特徴とする請求項1記載の強誘電体メモリ装置。
- 前記サイドウォール及び前記強誘電体キャパシタを覆って水素バリア膜が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の強誘電体メモリ装置。
- 基体上に酸素バリア層と下部電極層と強誘電体層と上部電極層とをこの順に積層する工程と、
前記上部電極層と強誘電体層と下部電極層とをパターニングして上部電極と強誘電体膜と下部電極とからなる強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタを覆って前記酸素バリア層上に、該酸素バリア層に対してエッチング耐性が高い絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜をエッチバックし、前記強誘電体キャパシタの側部に前記上部電極、前記強誘電体膜、前記下部電極のそれぞれの側面を覆って、前記絶縁膜からなるサイドウォールを形成する工程と、
前記サイドウォールをマスクにして前記酸素バリア層をエッチングし、前記強誘電体キャパシタ及び前記サイドウォールの下側に酸素バリア膜を残す工程と、を有してなり、
前記絶縁膜をエッチバックし、前記強誘電体キャパシタの側部にサイドウォールを形成する工程では、得られるサイドウォールの上端が前記強誘電体キャパシタの上部電極の上面より下側に位置するように、該サイドウォールを形成することを特徴とする強誘電体メモリ装置の製造方法。 - 前記絶縁膜として、水素バリア膜を用いることを特徴とする請求項4記載の強誘電体メモリ装置の製造方法。
- 前記酸素バリア膜を形成した後、前記強誘電体キャパシタ及び前記サイドウォールを覆って前記基体上に水素バリア膜を形成することを特徴とする請求項4又は5に記載の強誘電体メモリ装置の製造方法。
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