[実施の形態1]
図1は、この発明の実施の形態1に従う不揮発性半導体記憶装置の要部の構成を概略的に示す図である。図1においては、データ読出に関連する部分のみの構成を示し、データ書込および消去に関連する部分の構成は示していない。
図1において、不揮発性半導体記憶装置は、不揮発性メモリセルが行列状に配列されるメモリアレイ1を含む。このメモリアレイ1は、2つのメモリブロックMBAおよびMBBに分割される。メモリブロックMBAおよびMBBは、各々、情報(データ)ビットと、この情報ビットのエラー検出/訂正用のECCコードを構成するパリティビットを格納する。パリティビットは、メモリブロックMBAおよびMBB各々において、均等に分散して格納される。
不揮発性半導体記憶装置は、さらに、外部からのコマンドCMDおよびアドレス信号ADDをクロック信号CLKに従って取込むアドレス入力回路2と、メモリブロックMBAおよびMBBそれぞれに対応して設けられ、アドレス入力回路2からの内部アドレス信号をプリデコードするプリデコーダ3Aおよび3Bと、プリデコーダ3Aおよび3Bからのプリデコード信号をそれぞれラッチするアドレスラッチ回路4Aおよび4Bと、アドレスラッチ回路4Aおよび4Bからのラッチプリデコード信号をさらにデコードして、対応のメモリブロックMBAおよびMBBにおいてメモリセルを選択する選択信号を生成するデコード回路5Aおよび5Bを含む。
アドレス入力回路2は、メモリアレイの一端に配置され、クロック信号CLKに同期して外部からのアドレス信号を取り込んで内部アドレス信号を生成してプリデコーダ3Aおよび3Bに伝達する。
プリデコーダ3Aおよび3Bは、アドレス入力回路2からのアドレス信号が対応のメモリブロックを指定しているときに活性化されてプリデコード動作を行なって、プリデコード信号を生成して、対応のアドレスラッチ回路4Aおよび4Bへ伝達する。したがって、メモリブロックMBAおよびMBBにおいては、データ読出時、択一的にメモリセルの選択動作が行なわれる。
メモリブロックMBAおよびMBBそれぞれに対応してプリデコーダ3Aおよび3Bを設ける。アドレス入力回路2からプリデコーダ3Aおよび3Bに対する配線の長さは実質的に同じである。プリデコーダ3Aおよび3Bからアドレスラッチ回路4Aおよび4Bへの配線距離は同じである。したがって、プリデコード信号を、メモリアレイ1の一端からメモリアレイ1の他端に向かって伝達する際のプリデコード信号の伝搬遅延の発生を抑制でき、アドレススキューを抑制でき、速いタイミングで読出を行なうことができる。
また、アドレスラッチ回路4Aおよび4Bからデコード回路5Aおよび5Bそれぞれに対する配線距離も同じであり、メモリブロックMBAおよびMBBにおいてアドレス確定タイミングを同じとすることができ、デコード動作に対するマージンを大きくすることができ、安定かつ高速な読出を実現することができる。
不揮発性半導体記憶装置は、さらに、メモリブロックMBAまたはMBBの選択されたメモリセルのデータを読出メインビット線RMBLを介して受けてラッチして内部出力データを生成する出力ラッチ回路6と、出力ラッチ回路6から読出データバスRDBを介して内部出力データを受け、パリティビットに基づいて情報ビットのエラーの検出/訂正を行なうECC回路(誤り検出/訂正回路)8と、ECC回路8からの情報ビットから、さらに出力データビット幅に応じたビット数のデータを選択して外部読出データQを生成するセレクタ9を含む。
一例として、メモリブロックMBAまたはMBBからは、64ビットの情報ビットと7ビットのパリティビットとが並行して読出されて、出力ラッチ回路6へ与えられる。セレクタ9は、このECC回路8によりエラーの検出/訂正が行なわれた64ビットデータから、32ビットまたは16ビットを選択して外部読出データQを生成する。
この不揮発性半導体記憶装置は、さらに、読出メインビット線RMBLに読出されるデータの転送状況に応じて、出力ラッチ回路6をリセットする出力制御回路7を含む。この出力制御回路7は、内部読出データの読出状況をモニタし、そのモニタ結果に従って内部読出データに従って確実に内部出力データが生成された後に出力ラッチ回路をリセットする。
出力制御回路7により、出力ラッチ回路6においてデータがラッチされた後所定のタイミングでリセットすることにより、選択メモリ位置に応じて内部読出データの伝播時間が異なる場合においても、出力ラッチ回路6においてデータがラッチされて読出された後、出力ラッチ回路6のラッチデータがリセットされる。従って、読出制御のタイミングを、メモリアレイ1における選択メモリセルの位置に係らず同一とすることができ、データ読出時の動作マージンを拡大することができる。
図2は、図1に示すメモリアレイ1に含まれる不揮発性メモリセルの構成の一例を示す図である。図2において、不揮発性メモリセルMCは、基板領域10a表面に間をおいて形成される不純物領域10bおよび10cと、基板領域10a上に、不純物領域10bに近接してゲート絶縁膜10dを介して形成されるコントロールゲート10eと、不純物領域10cに近接して絶縁膜10g上に形成されるメモリゲート10fとを含む。これらのコントロールゲート10eおよびメモリゲート10fの間には、絶縁層10gが延在して形成される。この絶縁層10gはたとえば、ONO膜(酸化膜−窒化膜−酸化膜)で構成され、例えば窒化膜で構成される電荷トラップ層10jを含む。
メモリゲート10f側壁には不純物領域10cに達する側壁絶縁膜10iが形成される。コントロールゲート10e側壁には、不純物領域10Bに達する側壁絶縁膜が形成され、その上部にはたとえばコバルトシリサイド膜(CoSi膜)などの低抵抗金属が形成される。
不純物領域10bおよび10cは、データ読出時、それぞれ、ドレインおよびソースとして機能し、不純物領域10bがビット線BLに接続され、不純物領域10cがソース線SLに接続される。コントロールゲート10eは、コントロールゲート線CGLに接続され、メモリゲート10fはワード線WLに接続される。コントロールゲート10e上部の低抵抗金属層10hによりコントロールゲート線CGLの抵抗を低減する。
この図2に示す不揮発性メモリセルMCにおいて、電荷トラップ層10jへの電荷の蓄積時(書込動作時)においては、コントロールゲート線CGLに例えば1、5Vの電圧を印加し、ワード線WLには例えば11Vの高電圧を印加して、コントロールゲート10e下部に、チャネルを形成する。基板領域10aは接地電位レベルに保持される。この書込時においては、ソース線SLに例えば5、5Vの電圧を印加し、ドレインに定電流源を接続する。ソース線SLからビット線BLへ電流を流し、コントロールゲート10eとメモリゲート10fとの間の領域の基板領域10aにおいて電界を集中させる。この高電界によりホットキャリア(電子)を発生して、メモリゲート10fに印加される電圧に応じて発生したホットキャリアを加速して、電荷トラップ層10jに捕獲する(ソースサイドインジェクション)。この書込動作により、メモリセルのしきい値電圧が、データ読出時のメモリゲート電圧(例えば1.5V)よりも高い電圧レベルに設定される。
消去時においては、不純物領域10bをオープン状態に設定し、コントロールゲート線CGLを介してコントロールゲート10eを接地電圧レベルに設定し、基板領域10aを接地電圧レベルに維持する。メモリゲート10fに例えば−6Vの負電圧をワード線WLを介して印加し、不純物領域10cにはソース線SLを介して例えば5、5Vの電圧を印加する。この状態では、メモリゲート10f下部の高電界により生成されるホットキャリアのホールが、メモリゲート10fの負電圧に引かれて電荷トラップ層10jに注入され、捕獲された電子と結合して、電荷トラップ層10jの蓄積電子が中和される。この消去動作により、メモリセルのしきい値電圧が、読出時のメモリゲート電圧よりも低い電圧レベルに低下する。
データ読出時においては、メモリゲート10fには、1.5Vの読出電圧が印加され、不純物領域10cは接地電圧レベルに維持される。不純物領域10bにはビット線BLを介して1.5V程度の読出電圧が供給される。コントロールゲート10eにはコントロールゲート線CGLを介して1.5Vが印加される。電荷トラップ層10jの蓄積キャリア量に応じて、メモリセルMCは、しきい値電圧の絶対値が大きい状態およびしきい値の絶対値が小さい状態のいずれかの状態をとる(2値データの格納時)。
コントロールゲート線CGLを選択状態に駆動すると、このコントロールゲート10e下部にチャネルが形成される。電荷トラップ層10jに電子が捕獲され、しきい値電圧が高い場合には、この電荷トラップ層10j下部には、反転層は形成されず、不純物領域10bおよび10cの間に電流が流れない。一方、この正孔の注入により電荷トラップ層10jに捕獲される電子量が小さくまたは正孔の量が大きくしきい値電圧が小さい場合には、この電荷トラップ層10j下部には、反転層が形成され、不純物領域10bおよび10cの間に電流が流れる。ビット線BLを流れる電流量を検出することにより、不揮発性メモリセルMCの記憶データの読出が行なわれる。
なお、この不揮発性メモリセルMCの構成は、図2に示す構成に限定されず、別のメモリセル構造が用いられてもよい。また、データの書込/消去の方法としても別の方法が用いられても良い。例えば、電荷トラップ層10jの捕獲電子の基板領域10aまたはメモリゲート10fへの放出により消去が行われても良い。
また、メモリセルの消去状態がしきい値電圧が高い状態であり書込状態がしきい値電圧の低い状態であっても良い。
このメモリセル構造においては、データを記憶するメモリトランジスタと、メモリトランジスタを選択する選択トランジスタとが、ビット線とソース線との間に直列に接続される。従って、メモリトランジスタがいわゆる過消去状態となってしきい値電圧が負電圧となっても、選択トランジスタが非導通状態であれば、選択メモリセルのデータ読出に影響を及ぼさない。従って、過消去状態を防止するためのしきい値電圧調整ステップが不要となり、書込時間を短縮することができる。また、過消去セルのデータ読出に対する影響を抑制することができ、不良セルの救済を、容易に冗長セルとの置換により行うことができる。
図3は、図1に示すアドレス入力回路2の構成の一例を示す図である。図3において、アドレス入力回路2は、クロック信号CLKを反転するインバータ2aと、クロック信号CLKと外部からのアドレス信号ADDとを受けるANDゲート2bと、インバータ2aの出力信号と外部からのコマンドCMDとを受けるANDゲート2cと、ANDゲート2bおよび2cの出力信号を受けて内部アドレス信号IADDを生成するNORゲート2dを含む。これらのゲート2b−2dは、複合ゲートで構成される。
この図3に示すアドレス入力回路2においては、クロック信号CLKがHレベルのときには、外部からアドレス信号ADDに従って内部アドレス信号IADDが生成される。クロック信号CLKがLレベルとなると、インバータ2aの出力信号がHレベルとなり、コマンドCMDに基づいて内部アドレスIADDが生成されて図1に示すプリデコーダ3Aおよび3Bへ与えられる。コマンドCMDおよびアドレス信号ADDは、通常、共通の端子を介して与えられる。コマンドCMDは、データの書込、消去、テストモードなどを指定する。このコマンドCMDの印加時、内部アドレス信号IADDはコマンドとして、図示しないシーケンスコントローラへ与えられてデコードされ、指定された動作が実行される。
アドレス入力回路2において、コマンドCMDおよびアドレス信号ADDをクロック信号CLKの異なる位相で取込むことにより、ライトイネーブル信号に従って動作モード(書込または消去)モードが指定される場合においても、確実に、アドレス信号とコマンドの区別をつけることができる。
図4は、図1に示す不揮発性半導体記憶装置のアドレスの伝搬波形を概略的に示す図である。アドレス入力回路2は、クロック信号CLKの立上がりに応答して外部アドレス信号ADDから、内部アドレス信号IADDを生成する。このアドレス入力回路2から、プリデコーダ3Aおよび3Bへの配線距離はほぼ同じであり、これらのプリデコーダ3Aおよび3Bにおいては、ほぼ同じタイミングでプリデコード動作を開始する。プリデコード後の信号は、対応のアドレスラッチ回路4Aおよび4Bに伝達される。したがって、選択ブロックについては、アドレスラッチ回路へは、短い配線距離でプリデコーダからプリデコードアドレス信号が伝達されるだけであり、安定にかつ小さなスキューで、アドレスラッチ回路へ伝達されるため、このアドレスラッチ回路4Aおよび4Bでのアドレスラッチタイミングを早くすることができる。
また、このラッチプリデコード信号は、アドレスラッチ回路4Aまたは4Bから対応のデコード回路5Aまたは5Bへ伝達されるだけであり、その配線距離は短い。したがってラッチアドレスに従ってデコード回路5Aまたは5Bがデコード信号を生成する場合、高速で伝達でき、アドレスデコード回路5Aまたは5Bで早いタイミングでデコード動作を行なってデコード信号を生成することができる。したがって、この場合も、アドレスラッチ回路3Aおよび3Bからのラッチアドレスからデコード信号が生成されて確定状態に至るまでの時間は短く、高速でデコード信号を確定状態に駆動することができる。これにより、読出動作マージンを大きくすることができ、また、読出動作開始タイミングを早くすることができ、高速読出を実現することができる。
以上のように、この発明の実施の形態1に従えば、メモリアレイをメモリブロックに分割し、各メモリブロックに対して、プリデコーダおよびアドレスラッチ回路およびアドレスデコード回路を配置しており、アドレス入力回路からの内部アドレス信号に従って、スキューを十分に小さくして伝達してデコード動作を行なうことができ、読出動作開始タイミングに対するマージンを大きくすることができ、高速かつ正確な読出を行なうことができる。
[実施の形態2]
図5は、図1に示すメモリアレイ1およびデコード回路5aおよび5bの構成をより具体的に示す図である。図5においては、メモリアレイ1のメモリブロックMBAおよびMBBのうちの1つのメモリブロックにおける構成を示す。メモリブロックMB(MBAまたはMBB)は、8個のメモリマットMM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lを含む。これらのメモリマットMM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lは、それぞれ情報(データ)ビットを格納する情報ビット領域IBRと、パリティビットを格納するパリティ領域PBRを含む。情報ビット領域IBRには、32本のビット線(サブビット線)を含むビット線ブロックが16個設けられ、合計512本のビット線(サブビット線)が配置される。
デコード回路5(5Aまたは5B)は、整列して配置されるメモリマットMMOU−MM3Uに対して設けられるXデコーダ12Uと、メモリマットMM0L−MM3Lに対して設けられるXデコーダ12lと、Yデコーダ13を含む。Xデコーダ12uおよび12lは、対応のアドレスラッチ回路4からのラッチアドレス(プリデコードアドレス信号)をデコードして、そのデコード結果に基づいてドライバ帯14に含まれるドライバを介して、コントロールゲート線を駆動する。
Xデコーダ12uからのコントロールゲート線は、対応のメモリマットMM0U−MM3Uに共通に延在して配置される。Xデコーダ12lからドライバ帯14を介して与えられるコントロールゲート駆動信号は、メモリマットM0L−M3Lに対し共通に与えられる。Xデコーダ12uおよび12lの一方が選択され、上側のメモリマットMM0U−MM3Uまたは下側のメモリマットMM0L−MM3Lにおいてコントロールゲートが選択状態へ駆動される。
但し、メモリブロックMBAおよびMBBの一方が選択状態へ駆動され、両者において同時にコントロールゲート線が選択状態へ駆動されることはない。
また、後に詳細に説明するように、1つのメモリブロックにおいては、図5に示すメモリマットMM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lの組が2つ配置されるものの、本実施の形態2においては、図面を簡単にするために、1組のメモリマット列MM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lを示す。
メモリマットMM0U−MM3Uそれぞれに対応して、Yデコーダ13からのY選択信号に従って対応のビット線を選択するセレクタYG0U−YG3Uが設けられ、メモリマットMM0L−MM3Lに対し、Yデコーダ13からのY選択信号に従って対応のメモリマットから列(ビット線)を選択するセレクタYG0L−YG3Lが設けられる。これらのセレクタYG0U−YG3UとセレクタYG0L−YG3Lの間に、Yデコーダ13からのセンスアンプイネーブル信号に従って選択メモリセルデータの検知および増幅を行なうセンスアンプ回路SK0−SK3が設けられる。
データ読出時においては、メモリマットMM0U−MM3UまたはMM0L−MM3L各々において16ビットの情報ビットが読出され、合計64ビットの情報ビットが読出される。64ビット情報の誤りの検出および訂正を行なうために、7ビットのECCコードが用いられる。ECCコードは、64ビットの情報ビットを所定のアルゴリズムに従って7組のビットに分割し各分割組のビットに対するパリティビットを求めることにより形成される。このECCコードを構成するパリティビットを、メモリマットMM0U−MM3UまたはMM0L−MM3Lに均等に分散して配置する。すなわちメモリマットMM0U−MM2Uにおいては、パリティ領域PBRに2ビットのパリティビットを格納し、メモリマットMM3Uにおいてパリティ領域PBRに、1ビットのパリティビットを格納する。このメモリマットMM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lの長さMLを、できるだけ同じ長さに設定する。
メモリマットMM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lの間に、ソース線ドライバ部SLD0−SLD2が設けられる。これらのソース線ドライバ部SLD0−SLD2は、データの書込または消去時に、ソース線に対し所定の電圧を供給する。データ読出時においては、ソース線ドライバ部SLD0−SLD2は、対応のメモリマットのソース線を接地電圧レベルに維持する。メモリマットMM0U−MM3UおよびMM0L−MM3Lに、均等にパリティビットを分散して格納することにより、以下の効果を得ることができる。
図6(A)に示すように、1つのメモリマットMMにおいてECCコードを集中的に配置する場合を考える。この場合、図6(A)に示すように、データ読出時、ソース線ドライバ部SLDにおいて共通ソース線CSLが接地電位に結合される。この共通ソース線CSLが、1つのメモリマットにおいて情報ビット領域IBRおよびパリティビットPBRに共通に延在して配置される。データ読出時に、共通ソース線CSLには、情報ビット領域IBRにおいて16ビットのメモリセルMC0−MC15が結合され、またパリティビット領域PBRにおいて共通ソース線CSLに7ビットのメモリセルMC16−MC22が結合される。データの読出は、ビット線BLからメモリセルMC(MC0−MC22)を介して流れるメモリセル電流Imの大きさを検出することにより行なわれる。
この場合、共通ソース線CSLにおいて配線抵抗Rpが存在するため、合計23個のメモリセルが結合される場合、共通ソース線CSLも長くなり、配線抵抗Rpも大きくなる。したがって、メモリセル電流Imが流れるとき、大きな配線抵抗およびメモリセル電流を流すメモリセル数の増大による電流増加により、この共通ソース線CSLの電位の浮き上がりが大きくなり、メモリセルMC0−MC22においてソース電位の分布が生じ、同じしきい値電圧状態において駆動するメモリセル電流Imの大きさが異なる場合が生じる。特に、ソース線電位の浮き上がりが大きいメモリセルにおいては、このメモリセル電流Imが小さくなり、しきい値電圧が小さい状態がしきい値電圧が大きい状態と誤って判定される場合が生じる。
一方、図6(B)に示すように、このパリティビット領域PBRを各メモリマットに均等に配置することにより、1つの共通ソース線CSLに、最大2ビットのパリティビットを格納するメモリセルMC16およびMC17が結合されてメモリセル電流Imが流れるだけである。この場合、共通ソース線CSLの長さも図6(A)に示す場合よりも短くなり、配線抵抗Rppも小さくなり、また駆動ソース線電流も低減される。したがって、共通ソース線CSLの電位の浮き上がりを抑制でき、安定にメモリセルのしきい値電圧に応じたメモリセル電流Imを駆動することができ、正確なデータの読出を行なうことができる。
したがって、図5に示すようにメモリマットMMの長さMLを、すべて等しい値に設定することにより、共通ソース線CSLの長さを等しくすることができ、メモリマットにおけるメモリセルのソース電位の浮き上がりのばらつきを抑制でき、安定なデータの読出を行なうことができる。
