JP2005251972A - ウェハ重ね合わせ方法及びウェハ重ね合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一方のウェハ上のアライメントマークを基準顕微鏡により測定する。他方のウェハに対しては、ウェハ上のアライメントマークとホルダ上の基準マークの位置位置関係を測定し、次いで、基準マークを測定用顕微鏡(基準顕微鏡との位置関係は既知)で検出する。この結果、基準マークを仲介させてウェハ上のアライメントマークと基準顕微鏡との位置関係が把握でき、互いの位置を合わせるようにウェハを移動して重ね合わせると、高精度な位置合わせが可能になる。
【選択図】図1
Description
チップ実装面積の低減のために、チップを積層することにより実装面積を増加させずに実装チップ量を増加させ、実効的な実装面積の低減をはかることが行われている。例えば、 特許文献1(特開2001−257307)、特許文献2(2002−050735号)、特許文献3(特開2000−349228)にはこのような技術が開示されている。第1のものは、チップとチップやチップと実装基板をワイヤによって接続するワイヤボンド方式によるものである。第2のものは、チップの裏面に設けられたマイクロバンプを介して、チップとチップやチップと実装基板を接続するフリップチップ方式によるものである。第3のものは、ワイアボンド方式、フリップチップ方式の双方を用いて、チップとチップやチップと実装基板を接続するものである。
複数の半導体装置を有する第1、第2のウェハを重ね合わせる、重ね合わせ方法であって、
複数の基準マークを周辺部に有する第1のホルダに前記第1のウェハを固定する、第1のウェハ固定工程、
前記第1のウェハ上のアライメントマークと前記基準マークの位置関係を測定する、第1の測定工程、
第2のホルダに前記第2のウェハを固定する、第2のウェハ固定工程、
前記第2のウェハを保持する前記第2のホルダをX,Y方向に移動可能な第2のテーブルに固定する、第2のホルダ固定工程、
前記第2のホルダに保持された前記第2のウェハ上のアライメントマークの基準座標系中での位置座標を測定する、第2の測定工程、
前記第1のウェハを保持する前記第1のホルダを第1のテーブルに固定する、第1のホルダ固定工程、
前記基準マークの前記基準座標系中での位置座標を測定する、第3の測定工程、
前記第3の測定工程で測定された前記基準マークの位置座標及び前記第1の測定工程で測定された前記位置関係を基に、前記第1のウェハ上のアライメントマークの前記基準座標系での位置座標を求める、位置座標決定工程、
前記位置座標決定工程及び前記第2の測定工程での結果に基づいて、第1,第2のウェハの重ね合わせ位置を調整する、位置調整工程、
前記第1、第2のホルダを相対的にZ方向に移動させて第1の、第2のウェハを近接させる近接化工程、
前記第1、第2のウェハを接触させた状態で前第1、第2のホルダを重ね固定する、重ね固定工程
を有することを特徴とする、重ね合わせ方法である。
本発明では、上記の方法中の、第1及び第2の測定工程において、干渉計測法により前記位置関係又は位置座標を測定することもある。干渉計測法によりテーブルの移動量を測定すると、高精度にテーブルの位置座標の測定が可能になる。これにより、アライメントマークの位置座標の測定精度が向上し、重ね合わせ精度が他の手段、例えば、リニアスケールを用いた測定に比して精度が桁違いに精度が向上する。特に、長い距離を測定する場合には精度の差が顕著になる。
複数の半導体装置を有する第1、第2のウェハを重ね合わるための装置であって、
第1のホルダを保持する第1のテーブル、
第2のホルダを保持する第2のテーブル、
前記第1のテーブルと前記第2のテーブルを相対的にZ、θzのそれぞれの方向に移動させる相対移動機構、
前記第2のテーブルをX、Yのそれぞれの方向に移動させる第2の駆動装置、
前記第2のテーブルの移動量を測定する距離測定手段、
前記第2のテーブル上のマーク及び該テーブルに保持されているウェハ上のアライメントマーク位置を測定する基準顕微鏡
第1のテーブルに保持されているホルダ上の複数の基準マーク位置を測定する複数の、測定用顕微鏡、
を有する重ね合わせ装置である。
