JP2006047025A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1910562B1 (en) 2005-06-23 2010-12-08 Keygene N.V. Strategies for high throughput identification and detection of polymorphisms
JP5237099B2 (ja) 2005-09-29 2013-07-17 キージーン ナムローゼ フェンノートシャップ 変異させた集団のハイスループットスクリーニング
JP5452021B2 (ja) 2005-12-22 2014-03-26 キージーン ナムローゼ フェンノートシャップ ハイスループットａｆｌｐ系多型検出法
WO2008085463A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-17 In Test Corporation Test head positioning system and method
TWI439709B (zh) * 2006-12-29 2014-06-01 Intest Corp 用於使負載沿平移軸線平移之操縱器與負載定位系統
KR100901982B1 (ko) * 2007-07-12 2009-06-08 주식회사 실트론 접착강도 시험장치
KR100936631B1 (ko) * 2007-11-22 2010-01-14 주식회사 쎄믹스 웨이퍼 프로버의 ｚ축 위치 제어 장치 및 방법
JP4605232B2 (ja) * 2008-02-21 2011-01-05 株式会社デンソー 荷重センサ及びその製造方法
JP4577585B2 (ja) * 2008-03-22 2010-11-10 株式会社デンソー 荷重センサの製造方法
US8519728B2 (en) * 2008-12-12 2013-08-27 Formfactor, Inc. Compliance control methods and apparatuses
JP5083339B2 (ja) * 2010-02-04 2012-11-28 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置及び基板搬送方法並びに記憶媒体
JP5529769B2 (ja) * 2011-01-13 2014-06-25 東京エレクトロン株式会社 プローブカードの熱的安定化方法及び検査装置
US8963567B2 (en) 2011-10-31 2015-02-24 International Business Machines Corporation Pressure sensing and control for semiconductor wafer probing
US8901947B2 (en) 2012-09-28 2014-12-02 Electro Scientific Industries, Inc. Probe out-of-position sensing for automated test equipment
JP6137994B2 (ja) * 2013-08-28 2017-05-31 東京エレクトロン株式会社 デバイス検査方法
CN103745943B (zh) * 2014-01-29 2016-05-25 上海华力微电子有限公司 表面颗粒检测仪量测平台
KR101975386B1 (ko) 2018-01-08 2019-09-10 주식회사 한화 관성 이동체를 구비한 제품용 검사 장치 및 이를 이용한 관성 이동체를 구비한 제품의 검사 방법
JP7374682B2 (ja) * 2019-09-17 2023-11-07 株式会社国際電気セミコンダクターサービス 抵抗率測定器、半導体装置の製造方法および抵抗率測定方法
CN113624605B (zh) * 2021-08-16 2024-06-11 陕西大工旭航电磁科技有限公司 基于电磁力加载的中应变率实验装置
CN119043561A (zh) * 2024-09-26 2024-11-29 宸光(常州)新材料科技有限公司 水压检测装置及检测方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3328148B2 (ja) * 1996-11-15 2002-09-24 株式会社東京精密 プロービング方法およびプローバ
JP4009801B2 (ja) * 1998-11-09 2007-11-21 日本精工株式会社 転がり軸受の予圧量測定装置
JP2000260852A (ja) * 1999-03-11 2000-09-22 Tokyo Electron Ltd 検査ステージ及び検査装置
US6650135B1 (en) * 2000-06-29 2003-11-18 Motorola, Inc. Measurement chuck having piezoelectric elements and method
JP2001358204A (ja) * 2000-06-15 2001-12-26 Tokyo Electron Ltd 検査ステージ
JP4782953B2 (ja) 2001-08-06 2011-09-28 東京エレクトロン株式会社 プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法
JP4827339B2 (ja) * 2001-08-29 2011-11-30 帝国ピストンリング株式会社 摩擦力測定装置
JP2003168707A (ja) 2001-11-30 2003-06-13 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
JP2003185704A (ja) * 2001-12-17 2003-07-03 Seiko Epson Corp 電極検査装置
JP4357813B2 (ja) * 2002-08-23 2009-11-04 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置及びプローブ方法
US7068056B1 (en) * 2005-07-18 2006-06-27 Texas Instruments Incorporated System and method for the probing of a wafer

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