なお、この共通ソース線CSLの配置は、32本のビット線BLに接続されるメモリセルMCに共通に接続されるサブソース線と、このメモリマットにおけるサブソース線に共通にグローバルソース線が配置される階層構造であっても同様であり、グローバルソース線の電位の浮き上がりが、共通サブソース線に伝達され、同様の問題が生じる。従って、パリティビットを格納するメモリセルを複数のメモリマットに均等に分散して配置することにより、同様に、1つのグローバルソース線に接続される選択メモリセルの数を均等にすることができ、ソース電位のばらつきを抑制できる。
また、共通ソース線CSLに接続される選択メモリセルの数が小さくなり、流入するメモリセル電流Imの総和も小さく、応じて、共通ソース線CSLの電位の浮き上がりをさらに抑制することができる。
なお、上述の構成においては、64ビットデータが、4つのメモリマットに分散して格納される。しかしながら、この情報(データ)のビット幅は、他のサイズであってもよく、また分割されるメモリマットの数も、4に限定されず、8等の別の分割数であってもよい。
以上のように、この発明の実施の形態2に従えば、ECCコードのパリティビットをメモリブロックの分割領域、すなわち複数のメモリマットに均等に分散して格納しており、各メモリマットにおいて、各ソース線ドライバ部SDL0−SDL3に対して、流入するメモリセル電流およびソース線抵抗を均等にすることができ、共通ソース線電位の浮き上がりを抑制できる。応じて、各メモリセルにおいて十分なメモリセル電流を流すことができ、正確なデータの読出および高速の読出を行なうことができる。
[実施の形態3]
図7は、この発明の実施の形態3に従う不揮発性半導体記憶装置の1ビットの内部データを読出す部分の構成を概略的に示す図である。図7において、メモリマットMMkおよびMMjから1ビットのメモリセルデータを読出す部分の構成を代表的に示す。メモリマットMMkおよびMMjは、図5に示すメモリマットMMU(MM0U−MM3U)およびMML(MM0L−MM3L)に対応する。
メモリマットMMkおよびMMjそれぞれにおいては、32本のビット線(サブビット線)SBLから1本のビット線(サブビット線)が選択される。32本のサブビット線は、各々8本のサブビット線SBLを含むサブビット線グループBLG0−BLG3に分割される。サブビット線SBLに、メモリセルが接続される。ここで、内部データ読出経路において、共通ビット線およびメインビット線と順次データが転送されるため、メモリセルが接続されるビット線をサブビット線として参照する。
メモリマットMMkにおいて、サブビット線グループBLG0−BLG3それぞれから、Y選択信号YRAに従って1つのサブビット線を選択する第1セレクタ20kと、Y選択信号YRBに従って、第1セレクタ20kにより選択された4つのサブビット線から1つのサブビット線を選択する第2セレクタ21kが設けられる。同様、メモリマットMMjに対しても、サブビット線グループBLG0−BLG3各々からY選択信号YRAに従って1ビットのサブビット線を選択する第1セレクタ20jと、Y選択信号YRBに従って、第1セレクタ20jが選択した4つのサブビット線から1つのサブビット線を選択する第2セレクタ21jが設けられる。
第1セレクタ20kおよび第2セレクタ21kが、図5に示すセレクタYG0U−YG3UまたはセレクタYG0L−YG3Lに含まれ、第1セレクタ20jおよび21jが、他方のセレクタに含まれる。
第1セレクタ20kと第2セレクタ21kの間のデータ線(共通ビット線)それぞれと、第1セレクタ20jと第2セレクタ21jの間の共通ビット線それぞれに対して、参照電流供給回路VRF0−VRF3が結合される。これらの参照電流供給回路VRF0−VRF3が、ブロック選択信号RFBSに従って、非選択メモリマットに対して、参照電流を供給する(参照電流を引抜く)。
第2セレクタ21kおよび21jの出力は、センスアンプ回路SAに結合される。このセンスアンプ回路SAは、センスアンプ活性化信号(センスアンプイネーブル信号)SAEの活性化に従って、第2セレクタ21kおよび21jにより選択された共通ビット線を流れる電流を差動的に増幅し、その増幅結果に従ってセンス出力線IbkおよびIbjを駆動する。この内部読出データ線IbkおよびIbjは、図示しない内部読出バッファ回路に結合され、さらにセンスアンプ回路出力信号が増幅されて、出力ラッチ回路6(図1参照)に増幅された内部読出データが伝達される。
メモリマットMAkおよびMAjにおいては、情報ビット領域において、サブビット線グループBLG0−BLG3の組が、16組設けられ、各組において1ビットのメモリセルが選択され、合計16ビットのメモリセルデータ(情報ビット)の読出が行なわれる。このときパリティ領域についても、同様の構成が設けられており、1ビットまたは2ビットのパリティビットも同時に並行して読出される。
図8は、図7に示す内部データ読出部の2つのサブビット線グループに対するセレクタ、参照電流供給回路およびセンスアンプ回路の構成をより具体的に示す図である。図8において、メモリマットMMkおよびMMjそれぞれにおいて、サブビット線グループBLG0が、サブビット線SBL0−SBL7を含み、サブビット線グループBLG1が、サブビット線SBL8−SBL15を含む。
第1セレクタ20kおよび20jは、各々、各サブビット線グループの8本のサブビット線に対して設けられるPチャネルMOSトランジスタで構成されるサブビット線選択ゲートT0−T7を含む。これらのサブビット線選択ゲートT0−T7へは、それぞれ、第1のY選択信号yra<0>−yra<7>が与えられる。第1のY選択信号yra<0>−yra<7>のうちの1つが選択状態(Lレベル)となり、サブビット線選択ゲートT0−T7のうちの1つが選択状態となり、選択されたサブビット線が、対応の共通ビット線に結合される。たとえばY選択信号yra<0>が選択状態のLレベルとなったとき、サブビット線選択ゲートT0が導通し、サブビット線SBL0およびSBL8が、それぞれ、共通ビット線CBL0およびCBL1へ結合される。各サブビット線グループに対応して共通ビット線が配置され、各サブビット線グループの選択サブビット線が対応の共通ビット線に結合される。
これらの第1のY選択信号yra<0>−yra<7>が、図7に示すY選択信号YRAに対応する。
第2セレクタ21kおよび21jは、各々、共通ビット線CBL0−CBL3それぞれに対して設けられるPチャネルMOSトランジスタで構成される共通ビット線選択ゲートG0−G3を含む。これらの共通ビット線選択ゲートG0−G3のゲートには、第2のY選択信号yrb<0>−yrb<3>がそれぞれ与えられる。これらの第2のY選択信号yrb<0>−yrb<3>が、図7に示すY選択信号YRBに対応する。
第2のY選択信号yrb<0>−yrb<3>において1つが選択状態へ駆動され、対応の共通ビット線選択ゲートG0−G3のいずれかがオン状態となり、対応の共通ビット線CBLk0−CBLk3のいずれかおよびCBLj0−CBLj3のいずれかがセンスアンプ回路SAに結合される。
参照電流供給回路VRF0は、共通ビット線CBLk0およびCBLj0に結合され、参照電流供給回路VRF1は、共通ビット線CBLk1およびCBLj1に結合される。これらの参照電流供給回路VRF0およびVRF1は、同じ構成を備え、対応する構成要素には同一参照番号を付す。
参照電流供給回路VRF0は、プリチャージ指示信号pc<0>に応答して導通し、導通時共通ビット線CBLk0およびCBLj0を電源ノードに結合するPチャネルMOSトランジスタPG1およびPG2と、このプリチャージ指示信号pc<0>に応答して、共通ビット線CBLk0およびCBLj0を分離するPチャネルMOSトランジスタPG0と、基準電圧Vmsgをゲートに受けるNチャネルMOSトランジスタNG1と、参照ブロック選択信号VFDCjNに応答してNチャネルMOSトランジスタNG1を共通ビット線CBLjに結合するPチャネルMOSトランジスタPG4と、参照ブロック選択信号VFDCkNに応答して導通し、導通時、NチャネルMOSトランジスタNG1を共通ビット線CBLk0に結合するPチャネルMOSトランジスタPG3を含む。
参照電流供給回路VRF1も同様、プリチャージ指示信号pc<1>に応答して共通ビット線CBLk1およびCBLj1を電源ノードに結合するプリチャージ用のPチャネルMOSトランジスタPG1およびPG2と、プリチャージ指示信号pc<1>に応答して共通ビット線CBLk1およびCBLj1を分離するPチャネルMOSトランジスタPG0と、基準電圧Vmsgをゲートに受けて定電流源として機能するNチャネルMOSトランジスタNG1と、参照ブロック選択信号VFDCjNおよびVFDCkNに従ってNチャネルMOSトランジスタNG1を、共通ビット線CBLk1およびCBLj1にそれぞれ結合するPチャネルMOSトランジスタPG4およびPG3を含む。
これらの参照電流供給回路VRF0およびVRF1においては、プリチャージ指示信号pc<0>およびpc<1>が活性状態のLレベルのときには、PチャネルMOSトランジスタPG0−PG2により、共通ビット線CBLk0およびCBLj0が電源電圧レベルにプリチャージされかつイコライズされ、また共通ビット線CBLk1およびCBLj1が、電源電圧レベルにプリチャージされかつイコライズされる。プリチャージ指示信号pc<0>およびpc<1>が非活性状態のHレベルとなると、プリチャージ動作が完了し、また共通ビット線のイコライズ動作が完了する。
データ読出時においては、参照ブロック選択信号VFDCjNおよびVFDCkNのいずれかが活性状態のLレベルとなる。したがって、参照ブロックすなわち選択メモリセルを含むメモリマットと異なるメモリマットに対して共通ビット線が定電流源MOSトランジスタNG1を介して放電される。図8においては、メモリマットMMkにおいてメモリセルが選択されず、第1セレクタ20kの選択されたサブビット線選択ゲートを介して、充電されたサブビット線電流が、この参照電流供給回路VRF0を介して放電され、メモリマットMMjにおいて、サブビット線SBLに、プリチャージされた電流が選択メモリセルを介して流れる状態を一例として示す。
この参照電流供給回路VRF0またはVRF1が駆動する参照電流が、メモリセルが駆動するサブビット線電流とセンスアンプ回路SAにより比較される。
センスアンプ回路SAは、センスアンプ活性化信号SAEの活性化時(Hレベル)のとき導通するPチャネルMOSトランジスタPG5およびNチャネルMOSトランジスタNG4と、MOSトランジスタPG5およびNG4の間に接続されてCMOSインバータを構成するPチャネルMOSトランジスタPG6およびNチャネルMOSトランジスタNG3と、MOSトランジスタPG5およびNG4の間に接続されてCMOSインバータを構成するPチャネルMOSトランジスタPG7およびNチャネルMOSトランジスタNG2を含む。このMOSトランジスタPG6およびNG3のゲートが、センス出力線Ibjに結合され、MOSトランジスタPG7およびNG2のゲートが、センス出力線Ibkに結合される。
このセンスアンプ回路SAは、さらに、センスアンプ活性化信号SAEの非活性化時、MOSトランジスタNG2およびNG3の共通ソースノードを電源電位レベルにプリチャージするPチャネルMOSトランジスタPG8を含む。
このセンスアンプ回路SAは、CMOSインバータラッチ回路であり、交差結合されたMOSトランジスタPG6およびPG7と、交差結合されたNチャネルMOSトランジスタNG3およびNG2により、メモリセル電流および参照電流の差に応じたセンス出力線IbkおよびIbjの電位を、差動的に増幅してラッチする。
したがって、センス出力線IbkおよびIblには、相補な差動信号が伝達される。センス出力線IbkおよびIblj上の電位は、図示しない内部読出バッファ回路により増幅されて読出メインビット線上に伝達される。
参照電流供給回路VRF0およびVRF1が駆動する電流ireは、Hレベルデータを格納するメモリセルが駆動する電流とLレベルを格納するメモリセルが駆動する電流の中間値(1/2)の電流レベルに設定される。この参照電流ireとメモリセル電流Imとを比較することにより、選択メモリセルの格納データを読出すことができる。
ここで、HおよびLレベルデータとメモリセルのしきい値電圧との対応関係は任意である。すなわち、しきい値電圧の高い状態およびしきい値電圧の低い状態が、それぞれHレベルデータおよびLレベルデータに対応してもよく、また、その逆であっても良い。また、先に説明したように、書込状態および消去状態としきい値電圧の高い状態および低い状態との対応関係は、任意である。
図9は、図8に示す内部データ読出部の動作を示すタイミング図である。以下、図9を参照して、図8に示す内部データ読出部の動作について説明する。
メインクロック信号CKM(クロック信号CLK)の立上がりに同期して、アドレス入力回路から内部アドレス信号が生成され、プリデコーダを介してアドレスラッチ回路へ伝達され、アドレスラッチ回路の出力するラッチアドレス(プリデコードアドレス)信号LADDが確定する(図1および図5参照)。
メインクロック信号CKMが立上がり、アドレスラッチ回路がラッチ状態となり、ラッチアドレス信号LADDが確定すると、サブビット線ディスチャージ信号dcがLレベルに駆動され、内部でのデータ読出サイクルが開始される。この状態においては、メモリマットにおいて、メモリセルの選択動作はまだ行なわれておらず、コントロールゲート線CGLを駆動するコントロールゲート信号cg<N:0>は、すべてLレベルであり、メモリセルはすべて非選択状態にある。1つのメモリマットにおいては、256本のコントロールゲート線が一例として配置される(N=255)。
またプリチャージ信号pc<3:0>は、すべてHレベルであり、参照電流供給回路VRF0−VRF3はすべて非活性状態にある。また、センスアンプ活性化信号SAEもLレベルであり、センスアンプ回路SAも、MOSトランジスタPG5およびNG4がオフ状態であり、非活性状態にある。
また、サブビット線SBL<511:0>(1つのメモリマットにおいて情報ビット格納のための512本のサブビット線)は、すべて非選択状態であり、Lレベルにある。
内部読出サイクルが開始されると、まずYデコーダにより、第2Y選択信号(共通ビット線選択信号)yrb<3:0>のうちの1つの共通ビット線選択信号が選択状態(Lレベル)へ駆動され、第2セレクタ21kおよび21j各々において、共通ビット線選択ゲートG0−G3のうちの1つがオン状態となり、センスアンプ回路SAが、選択された共通ビット線に結合される。
この共通ビット線選択信号yrb<3:0>が確定してから、所定時間ΔT経過後、第1Y選択信号(サブビット線選択信号)yra<7:0>が、同様、Yデコーダにより確定状態へ駆動される。サブビット線選択信号yra<7:0>により、第1セレクタ20kおよび20jにおいて、サブビット線選択ゲートT0−T7のうちの1つが導通し、対応のサブビット線がそれぞれ対応の共通ビット線に接続される。共通ビット線CBL0−CBL3には、参照電流供給回路VRF0−VRF3がそれぞれ結合されている。共通ビット線選択信号yrb<3:0>とプリチャージ終了イネーブル信号pcendとに基づいて、プリチャージ信号pc<3:0>の1つが、選択状態へ駆される。図9においては、選択状態をselで示し、非選択状態をuselで示す。これにより、センスアンプ回路に結合される共通ビット線に接続される参照電流供給回路が活性化され、MOSトランジスタPG0−PG2により、共通ビット線が所定の電圧(電源電圧)にプリチャージされ、また選択サブビット線に、このプリチャージ電流が供給され、選択サブビット線SBLの電圧レベルが上昇する。この場合、メモリマットMMkおよびMMjそれぞれにおいて、同じ位置のサブビット線に対するプリチャージ電流の供給が行なわれ、選択サブビット線電位がHレベルに上昇する。このプリチャージ動作時においては、参照電流供給回路VRF(VRF0−VRF3のいずれか)においては、MOSトランジスタPG3およびPG4が共にオン状態であるため、基準電圧Vmsgに応じて、参照電流が駆動される。
選択サブビット線が所定電圧レベルにプリチャージされると、Xデコーダのデコード動作開始直前に、参照ブロック選択信号VFDCjNおよびVFDCkNの一方がHレベルとなり、参照電流供給回路において、MOSトランジスタPG3およびPG4の一方がオフ状態となり、選択メモリマットの共通ビット線が定電流源MOSトランジスタNG1から分離される。
次いで、図5に示すXデコーダ12uおよび12lがデコード動作を行ない、コントロールゲート信号cg<N:0>の1つを選択状態へ駆動する。コントロールゲート信号cg<N:0>は、メモリセルが接続されるコントロールゲート線(CGL)へそれぞれ伝達され、選択コントロールゲート線に接続されるメモリセルにおいて、コントロールゲート直下の基板領域表面に反転層が形成される。一方、メモリゲートも同様、選択状態へ駆動されるものの、記憶データに応じて、このメモリゲート下部には選択的に反転層が形成される。メモリマットMMkおよびMMjの一方において、コントロールゲート線CGLが選択状態へ駆動され、他方のメモリマットにおいては、コントロールゲートは、すべて非選択状態にある。
このコントロールゲート線の選択状態への駆動と同期して、プリチャージ終了イネーブル信号pcendが、Hレベルとなり、応じて、選択状態のプリチャージ信号pc(pc<3:0>のいずれか)がHレベルとなり、選択共通ビット線に対する参照電流供給回路VRF(VRF0−VRF3)においてMOSトランジスタPG0−PG2がオフ状態となり、プリチャージ動作が完了する。
このサブビット線に対する参照電流駆動とメモリセル電流駆動のタイミングをできるだけ同期させることにより、参照電流およびメモリセル電流に応じた電位差を、確実に、内部読出データ線IbkおよびIbjに伝達する。図9においては、メインクロック信号CKMの立上がりを基準として、遅延時間DL2経過後に、サブビット線を定電流駆動し、次いで、コントロールゲート線を選択状態へ駆動した後、メインクロック信号CKMの立ち上がりから遅延時間DL1経過後にプリチャージ終了イネーブル信号pcendを活性化してプリチャージ動作を完了する。この選択サブビット線へのプリチャージ動作と選択コントロールゲート線CGLの選択状態への駆動のオーバーラップ期間が、期間ΔT程度存在する。これにより、コントロールゲート線CGLが中間電圧レベルの状態においてメモリセル電流が不安定となって誤読出が生じるのを防止する。
この選択メモリセルが接続されるサブビット線においては、メモリセルの記憶データに応じて、その電圧レベルの変化速度が異なり、図9においては、しきい値電圧が高い状態および低い状態両者のサブビット線SBLの電位変化を併せて示す。一方、参照電流駆動するサブビット線SBLにおいては、定電流源MOSトランジスタNG1により放電されるため、その電位レベルが徐々に低下する。この参照サブビット線SBLの電位変化速度は、選択メモリセルが接続される選択サブビット線SBLのHレベルおよびLレベルの電位変化速度の中間値である。
この選択サブビット線および参照サブビット線の電位変化により、センスアンプ回路に接続されるセンス出力線IbkおよびIbjの電圧レベルに電位差が生じ、たとえば100mV程度となると、センスアンプ活性化信号SAEが活性化されて、この内部読出データ線(センス出力線)IbkおよびIbjの電位差を差動的に増幅する。
このセンスアンプ活性化信号SAEの活性化に応答して、サブビット線ディスチャージ信号dc、サブビット線選択信号yra<7:0>および共通ビット線選択信号yrb<3:0>が非活性化される(Yデコーダを非活性化する)。応じて、センスアンプ回路SAは、共通ビット線およびサブビット線から分離され、その負荷が軽減され高速でセンス動作を行なう。このセンス動作は、64ビットデータ(パリティビットを考慮せず)のデータIbj<63:0>およびIbk<63:0>について並行して行なわれ、64ビットのデータ(パリティビットを含む場合71ビットデータ)が並列に内部読出される。
センスアンプ活性化信号SAEが活性化されてから所定時間が経過すると、サブビット線ディスチャージャ信号dcの非活性化を条件として、Xデコーダが非活性化され、コントロールゲート信号cg<N:0>が非活性化され、コントロールゲート線が接地電圧レベルへ駆動される。一方、先のセンスアンプの活性化により、サブビット線SBLが参照電流供給回路から分離されるため、サブビット線SBLは、接地電圧レベルにまで放電される(後に説明するように、サブビット線放電トランジスタが設けられている)。
この後、参照電流制御信号VFDCjNおよびVFDCkNのうちの選択メモリマットに対する参照電流制御信号が非活性状態へ駆動され、参照電流供給回路の定電流源トランジスタNG1により、共通ビット線が接地電圧レベルにまで放電される。
この後、センスアンプ活性化信号SAEが非活性化され、1つのデータ読出サイクルが完了する。