また本発明では、上記測定装置として、干渉計を用いて測定精度を上げることも行っている。先にも記したように、干渉計による移動距離の測定は、測定精度において他の測定手段より格段に優れている。
また、本発明では、第2の駆動装置にエアシリンダを使用することもある。エアシリンダは他の電磁駆動機構と異なって電磁石又は永久磁石を移動させる必要がなく、全体として計量化が図れ、また加減速に対して高速に対応できる。
2つの重ね合わせるウェハのアライメントマークは、設計上の位置は同じであっても製造時の処理のために位置が変化している。この場合、ウェハ全体として適切に位置あわせされるように、最適化処理を行って2組のアライメントマーク位置の位置あわせを行って重ね合わせる。これによって、ウェハ全体として適切な重ね合わせが実現できる。
同図は、第1のウェハ1を第1のホルダ3に、第2のウェハ2を第2のホルダ4に固定し、ホルダ3,4を第1のテーブル5、第2のテーブル6にそれぞれ保持した状態を表している。
先の記載の通り、請求項9に記載の「第1、第2のテーブル(ウェハ)を相対的Z、θzの方向に移動させる機能」がこの第2の駆動装置9に組み込まれることもある。第1、第2のウェハにはアライメントマークが形成され、またホルダには基準マーク22が形成されていている。これらのマークはウェハの位置あわせに際してその位置が観察されるが、そのための観察装置として基準顕微鏡7及び測定用顕微鏡8が配置され、基準顕微鏡7と測定用顕微鏡8の位置関係は所定の配置になされている。基準顕微鏡7は第2のテーブル4が所定の高さ位置に位置したときに基準マーク及びアライメントマークが顕微鏡の光学系の物面になるように調整されており、他方の測定用顕微鏡8は、第1のテーブル5に保持された第1のホルダ3の基準マーク22をホルダの裏面より観察するものであり、同ホルダが保持された時に基準マーク22が顕微鏡の光学系の物面になるように調整されている。この構成では積層されたウェハを更に重ねる場合には、第2のウェハ2の厚さが異なっているため、第2のホルダ2の基準マーク22の高さ方向の調節が必要になることがある。このため、不図示のピエゾ素子が設けられており、必要に応じて高さ方向の調整を行っている。
図3のように、周辺部に複数の基準マーク22を有する第1のホルダ3に、重ね合わせるべき一方のウェハ1を周知の真空吸着又は静電吸着により固定する。 この第1のホルダ3を第2のテーブル6上に保持し、図4(a)のように基準顕微鏡7によりホルダ3の基準マーク22を検出する。次いで、図4(b)のように、第2の駆動装置9により第2のテーブル6を移動させて第1のウェハ1上のアライメントマーク23を検出する。この時、移動量計測手段、例えば干渉計11により第2のテーブル6の移動量が検出され、基準マーク22とアライメントマーク23との位置関係が求まる。
また、本実施例では、ホルダ1に固定されたウェハ1上のアライメントマーク23とホルダ上の基準マーク22の位置関係を、本発明による重ね合わせ装置を用いて求めているが、他の測定装置、例えば光波座標測定器等を用いて測定しても良い。
第1のウェハを第1のホルダへ保持したのと同様にして、第2のウェハ2を第2のホルダ4に保持する。位置関係が定まった第1のウェハ1と第1のホルダ3を第2のテーブル4より取り外し、第2のウェハ2を保持している第2のホルダ4を第2のテーブル6に固定する。 第2の駆動装置9を動作させて第2のウェハ2上のアライメントマークを順次、基準顕微鏡7の視野内に移動させ、移動量を距離測定装置、例えば干渉計11により計測する。これにより基準顕微鏡7の光軸と各アライメントマークの位置関係を得る。(図4(b)と同じ動作である。) この結果、基準座標系での第2のウェハ2上のアライメントマークの位置が定まる。
第2のウェハを移動させる量を(Tx、Ty)とし、回転させる量をθとすると、測定されたアライメントマークの位置座標(Xm,Ym)と変換された位置座標(Xc,Yc)との間には次の関係式がある。
関数F(θ、Tx、Ty) = Σ((Dxi-Mxi)2 + (Dyi-Myi)2)が最小値になるようにθ
、Tx、Tyを定める。
