JP2005501691A5 - - Google Patents

Claims (23)

1. 基板の上に流体製造材料を堆積させる装置において、
   ノズルアセンブリーを含みまたノズルアセンブリーから流体製造材料の小液滴を放出するように作動可能な回転自在のマイクロデポジションヘッド、
   基板を受けて固定させまた基板を前記マイクロデポジションヘッドに対して移動させるように構成されたステージ、
   マイクロデポジションヘッドをステージの上方に取り外し自在に据え付けるヘッド支持体、及び、
   マイクロデポジションヘッド及びステージと連絡してステージに対するノズルアセンブリーのピッチ及びノズルアセンブリーから基板上に放出される流体製造材料の小液滴の堆積を制御する制御システム、
   を有することを特徴とする装置。
2. 制御システムが、回転自在なマイクロデポジションヘッドに対する基板の位置合わせを識別するように作動可能な位置合わせセンサーを含む請求項１に記載の装置。
3. 制御システムが、ノズルアセンブリーから放出される小液滴の特性を測定するように作動可能な小液滴診断センサーを含む請求項１に記載の装置。
4. 制御システムが、ノズルアセンブリーから放出される小液滴の特性を制御するように構成されたノズル制御コンポーネントを含む請求項１に記載の装置。
5. ステージは、マイクロデポジションヘッドが基板上に流体製造材料を堆積させている間に回転自在なマイクロデポジションヘッドに対して基板を移動させるように作動可能である請求項１に記載の装置。
6. ステージが、基板を回転自在なマイクロデポジションヘッドに対して少なくとも一つに水平方向及び少なくとも一つの垂直方向に移動させるように作動可能な請求項１に記載の装置。
7. ヘッド支持体が、回転自在なマイクロデポジションヘッドをステージに対して回転させるように作動可能なターレットを含む請求項１に記載の装置。
8. さらに、回転自在なマイクロデポジションヘッドと流体連通しておりまた流体製造材料を回転自在なマイクロデポジションヘッドへ供給するように作動可能なし流体製造材料供給システムを有する請求項１に記載の装置。
9. ヘッド支持体が静止ガントリーに据え付けられている請求項１に記載の装置。
10. ヘッド支持体が、支持梁に接続されたリニアベアリングアセンブリーに据え付けられている請求項１に記載の装置。
11. 回転自在なマイクロデポジションヘッドが、発光ポリマー、プラスチック、導電体、結晶、金属、ワックス、ハンダ、ハンダペースト、酸、フォトレジスト、溶剤、接着剤、エポキシ、及び生物医学コンポーネントからなるグループから選ばれた流体材料の小液滴を放出する請求項１に記載の装置。
12. 回転自在なマイクロデポジションヘッドが、複数の回転自在なマイクロデポジションヘッドであり、ヘッド支持体が、前記複数の回転自在なマイクロデポジションヘッドを取り外し自在に固定するように作動可能な複数の対応するヘッド支持体である請求項１に記載の装置。
13. 回転自在なマイクロデポジションヘッドが、約１０ピコリットルの量に近似する小液滴を放出する請求項１に記載の装置。
14. 基板上に流体材料を堆積させるマイクロデポジション機械において、
    基板を固定するように構成されたステージ、
    ステージの上方に配置されたガントリー、
    少なくとも一つのノズルを含みまた少なくとも一つのノズルから流体材料の小液滴を堆積させるように作動可能であり、ステージに関係する位置でガントリーによって支持され、またステージに対してノズルアセンブリーのピッチを調整するように作動可能であるマイクロデポジションヘッド、及び、
    ステージ及びマイクロデポジションヘッドと連絡して少なくとも一つのノズルから基板上に放出される流体材料の堆積を制御する制御システム、
    を有することを特徴とするマイクロデポジション機械。
15. ステージ及びマイクロデポジションヘッドが相互に動かされ、制御システムが、それらの動きを調整して基板上の予め定められた場所に液滴を堆積させることによって基板上に構造を形成する請求項１４に記載の機械。
16. さらに、独立して作動可能でかつ独立して制御可能な多数のマイクロデポジションヘッドを有し、制御システムが、多数のマイクロデポジションヘッドの作動を調整する請求項１４に記載の機械。
17. ガントリーが、マイクロデポジションヘッドを取り外し自在に固定するための据え付けブラケットを含み、据え付けブラケットが、ガントリーに回転自在に接続されている請求項１４に記載の機械。
18. 制御システムと連通し、少なくとも一つのノズルから小液滴が放出された後少なくとも一つの小液滴の特性を測定するように構成された小液滴診断システムを有する請求項１４に記載の機械。
19. 基板上に流体製造材料を堆積させる方法において、
    基板を流体製造材料の小液滴をノズルアセンブリーを含む回転自在なマイクロデポジションヘッドから基板の上へ放出するためのステージの上に固定させること、
    基板とマイクロデポジションヘッドを相対的に移動させること、及び、
    マイクロデポジションヘッドのピッチ及びノズルアセンブリーから前記基板の上に放出される流体製造材料の小液滴の前記堆積を制御すること、
    を含むことを特徴とする方法。
20. さらに、回転自在なマイクロデポジションヘッドに対して基板を位置合わせすることを含む請求項１９に記載の方法。
21. さらに、ノズルアセンブリーから放出された小液滴の特性を測定し制御するもとを含む請求項１９に記載の方法。
22. 制御される放出された小液滴の特性が、少なくとも量、速度、滴下角度、及びティリングの少なくとも一つを含む請求項２１に記載の方法。
23. さらに、ノズルアセンブリーを清浄することを含む請求項１９に記載の方法。