この図9に示すようにセンスアンプ活性化信号SAEの活性化に応答して、サブビット線を非選択状態へ駆動する、すなわちYデコーダを非活性化し、またコントロールゲート線CGLを非活性化する(Xデコーダをリセットする)ことにより、次の読出サイクル開始時においては、Y選択信号、すなわちサブビット線選択信号yra<7:0>および共通ビット線選択信号yrb<3:0>を初期状態のHレベルから選択された信号をLレベルへ駆動することが要求されるだけである。スタティックにデコード動作を行なう場合の様に、これらのサブビット線選択信号および共通ビット線選択信号をHレベルからLレベルおよびLレベルからHレベルへと高速で駆動することは要求されない。従って、Yデコーダの駆動力を低減することができる(活性化のみ高速に行うことが要求されるだけである)。また、これらのサブビット線選択信号yra<7:0>および共通ビット線選択信号yrb<3:0>が両選択状態になることがなく(非選択状態への移行と選択状態への移行とが重なることがなく)、早いタイミングで確定状態へ駆動することができる。
また、コントロールゲート線をセンスアンプ活性化信号SAEに従って非活性化する(Xデコーダをリセットする)ことにより、読出サイクルの終了時点を早くすることができ、次の読出サイクルの開始タイミングを早くすることができる。
また、プリデコード後のアドレス信号をアドレスラッチ回路によりラッチしてラッチアドレス信号LADDを生成しており、アドレスラッチ回路がラッチ状態となると、ラッチアドレス信号LADDは確定状態にあり、ラッチアドレス信号LADDのスキューを低減できる。これにより、ラッチアドレス信号(ラッチプリデコード信号)LADDに従って、アドレスデコード回路(XデコーダおよびYデコーダ)においてデコード動作を早いタイミングで行なうことができ、デコード動作のマージンを大きくすることができ、また、読出タイミングを早くすることができる。
図10は、このデータ読出時のプリチャージ時のセンスアンプに関連する部分の状態を概略的に示す図である。図10に示すように、プリチャージ時においては、参照電流供給回路VRFが、共通ビット線CBLkおよびCBLjを介してサブビット線SBLkおよびSBLjに、電源電圧VCCを供給し、かつ定電流源トランジスタNG1により定電流を駆動する(信号VFDCjNおよびVFDCkNがともにLレベルのため)。このとき、また、共通ビット線CBLjおよびCBLkが、イコライズされている(MOSトランジスタPG0による)。
この後、選択コントロールゲート線の選択状態への駆動およびサブビット線のプリチャージ動作のオーバーラップ期間が生じた後、図11に示すように、サブビット線電流によるメモリセルデータの読出が行なわれる。この場合、一例として、図11に示すように、サブビット線SBLkにメモリセルMCが接続され、その記憶データに応じたメモリセル電流Imがソース線SLへ駆動される。一方、サブビット線SBLjにおいては、コントロールゲート線が非選択状態であり、共通ビット線CBLjから、参照電流駆動回路VRF内の定電流源トランジスタNG1により、参照電流irefが駆動される(放電される)。この定電流源トランジスタNG1は、共通ビット線CBLkから分離されている。メモリセル電流Imと参照電流irefの差により、センスアンプ回路SAのセンスノード(センス出力線IbkおよびIbj)の電位差が増大すると、センスアンプ回路SAが共通ビット線CBLkおよびCBLjから分離され、センス動作を実行する。
したがって、非選択サブビット線グループにおいては、第1セレクタにより、サブビット線が共通ビット線に結合されても、対応の共通ビット線は、参照電流駆動回路の定電流源トランジスタにより、接地電圧レベルに放電されるだけであり、プリチャージ動作は行なわれない(プリチャージ信号pcは、Hレベルを維持するため)。したがって、非選択サブビット線群においては、消費電流は発生しない。
特に、読出後、リセットをデコーダに対してかけることにより、データ読出サイクル開始時、共通ビット線選択信号を初期状態に設定することができ、プリチャージ信号を、この共通ビット線選択信号に基づいて容易に生成することができる。
図12は、このプリチャージ信号pc<3:0>を発生する回路の構成の一例を示す図である。図12においてプリチャージ信号発生部は、プリチャージ終了イネーブル信号pcendと、共通ビット線選択信号yrb<3:0>を受けるOR回路24を含む。このOR回路24は、共通ビット線選択信号yrb<3:0>それぞれの各ビットに対して設けられるORゲートを含み、4ビットのプリチャージ信号pc<3:0>を生成する。したがって、プリチャージ終了イネーブル信号pcendおよび共通ビット線選択信号yrb<3:0>がともにLレベルとなると、プリチャージ信号pc<3:0>がLレベルとなり、選択サブビット線に対するプリチャージ動作が実行される。
各メモリマットにおいて、このYデコーダからの共通ビット線選択信号yrb<3:0>とメインのプリチャージ終了イネーブル信号pcendとに従って、対応のプリチャージ信号pc<3:0>を生成することにより、各メモリマットにおいて、このプリチャージ信号の負荷を軽減して高速でプリチャージ信号を生成することができる。
上述の構成においては、参照電流供給回路VRFを用いて、メモリセルに対する参照電流を駆動している。しかしながら、メモリマット内にダミーセルを設け、このダミーセルを用いて参照電流を生成するように構成しもよい。
以上のように、この発明の実施の形態3に従えば、センスアンプ活性化信号SAEにより、アドレスデコード回路をリセットしており、高速で内部読出系回路を初期状態に復帰させることができ、読出サイクルを短縮することができ、高速のデータ読出を実現することができる。
また次サイクルにおいて信号の変化方向は、活性化への方向だけであり、信号の活性化と非活性化との両者を行う必要がなく、確実に高速で各選択信号および制御信号を活性状態へ移行させることができる。
また、プリチャージ信号を、メインのプリチャージ制御信号と共通ビット線選択信号とに基づいて生成しており、各メモリマットでプリチャージ信号を生成するだけでよく、リセット状態の共通ビット線選択信号に基づいて、正確に、プリチャージ信号を生成することができる。
[実施の形態4]
図13は、この発明に従う不揮発性半導体記憶装置の1つのXデコーダ(12uまたは12l)の出力とメモリマットMMのコントロールゲート線との対応を概略的に示す図である。メモリマットMMは、先の図5に示すメモリマット(MM0U−MM3U(MMU)およびMM0L−MM3L(MML))に対応する。
図13において、Xデコーダ出力により、メモリマットMMは、各々が32本のコントロールゲート線CGLを含むコントロールゲートブロックSCT0−SCT31に分割される。このコントロールゲートブロックSCT0−SCT31は、各々、1つのセクタを構成し、このセクタ単位で消去が行なわれてもよい。コントロールゲートブロックSCT0−SCT31は、それぞれ、プリデコードブロック指定信号bs<0>−bs<31>により指定される。このプリデコードブロック指定信号bs<0>−bs<31>は、図5に示すXデコーダ(12uまたは12l)から生成される。従って、1つのメモリマットには1024本のコントロールゲート線が配置される。選択メモリブロック(図1のメモリブロックMBAまたはMBB)において、1つのコントロールゲートブロックが指定される。
図14は、図13に示すコントロールゲートブロックのさらに詳細構成を示す図である。図14に示すように、コントロールゲートブロックSCT(SCT0−SCT31)は、各々が4本のコントロールゲート線CGLを含むコントロールゲートグループSSCT0−SSCT7に分割される。これらのコントロールゲートグループSSCT0−SSCT7は、プリデコード信号ビットxclka<0>−xclka<7>によりそれぞれ特定される。これらのプリデコード信号ビットxclka<0>−xclka<7>は、図5に示すアドレスラッチ回路から与えられ、すなわち、図1に示すプリデコーダ3(3Aまたは3B)から生成されるプリデコード信号ビットである。このコントロールゲートグループSCCTが、4本のコントロールゲート線CGLを含んでおり、1つのコントロールゲートブロックが8個のコントロールゲートグループを含むため、1つのコントロールゲートブロックに32本のコントロールゲート線CGLが含まれる。
後に説明するように、1つのセンスアンプ帯(センスアンプ)に対応するメモリマットは、8個のコントロールゲートブロックを含むため、1つのセンスアンプ帯に対応するメモリマットにおいては、256本のコントロールゲート線CGLが設けられる。このコントロールゲート線は、1つのメモリブロックにおいて、列方向に整列するメモリセルにより共有される。
図15は、図14に示すコントロールゲートグループの詳細な構成を示す図である。コントロールゲートグループSSCT(SSCT0−SSCT7)は、各々、4本のコントロールゲート線CGL0−CGL3を含む。これらのコントロールゲート線CGL0−CGL3は、各々、プリデコード信号ビットxclkb<0>−xclkb<3>により特定される。これらのプリデコード信号ビットxclkb<0>−xclkb<3>も、図5に示すアドレスラッチ回路4から与えられるプリデコード信号ビットである。
この図13から図15に示すように、選択メモリブロックにおいて、プリデコードブロック指定信号ビットbs<0:31>およびプリデコード信号ビットxclka<0:7>およびxclkb<0:3>の組合せにより、Xデコーダの出力信号に従って、1つのコントロールゲート線CGLが選択状態へ駆動される。
図16は、この発明の実施の形態4におけるアドレスラッチ回路およびデコード回路の構成を概略的に示す図である。図16においては、1つのメモリブロックに対して設けられるアドレスラッチ回路4、デコーダ12、およびYデコーダ13を示す。このXデコーダ12は、図5に示すXデコーダ12uおよび12lを含む構成に対応する。
アドレスラッチ回路4は、プリデコーダからの8ビットプリデコード信号をセット指示信号SETANに従ってラッチし、8ビットのラッチプリデコード信号ltbsaを出力するラッチ回路30と、セット指示信号SETBNに従ってプリデコーダからのプリデコード信号をラッチして、4ビットのラッチプリデコード信号ltbsbを出力するラッチ回路31と、セット指示信号SETBNに従ってプリデコーダからのプリデコード信号をラッチして、8ビットのラッチプリデコード信号XCLKAを出力するラッチ回路32と、ラッチ指示信号SETBNに従ってプリデコーダからの4ビットのプリデコード信号をラッチして4ビットのラッチプリデコード信号XCLKBを出力するラッチ回路33と、ラッチプリデコード信号ltbsaおよびltbsbをデコードして、32ビットのコントロールゲートブロック指示信号BSを駆動するブロックデコード回路34を含む。
セット指示信号SETANおよびSETBNは、対応のメモリブロックの選択時に活性化され、プリデコーダから与えられるプリデコード信号をラッチする。このセット指示信号SETANおよびSETBNは、したがってプリデコーダによりプリデコードされたブロックアドレス信号とアドレスラッチタイミング信号とに基づいて生成される。
ラッチプリデコード信号XCLKAおよびXCLKBは、それぞれプリデコード信号ビットxclka<0:7>およびxclkb<0:3>に対応する。ブロックデコード回路34は、AND型デコード回路で構成され、8ビットのラッチプリデコード信号ltbsaと4ビットのラッチプリデコード信号ltbsbとから、32個のコントロールゲートブロックのうちの1つのコントロールゲートブロックを指定するコントロールゲートブロック指定信号BS(コントロールゲートブロック指定信号bs<0:31>)を生成する。
ラッチ回路30−33へは、また、Xアドレスリセット信号XRSTが与えられる。このリセット信号XRSTの活性化時(Hレベルのとき)、これらのラッチ回路30−33の保持内容が、初期状態(非選択状態)にリセットされる。
ラッチ回路30−33においては、セット時、それぞれ、プリデコーダの出力信号に従って、選択時、対応のプリデコード信号ビットの1つが活性状態に設定され、残りは非選択状態に維持される。
Xデコーダ12(図5のXデコーダ12uおよび12l)は、コントロールゲート電源回路40と、コントロールゲートブロック指定信号bs<0:31>とプリデコード信号xclka<0:7>およびxclkb<0:3>とからそれぞれ1ビットを受けるX単位デコード回路XDECと、単位デコード回路XDECそれぞれに対応して設けられ、コントロールゲート電源回路40からの電源を動作電源電圧として受けて、対応のX単位デコード回路XDECの出力信号に従って対応のコントロールゲート線CGLを駆動するコントロールゲートドライブ回路CDVを含む。
このX単位デコード回路XDECおよびコントロールゲートドライブ回路CDVは、対応のメモリブロックにおいて設けられるコントロールゲート線CGLそれぞれに対して配置される。
コントロールゲートブロック指定信号BSが32個のコントロールゲートブロックのうちの1つを指定し、プリデコード信号xclkaおよびxclkbにより、1つのコントロールゲートグループおよびコントロールゲートが指定される。したがって、このXデコーダ12においては、32・32=1024個のX単位デコード回路が設けられ、1024本のコントロールゲート線CGLの1つが選択状態へ駆動される。
コントロールゲート電源回路40は、テストモード指示信号TEST1に従って、電源ノード41へコントロールゲート電圧Vcgを伝達するNチャネルMOSトランジスタ40cと、データ読出モード指示信号MDSAを受けるインバータ40aと、インバータ40aの出力信号に従ってコントロールゲート電圧Vcgを電源ノード41へ伝達するPチャネルMOSトランジスタ40bと、テストモード指示信号TEST2を受けるインバータ40dと、インバータ40dの出力信号に従ってテスト電圧VFを電源ノード41へ伝達するPチャネルMOSトランジスタ40eを含む。
読出モード時においては、データ読出モード指示信号MDSAに従って、PチャネルMOSトランジスタ40bを介してコントロールゲート電圧Vcgがコントロールゲート線ドライブ回路CDVへ供給される。テストモード時においては、テストモード指示信号TEST1に従って、電圧Vcg−Vthの電圧が、コントロールゲート線ドライブ回路CDBへ伝達される。ここで、Vthは、MOSトランジスタ40cのしきい値電圧を示す。このテストモード指示信号TEST1の活性化時、読出モード指示信号MDSAは、Lレベルの非活性状態であり、内部でのデータ読出は停止される(列選択動作は停止される)。
テストモード指示信号TEST2の活性化時においては、テスト電圧VFがコントロールゲートドライブ回路CDVへ動作電源電圧として供給される。この電圧VFを変更することにより、たとえば書込モード時におけるコントロールゲート電圧のマージンなどを測定する。
Yデコーダ13は、プリデコーダからの4ビットプリデコード信号をセット指示信号YRSETNの活性化に応答してラッチするラッチ回路42と、活性化時、ラッチ回路42の出力するラッチプリデコード信号に従って4ビットのY選択信号(共通ビット線選択信号)YRBN(yrb<0:3>)を生成する反転バッファ回路YBFBと、プリデコーダからのプリデコード信号をセット指示信号YRSETNの活性化に応答してラッチするラッチ回路43と、活性化時、ラッチ回路43のラッチプリデコード信号に従ってY選択信号(サブビット線選択信号)YRAN(yra<0:7>)を出力する反転バッファ回路YBFAと、ラッチ回路43の出力信号の遷移に従って各種列選択系(Y系)の動作を制御するY系制御信号を生成する遅延部44と、遅延部44の出力信号CKSAEFと読出モード指示信号MDSAとに従って、センスアンプ活性化信号SAEを出力するバッファ回路45と、遅延部44の出力信号CKSAEFとテストモード指定信号MTESTとを受けるNORゲート46と、NORゲート46の出力信号を受けるインバータ48と、NORゲート46の出力信号と読出モード指示信号MDSAとを受けてXアドレスリセット信号XRSTを出力するバッファ回路50を含む。
反転バッファ回路YBFAおよびYBFBは、ともに、インバータ48の出力信号がHレベルでありかつ読出モード指示信号MDSAがHレベルの活性状態のときに活性化されて、それぞれ、対応のラッチ回路43および42からのラッチプリデコード信号を反転してY選択信号YRANおよびYRBNを出力する。
テストモード指定信号MTESTは、この不揮発性半導体記憶装置においてテストモードが指定されるときにHレベルに設定され、NORゲート46の出力信号がLレベルに固定され、応じてXアドレスリセット信号XRSTがLレベルに固定される。
このYデコーダ13は、さらに、NORゲート46の出力信号と読出モード指示信号MDSAとを受けてリセット信号YRRSTを出力するAND回路47を含む。このAND回路47の出力信号YRRSTがHレベルとなると、ラッチ回路42および43がリセットされる。従って、テストモード指示信号MTESTが活性状態のときにはラッチ回路42および43に対するリセット信号YRRSTはLレベルに固定される。従って、テスト動作時において、1本のコントロールゲート線を持続的に選択状態に維持する場合、また、メモリセル選択/非選択移行をクロック信号に同期して行う場合に、このセンスアンプ活性化に応じたリセット信号XRSTおよびYRRSTの活性化は禁止される。
図17は、図16に示すXデコーダの4つのX単位デコード回路の部分の具体的構成を示す図である。図17において、Xデコード回路(4つのX単位デコード回路)は、出力ノードND0−ND3それぞれに接続され、かつそれぞれのゲートに共通にプリデコード信号xclka<m>を受けるPチャネルMOSトランジスタPQA0−PQA3と、出力ノードND0−ND3それぞれに接続され、それぞれのゲートにプリデコード信号xclkb<0>−xclkb<3>を受けるPチャネルMOSトランジスタPQB0−PQB3と、出力ノードND0−ND3それぞれに接続され、それぞれのゲートにプリデコード信号xclkb<0>−xclkb<3>を受けるNチャネルMOSトランジスタNQB0−NQB3と、MOSトランジスタNQB0−NQB−に共通に接続され、そのゲートにプリデコード信号xclka<m>を受けるNチャネルMOSトランジスタNQAと、MOSトランジスタNQAと接地ノードに結合され、そのゲートにコントロールゲートブロック選択用のプリデコードブロック指定信号bsを受けるNチャネルMOSトランジスタNQCと、出力ノードND0−ND3それぞれに設けられ、それぞれのゲートに共通にコントロールゲートブロック選択用のプリデコードブロック指定信号bsを受けるPチャネルMOSトランジスタPP0−PP3と、出力ノードND0−ND3それぞれに設けられるインバータドライバIV0−IV3を含む。
インバータドライバIV0−IV3の出力信号xe<0>−xe<3>に従って、コントロールゲート線CGL0−CGL3が選択または非選択状態に駆動される。
MOSトランジスタNQCは、プリデコードブロック指定信号bsを受ける32個のX単位デコード回路に共通に設けられる。MOSトランジスタNQAは、このコントロールゲートブロックに含まれる8本のコントロールゲート線に対応して配置される8個の単位Xデコード回路に共通に設けられる。
コントロールゲートブロック指定用のプリデコードブロック指定信号bsが非選択状態のときには、MOSトランジスタPP0−PP3により出力ノードND0−ND3が電源電圧レベルにプリチャージされて維持される。また、MOSトランジスタNQCがオフ状態であり、この出力ノードND0−ND3の放電経路が遮断されるため、インバータドライバIV0−IV3の出力信号xe<0>−xe<3>はすべてLレベルとなる。したがって、図13に示すコントロールゲートブロックが非選択状態のときには、その内部に含まれる32本のコントロールゲート線CGLに対するコントロールゲート駆動信号は、すべてLレベルの非活性状態を維持する。
このプリデコードブロック指定信号bsが選択状態のHレベルとなると、MOSトランジスタNQCがオン状態、MOSトランジスタPP0−PP3がオフ状態となる。
プリデコード信号ビットxclka<m>がLレベルのときには、MOSトランジスタNQAがオフ状態、MOSトランジスタPQA0−PQA3がオン状態となり、出力ノードND0−ND3は電源電圧レベルに維持され、対応のコントロールゲート線CGL0−CGL3は非選択状態となる。したがって、図13に示すコントロールゲートブロックSCT(SCT0−SCT31のいずれか)が選択されても、図14に示すコントロールゲートグループSSCT(SSCT0−SSCT7のいずれか)が非選択状態のときには対応のコントロールゲート線CGL0−CGL3は非選択状態を維持する。
プリデコードブロック指定信号bsおよびプリデコード信号ビットxclka<m>が選択状態となると、MOSトランジスタNQCおよびNQAがオン状態、MOSトランジスタPQA0−PQA3およびPP0−PP3がすべてオフ状態となる。この場合、プリデコード信号ビットxclkb<0>−xclkb<3>のいずれかが選択状態のHレベルとなり、出力ノードND0−ND3のいずれかが接地電圧レベルへ駆動される。応じて、インバータドライバIV0−IV3の出力xe<0>−xe<3>のいずれかがHレベルへ駆動され、対応のコントロールゲートグループSSCTの4本のコントロールゲート線のうちのいずれかのコントロールゲート線が選択状態へ駆動される。