第1、第2のウェハの位置関係が決められると、2つのウェハを第2の駆動装置9により互いに近接させる。 このとき、移動する第2のテーブル6のXY面内の変動を干渉計11により測定し、所定のズレの範囲内に収まる様に第2の駆動装置9にフィードバックをかけながら近接させる。図6参照。しかし、ウェハの間隔が十分狭く、近接によりウェハ間の位置ずれが小さい場合には面内変動の観察は不要である。
上述した第1のウェハ1の位置座標決定工程においては、基準顕微鏡7及び測定用顕微鏡8の、基準座標系における位置は既知として座標を決めている。しかしながら、熱的な原因や経時的な原因によりその座標は変化することがある。本発明では、そのような場合に対応するために、必要に応じて以下に記すような校正工程を有している。
第2のテーブル6は基盤92に対して、エアベアリングを介して支持体91により保持されている。即ち、保持体91の基盤に面する下面にはエアベアリングが配置されており、第2のテーブル6は基盤に対して非接触で保持されている。この第2のテーブル6は第2の駆動装置9に取り付けられている。第2の駆動装置9は基盤92に固定された駆動ガイド93とこのガイドに案内されたスライダ94を有している。さらにスライダ94上に固定された第2のガイド95とこれに案内される第2のスライダ96を有し、第2のテーブル6が第2のスライダ96に取り付けられている。このスライダ94、96はエアシリンダにより駆動させられる。その具体的な構成例を図11に示した。図11中、121がスライダであり、111がガイドである。受圧板116を挟んでP1,P2の圧力を制御させることによりガイドに対してスライダを移動させる機構になっている。
先にも記したように、本工程の内、S1,S2は本発明の装置を用いなくても良く、また順序としてもS6の前ならどこでも良い。
3,4 ・・・・・ ホルダ
5,6 ・・・・・ テーブル
7 ・・・・・ 基準顕微鏡
8 ・・・・・ 測定用顕微鏡
9、10・・・・・ 駆動装置
11 ・・・・・ 距離測定手段
21 ・・・・・ フィデューシャルマーク
22 ・・・・・ 基準マーク
23 ・・・・・ アライメントマーク
30 ・・・・・ 制御系
41 ・・・・・ 排気口
42 ・・・・・ 接続部
43 ・・・・・ 接続部端
82 ・・・・・ 切り欠き
83 ・・・・・ ゴム管
84 ・・・・・ T字型部材
85 ・・・・・ 回転受け
86 ・・・・・ 空気道入管
91 ・・・・・ 支持体
92 ・・・・・ 基盤
93、95 ・・・・・ ガイド
94、96 ・・・・・ スライダ
111 ・・・・・ ガイド
121 ・・・・・ スライダ
116 ・・・・・ 受圧板
Claims (15)
- 複数の半導体装置を有する第1、第2のウェハを重ね合わせる、重ね合わせ方法であって、
複数の基準マークを周辺部に有する第1のホルダに前記第1のウェハを固定する、第1のウェハ固定工程、
前記第1のウェハ上のアライメントマークと前記基準マークの位置関係を測定する、第1の測定工程、
第2のホルダに前記第2のウェハを固定する、第2のウェハ固定工程、
前記第2のウェハを保持する前記第2のホルダをX,Y方向に移動可能な第2のテーブルに固定する、第2のホルダ固定工程、
前記第2のホルダに保持された前記第2のウェハ上のアライメントマークの基準座標系中での位置座標を測定する、第2の測定工程、
前記第1のウェハを保持する前記第1のホルダを第1のテーブルに固定する、第1のホルダ固定工程、
前記基準マークの前記基準座標系中での位置座標を測定する、第3の測定工程、
前記第3の測定工程で測定された前記基準マークの位置座標及び前記第1の測定工程で測定された前記位置関係を基に、前記第1のウェハ上のアライメントマークの前記基準座標系での位置座標を求める、位置座標決定工程、
前記位置座標決定工程及び前記第2の測定工程での結果に基づいて、前記第1,第2のウェハの重ね合わせ位置を調整する、位置調整工程、
前記第1、第2のホルダを相対的にZ方向に移動させて第1の、第2のウェハを近接させる近接化工程、
前記第1、第2のウェハを接触させた状態で前第1、第2のホルダを重ね固定する、重ね固定工程
を有することを特徴とする、重ね合わせ方法。 - 請求項1に記載の重ね合わせ方法であって、
前記第1の測定工程又は第2の測定工程において、
