JP4578471B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
12…素子分離領域
14a、14b…ウェル
16…ゲート絶縁膜
18…ゲート電極
20…サイドウォール絶縁膜
22…ソース/ドレイン拡散層
24…トランジスタ
25…導体プラグ
26…層間絶縁膜
28a、28b…コンタクトホール
29…SiON膜
30…バリアメタル膜
31…シリコン酸化膜
32…下部電極
32a…Ti膜
32b…Pt膜
32c…酸化アルミニウム膜
32d…Pt膜
34…誘電体膜
36…上部電極
36a…IrOX膜
36b…Pt膜
36c…IrOX膜
36d…IrOY膜
36e…Pt膜
38…キャパシタ
40…水素拡散防止膜
42…層間絶縁膜
44…コンタクトホール
46…コンタクトホール
48…配線
50…水素拡散防止膜
52…層間絶縁膜
54…コンタクトホール
56…配線
58…層間絶縁膜
60…空隙
62…シリコン酸化膜
64…コンタクトホール
66…バリアメタル膜
68…導体プラグ
70a…導電膜
70b…配線
72…水素拡散防止膜
74…シリコン酸化膜
76…シリコン窒化膜
78…ポリイミド膜
80…フォトレジスト膜
82…フォトレジスト膜
84…フォトレジスト膜
86…AlCu合金膜
88…TiN膜
90…水素拡散防止膜
92…層間絶縁膜
94…コンタクトホール
96…バリアメタル膜
98…導体プラグ
100…コンタクトホール
102…配線
104…水素拡散防止膜
106…層間絶縁膜
108…空隙
110…層間絶縁膜
112…コンタクトホール
114…バリアメタル膜
116…導体プラグ
118…配線
120…水素拡散防止膜
122…層間絶縁膜
124…空隙
126…層間絶縁膜
128…コンタクトホール
130…バリアメタル膜
132…導体プラグ
134…配線
136…水素拡散防止膜
138…SiON膜
本発明の第1実施形態による半導体装置及びその製造方法を図1乃至図17を用いて説明する。図1は、本実施形態による半導体装置を示す断面図である。図2は、本実施形態による半導体装置を示す平面図である。
図1に示すように、例えばシリコンより成る半導体基板10上には、素子領域を画定する素子分離領域12が形成されている。素子分離領域12が形成された半導体基板10内には、ウェル14a、14bが形成されている。
次に、本実施形態による半導体装置の製造方法を図3乃至図17を用いて説明する。図3乃至図17は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
次に、本実施形態による半導体装置の変形例を図18を用いて説明する。図18は、本変形例による半導体装置を示す断面図である。
本発明の第2実施形態による半導体装置及びその製造方法を図19乃至図41を用いて説明する。図19は、本実施形態による半導体装置を示す断面図である。図1乃至図18に示す第1実施形態による半導体装置及びその製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
図19に示すように、トランジスタ24が形成された半導体基板10上には、層間絶縁膜26が形成されている。なお、トランジスタ24のゲート長は、例えば0.35μmとする。
次に、本実施形態による半導体装置の評価結果について説明する。
次に、本実施形態による半導体装置の製造方法を図20乃至図41を用いて説明する。図20乃至図41は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
Claims (6)
- 半導体基板上に形成され、下部電極と、前記下部電極上に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜上に形成された上部電極とを有するキャパシタと、
前記半導体基板上及び前記キャパシタ上に形成された第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に形成され、前記キャパシタに電気的に接続された第1の配線と、
前記第1の絶縁膜上に、前記第1の配線を覆うように形成され、水素の拡散を防止する第1の水素拡散防止膜と、
前記第1の水素拡散防止膜上に形成され、表面が平坦化された第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に形成された第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜上に形成された第2の配線と、
前記第3の絶縁膜上に、前記第2の配線を覆うように形成され、水素の拡散を防止する第2の水素拡散防止膜とを有し、
前記キャパシタの上方の前記第3の絶縁膜上に少なくとも形成されたベタ状の導電膜を更に有し、
前記第2の水素拡散防止膜は、前記ベタ状の導電膜を覆うように形成されており、
前記第1の水素拡散防止膜及び前記第2の水素拡散防止膜は、金属酸化物より成り、
前記第2の水素拡散防止膜上に形成されたシリコン窒化膜と、
前記シリコン窒化膜上に形成されたポリイミド膜とを更に有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項記載の半導体装置において、
前記金属酸化物は、酸化アルミニウム、酸化チタン、又は酸化タンタルである
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体装置において、
前記キャパシタを覆うように形成され、水素の拡散を防止する第3の水素拡散防止膜を更に有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記誘電体膜は、強誘電体膜又は高誘電体膜である
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第4項記載の半導体装置において、
前記強誘電体膜は、PbZr1−XTiXO3膜、Pb1−XLaXZr1−YTiYO3膜、SrBi2(TaXNb1−X)2O9膜、又はBi4Ti2O12膜である
ことを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板上に、下部電極と、前記下部電極上に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜上に形成された上部電極とを有するキャパシタを形成する工程と、
前記半導体基板上及び前記キャパシタ上に、第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜に、前記キャパシタに達するコンタクトホールを形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上に、前記コンタクトホールを介して前記キャパシタに接続された第1の配線を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上に、水素の拡散を防止する第1の水素拡散防止膜を、前記第1の配線を覆うように形成する工程と、
前記第1の水素拡散防止膜上に、第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜の表面を研磨することにより、前記第2の絶縁膜の表面を平坦化する工程と、
前記第2の絶縁膜上に、第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記第3の絶縁膜上に、第2の配線を形成する工程と、
前記第3の絶縁膜上に、水素の拡散を防止する第2の水素拡散防止膜を、前記第2の配線を覆うように形成する工程とを有し、
前記第2の配線を形成する工程では、少なくとも前記キャパシタの上方に位置する部分に、ベタ状の導電膜を更に形成し、
前記第2の水素拡散防止膜を形成する工程では、前記ベタ状の導電膜を覆うように前記第2の水素拡散防止膜を形成し、
前記第1の水素拡散防止膜及び前記第2の水素拡散防止膜は、金属酸化物より成り、
前記第2の水素拡散防止膜上に、シリコン窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン窒化膜上に、ポリイミド膜を形成する工程とを更に有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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