この図17に示すように、Xデコーダにおいて、コントロールゲートブロックを選択するMOSトランジスタNQCを、このコントロールゲートブロックに対して設けられる32個のX単位デコード回路に共通に配置し、コントロールゲートグループに含まれる8個のX単位デコード回路に対し共通にMOSトランジスタNQAを配置することにより、Xデコーダの回路構成要素数を低減でき、消費電力を低減する。また、プリデコード信号bsおよびxclkb<m>の負荷が軽減され(ゲート容量が小さい)、高速でプリデコード信号に従ってデコード動作を行なうことができる。
図18は、図16に示すアドレスラッチ回路4、Xデコーダ12およびYデコーダ13の動作を示すタイミング図である。以下、図18を参照して、図16に示す回路の動作について説明する。
クロック信号CKM(CLK)の立上がりに応答して、内部アドレス信号IADDが、アドレス入力回路から出力される。このクロック信号CLMの立上がり前に、コマンド(ライトイネーブル信号)が、データ読出モードを指定している場合には、読出モード指定信号MDSAがHレベルとなる。
内部アドレス信号IADDが、プリデコーダによりプリデコードされると、選択メモリブロック(MBAまたはMBB)に対するラッチ指示信号SETANおよびSETBNおよびYRFSTNが活性状態のLレベルとなる。応じて、ラッチ回路30−33および42および43がラッチ状態となり、プリデコーダから与えられたプリデコード信号をラッチする。
アドレスラッチ回路4においては、Xアドレスデコード回路34により、プリデコードブロック選択信号BS(bs<0:31>)が出力され、またラッチ回路31−33から出力されるラッチプリデコード信号btbsb、XCLKAおよびXCLKBが確定状態となる。これらのプリデコード信号は、選択状態(sel)がHレベルであり、非選択状態(usel)はLレベルである。
Yデコーダ13においては、反転バッファ回路YBFAおよびYBFBが、信号MDSAおよびインバータ48の出力信号がHレベルであるため、それぞれラッチ回路43および42の出力信号をバッファ処理して(論理を反転して)、Y選択信号YRANおよびYRBNを出力する。サブビット線選択信号YRAN(yra<0:7>)および共通ビット線選択信号YRBN(yrb<0:3>)は、選択状態がLレベルであり、非選択状態(usel)がHレベルである。このバッファプリデコード信号YRANおよびYRBNに従って、サブビット線が選択され対応のセンスアンプに結合される。また、これらの信号BS、XCLKAおよびXCLKBに従って、コントロールゲート線CGLが選択状態へ駆動される。
一方、ラッチ回路43の出力信号の変化に従って遅延部44が、Y系の制御信号を順次活性/非活性化し、サブビット線への充放電が行われる。次いで、遅延部44からの信号CKSAEFが活性化されると、バッファ回路45からのセンスアンプ活性化信号SAEが活性状態へ駆動され、センス動作が行なわれる。一方、遅延部44の出力信号CKSAEFがHレベルとなると、NORゲート46の出力信号がHレベルとなる。読出モード指定信号MDSAはHレベルであるため、バッファ回路47の出力信号YRRSTがHレベルとなり、ラッチ回路42および43がリセットされ、そのラッチプリデコード信号が初期状態の非選択状態に復帰し、応じてYRANおよびYRBNも非選択状態へ駆動される。
また、NORゲート46の出力信号に従って、バッファ回路50からのXアドレスリセット信号XRSTがHレベルとなり、ラッチ回路30−33がリセットされ、そのラッチしたプリデコード信号が初期状態へ復帰する。このXアドレスリセット信号XRSTの活性化に従って、信号BS、XCLKAおよびXCLKBが非選択状態となり、応じてコントロールゲート線CGLが非選択状態へ駆動される。
遅延部44の出力信号CKSAEFがYデコーダ13のリセットにより、非活性状態へ駆動されると、応じてセンスアンプ活性化信号SAEが非活性化され、またリセット信号YRRSTおよびXRSTがともに非活性化される。
このデータ読出時、センスアンプ活性化後、ラッチ回路30−33および42および43がラッチしているプリデコード信号をリセットしており、次の読出サイクルまでの時間Tsmを長く取ることができ、次回のサイクルのデータ読出時の処理を早いタイミングで開始することができ、読出の高速化を実現することができる。
また、ラッチ回路のみならず、Y選択信号YRANおよびYRBNをリセットしており、ラッチ回路のプリデコード信号のリセットのみでは、次段のデコード回路等におけるゲート伝搬遅延によりリセット動作が遅くなる場合でも、高速でYデコーダの出力信号をリセットすることができ、同様、次のサイクル開始時においては確実に内部を初期状態(非活性状態)に復帰させることができる。
なお、上述の構成においては、コントロールゲート線CGLを駆動するX単位デコーダ回路XDECには、リセット信号は与えられていない。しかしながら、この単位XデコーダXDECに対しても、Xアドレスリセット信号XRSTが与えられてもよい。この場合においても、コントロールゲート線CGLの非活性化タイミングを早くすることができ、確実に、次のサイクルにおける読出動作の開始を早くすることができる。
図19は、図16に示すテストモード指示信号MTESTがHレベルに設定されたときの動作を示す信号波形図である。このテストモード指示信号MTESTがHレベルに設定されると、図16に示すNORゲート46の出力信号はLレベルに固定され、応じて、AND回路47および50の出力信号がLレベルに固定される。一方、インバータ48の出力信号はHレベルに維持される。
図19に示すように、内部アドレス信号IADDに従って、プリデコード信号XCLKAおよびXCLKBが変化し、またコントロールゲートブロック指定用のプリデコード指定信号BSもこのラッチ内部アドレス信号に従って変化する。コントロールゲートCGLが選択状態(sel)に駆動された後、遅延部44によりリセット制御信号CKSAEFが活性状態へ駆動され、次いで、センスアンプ活性化信号SAEが活性化される。所定期間が経過すると、この遅延部44からの信号CKSAEFがLレベルとなり、センスアンプ活性化信号SAEが非活性化される。
この遅延部44から、リセット制御信号CKSAEFが発生されても(活性化されても)、リセット信号XRSTおよびYRRSTはLレベルに固定されており、選択コントロールゲート線CGLおよび選択サブビット線の状態は変化しない。
次のサイクルにおいて、内部アドレス信号IADDが変化すると、再び、この新たな内部アドレス信号に従ってコントロールゲートブロック指示信号BS、プリデコード信号XCLKA、XCLKB、YRANおよびYRBNが変化する。この信号の変化に従ってコントロールゲートCGLが変化し、また選択サブビット線が変化する。
したがってこのテストモード指示信号MTESTがHレベルに設定されたときには、クロック信号CKM(CLK)に従ってラッチされる内部アドレス信号に従ってコントロールゲート線およびサブビット線選択信号を切換える。これにより、メインクロック信号CKMのサイクル時間にたいする内部動作のマージンをテストすることができる。
また、内部アドレス信号をラッチした後、クロック信号CLM(CLK)をLレベルに維持した場合、内部状態は変化しないため、コントロールゲート線CGLを持続的に選択的に維持することができ、たとえば電圧ストレス加速試験などを行なうことができる。
したがって、このテストモード指示信号MTESTを用いてリセット信号YRSTおよびXRSTの活性化を禁止することにより、1つの読出サイクル内において、コントロールゲート線選択信号およびサブビット線選択信号のリセットを禁止することができる。このテストモード指示信号MTESTは、外部からのコマンドに従って、図示しないシーケンスコントローラ(CPU)などの内部制御回路から生成される。このテストモード指示信号MTESTの具体的機能については、また、後に詳細に説明するが、ここでは単にテストモードを設定する信号としてのみ説明する。
以上のように、この発明の実施の形態4に従えば、データ読出サイクル時、内部でアドレスラッチ回路、およびYデコード回路をリセットするように構成しており、次の読出サイクルに対して、内部状態を初期状態に十分余裕を持って復帰させることができ、次の読出サイクル開始タイミングを早くすることができる。
また、テストモード時において、このリセット動作を禁止することにより、コントロールゲート線およびサブビット線の選択を、クロック信号に同期して与えられるアドレス信号に従ってスタティックに行うことができる。
[実施の形態5]
図20は、この発明の実施の形態5に従うデータ読出部の構成を概略的に示す図である。図20において、メモリブロック(MBAおよびMBB)それぞれに対応してセンスアンプ帯SKAおよびSKBが配置される。これらのセンスアンプ帯SKAおよびSKBは、それぞれ、図5に示すセンスアンプSK0−SK3を含む。後に詳細に説明するように、1つのメモリブロックは、4列のメモリマット列に分割され、2つのセンスアンプ列が配置される。ここでは、内部読出データの伝播時間を問題とするために、メモリブロック各々に対応してセンスアンプ帯が配置される構成を代表的に示す。
これらのセンスアンプ帯SKAおよびSKBに共通に読出メインビット線RMBLが配置され、センスアンプ帯SKAまたはSKBにおいてセンスアンプ回路により増幅されたデータが読出メインビット線RMBLを介して出力ラッチ回路6へ伝達される。一例として、この読出メインビット線RMBLは、64ビットデータおよび7ビットECCコードを並行して伝達するため、71ビットの読出メインビット線rmbl<0>−rmbl<70>を含む。
センスアンプ帯SKAおよびSKBは、それぞれセンスアンプ制御回路60Aおよび60Bから与えられるプリチャージ終了イネーブル信号pcendおよびセンスアンプ活性化信号SAEに従って、サブビット線プリチャージ/イコライズおよびセンス動作が制御される。これらのセンスアンプ制御回路60Aおよび60Bは、また、センスアンプ活性化信号SAEに同期してモニタ信号MSAEを生成して、モニタ信号線62を介して出力制御回路7へモニタ信号MSAEを伝達する。このモニタ信号線62は、読出メインビット線RMBLと同様の負荷を有し、このモニタ信号MSAEにより内部読出データの出力ラッチ回路6への伝播状況が反映される。
出力制御回路7は、このモニタ信号MSAEに従って出力ラッチ回路6をリセットするためのメインビット線プリチャージ指示信号mblpcnおよびバッファリセット信号rstqbnを含む出力リセット信号QRSTを出力する。これにより、選択メモリセルの位置に応じて(活性化されるセンスアンプ帯の位置に応じて)内部読出データの伝播時間が異なる場合においても、正確に内部読出データの伝播状態に応じて出力ラッチ回路6の動作を制御することができる。
図21は、図20に示す内部データ読出部の動作を概略的に示す図である。以下、図21を参照して、図20に示す内部データ読出部の動作について説明する。
センスアンプ制御回路60Aまたは60Bが、センスアンプ活性化信号SAEを活性化し、対応のセンスアンプ帯SKAまたはSKBのセンスアンプ回路を活性化する。この活性化されたセンスアンプ帯SKAまたはSKBにおいてセンスアンプ回路がセンス動作を行ない、メモリセルから読出されたデータを増幅する。この増幅データに基づいて読出メインビット線RMBLが駆動されてその電位が変化する。この読出メインビット線RMBLには、後に説明するように、センスアンプ回路出力に応じた差動信号が伝達される。
このセンスアンプ活性化信号SAEの活性化と同期して、センスアンプ制御回路60Aまたは60Bから、モニタ信号MSAEが生成されて(活性化されて)モニタ信号線62上に出力される。出力制御回路7においては、この伝達されたモニタ信号MSAEが活性化されてから所定期間経過後に、リセット信号QRSTを活性化し、出力ラッチ回路6のラッチデータをリセットする。
モニタ信号線62は、内部読出データ伝達線であるセンス出力線(Ibk、Ibj)および読出メインビット線RMBLのデータ伝播時間と同様の信号伝播時間を有している。モニタ信号MSAEおよびセンスアンプイネーブル信号SAEは、同一の回路から出力される。これにより、モニタ信号MSAEとセンスアンプ回路により検知増幅されて読出メインビット線RMBL上を伝達される内部読出データのフライトタイムはほぼ同じである。従って、出力制御回路7はこのモニタ信号MSAEにより内部読出データの伝播状況を正確にモニタすることができる。このモニタ信号MSAEに基づいて出力ラッチ回路6の動作を制御することにより、出力ラッチ回路6において読出データがラッチされて内部データがECC回路へ転送された後に、正確に、出力ラッチ回路6をリセット状態へ駆動することができる。
すなわち、選択メモリブロックの位置に応じて、出力ラッチ回路6に対する内部読出データの伝搬時間が異なる。したがって、早いタイミングでリセットをかけた場合、内部読出データが出力ラッチ回路6に到達してラッチされる前にリセットされてデータが反転する可能性があり、モニタ信号MSAEを利用することにより、個々のデータ伝送に対するリセットタイミングのマージンを確保することができ、データ読出期間中に出力ラッチ回路6がリセットされて読出データが反転するのを防止することができる。
より具体的に、センスアンプ帯SKAおよびSKBと出力ラッチ回路6の距離が異なり、選択メモリブロック(またはセンスアンプ列)からの読出データが出力ラッチ回路6に到達するまでに要する時間が異なる。しかしながら、このモニタ信号MSAEを用いて出力ラッチ回路6のリセットを制御することにより、出力ラッチ回路6においては、選択メモリブロックの位置にかかわらず、そのデータ保持時間を同一とすることができる。
出力ラッチ回路6の内部データ読出状況に応じたリセット動作により、選択メモリブロック位置にかかわらず、出力ラッチ回路6のデータ保持期間およびリセットタイミングに対するマージンを同じとすることができ、正確なデータの読出を行なうことができ、また読出メインビット線および出力ラッチ回路6のリセットを行なうことにより、次の読出サイクルに対し早いタイミングで内部状態を初期状態に復帰させて次の読出動作に備えることができる。
図22は、図20に示す内部データ読出部の1ビットのデータ読出に関連する部分の構成を具体的に示す図である。センスアンプ帯SKAにおいては、センスアンプSAAと、このセンスアンプSAAの出力信号線(センス出力線)IbjおよびIbkに従って読出メインビット線rmblkおよびrmbljを駆動するリードバッファ70Aとが設けられる。
センスアンプ帯SKBにおいては、センスアンプSABと、このセンスアンプSABの出力信号に従って読出メインビット線rmblkおよびrmbljを駆動するリードバッファ70Bが設けられる。この読出メインビット線rmblkおよびrmbljは、読出メインビット線rmbl<m>を構成し、相補データを伝達する。
出力ラッチ回路6は、読出メインビット線rmbl<m>上の内部読出データをラッチする出力ラッチ72と、この出力ラッチ72の相補信号からシングルエンドの内部出力データq<m>を生成する出力バッファ74を含む。
リセット信号QRSTは、出力ラッチ72へ与えられる読出メインビット線プリチャージ信号mblpcと、出力バッファ74へ与えられるバッファリセット信号rstqdbnを含む。
リードバッファ70Aおよび70Bは、同一構成であるため、図22においてはリードバッファ70Aの具体的構成を示す。
リードバッファ70Aは、センスアンプ活性化信号saeaの反転信号saebaの活性化時(Lレベルのとき)、それぞれセンスアンプSAAからセンス出力線IbjおよびIbk上に伝達された信号をバッファ処理して伝達するゲート回路70aおよび70bと、センスアンプ活性化信号saebaの活性化に応答して導通するpチャネルMOSトランジスタ70cおよび70fと、ゲート回路70aの出力信号がLレベルのときに導通してPチャネルMOSトランジスタ70cを読出メインビット線rmblkに結合するpチャネルMOSトランジスタ70dと、ゲート回路70aの出力信号がHレベルのときに導通して読出メインビット線rmblkを接地電圧VSSに結合するNチャネルMOSトランジスタ70eと、ゲート回路70bの出力信号がLレベルのときに導通してMOSトランジスタ70fを読出メインビット線rmbljに結合するpチャネルMOSトランジスタ70gと、ゲート回路70bの出力信号がHレベルのときに導通して読出メインビット線rmbljを接地電圧VSSに結合するnチャネルMOSトランジスタ70hを含む。
ゲート回路70aおよび70bは、センスアンプ活性化信号saebaの非活性化時(Hレベルのとき)Lレベルの信号を出力する。このときには、MOSトランジスタ70dおよび70gがオン状態となるものの、MOSトランジスタ70cおよび70fがオフ状態であり、このリードバッファ70Aは出力ハイインピーダンス状態となる。
センスアンプ活性化信号saebaが活性化されると(Lレベルとなると)、MOSトランジスタ70cおよび70fがオン状態となる。MOSトランジスタ70dおよび70eが、CMOSインバータを構成し、また、MOSトランジスタ70gおよび70hがCMOSインバータを構成する。ゲート回路70aおよび70bは、バッファ回路として動作し、センスアンプSAAからセンス出力線IbjおよびIbk上に伝達された信号をバッファ処理した信号をそれぞれ出力する。
MOSトランジスタ70dおよび70eにより、ゲート回路70aの出力信号が反転されて読出メインビット線rmblkに伝達され、また、MOSトランジスタ70gおよび70hにより、ゲート回路70bの出力信号が反転されて読出メインビット線rmbljに伝達される。
センスアンプ帯SKAのセンス動作時においては、センスアンプ帯SKBに対するセンスアンプ活性化信号saebbが非活性状態であり、リードバッファ70Bは出力ハイインピーダンス状態である。したがって、読出メインビット線rmbl<m>上を、リードバッファ70Aの出力データが伝達されて出力ラッチ72へ伝達される。
逆に、センスアンプ帯SKBの動作時においては、センスアンプ帯SKAが非活性状態であり、リードバッファ70Aは、出力ハイインピーダンス状態を維持する。
図23は、図20に示すセンスアンプ制御回路60Aおよび60Bの構成を概略的に示す図である。、センスアンプ制御回路60Aおよび60Bは、同一構成を有するため、図23においては、これらのセンスアンプ制御回路60Aおよび60B各々を、総称的に符号60で示す。この図23に示すセンスアンプ制御回路60は、先の図16に示す遅延部44の構成に対応する。
図23において、センスアンプ制御回路60は、読出指示信号ltyrelを入力ノードinに受けて、サブビット線プリチャージ制御信号fckdlpcendおよびセンスアンプ活性化制御信号fckdlsaeを生成するプリチャージ/センス制御信号発生回路80と、プリチャージ/センス制御信号発生回路80の出力信号fckdlpcendをバッファ処理してサブビット線プリチャージ終了制御信号ckdlpcendを生成するバッファ回路81と、プリチャージ/センス制御信号発生回路80の出力信号fckdlsaeをバッファ処理してセンス活性化制御信号ckdlseaを生成するバッファ回路82と、プリチャージ/センス制御信号発生回路80の出力信号fckdlsaeを反転してモニタセンス活性化信号msaenを生成するインバータ83と、インバータ83の出力信号msaenを反転してデコーダリセット信号declrselを生成するインバータ84を含む。
このバッファ回路82からのセンスアンプ制御信号ckdlsaeは、先の図16に示す活性化制御信号CKSAEFに対応し、この信号に基づいてアドレスラッチ回路のリセットが行なわれる。信号declrselは、デコーダをリセットする信号であり、図16に示すXデコーダ12へ与えられる。このデコーダリセット信号declrselは、また、図16に示すインバータ48の出力信号に対応し、Yデコーダ13内のデコード回路YBFAおよびYBFBをリセットしてもよい。いずれの場合においても、センスアンプの活性化を制御する信号ckdlsaeの活性化後、デコーダリセット信号declrselが生成されて、アドレスラッチ回路およびデコーダのリセットが行なわれる。
また、プリチャージ/センス制御信号発生回路80については、その内部構成は後に詳細に説明するが、入力ノードinへ与えられる信号ltyrelは、アドレスラッチ回路からのYプリデコードアドレス信号の遷移を示す信号であり、読出モード時活性化されて、Y系の回路が動作開始したことを示す。
電圧dlypmgおよびdlynmjは、プリチャージ/センス制御信号発生回路80内に含まれる電流制限型遅延回路の駆動電流量を設定する基準電圧である。テスト信号tesdbsaはセンスアンプの活性化タイミングを変更するタイミングテスト指示信号であり、信号tesdrsa<0:1>は、このセンスアンプの活性化タイミングを設定するテストセンスアンプ活性化タイミング設定信号である。