干渉計測法により前記位置関係、又は位置座標を測定することを特徴とする、重ね合わせ方法。 - 請求項1又は2に記載の重ね合わせ方法であって、
前記第1のウェハ上のアライメントマーク又は第2のウェハ上のアライメントマークのうち、少なくとも一方のアライメントマークは前記半導体装置の製造時にアライメント用として付与され、使用されたアライメントマークであることを特徴とする、重ね合わせ方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の重ね合わせ方法であって、前記第1の測定工程及び第2の測定工程の少なくとも一方の測定工程において3つ以上のアライメントマークの位置を測定し、前記位置調整工程において最適化処理を行って重ね合わせ位置を調整することを特徴とする、重ね合わせ方法。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の重ね合わせ方法であって、前記ウェハ固定工程において、前記第1のホルダと第2のホルダを、真空吸着力、磁力、静電力、機械的固定力、高分子樹脂の粘着力のいずれか、又はこれらの組み合わせにより重ね固定することを特徴とする、重ね合わせ方法。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の重ね合わせ方法であって、
前記第3の測定工程において使用する測定手段間の距離を必要に応じて測定するベースライン測定工程を有することを特徴とする、重ね合わせ方法。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の重ね合わせ方法であって、
前記第1の測定工程、第2の測定工程及び第3の測定工程の少なくとも1つの工程において、
前記第1の又は第2のホルダを基準座標系の所定の位置範囲内に位置づける、粗アライメント工程を有することを特徴とする、重ね合わせ方法。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の重ね合わせ方法であって、
前記近接化工程中に前記第2のテーブルのX、Y方向への変位を干渉測定法により測定し、測定結果を基に該第2のテーブルのX、Y方向への変位を防止しながら第1の,第2のウェハを近接させることを特徴とする、重ね合わせ方法。 - 複数の半導体装置を有する第1の、第2のウェハを重ね合わるための重ね合わせ装置であって、
第1のホルダを保持する第1のテーブル、
第2のホルダを保持する第2のテーブル、
前記第1のテーブルと前記第2のテーブルを相対的にZ、θzのそれぞれの方向に移動させる相対移動機構、
前記第2のテーブルをX、Yのそれぞれの方向に移動させる第2の駆動装置、
前記第2のテーブルの移動量を測定する測定手段、
前記第2のテーブル上のマーク及び該テーブルに保持されているウェハ上のアライメントマーク位置を測定する基準顕微鏡
第1のテーブルに保持されているホルダ上の複数の基準マーク位置を測定する複数の測定用顕微鏡、
を有することを特徴とする、重ね合わせ装置 - 請求項9記載の重ね合わせ装置であって、
前記第2のテーブルの移動量を測定する測定手段として、干渉計を有することを特徴とする、重ね合わせ装置。 - 請求項9又は10に記載の重ね合わせ装置であって、
第2の駆動装置は気体軸受けを有していることを特徴とする、重ね合わせ装置。 - 請求項9乃至11のいずれかに記載の重ね合わせ装置であって、
第2の駆動装置はエアシリンダを有することを特徴とする、重ね合わせ装置。 - 請求項9乃至12のいずれかに記載の重ね合わせ装置であって、
第2のテーブルの移動量は重ね合わせるウェハの直径と同程度か、それよりも大きいことを特徴とする、重ね合わせ装置。 - 請求項9乃至13のいずれかに記載の重ね合わせ装置であって、
前記第1のテーブルの移動量を測定する第1の干渉計をさらに有することを特徴とする、重ね合わせ装置。 - 請求項9乃至14のいずれかに記載の重ね合わせ装置であって、
前記重ね合わせ位置の最適化を行う演算手段を有することを特徴とする、重ね合わせ装置。
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