信号tesdbpcは、サブビット線のプリチャージ終了タイミングをテストするモードを指定する信号であり、信号tesdbpc<0:1>は、このサブビット線プリチャージ終了タイミングを設定する信号である。
信号tesdbdm<0:1>は、このプリチャージ/センス制御信号発生回路80に含まれる遅延回路の出力の負荷容量の大きさを調整するテスト制御信号である。
センスアンプ制御回路60は、さらに、Yアドレスラッチ指示信号caddltを受けるインバータ85と、インバータ85の出力信号を所定時間遅延する遅延回路86と、遅延回路86の出力信号を受ける2段の縦続接続されるインバータ87および88と、インバータ88の出力信号とYアドレスラッチ指示信号caddltを受けるNANDゲート89も含む。
このYアドレスラッチ指示信号caddltに基づいて、図16に示すラッチ回路に対するセット信号SETAN、SETBN、YRSETNが生成される。
インバータ85、87および88と遅延回路86とNANDゲート89とにより反転立上り遅延回路が構成され、Yアドレスラッチ指示信号caddltの立ち上がり後、インバータ85、87および88および遅延回路86が有する遅延時間経過後に、Lレベルに立下がるワンショットのパルス信号が生成される。
センスアンプ制御回路60は、さらに、参照電流放電テスト信号tesdbreft<0:1>をデコードする参照電流放電タイミングデコード回路90と、テストモード指示信号MTESTを受けるインバータ91と、インバータ88および91の出力信号を受けるNANDゲート92と、NANDゲート92の出力信号とインバータ85の出力信号を受けるNORゲート93と、NORゲート93の出力信号をそれぞれ所定時間遅延する遅延回路94および95と、プリチャージ/センス制御信号発生回路80の出力信号clkdlpcendnを所定時間遅延する遅延回路96と、遅延回路96の出力信号とインバータ91の出力信号を受けるNANDゲート97と、NANDゲート97の出力信号とプリチャージ/センス制御信号発生回路80の出力信号clkdlpcendnを受けるNORゲート98と、参照電流放電タイミングデコーダ90の出力信号に従って、NORゲート93の出力信号、遅延回路94および95の出力信号およびNORゲート98の出力信号を選択的に反転して通過させるトライステートインバータ99−102と、プリチャージ/センス制御信号発生回路80の出力信号fckdlseaを受けるインバータ103と、インバータ103の出力信号に従ってセットされかつサブビット線放電タイミング信号restbffnまたはNANDゲート89の出力信号の活性化に応答してリセットされるセット/リセットフリップフロップ104と、セット/リセットフリップフロップ104の補の出力信号をバッファ処理してサブビット線放電制御信号ckdldcnを生成するバッファ回路105と、トライステートインバータ99−102のいずれかの出力信号に応答してセットされかつインバータ103の出力信号またはサブビット線放電タイミング信号restbffnの活性化に応答してリセットされるセット/リセットフリップフロップ106と、セット/リセットフリップフロップ106の出力信号をバッファ処理して参照電流放電制御信号ckdlrefdcを生成するバッファ回路107を含む。
フリップフロップ104および106は、それぞれセット入力SおよびリセットRを有し、セット入力Sまたはリセット入力RにLレベルの信号が与えられると、セットまたはリセットされる。
参照電流放電タイミングデコード回路90は、電源電圧vddを受けるインバータIG1と、テストビットtesdbreft<1>およびtesdbreft<0>をそれぞれ受けるインバータIG2およびIG3と、インバータIG1−IG3の出力信号を受けるNORゲートNG1と、インバータIG1およびIG2の出力信号とテストビットtesdbreft<0>を受けるNORゲートNG2と、インバータIG1およびIG2の出力信号とテストビットtesdbreft<0>を受けるNORゲートNG3と、インバータIG1の出力信号とテストビットtesdbreft<1>およびtesdbreft<0>を受けるNORゲートNG4を含む。
NORゲートNG1−NG4は、各々、その入力に与えられる信号がすべてLレベルのときにHレベルの信号を出力する。したがって、テストビットtsedbreft<0:1>の状態に従って、NORゲートNG1−NG4のいずれかの出力信号がHレベルとなる。これらのNORゲートNG1−NG4の出力信号が、トライステートインバータバッファ102−99それぞれの制御ノードに与えられており、これらのNORゲートNG1−NG4の出力信号に従ってトライステートインバータ99−102の出力信号が活性化される。これにより、セット/リセットフリップフロップ106のセット入力Sに与えられる信号の遅延時間を調整することができる。
すなわち、テストビットtesdbreft<0:1>を適当な論理レベルに設定することにより、図8に示す参照電流制御信号VFDCkNおよびVFDCjNの基本信号である参照電流放電制御信号ckdlrefdcの活性化タイミングを調整することができ、応じて、参照電流irefの放電タイミングを調整することができる。
図24は、図23に示すセンスアンプ制御回路60に対する入力信号(Y系制御信号)を発生する部分の構成を概略的に示す図である。図24において、Y系制御信号発生部は、クロック信号CKM(またはCLK)に同期して外部からのコマンドおよびアドレスADを取込み、各種テストモード指示信号tesdpc、tesdsa等を生成するテストモード制御回路110と、クロック信号CKMに同期して外部からのコマンドCMDを取込み、リセット信号restbffn、restbcnおよびYアドレスラッチ指示信号caddltを生成するリード活性制御回路112と、図示しないプリデコーダからのメモリマット列を特定するプリデコード信号ypr16とリード活性制御回路112からのYアドレスラッチ指示信号caddltとに従ってアドレスラッチ指示信号SETAN、SETDNおよびYRSETNを生成するアドレスラッチ制御回路114と、アドレスラッチ制御回路114からのYアドレスラッチ指示信号YRSETNに従ってプリデコード信号ypraをラッチし、かつこのラッチプリデコード信号の変化に従ってYアドレス変化検出信号(読出動作開始指示信号)ltrelを生成するラッチ回路43と、プリデコード信号ypr16に従って選択マット指定信号selbootkおよびselbootjを生成する選択マット検出回路116と、プリデコード信号ypr16に従ってY系回路の動作開始タイミング検出信号yab16を生成するY系動作開始検出回路118を含む。
Y系回路は、Yデコーダ、センスアンプ回路、参照電流供給回路、および出力ラッチ回路等の列選択および内部データ読出に関連する回路を含む。
プリデコード信号ypr16は、例えば、図1に示すメモリブロックMBAおよびMBBのいずれが指定されたかを特定し、かつこの選択メモリブロックにおける上側メモリマット列および下側メモリマット列のいずれにおいてメモリセルデータを読出すかを指定する2ビット信号である(1つのメモリブロックが2つのメモリマット列を含む場合)。
ラッチ回路43は、図16に示すラッチ回路43と同じであり、プリデコード信号をセット信号YRSETNに従ってセットして、サブビット線選択信号yra<0:7>を生成し、かつこれらの信号の変化を検出して読出動作開始指示信号ltrelを生成する。
選択マット検出回路116は、プリデコード信号ypr16に従って、上側メモリマット列および下側メモリマット列のいずれが選択されたかを指定する信号selbootkおよびselbootjを生成する。この信号は、後に詳細に説明するように、出力ラッチ回路に含まれる出力バッファでの、相補信号からシングルエンド信号を生成する場合の信号の反転/非反転を制御する。
Y系動作開始検出回路118は、このプリデコード信号ypr16の変化を検出して、Y系動作開始タイミング信号yab16を生成する。
この選択マット検出回路116およびY系動作開始検出回路118は、図16に示す遅延部44内に含まれる。信号ltrelも、また、図16に示す遅延部44において、アドレス変化検出回路により生成されてもよい。
リード活性制御回路112は、コマンドCMDがデータ読出を示すとき(ライトイネーブル信号/WEがHレベルのとき)、クロック信号CKMの立上がりに応答して、リセット信号restbffnおよびrestcnを活性状態のLレベルに設定し、このリセット後、Yアドレスラッチ指示信号caddltを生成する。
図25は、図24に示す回路の読出モード時の動作を示すタイミング図である。以下、図25を参照して、図24に示すY系制御信号発生部の通常の読出動作モード時の動作について説明する。
通常動作モード時において、コマンドCMDとして、たとえば、ライトイネーブル信号/WEがHレベルに設定されるとデータ読出モードが指定される。クロック信号CKMの立上がりに応答してリード活性制御回路112が、所定期間リセット信号restbcnおよびrestbffnをLレベルに設定する。これらのリセット信号restbcnおよびrestbffnの活性化に従って内部信号線(データバスおよびサブビット線)が初期状態にリセットされる。ここで、先の実施の形態1に示すようにセンスアンプ活性化信号saeの活性化後所定のタイミングで内部状態がリセットされ、これらのリセット信号restbcnおよびrestbffnに従って確実に、各リードサイクル開始時に内部状態が初期状態に設定される。
これらのリセット信号restbcnおよびrestbffnが非活性化されると、Yアドレスラッチ指示信号caddltが所定期間Hレベルに設定される。
クロック信号CKMの立上がりに応答して内部アドレス信号が生成され、プリデコーダを介してプリデコード信号ypr16およびypraが変化する。これらのプリデコード信号ypr16およびypraが確定した後、Yアドレスラッチ指示信号caddltの活性化に従ってアドレスラッチ制御回路114が、選択メモリブロックに対して、アドレスセット信号SETAN、SETDNおよびYRSTENを活性化する。Yアドレスセット信号YRSTENに従って、ラッチ回路43がプリデコード信号ypraをラッチし、このプリデコード信号ypraの変化に従って、サブビット線の選択動作を規定する信号ltrelが活性化される。
一方、Yアドレスラッチ指示信号caddltの活性化に従って、図23に示すセット/リセットフリップフロップ104がリセットされ、サブビット線放電タイミング信号ckdldcnが活性化される。
一方、図23に示すプリチャージ/センス制御信号発生回路80が、信号ltrelの活性化に従ってそれぞれ所定のタイミングで、センスアンプ活性化タイミング信号fckdlsaeおよびサブビット線プリチャージ終了指示信号fckdlpcendを活性化する。Yアドレスラッチ指示信号caddltの活性化に従って、セット/リセットフリップフロップ106がセットされ、応じて、参照電流制御信号ckdlrefdcが活性化され、参照電流の供給が開始される。
信号ltrelが、センスアンプ回路が活性化されてから後所定期間経過後に非活性化されると、プリチャージ/センス制御信号発生回路80により、プリチャージ終了制御信号fckdlpcendが非活性化され、またセンスアンプ活性化制御信号fckdlsaeが非活性化される。
一方、センスアンプ活性化制御信号fckdlsaeの活性化に従って、図23に示すセット/リセットフリップフロップ104および106がセットおよびリセットされ、信号ckdldcnが非活性化され、また信号ckdlrefdcが非活性化される。これにより、参照電流の共通ビット線への供給が停止され、またサブビット線におけるメモリセル電流の放電が停止する。
また、センスアンプ活性化制御信号fckdlsaeの活性化に従って、Yアドレスラッチ回路がリセットされ、信号ltrelが応じて非活性化され、この信号ltrelの非活性化に従って、センスアンプ活性化制御信号fckdlsaeおよびサブビット線プリチャージ終了制御信号fckdlpcendが非活性化される。
この図25に示す動作タイミングにおいては、Y系動作開始検出回路118からの信号yab16は用いられていない。これは、後に詳細に説明するように、信号yab16は、図20に示す出力制御回路7において用いられ、出力バッファおよび出力ラッチの動作制御に用いられるためである。
図26は、図23に示すプリチャージ/センス制御信号発生回路80の構成を概略的に示す図である。図26において、プリチャージ/センス制御信号発生回路80は、テスト信号tesdbdm<1>を受けるインバータ120と、インバータ120の出力信号とテスト信号tesdbdm<0>を受けるNANDゲート121と、NANDゲート121の出力信号がHレベルのときに活性化され、プリチャージテストタイミング信号tesdpc<0>およびtesdpc<1>をデコードするデコード回路122と、NANDゲート121の出力信号がHレベルのとき活性化され、センスアンプタイミングテスト信号testrsa<1>およびtestrsa<0>をデコードするデコード回路123と、プリチャージタイミングテスト信号testrpcを受けるインバータ125と、インバータ125の出力信号nmgpを受けて信号pmgpを生成するインバータ126と、センスアンプ活性化タイミングテスト信号tesdsaを受けるインバータ127と、インバータ127出力信号nmgsを受けて信号pmgsを生成するインバータ128を含む。
デコード回路122および123は、それぞれ2ビットデコーダであり、与えられた2ビットのテスト信号をデコードして、4ビットの制御信号を生成する。これらのデコード回路122および123により、プリチャージ活性化タイミング信号およびセンスアンプ活性化タイミング信号の活性化タイミングが変更される。
プリチャージ/センス制御信号発生回路80は、さらに、入力ノードinに与えられる信号ltrelをそれぞれ遅延する遅延回路DLA0−DLA2およびDLB0およびDLB1と、遅延回路DLA2の出力信号をさらに遅延する遅延回路DLC0と、遅延回路DLB0およびDLB1の出力信号をそれぞれ反転するインバータ127および129と、インバータ127の出力信号をバッファ処理して信号ckdlpcendnを生成するバッファ回路128と、活性化時、インバータ127の出力信号を反転するトライステートインバータ131と、活性化時遅延回路DLA1の出力信号を反転するトライステートインバータ132と、活性化時、インバータ129の出力信号を反転するトライステートインバータ133と、活性化時、遅延回路DLA2の出力信号を反転するトライステートインバータ135と、活性化時、遅延回路DLC0出力信号を反転するトライステートインバータ135を含む。
これらのトライステートインバータ131−135の出力部は共通に結合される。トライステートインバータ131−134は、デコード回路122の出力信号に従って選択的に活性化され、トライステートインバータ135は、インバータ124の出力信号pmgaがHレベルのときに活性化される。
遅延回路DLA0−DLA2と遅延回路DLB0,DLB1は、交互に配列される。遅延回路DLA0−DLA2の遅延量は、NANDゲート121およびインバータ124の出力信号nmgaおよびpmgaに従って設定され、遅延回路DLB0およびDLB1の出力信号はインバータ125および126の出力信号nmgpおよびpmgpに従って設定される。これらの遅延回路DLA0−DLA2およびDLB0,DLB1は、基準電圧dlypmgおよびdlynmgにより駆動電流量が調整される電流制限型遅延回路である。これらの基準電圧dlypmgおよびdlynmgは、基準電圧であり、その電圧レベルを一定に維持するため、シールド配線を用いて伝達される。
また、信号nmgaおよびpmgaを伝達する信号線の寄生容量は十分小さくされる。これにより、遅延回路DLA0−DLA2の出力に設けられる負荷容量に対する影響を低減して、正確な遅延時間を設定する。
プリチャージ/センス制御信号発生回路80は、さらに、テストモード指示信号MTESTを受けるインバータ126と、インバータ126の出力信号とトライステートインバータ131−135のいずれかの出力信号とを受けてプリチャージ終了制御信号fckdlpcendを生成するAND回路136と、インバータ126の出力信号を受けるインバータ137と、遅延回路DLC0の出力信号とインバータ137の出力信号とを受けるNORゲート138と、トライステートインバータ131−135のいずれかの出力信号を遅延する遅延回路DLA3−DLA6およびDLB2−DLB4と、遅延回路DLA6の出力信号をそれぞれ遅延する遅延回路DLC1およびDLC2とを含む。
遅延回路DLA3−DLA6と遅延回路DLB2−DLB4は、交互に配置され、基準電圧dlypmgおよびdlynmgに従ってこの駆動電流量が調整される。また、遅延回路DLA3−DLA6は、信号nmgaおよびpmgaによりその出力負荷が調整され、また、遅延回路DLB2−DLB4は、各々、信号nmgsおよびpmgsにより、その出力負荷が調整される。
プリチャージ/センス制御信号活性回路80は、さらに、遅延回路DLB3の出力信号を受けるインバータ139と、遅延回路DLB4の出力信号を受けるインバータ140と、活性化時、インバータ139の出力信号を反転するトライステートインバータ141と、活性化時、遅延回路DLA5の出力信号を反転するトライステートインバータ142と、活性化時、インバータ140の出力信号を反転するトライステートインバータ143と、活性化時、遅延回路DLA6の出力信号を反転するインバータ144と、活性化時、遅延回路DLC2の出力信号を反転するトライステートインバータ145と、NORゲート138の出力信号とトライステートインバータ141−145のいずれかの出力信号とを受けてセンスアンプ活性化制御信号fckdlsaeを生成するAND回路146を含む。
トライステートインバータ141−144は、デコード回路123の出力信号に従って選択的に活性化され、トライステートインバータ145は、インバータ124の出力信号pmgaの活性化時活性化される。
図27は、図26に示す遅延回路DLA0−DLA6の構成の一例を示す図である。図27において、1つの遅延回路DLAを代表的に示す。
図27において、遅延回路DLA(DLA0−DLA6)は、電源ノードとノード150の間に並列に接続され、それぞれのゲートに基準電圧dlypmgを受けるPチャネルMOSトランジスタPTA0−PTA3と、電源ノードとノード150を短絡する短絡配線SRTと、ノード150と出力ノード152の間に接続されかつそのゲートが入力ノードINに接続されるPチャネルMOSトランジスタPTA4と、ノード151および出力ノード152との間に接続されかつそのゲートが入力ノードINに接続されるNチャネルMOSトランジスタNTA2と、ノード151と接地ノードの間に接続されかつそのゲートに基準電圧dlynmgを受けるNチャネルMOSトランジスタNTA0およびNTA1と、ノード153にそれぞれのゲートが接続されかつソースおよびドレインが接地ノードに結合されるNチャネルMOSトランジスタで構成されるMOSキャパシタCQA0−CQA5と、ノード154にそれぞれのゲートが接続されかつそのそれぞれのソースおよびドレインが接地ノードに接続されるNチャネルMOSトランジスタで構成されるMOSキャパシタCQA6−CQA8と、制御信号pmgaに従ってノード153を出力ノード152に結合するPチャネルMOSトランジスタPTA5と、制御信号nmgaに従ってノード154を出力ノード152に結合するNチャネルMOSトランジスタNTA3を含む。
MOSキャパシタDQA1−DQA3は、それぞれゲート、ソースおよびドレインが接地ノードに結合されるMOSトランジスタで構成される。これらのMOSキャパシタDQA1−DQA3は、レイアウトの規則性を維持するために形成されており、出力ノード152に対する負荷としては機能せず、単にダミーキャパシタとして配置される。
この遅延回路DLAにおいては、基準電圧dlypmgおよびdlynmgに従ってMOSトランジスタPTA0−PTA3およびNTA0,NTA1が駆動する電流量が規定される。したがって、入力ノードINに与えられる信号に従ってMOSトランジスタPTA4およびNTA2はが出力ノード152を駆動する能力は、これらのMOSトランジスタPTA0−PTA3およびNTA0およびNTA1により制限され、出力変化速度が調整されて遅延回路として機能する。短絡配線SRTは、その配線幅により駆動電流量が調整される。
MOSトランジスタPTA5およびNTA3は、導通時に、MOSキャパシタCQA0−CQA5およびCQA6−CQA8を出力ノード152に結合する。これらの制御信号pmgaおよびnmgaは、相補信号であり(図26参照)、出力ノード152の電圧レベル変化時、これらのMOSキャパシタCQA0−CQA8が出力ノード152に対する容量負荷として機能し、出力ノード152からの出力信号OUTの変化速度を遅くする。
この遅延回路DLAにおいて、PチャネルMOSトランジスタに対し、電流供給トランジスタPTA0−PTA3が、NチャネルMOSトランジスタNTA2に対する電流供給用MOSトランジスタNTA0およびNTA1よりも多く設けられる。これは、PチャネルMOSトランジスタの電流駆動力はNチャネルMOSトランジスタよりも小さいため(サイズが同じ場合)、これらのその電流駆動力の差を調整するために、PチャネルMOSトランジスタPTA4の駆動電流量が多くされ、立上がりおよび立下がり速度を調整する(等しくする)。
図28は、図26に示す遅延回路DLB(DLB0−DLB4)の構成を概略的に示す図である。遅延回路DBL0−DLB4は同一構成を有するため、図28においては1つの遅延回路DLBを代表的に示す。図28において、遅延回路DLBは、電源ノードとノード155の間に並列に接続されかつそれぞれのゲートに基準電圧dlypmgを受けるPチャネルMOSトランジスタPTB0−PTB3と、ノード155と出力ノード157の間に接続されかつそのゲートが入力ノードINに接続されるPチャネルMOSトランジスタPTB4と、ノード156と接地ノードとの間に接続されかつそれぞれのゲートに基準電圧dlynmgを受けるNチャネルMOSトランジスタNTB0およびNTB1と、出力ノード157とノード156の間に接続されかつそのゲートが入力ノードINに接続されるNチャネルMOSトランジスタNTB2と、ノード158にゲートが接続されかつソースおよびドレインノードが接地ノードに接続されるNチャネルMOSトランジスタで構成されるMOSキャパシタCQB0と、制御信号pmg(pmgpまたはpmgs)に従ってノード158を出力ノード157に電気的に結合するPチャネルMOSトランジスタPTB5と、ゲートがノード159に接続されかつそのソースおよびドレインが接地ノードに接続されるNチャネルMOSトランジスタで構成されるMOSキャパシタCQB1と、制御信号nmg(nmgpまたはnmgs)に従ってノード159を出力ノード157に結合するNチャネルMOSトランジスタNTB3を含む。
MOSキャパシタCQB0と並列して配置されるNチャネルMOSトランジスタで構成されるMOSキャパシタBQB0−BQB4は、おのおの、ゲート、ソースおよびドレインが接地ノードに結合されてダミーキャパシタとして配置される。同様、MOSキャパシタCQB1と並行して配置されるMOSキャパシタBQB5−BQB9は、ゲート、ドレインおよびソースを接地ノードに結合され、ダミーキャパシタとして配置される。これらのダミーキャパシタBQB0−BQB9は、単に遅延回路のレイアウトの規則性を維持するために配置されている。MOSキャパシタCQB0およびCQB1は、図27に示す遅延回路DLAのMOSキャパシタCQA0−CQA5、CQA6−CQA8よりもサイズが小さく、その容量値は小さくされる。
この図28に示す遅延回路DLBにおいても、基準電圧dlypmgおよびdlynmgに従って出力ノード157の駆動電流量が調整され、その遅延時間が設定される。MOSキャパシタCQB0およびCQB1は、MOSトランジスタPTB5およびNTB3の導通時出力ノード157に結合され、出力ノード157の電圧変化時キャパシタとして機能する。したがって、これらのMOSキャパシタCQB0およびCQB1により、出力信号OUTの変化速度が遅延される。
なお、図27および図28に示す遅延回路DLAおよびDLBにおいて、設計上の問題として、出力ノード152および157の寄生容量はできるだけ小さくされ、また電流駆動用のMOSトランジスタPTA4、PTB4、NTA2およびNTB2のソースノードの寄生容量は十分小さくされ、不必要な遅延要因を排除して、設計値に近い遅延時間を与えるようにされる。
遅延回路DLC0−DLC2は、駆動電流量が調整された遅延素子であり、信号の論理反転は行なわない。
再び図26に戻って、テストモード指示信号MTESTがHレベルのときには、センス/プリチャージ制御信号発生回路80へ与えられる反転テストモード指示信号MTESTNは、Lレベルであり、AND回路136の出力信号fckdlpcendがLレベルである。また、インバータ137の出力信号がHレベルとなるため、NORゲート138の出力信号がLレベルとなり、AND回路146からの信号fckdlsaeはLレベルである。したがって、このテストモード指示信号MTESTの活性化時、デコーダおよびアドレスラッチ回路のリセットは行なわれず、またサブビット線に対するプリチャージも行なわれず、内部読出は停止される。
図29は、通常の読出モード時におけるプリチャージ/センス制御信号発生回路80の等価的構成を概略的に示す図である。図29において、このプリチャージ/センス制御信号発生回路80は、通常読出モード時、入力信号ltrelを所定時間遅延する第1遅延回路150と、第1遅延回路150の出力信号に従って、プリチャージ制御タイミング信号fckdlpcendを生成するAND回路136と、第1遅延回路150の出力信号をさらに遅延する第2遅延回路151と、第1遅延回路150の出力信号と第2遅延回路151の出力信号とに従って信号fckdlsaeを生成するAND回路146を含む。第1遅延回路150の中段の遅延段から、信号clkdlpcendnが生成される。
第1遅延回路150は遅延段DLA0−DLC0で構成され、第2遅延回路151は、遅延段DLA2−DLC2で構成される。
図30は、図29に示すプリチャージ/センス制御信号発生回路80の動作を示すタイミング図である。以下、図30を参照して、この図29に示すプリチャージ/センス制御信号発生回路80の通常のデータ読出時の動作について説明する。
図30において、内部読出動作開始指示信号ltrelがHレベルとなると、所定時間経過後に第1遅延回路150の中間段からの信号clkdlpcendnがLレベルに立下がる。図23に示すように、この信号clkdlpcendnまたはYアドレスラッチ指示信号caddlのいずれかにより、参照電流放電タイミングを規定する。
第1遅延回路150の有する遅延時間が経過した後、AND回路136の出力信号fckdlpcendがHレベルとなり、第2遅延回路151の有する遅延時間が経過すると、AND回路146からの信号fckdlsaeがHレベルに立上がる。
このAND回路146の出力信号fckdlsaeがHレベルに立上がると、先の実施の形態1において示すように、デコーダおよびアドレスラッチ回路のリセットが行なわれ、信号ltrelがLレベルの非活性状態となる。応じて、信号clkdlpcendnがHレベルの非活性状態となり、またAND回路136および146の出力信号fckdlpcendおよびfckdlsaeがそれぞれLレベルとなる。
タイミングテスト時においては、テストモード指示信号MTESTがLレベルに設定され、応じて、信号MTESTNがHレベルとなる。この状態で、テストビットtesdbdm<0:1>を、(1,0)に設定する。応じて、NANDゲート121の出力信号がLレベルとなり、制御信号pmgaおよびnmgaが、それぞれ、HレベルおよびLレベルとなり、遅延段DLA0−DLA6の出力負荷が、それぞれの出力ノードから分離され、遅延時間が短くされる。一方、トライステートインバータバッファ135および145が、制御信号pmgaに従って活性化される。デコード回路122および123が非活性状態であり、テストタイミング指示信号testrpcおよびtesdbsaをLレベルに設定することにより、遅延段DLB0−DLB1および遅延段DLB2−DLB4に対する出力負荷制御信号nmgp、pmgpおよびnmgs、pmgsを活性化することができ、応じて、第1遅延回路150および第2遅延回路151の遅延時間を長くすることができる。
テストビットteddbdm<0:1>が、上述の状態以外のときには、NANDゲート121の出力信号がHレベルとなり、応じて制御信号pmgaおよびnmgaが、それぞれ、LレベルおよびHレベルとなり、トライステートインバータバッファ135および145が出力ハイインピーダンス状態に設定される。また、遅延段DLA0−DLA6の出力負荷が有効となる。デコード回路122および123がイネーブルされ、デコード回路122および123において、テストビットtesdpc<0:1>およびtesdsa<0:1>に従ってトライステートインバータ選択信号を生成することにより、プリチャージ終了活性化制御信号fckdlpcendおよびセンスアンプ活性制御信号fckdlsaeの活性化タイミングを調整してテストすることができる。
この第1遅延回路150および第2遅延回路151それぞれの遅延時間を、テスト結果に基づいて的確な時間に設定することにより、正確に、図9に示す読出動作時のタイミングを決定することができる。
図31は、図16に示すYデコーダ13の構成をより詳細に示す図である。この図31に示すYデコーダは、図20に示すセンスアンプ制御回路60Aまたは60Bの出力信号に従って対応のメモリブロックに対するY系の制御信号を生成する。
図31において、Yデコーダ13は、テスト制御信号tesdbdm<1>およびtesdbdm<0>を受けるNANDゲート161と、NANDゲート161の出力信号を受けるインバータ162と、インバータ162の出力信号とテストモード指示信号MTESTを受けるNORゲート163と、テストモード指示信号MTESTとNANDゲート161の出力信号を受けるMOSゲート164と、NORゲート163の出力信号とセンスアンプ活性化制御信号(リセット信号)ckdlsaeを受けるANDゲート125と、NORゲート164の出力信号とセンスアンプ活性化信号saeとを受けるANDゲート166と、ANDゲート125および166の出力信号を受けるNORゲート167と、内部読出開始指示信号ltyrelを受けるインバータ168と、各々がNORゲート167の出力信号とインバータ168の出力信号とを受けてリセット信号RST<2>−RST<0>を生成するOR回路OG0−OG2と、読出モード指示信号MDSAを受けるインバータ169と、メモリマット列特定プリデコード信号lta16<0:1>と内部読出開始指示信号ltyrelと読出モード指示信号MDSAを受けるNANDゲート170と、NANDゲート170の出力信号とインバータ168の出力信号を受けるNORゲート172と、メモリマット列特定プリデコード信号lta16<0:1>と内部読出開始指示信号ltyrelと読出モード指示信号MDSAを受けるNANDゲート174と、NANDゲート174の出力信号とインバータ168の出力信号を受けるNORゲート176と、ラッチプリデコード信号lty<4:7>を内部読出開始指示信号ltyrelとORゲートOG0の出力信号とを受け、イネーブル時、受けたラッチプリデコード信号ltyra<4:7>に従ってサブビット線選択信号yrajn<4:7>を生成するサブビット線選択信号発生回路182ajと、ラッチプリデコード信号ltyra<0:3>と内部読出開始指示信号ltyrelとORゲートOG2の出力信号とを受けて、サブビット線選択信号yrajn<0:3>を生成するサブビット線選択信号発生回路182ajlと、参照電流放電制御信号ckdlrefdcとNORゲート172の出力信号とを受けて、参照電流放電制御信号refdcjnを生成する参照電流制御信号発生回路184jと、電源電圧vddとセンスアンプ活性化制御信号ckdlsaeとを受けてセンスアンプ活性化信号saeを生成するセンスアンプ活性化信号発生回路186と、信号ltyrelとビット線プリチャージ終了制御信号ckdlpcendとを受けてプリチャージ終了信号pcendを生成するプリチャージ制御信号発生回路186と、ラッチプリデコード信号ltyre<0:3>と信号ltyrelとORゲートOG1の出力信号を受けて共通ビット線選択信号yrbl<0:3>を生成する共通ビット線選択信号発生回路188と、参照電流放電タイミング制御信号ckdlrefdcとNORゲート176の出力信号に従って参照電流制御信号refdckmを生成する参照電流制御信号発生回路184kと、ラッチプリデコード信号ltyra<4:7>と信号ltyrelとORゲートOG1の出力信号に従ってサブビット線選択信号yrakn<4:7>を生成するサブビット線選択信号発生回路182akhと、ラッチプリデコード信号ltyra<0:3>とORゲートOG0の出力信号と信号ltyrelとを受けてサブビット線選択信号yrakn<0:3>を生成するサブビット線選択信号発生回路182bklと、インバータ178の出力信号と信号ltyrelと放電タイミング制御信号ckdldcを受けてサブビット線放電制御信号bitlowknを生成するサブビット線放電制御回路180kと、インバータ169の出力信号と信号ltyrelの出力信号とサブビット線放電制御信号ckdldcとを受けてサブビット線放電制御信号bitlowjnを生成するサブビット線放電制御回路180jを含む。
サブビット線放電制御信号bitlowjnは、メモリマットMMjの選択サブビット線を接地電圧レベルに放電する制御信号である。サブビット線放電制御回路180jは、放電制御信号ckdldcと信号ltyrelとを受けるANDゲートGG1と、ANDゲートGG1の出力信号とインバータ169の出力信号とを受けるNORゲートGG2と、NORゲートGG2の出力信号を受けてサブビット線放電制御信号bitlowjnを生成する2段の縦続接続されるインバータVG1およびVG2を含む。
サブビット線放電制御回路180kは、サブビット線放電制御回路180jと同一構成を有する。インバータ169および178が、ともの読出モード指示信号MDSAを反転しており、従って、サブビット線放電制御信号bitlowjnおよびbitlowknは、同じタイミングで活性/非活性化される。
サブビット線選択信号発生回路182ajh、182ajl、182akhおよび182bklは同一構成を有し、図31においては、サブビット線選択信号発生回路182ajhの1ビットのサブビット線選択信号の発生する部分の構成を示す。
サブビット線選択信号発生回路182ajhは、ラッチプリデコード信号ltyra<a>と信号ltyrelとORゲートOG2の出力信号とを受けるNANDゲートGG3と、NANDゲートGG3の出力信号を受ける2段の縦続接続されるインバータVG3およびVG4を含む。このプリデコード信号ltyra<4:7>の各ビットそれぞれに対応して、選択信号発生回路190a−190dが設けられる。これらの選択信号発生回路190a−190dが同一構成を有し、図31においては、選択信号発生回路190aの構成を代表的に示す
選択信号発生回路190aは、内部読出動作開始指示信号ltrelとラッチプリデコード信号ltyra<7>とリセット信号RST<2>とを受けるNANDゲートGG3と、NANDゲートGG3の出力信号を受けてビットyrajn<7>を生成する2段の縦続接続されるインバータVG3およびVG4を含む。
このサブビット線選択信号発生回路182ajhおよび182ajlにより、メモリマットMMjに対するサブビット線選択信号yrajn<0:7>が生成される。
参照電流制御信号発生回路184jおよび184kは同一構成を有し、図31においては、参照電流制御信号発生回路184aの構成を代表的に示す。この参照電流制御信号発生回路184jは、NORゲート172の出力信号と参照電流放電制御信号ckdlrefdcとを受けるNANDゲートGG4と、NANDゲートGG4の出力信号を受けて参照電流制御信号refdcjnを生成する2段の縦続接続されるインバータVG5およびVG6を含む。この参照電流制御信号refdcjnは、図8に示す制御信号VFDCjNに対応する。NANDゲート170にはメモリマットMMkを指定するラッチプリデコード信号lta16<0>が与えられ、NANDゲート174には、メモリマット、MMjを指定するラッチプリデコード信号lta16<1>が与えられる。従って、メモリマットMMkの選択時に参照電流放電制御信号ckdldcに従って、参照電流制御信号refdcjnがLレベルとなり、参照電流がメモリマットMMjにより駆動される。
センスアンプ活性化信号発生回路186は、電源電圧vddとセンスアンプ活性化制御信号(リセットタイミング信号)ckdlsaeとを受けるNANDゲートGG5と、NANDゲートGG5の出力信号を受ける3段の縦続接続されるインバータVG7−VG9を含む。インバータVG9からセンスアンプ活性化信号saeが出力される。
このセンスアンプ活性化信号発生回路186は、実質的にバッファ回路であり、センスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeに従ってセンスアンプ活性化信号saeを生成する。
プリチャージ終了制御信号発生回路186は、信号ltyrelとプリチャージ終了活性化信号ckdlpcendとを受けるNANDゲートGG6と、NANDゲートGG6の出力信号を受ける3段の縦続接続されるインバータVG10−VG12を含む。その最終段のインバータVG12から、プリチャージ終了指示信号pcendが出力される。
この図31に示すYデコーダ13の構成において、テストモード指示信号MTESTがHレベルのときには、NORゲート163および164の出力信号がLレベルであり、NORゲート167の出力信号がHレベルとなり、OR回路OG0−OG2の出力信号RST<0>−RST<2>がすべてHレベルとなる。したがって、サブビット線選択信号発生回路182ajh、182ajl、182akhおよび182bklのセンスアンプ活性化タイミングに応じたリセット動作は禁止される。この場合、図26に示すように、テストモード指示信号MTESTの反転信号MTESTNがLレベルであり、制御信号fckdlpcendおよびfckdlsaeが、Lレベルに固定され、内部データの読出は行われない。
テストモード指示信号MTESTがLレベルのとき、テストモード指定信号tesdbdm<1>およびtesdbdm<0>がともにHレベルに設定された場合には、NANDゲート161の出力信号がLレベルとなり、インバータ162の出力信号がHレベルとなる。したがってこの場合には、NORゲート164の出力信号がHレベルとなり、センスアンプ活性化信号saeに従ってNORゲート167の出力信号がLレベルとなる。インバータ168の出力信号がLレベルであるため、これらのOR回路OG0−OG2の出力信号RST<0:2>が応じてLレベルとなり、サブビット線選択信号発生回路182ajh、182ajl、182akhおよび182bklがリセットされ、サブビット線選択信号yrajn<0:7>、yrakn<0:7>およびビット線選択信号yrbn<0:3>がすべて初期状態に復帰する。
一方、NANDゲート161の出力信号がHレベルのときには、NORゲート163の出力信号がHレベルとなり、センスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeに従ってNORゲート167の出力信号がLレベルとなる。したがって、この場合には、このセンスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeに従って、サブビット線選択信号yrajn<0:7>およびyrakn<0:7>および共通ビット線選択信号yrbn<0:3>がリセットされる。
従って、図26に示すプリチャージ/センス制御回路80の構成においてセンスアンプ活性化およびサブビット線プリチャージのタイミングを調整する場合、調整されたセンスアンプ活性化タイミングに応じてY系回路のリセットを行うことができる。
通常動作モード時においては、NORゲート163および164の出力信号はともにNORゲート163および164の一方の出力信号がHレベルとなり、センスアンプ活性化信号saeまたはセンスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeに従ってサブビット線および共通ビット線の選択動作がリセットされる(実施の形態1においては、センスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeに従ってYデコーダのリセットが行なわれる)。
この通常動作モード時においては、データ読出時、読出モード指示信号MDSAがHレベルとなり、インバータ169の出力信号はLレベルである。したがって、この読出動作開始タイミング制御信号ltyrelの活性化に従って、ビット線放電制御信号bitlowjnおよびbitlowknが、ビット線放電制御信号ckdldcに従ってLレベルとなり、サブビット線の放電が停止される。
図26に見られるように、読出動作モード時においては、テストモード指示信号MTESTがLレベルであり(信号MTESTNがHレベル)、内部読出開始指示信号ltrelに基づいて信号ckdlpcendおよびckdlsaeが生成される。
通常読出モード時、信号ltyrelおよびMDSAがともにHレベルとなると、NANDゲート170および174イネーブルされ、ラッチプリデコード信号lta16<0:1>に従って、メモリマット列の指定が行なわれる。図31においては、NANDゲート170においては、ラッチプリデコード信号lta16<0>が与えられ、NANDゲート174には、ラッチプリデコード信号lta16<1>が与えられる状態が一例として示される。選択メモリブロックにおいて、非選択メモリマット列に対するNANDゲート170または174の出力信号がLレベルとなる。
データ読出時、信号ltyrelがHレベルであり、インバータ168の出力信号が応じてLレベルとなり、NORゲート172および176が、インバータとして機能する。したがって、この参照電流制御信号発生回路184jおよび184kにおいては、対応のメモリマットが選択メモリセルを含まない場合には、参照電流制御信号refdcjnまたはrefdcknを、それぞれ参照電流放電タイミング制御信号ckdlrefdcに従ってLレベルに駆動する。これにより、先のテスト動作時と同様に参照メモリマットに対して参照電流駆動源が接続される。
サブビット線選択信号発生回路182ajh、182ajl、182akhおよび182bklは、信号ltyrelがHレベルでありかつOR回路OG0−OG2の出力信号(リセット信号RST)がHレベルのときに、それぞれ与えられたラッチプリデコード信号ltyra<0:7>およびltyrb<0:3>に従ってサブビット線選択信号yrajn<0:7>およびyrakn<0:7>および共通ビット線選択信号yrbn<0:3>を生成する。
プリチャージ制御信号発生回路186は、信号ltyrelがHレベルでありかつプリチャージ終了タイミング制御信号ckdlpcendがHレベルとなると、プリチャージ終了信号pcendをHレベルに駆動し、信号ltyrelおよびckdlpcendの一方がLレベルのときには、プリチャージ終了指示信号pcendをLレベルに駆動する。
したがって、この図31に示すYデコーダ13の構成においても、テストモード指示信号MTESTがHレベルのとき、センスアンプ活性化信号saeまたはセンスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeによるサブビット線選択信号および共通ビット線選択信号のリセットは停止される。テストモード指示信号MTESTがLレベルのときには、データ読出モード時、センスアンプ活性化信号saeまたはセンスアンプ活性化タイミング制御信号ckdlsaeに従って、サブビット線選択信号yrajn<0:7>およびyrakn<0:7>および共通ビット線選択信号yrbn<0:3>がリセットされる。
図32は、図22に示す出力ラッチ72および出力バッファ74の具体的構成の一例を示す図である。図32において、出力ラッチ72は、メインビット線プリチャージ指示信号mblpcnを受けるインバータ190と、インバータ190の出力信号がLレベルのときに、読出メインビット線rmljおよびrmblkをそれぞれ電源電圧VddレベルにプリチャージするPチャネMOSトランジスタTP1およびTP2と、読出メインビット線rmljがLレベルのとき導通し、読出メインビット線rmblkを電源電圧Vddレベルに充電するpチャネルMOSトランジスTP3と、活性化時、読出メインビット線rmlj上の信号を反転して内部ノード210へ伝達するCMOSインバータ191と、活性化時読出メインビット線rmblkの電位を反転して内部ノード210へ伝達するCMOSインバータ192と、活性化時読出メインビット線rmblk上の電位を反転して内部ノード212へ伝達するCMOSインバータ193と、活性化時、読出メインビット線rmlj上の信号を反転して内部ノード212へ伝達するCMOSインバータ194と、内部ノード210の周波数信号を反転して出力バッファ74へ伝達するインバータ195と、内部ノード212の信号を反転して出力バッファ72へ伝達するインバータ196を含む。
電源電圧Vddは、Yデコーダにおいて利用される電源電圧vddと同じ電源からの電圧であってもよく、出力専用の電源からの電源電圧であっても良い。
この出力ラッチ72においては、読出メインビット線rmljおよびrmblkの信号を増幅して出力バッファ74へ伝達する場合と、読出メインビット線rmljおよびrmblkのデータを入れ換えて出力バッファ74へ伝達する場合とが存在する。これは、後に詳細に説明するように、出力バッファ74において、読出メインビット線rmljおよびrmblkの差動信号からシングルエンドの内部読出データdotqd(Q<m>)を生成するため、選択メモリマットの位置に応じて、データを反転する必要が生じるためである。
この出力ラッチ72の活性/非活性を制御するために、出力ラッチリセット信号rstqdを受けるインバータ200と、インバータ200の出力信号を所定時間遅延する遅延段201と、遅延段201の出力信号とインバータ200の出力信号とを受けるANDゲート202と、ANDゲート202の出力を受けるインバータ203と、インバータ203の出力信号と選択メモリマット指示信号seljとを受けるNANDゲート204と、NANDゲート204の出力信号を受けるインバータ205と、インバータ203の出力信号と選択メモリマット指示信号selkを受けるNANDゲート206と、NANDゲート206の出力信号を受けるインバータ207と、NANDゲート204の出力信号がLレベルのときに導通し、CMOSインバータ191および193のハイ側電源ノードをそれぞれ電源ノードへ結合するPチャネルMOSトランジスタTP4およびTP6と、インバータ205の出力信号がHレベルのとき導通し、CMOSインバータ191および193のロー側電源ノードをそれぞれ接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN1およびTN3と、NANDゲート206の出力信号がLレベルのとき導通し、CMOSインバータ192および194のハイ側電源ノードをそれぞれ電源ノードに接続するPチャネルMOSトランジスタTP5およびTP7と、インバータ207の出力信号がHレベルのとき導通し、CMOSインバータ192および194のロー側電源ノードをそれぞれ接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN2およびTN4と、ANDゲート202の出力信号がHレベルのとき、内部ノード212を接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN5と、インバータ203の出力信号がLレベルのとき導通し、内部ノード210を電源ノードに結合するPチャネルMOSトランジスタTP8とが設けられる。
この制御信号を発生する部分は出力ラッチ回路内の全出力ラッチに共通に設けられてもよく、また、読出データビット毎に各出力ラッチに対応して配置されても良い。
選択メモリマット指示信号seljおよびselkは、先の図24に示す選択マット検出回路116から生成されるマット選択信号selbootkおよびselbootjに基づいて生成される。インバータ200、遅延段201およびANDゲート202は、反転立下り遅延回路を構成し、リセット信号rstqdbnがHレベルに立ち上がるとLレベルに立下がり、リセット信号rstqdbnがLレベルに立下がると、遅延段201の有する遅延時間経過後にHレベルに立ち上がる信号を生成する。
メインビット線プリチャージ信号mblpcnは、後に詳細に説明するが、出力制御回路からモニタ信号MSAEに基づいて生成される。
この出力ラッチ回路72において、メインビット線プリチャージ信号mblpclがHレベルのとき、CMOSインバータ190の出力がLレベルとなり、MOSトランジスタTP1およびTP2がオン状態となり、読出メインビット線rmljおよびrmblkをそれぞれ電源電圧Vddレベルに設定する。
また、リセット信号rstqdbnがLレベルとなると、遅延段201の有する遅延時間が経過した後、ANDゲート202の出力信号がHレベルとなり、またインバータ203の出力信号がLレベルとなる。応じて、MOSトランジスタTN5およびTP8がオン状態となり、内部ノード212が接地電圧Vssレベル、内部ノード210が電源電圧Vddレベルに設定される。
リセット信号rstqdbnがHレベルのときには、インバータ200の出力信号がLレベルであり、ANDゲート202の出力信号はLレベルである。したがって、この状態においては、MOSトランジスタTN5およびTP8は、オフ状態を維持する。
インバータ203の出力信号がHレベルのときに、NANDゲート204および206がイネーブルされ、選択メモリマット指示信号seljおよびselkをそれぞれ反転する。選択メモリマット指示信号seljがHレベルのときには、選択メモリマット指示信号selkはLレベルである。この状態においては、NANDゲート204の出力信号がLレベルとなり、MOSトランジスタTP4、TN1、TP6およびTN3がオン状態となり、CMOSインバータ191および193がイネーブルされ、読出メインビット線rmljおよびrmblk上の信号電位を反転して内部ノード210および212へそれぞれ伝達する。
一方、選択メモリマット指示信号seljがLレベルであり、選択メモリマット指示信号selkがHレベルのときには、NANDゲート206の出力信号がLレベルとなり、NANDゲート204の出力信号がHレベルとなる。CMOSインバータ191および193が出力ハイインピーダンス状態となる。一方、MOSトランジスタTP5、TN2、TP7およびTN4がオン状態となるため、CMOSインバータ192および194がイネーブルされ、読出メインビット線rmljおよびrmblkの信号電位が、それぞれ、CMOSインバータ194および192により反転されて、内部ノード212および210へ伝達される。
内部ノード210および212の電圧はインバータ195および196により反転されて出力バッファ74へ伝達される。
出力バッファ74は、インバータ196の出力信号を受けるインバータ208と、インバータ195の出力信号を受けるインバータ209と、インバータ195の出力信号がLレベルのとき導通し、内部ノード214を電源ノードに結合するPチャネルMOSトランジスタトランジスタTP9と、インバータ208の出力信号がHレベルのとき導通し、内部ノード214を接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN6と、インバータ196の出力信号がLレベルのとき導通し、内部ノード216を電源ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTP10と、インバータ209の出力信号がHレベルのとき導通し、内部ノード216を接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN7と、活性化時、内部ノード214上の信号を反転して内部ノード216へ伝達するCMOSインバータ197と、活性化時、内部ノード216上の信号を反転して内部ノード214へ伝達するCMOSインバータ198と、内部ノード216上の信号を反転して内部出力データdotqd(Q<m>)を生成するCMOSインバータ199を含む。
出力バッファ74は、さらに、インバータ208の出力信号がLレベルのとき導通し、CMOSインバータ197のハイ側電源ノードを電源ノードに結合するPチャネルMOSトランジスタTP11と、インバータ196の出力信号がHレベルのとき導通し、CMOSインバータ197のロー側電源ノードを接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN8と、インバータ209の出力信号がLレベルのとき、導通しCMOSインバータ198のハイ側電源ノードを電源ノードに結合するPチャネルMOSトランジスタTP12と、インバータ195の出力信号がHレベルのとき導通し、CMOSインバータ198のロー側電源ノードを接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタTN9と、内部ノード214に結合されるMOSキャパシタCPPおよびCPNを含む。
MOSキャパシタCPPは、PチャネルMOSトランジスタで構成され、そのゲートが内部ノード214に結合され、そのソースおよびドレインノードが、電源ノードに結合される。MOSキャパシタCPNは、NチャネルMOSトランジスタで構成され、そのゲートは内部ノード214に結合され、そのソースおよびドレインが接地ノードに結合される。したがって、内部ノード214がHレベルのときには、MOSキャパシタCPNが容量素子として機能し、一方、内部ノード214が接地電圧レベルに駆動されるときには、MOSキャパシタCPPが容量素子として機能する。これらのMOSキャパシタCPPおよびCPNにより、CMOSインバータ199のゲート容量を模擬する負荷を内部ノード214に接続して内部ノード214および216の負荷を等しくする。
出力ラッチ72のリセット状態時においては、内部ノード210が電源電圧Vddレベル、内部ノード212が接地電圧Vssレベルである。したがって、インバータ195および196の出力信号が、それぞれLレベルおよびHレベルとなり、MOSトランジスタTP9がオン状態、MOSトランジスタTP10がオフ状態であり、内部ノード214が電源電圧Vddレベルに維持される。一方、MOSトランジスタTP11およびTN8がオン状態となり、CMOSインバータ197が活性化され、内部ノード214上の電源電圧Vddレベルの信号を反転して内部ノード216へ伝達し、応じて、内部ノード216が接地電圧レベルに維持される。
このとき、また、出力ラッチ72の内部ノード210の電圧レベルが電源電圧レベルであり、インバータ209の出力信号がHレベルであるため、MOSトランジスタTN7がオン状態となり、内部ノード216が接地ノードに結合される。インバータ209の出力信号はHレベル、インバータ195の出力信号がLレベルであるために、MOSトランジスタTP12おTN9がオフ状態であり、CMOSインバータ198は出力ハイインピーダンス状態となる。したがって、このセット状態時においては、内部ノード214が、電源電圧Vddレベル、内部ノード216が、接地電圧Vssレベルである。
内部データの読出モード時においては、インバータ195および196の出力信号に従って、CMOSインバータ197および198の一方が活性化され、他方が非活性状態(出力ハイインピーダンス状態)となる。したがって、この内部ノード216が、これらのインバータ195および196の出力信号に応じたレベルに設定され、インバータ199により内部出力データdotqd(Q<m>)が生成される。
たとえば、インバータ195の出力信号がHレベル、インバータ196の出力信号がLレベルのときには、MOSトランジスタTM6およびTP10がオン状態となり、内部ノード214および216がそれぞれ接地電圧Vssおよび電源電圧Vddレベルに駆動される。この場合には、CMOSインバータ198が活性化され、この内部ノード216上のHレベルの信号を反転して内部ノード214上にLレベルの信号を伝達する。インバータ198並びにMOSトランジスタTN6およびTP10により、内部ノード214および216の電圧レベルが維持される。
図33は、図20に示す出力制御回路7の具体的構成の一例を示す図である。図33において、出力制御回路7は、選択信号selbootkを受けるバッファ回路220と、選択信号selbootjを受けるインバータ221と、リセット信号restbcnの活性化に応答してリセットされ、かつYアドレスラッチ指示信号caddltの活性化に応答してY系動作開始指示信号yab16を取込むフリップフロップ222と、フリップフロップ222の出力qからの信号とインバータ211の出力信号を受けるANDゲート223と、バッファ回路220の出力信号とANDゲート223の出力信号を受けるNORゲート224と、NORゲート224の出力信号を受けるインバータ225と、インバータ225の出力信号を所定時間遅延して、選択メモリマット指示信号selkを生成するバッファ回路226と、インバータ225の出力信号を反転しかつ所定時間遅延して、選択メモリマット指示信号seljを生成する反転バッファ回路227と、モニタ信号msaen00−msaen03およびmsaenb0を受けて、メインビット線プリチャージ指示信号mblpcnを生成するメインビット線プリチャージ制御信号発生回路228を含む。
後に詳細に説明するように、メモリアレイが10個のメモリマット列に分割され、各メモリマット列の対に対応してセンスアンプ列(センスアンプ帯)が配置される。これらの、5列のセンスアンプ列各々に対応してセンスアンプ活性化信号が生成される。各センスアンプ列に対応して配置されるセンスアンプ制御回路(図23参照)により、これらのセンスアンプ活性化信号に対応してモニタ信号msaen00−msaen03およびmsaenb0がそれぞれ生成される。モニタ信号msaen00−03およびmsaenb0は、各々、図23に示すセンスアンプ制御回路から生成されるモニタ信号msaenに対応し、モニタ信号MSAEとは、論理レベルが反転した信号である。センス動作時、モニタ信号msaen00−msaen03およびmsaenbのいずれかがLレベルとなり(モニタ信号MSAEがHレベルとなり)、対応のセンスアンプ列が活性化したことが知らされる。
メインビット線プリチャージ制御信号発生回路228は、モニタ信号msae00−msae02を受けるNANDゲートGD1と、電源電圧Vddとモニタ信号msae03およびmsaeb0を受けるNANDゲートGD2と、出力ノードが共通に結合されかつ各々がNANDゲートGD1およびGD2の出力信号を受けるNORゲートGR1およびGR2と、これらのNORゲートGR1およびGR2の共通出力ノードからの信号をバッファ処理してメインビット線プリチャージ指示信号mblpcnを生成するバッファ回路GV1を含む。
モニタ信号msaen00−msaen03およびmsaenb0がすべてHレベルとなると、NANDゲートGD1およびGD2の出力信号がLレベルとなり、NORゲートGR1およびGR2の出力信号がHレベルとなる。応じて、バッファ回路GV1からのメインビット線プリチャージ指示信号mblpcnがHレベルとなり、読出メインビット線rmljおよびramblkのプリチャージが開始され、出力ラッチでの内部読出データのリセットが行なわれる。
センス動作が行われて、モニタ信号msaen00−msaen03およびmsaenb0の少なくとも1つがが活性化されてLレベルとなると、NANDゲートGD1およびGD2の少なくとも一方の出力信号がHレベルとなり、NORゲートGR1およびGR2の出力信号がLレベルとなる。応じて、バッファ回路GV1からのメインビット線プリチャージ指示信号mblpcnがLレベルとなり、図32に示すインバータ190の出力信号がHレベルとなり、読出メインビット線rmljおよびrmblkのプリチャージが終了し、読出メインビット線を転送される信号がラッチされる。
出力制御回路7は、さらに、リセット信号rstqdbendおよびrestbffnを受けるNANDゲート229と、NANDゲート229の出力信号を反転するインバータ230と、Yアドレスラッチ指示信号caddltの立上がりに応答してワンショットのパルス信号を発生するワンショットパルス発生回路231と、メインビット線プリチャージ指示信号mblpcnの立上がりに応答してワンショットのパルス信号を発生するワンショットパルス発生回路232と、インバータ230またはワンショットパルス発生回路231の出力信号の一方がLレベルのときにリセットされかつワンショットパルス発生回路232の出力信号がLレベルのときにセットされるセット/リセットフリップフロップ234と、セット/リセットフリップフロップ234の出力信号を受けるインバータ235と、インバータ235の出力信号をバッファ処理して入力バッファイネーブル信号fil_enidbnを生成する2段の縦続接続されるインバータ236および237と、インバータ236の出力信号を反転するインバータ238と、インバータ238の出力信号をバッファ処理して、リセット信号rstqdbnを生成するバッファ回路240を含む。
このバッファ回路240は入力部に、電源電圧Vddとインバータ238の出力信号を受けるNANDゲートを含み、このNANDゲートがインバータとして機能する。従ってバッファ回路240は、等価的に偶数段の(図33においては4段)インバータで構成され、インバータ238の出力信号をバッファ処理して、リセット信号rstqdbnを生成する。
この出力制御回路7からの信号mblpcnおよびrstqdbnが、図20に示すリセット信号QRSTに対応し、これらの信号に従って、図33に示すように読出メインビット線rmljおよびrmblkのプリチャージおよび出力ラッチの内部ノードのリセットが行われる。
図34は、図33に示す出力制御回路7の動作を示すタイミング図である。以下、図34を参照して、図33に示す出力制御回路7の動作について説明する。
データ読出を行なうリードサイクル時、クロック信号CKMの立上がりに応答して、リセット信号restbcnおよびrestbffが所定期間Lレベルとなる。応じて、NANDゲート229の出力信号がHレベルとなり、インバータ230の出力信号がLレベルとなる。この状態においては、メインビット線プリチャージ信号mblpcnがすでにHレベルに立上がっており、ワンショットパルス発生回路232の出力信号はHレベルであり、セット/リセットフリップフロップ234の出力状態は変化せず、インバータ235の出力信号はLレベルであり、リセット信号rstqdbenはHレベルを維持する。
リセット信号restbffnおよびrestbcnがHレベルとなると、次いで、Yアドレスラッチ信号caddltがHレベルとなる。フリップフロップ222は、リセット信号restbcnの活性化に従ってリセットされ、次いで、このYアドレスラッチ信号caddltに従って、すでにプリデコード動作により確定している内部列選択動作の開始を指示する信号yab16を取込み、出力qからHレベルの信号を出力する。
また、Yアドレスラッチ指示信号caddltの活性化までに、既にプリデコーダがプリデコード動作を行なっているため、選択信号selbootkおよびselbootjの状態が確定しており、バッファ回路226および反転バッファ回路227からの選択信号selkおよびseljが、これらの選択信号selbootkおよびselbootjに従ってその状態が設定される。
リセット信号restbffnの活性化に応答してインバータ230の出力信号がLレベルとなり、フリップフロップ234がリセットされる。応じて、インバータ236の出力信号がLレベルとなり、バッファ回路240からのバッファリセット信号rstwdbnがHレベルとなり、出力ラッチの内部ノードのリセット状態が解放され、データ読出を待ち受ける状態となる。
また、ワンショットパルス発生回路231の出力信号が、Yアドレスラッチ指示信号caddltの立ち上がりに応答して所定期間Lレベルとなり、フリップフロップ234がリセットされ、インバータ235の出力信号がHレベルとなり、応じて、すでにリセット信号restbffnの立下りによりリセットされていたフリップフロップ234が確実にリセットされ、バッファリセット信号rstqdbnが、Hレベルに維持される。このYアドレスラッチ指示信号caddltの活性化に応答してリセット信号rstqdbendがLレベルとなり、リセット信号rstqdbnが確実に非活性状態に維持される。
このリセット信号rstqdbnが非活性化されると、図32に示すようにインバータ203の出力信号がHレベルとなり選択メモリマット指示信号seljおよびselkに従って出力ラッチ内部でのデータの転送経路が設定される。
内部でサブビット線選択およびセンスアンプ活性化が行なわれると、センスアンプの活性化に同期してモニタ信号MSAEが活性化される。このモニタ信号MSAEが活性化すると(モニタ信号msaen00−msaen03およびmsaenb0のいずれかがLレベルとなると)、メインビット線プリチャージ信号mblpcnがLレベルとなり、図32に示すように、出力ラッチにおける読出メインビット線のプリチャージ動作が完了し、伝達されたメモリセルデータの増幅およびラッチが行なわれる。
このセンスアンプの活性化に従って、リセット信号rstqdbendがHレベルとなり、フリップフロップ234が強制リセット状態から解放され、読出メインビット線のリセットに応じた出力ラッチの内部ノードのリセットに対する準備が行われる。ここで、メインビット線プリチャージ信号mblpcnがLレベルとなると、このリセット信号rstqdbendがHレベルとなる様に構成されても良い。
読出メインビット線のデータの内部読出および出力ラッチ回路内部でのデータ転送が行われ、出力バッファから内部出力データが出力される。
内部データの読出が完了し、センスアンプ活性化が完了すると、応じてモニタ信号MSAEが非活性化される。応じて、メインビット線プリチャージ制御信号発生回路228からのメインビット線プリチャージ信号mblpcnがHレベルに立上がり、出力ラッチでの読出メインビット線のプリチャージが再び実行される。
一方、モニタ信号MSAEに対応して生成されるセンスアンプ活性化信号に従ってアドレスラッチ回路のリセットおよびデコーダ回路のリセットが行なわれ、選択信号selbootkおよびselbootjがHレベルにリセットされる。応じて、選択信号selkおよびseljがそれぞれHレベルおよびLレベルにリセットされる。
出力バッファリセット終了信号restqdbendは、Hレベルである。このメインビット線プリチャージ信号mblpcnの立上がりに応答してワンショットパルス発生回路232からLレベルのワンショットパルスが発生され、フリップフロップ234がセットされ、インバータ236の出力信号がHレベルとなり、応じて、リセット信号rstqdbnがLレベルとなり、出力ラッチの内部ノードのリセットが行われる。図32に示すように、リセット信号rstqdbnがLレベルとなってから遅延段201の有する遅延時間の経過後に、ANDゲート202の出力信号がHレベルとなり、内部ノード210および212のリセットが行われる。応じて、出力バッファ74からの出力信号も初期化される。
リセット信号rstqdbendは、このリセット信号rstqdbnがLレベルとなった後に、例えばメインビット線プリチャージ信号mblpcnまたはリセット状態へのプリデコードアドレスの変化検出に従ってまたは所定のタイミングでHレベルにリセットされる。
したがって、この出力制御回路33において、モニタ信号MSAEの活性/非活性化に従って読出メインビット線プリチャージ信号mblpcnおよび出力ラッチリセット信号rstqdbnを活性/非活性化することにより、内部読出データが読出メインビット線を介して出力ラッチに伝達されたタイミングで、内部読出データの増幅およびラッチを行ない、確実に、増幅およびラッチが行なわれた後に、出力ラッチおよび出力バッファをリセットすることができる。
図35は、メモリアレイの具体的構成およびセンスアンプの配列を概略的に示す図である。メモリブロックMBAまたはMBBは、各々、4つのメモリマット列を含む。すなわち、メモリブロックMBAは、メモリマット列MUA0、MLA0、MUA1およびMLA1を含み、メモリブロックMBBは、メモリマット列MUB0、MLB0、MUB1およびMLB1を含む。
メモリアレイは、さらに、特殊データを格納するメモリブロックMBCを含む。このメモリブロックは、ブートプログラムなどの起動プログラム情報などのデータと冗長置換のための冗長メモリセル配置領域等を含む。このメモリブロックMBCは、メモリマット列MUC0およびMLC0を含む。
これらのメモリマット列MUA0−MLC0の各々は、先の実施の形態2において示すように4つのメモリマットを含む。1つのメモリブロックに対して1024本のコントロールゲート線を選択するXデコーダが配置され、従って、各メモリマット列においては256本のコントロールゲート線が配置される。
これらのマット列の間に、それぞれセンスアンプ回路、リードバッファおよび参照電流供給回路を含むセンスアンプ帯が配置される。すなわち、メモリマット列MUA0およびMLA0の間にセンスアンプ帯SLA0が配置され、メモリマット列MUA1およびMLA1の間にセンスアンプ帯SAL1が配置される。メモリマット列MUB0およびMLB0の間にセンスアンプ帯SAL2が配置され、メモリマット列MUB1およびMLB1の間にセンスアンプ帯SAL3が配置される。メモリマット列MUC0およびMLC0の間にセンスアンプ帯SALbが配置される。
これらのセンスアンプ帯SAL0−SAL3およびSALbに対して、それぞれ、センスアンプ制御回路60A0、60A1、60B0、60B1および60Cが設けられ、各センスアンプ帯SAL0−SAL3およびSALbに対しそれぞれ対応のセンスアンプ制御回路からセンスアンプ活性化信号sae0−sae3およびsaebが与えられる。
これらのセンスアンプ制御回路60A0−60Cは、それぞれ、対応のセンスアンプセ活性化信号sae0−sae3およびsaebに対応してモニタ信号msaen0−msaen3およびmsaenbを生成して出力制御回路7へ転送する。
内部データ読出時においては、1つのセンスアンプ帯が選択されてセンス動作が行われる。選択センスアンプ帯から出力ラッチ回路7まで転送される内部読出データの転送時間は選択センスアンプ帯の位置に応じて異なる。しかしながら、選択されたセンスアンプ帯により生成された内部読出データが出力ラッチ回路6に転送されて到達するまでの時間と選択センスアンプ帯に対応するセンスアンプ制御回路からのモニタ信号msaenの出力制御回路7までの転送時間はほぼ同じである。
なお、Yデコーダについても、図31に示すYデコーダと同様の構成が、センスアンプ制御回路と同様、各センスアンプ帯に対応して配置され、選択メモリマット列(選択センスアンプ帯)に対してサブビット線選択信号および共通ビット線選択信号が出力され、非選択センスアンプ帯においてはサブビット線および共通ビット線の選択は行われず、また、参照電流供給回路も非選択状態を維持する。メモリマット列の選択は、プリデコードメモリブロック選択信号に従って行われる。Yアドレスラッチ回路も、Yデコーダと同様、各センスアンプ帯に対応してすなわち各Yデコーダに対応して配置されても良い。Xデコーダは、1024本のコントロールゲート線を選択するため、各メモリブロック毎に配置される。ただし、当然Xデコーダは、各メモリマット列に対応して配置される。
図36は、この1つのセンスアンプ回路SAから出力ラッチ72および出力バッファ74へのデータ伝達経路を概略的に示す図である。
図36において、センスアンプ回路SAに対し、メモリセルMCjおよびMCkが結合され、メモリセルデータの検知および増幅がセンスアンプ活性化信号saeに従って行なわれる。このセンスアンプ回路SAの出力信号は、センス出力線IbjおよびIbkを介してセンスリードバッファ70へ伝達される。このセンスリードバッファ70は、図22に示すように、補のセンスアンプ活性化信号(saeb:センスアンプ活性化信号saeの反転信号)に従って活性化され、センス出力線IbjおよびIbk上の信号を増幅して読出メインビット線rmbljおよびrmblk上に伝達する。
出力ラッチ72は、活性化時、読出メインビット線rmbljおよびrmblk上の信号を増幅しラッチする。この出力ラッチ72において、選択メモリマット指示信号selkおよびseljに従って、内部読出データの伝達経路の切換/非切換(内部読出データの反転/非反転)が選択的に行なわれる。
出力バッファ74は、出力ラッチ72の伝達する相補信号の一方の信号に従ってシングルエンドの内部読出データqを生成する。すなわち、メモリセルMCkのデータを読出す場合には、読出メインビット線rmblk上のデータに従って出力バッファ74が、内部読出データqを生成する。一方、メモリセルMCjのデータの読出を行なう場合には、読出メインビット線rmbljデータに基づいて、出力バッファ74が内部読出データqを生成する。
この内部読出データ転送と並行して、センスアンプ活性化信号saeと同様のタイミングでモニタ信号msaen(MSAE)が生成されて出力制御回路に転送され、出力制御回路7において、モニタ信号msaenに従って、メインビット線プリチャージ信号mblpcおよび出力リセット信号rstqdbnが生成される。
したがって、センスアンプ活性化信号saeが活性化され、センスアンプ回路SAがセンス動作を行ない、内部読出データが伝達される経路のデータ伝搬時間とモニタ信号msaenの信号伝搬時間は、ほぼ同じである。したがって、モニタ信号msaenにより内部読出データの読出状況をモニタすることができ、モニタ信号msaenに従って出力タッチのリセットを行うことにより、出力ラッチ72における内部データの伝達状況(内部読出データの読出状況)に応じて、この出力ラッチ72および出力バッファ74の活性/非活性化を制御することができる。
図37は、図36に示す内部読出データ伝達系の動作を示すタイミング図である。図37において、センスアンプ活性化信号saeが活性化されると、モニタ信号msaenも同様に活性化され、出力制御回路(7)へ伝達される。このセンスアンプ活性化信号saeの活性化に従って、読出メインビット線rmbljおよびrmblkに内部読出データが伝達され、次いで、出力ラッチ72へ伝達される。
出力ラッチ72への内部読出データの伝播時間と、出力制御回路へのモニタ信号msaenの伝播時間はほぼ同じである。このモニタ信号msaenに従って出力制御回路7においてリセット信号QRSTを生成して、出力ラッチ72および出力バッファ74の活性/非活性、特に初期状態へのリセットを制御する。
したがって、選択メモリマット列(センスアンプ帯)の位置が異なり、内部読出データの伝搬時間が異なる場合においても、正確に、出力制御回路7においてリセット信号QRSTを、出力ラッチ72および出力バッファ74における内部データ読出状況に応じて活性化することができる。リセット信号QRSTの活性化は、内部読出データの伝搬状況(内部データ読出状況)に応じて設定され、出力バッファ74からの内部読出データqの保持期間は、内部読出データの到達時間に応じて変化する。したがって、出力バッファ74において、内部読出データの到達時間が早い場合および最も遅い場合いずれにおいてもデータ保持時間はThとほぼ一定とすることができる。
例えば、動作マージンを見込んで、出力ラッチ72および出力バッファ74のリセットタイミングを固定的に最も遅い読出データ到達時間に応じて設定した場合、内部読出データがそれより早いタイミングでリセットされている場合が生じ、このリセットデータが読出され、誤データが読出される。また、この誤読出データにより、内部読出データの信号電位が変化し、内部出力バスにクロストークが発生し、誤読出が生じる。しかしながら、このデータ読出状況に応じて出力ラッチ72および出力バッファ74のリセットを制御することにより、確実に、出力制御位相を、内部読出データの読出状況に応じて設定することができ、正確に内部データを読出すことができる。
また、リセットによる誤読出を防止するためにリセットタイミングを固定的に最も早い内部読出データ到達時間に応じて設定する必要がなく、十分にデータ保持時間を確保することができ、動作マージンを拡大することができる。
以上のように、この発明の実施の形態5に従えば、内部データの読出状況に応じて出力ラッチ回路のリセットおよび読出メインビット線のリセット終了を制御しており、内部データの読出状況に応じて出力制御位相を自動的に設定することができ、動作マージンを拡大することができる。
[実施の形態6]
図38は、この発明の実施の形態6に従う不揮発性半導体記憶装置の構成を概略的に示す図である。この図38に示す不揮発性半導体記憶装置においては、アドレス入力回路2からのアドレス信号をプリデコードするプリデコーダ300およびプリデコーダ300の出力信号をラッチするアドレスラッチ回路400が、メモリブロックMBAおよびMBBに共通に設けられる。メモリブロックMBAおよびMBBそれぞれに対応して、デコード回路5Aおよび5Bが配置される。この図38に示す不揮発性半導体記憶装置の他の構成は、先の図1に示す不揮発性半導体記憶装置の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
この図38に示す不揮発性半導体記憶装置の構成においては、プリデコーダ300により、メモリブロックMBAおよびMBBを特定するブロックプリデコード信号が生成されて、アドレスラッチ回路400によりラッチされたブロック特定プリデコード信号に従ってデコード回路5Aおよび5Bのいずれかが活性化されてデコード動作を行なう。
デコード回路5Aおよび5Bは、先の図5に示すXデコーダ12u、および12lとYデコーダ13とを含み、センスアンプ活性化後、そのデコード動作がリセットされ、またアドレスラッチ回路400も、センスアンプ活性化後、そのラッチアドレスがリセットされる。
また、出力制御回路7により、内部読出データの読出状況をモニタし、そのモニタ結果に従って出力ラッチ回路6が選択的にセット/リセットされる。
内部回路のリセットを、センスアンプ活性化信号に基づいて行なうことにより、次の読出サイクル開始までに十分に余裕をもって内部状態を初期化することができる場合には、プリデコーダ300およびアドレスラッチ回路400が、メモリブロックMBAおよびMBBに共通に設けられる構成においても、アドレスラッチ回路400によりプリデコード信号をラッチすることにより、読出サイクル時間を短くすることができる。
すなわち、図39に示すように、クロック信号CKM(CLK)に従ってアドレス入力回路2から内部アドレスが伝達され、プリデコーダ300からプリデコーダが出力される場合、このアドレス入力回路2からの信号伝搬遅延のばらつき(スキュー)により、プリデコーダ300の出力信号にスキューが存在する場合、アドレスラッチ回路400の出力信号を、最悪ケースに応じてセットして確定状態に駆動する。このアドレスラッチ回路400の出力信号が確定した後、所定のタイミングでセンスアンプ活性化信号saeが活性化され、応じてアドレスラッチ回路400がリセットされ、またデコード回路5Aまたは5Bがリセットされる。
この場合、アドレスラッチ回路400がリセットされて次の読出サイクルが始まるまでの時間Tsを十分長くすることができ、初期状態から次の読出サイクルを開始することができる。内部データ読出動作開始時においては、常に信号の一方方向への状態変化が生じるだけであり、例えばサブビット線選択信号等の同一種類の信号においては、非選択状態への変化および選択状態への変化が並行して行われることがなく、データ読出状態への駆動を早く行うことができ、次の読出サイクルにおいて十分余裕をもってアドレス信号のラッチおよびデコードを行なうことができる。
センスアンプ活性化信号saeのモニタ信号に従って出力ラッチ回路6から出力データビットqが出力される。セレクタ9からは、クロック信号CKM(またはCLK)に同期してデータQが出力されるかまたはクロック信号CKMの立上がりタイミングで出力データQが確定状態となるタイミングでデータが出力される。
したがって、プリデコーダ300の出力信号に内部アドレス信号伝搬遅延のばらつきによるスキューが存在する場合でも、読出サイクルタイムTcycleを短くすることができ、高速読出を実現することができる。
また、図38に示す構成の場合、プリデコーダ300およびアドレスラッチ回路400を、メモリブロックMBAおよびMBBに共通に設けることができ、回路占有面積を低減でき、また消費電流を低減することができる。
また、この図38に示す構成においても、テストモード時には、このアドレスラッチ回路400およびデコード回路5Aおよび5Bのリセット処理が停止される構成が用いられてもよい。
さらに、1つのメモリブロックにおいて、複数のセンスアンプ帯が対応して配置される場合であっても、デコード回路5Aおよび5BにおいてYデコード回路を各センスアンプ帯に対応して配置することにより、同様の効果を得ることができる。
1 メモリアレイ、MBA,MBB メモリブロック、3,3A,3B プリデコーダ、4,4A,4B アドレスラッチ回路、5,5A,5B デコード回路、6 出力ラッチ回路、7 出力制御回路、MC メモリセル、12u,12l Xデコーダ、13 Yデコーダ、MM0U−MM3U,MM0L−MM3L メモリマット、SLD0−SLD2 ソース線ドライバ部、YG0U−YG3U,YG0L−YG3L セレクタ、CSL 共通ソース線、SA センスアンプ、20k,20j 第1セレクタ、21k,21j 第2セレクタ、VRF0−VRF3 参照電流供給回路、T0−T7 サブビット線選択ゲート、G0−G3 サブビット線選択ゲート、30−33 ラッチ回路、34 デコーダ、XDEC X単位デコード回路、42,43 ラッチ回路、45 バッファ回路、YBFB,YBFA バッファ回路、46 NORゲート、47 バッファ回路、48 インバータ、50 AND回路、45 バッファ回路、60A,60B センスアンプ制御回路、SAA,SAB センスアンプ、70A,70B リードバッファ、80 プリチャージ/センス制御信号発生回路、83 インバータ、81,82 バッファ回路、DLA0−DLA6,DLB0−DLB4,DLC0−DLC2 遅延回路、131−135,141−145 トライステートインバータ、128 バッファ回路、136,146 AND回路、180j,180k サブビット線放電制御信号発生回路、182ajh,182ajl,182akh,182akl サブビット線選択信号発生回路、186 センスアンプ活性化信号発生回路、187 プリチャージ終了信号発生回路、188 共通ビット線選択信号発生回路、190−194 CMOSインバータ、195,196 インバータ、197,198 CMOSインバータ、CPP,CPN MOSキャパシタ、199 CMOSインバータ、TP1−TP12 PチャネルMOSトランジスタ、TN1−TN9 NチャネルMOSトランジスタ、220,226 バッファ回路、227 反転バッファ回路、222 フリップフロップ、223 ANDゲート、224 NORゲート、225 インバータ、228 メインビット線プリチャージ信号発生回路、240 バッファ回路、232,231 ワンショットパルス発生回路、234 フリップフロップ、300 プリデコーダ、400 アドレスラッチ回路。